JP2006311647A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 駆動用の電気機械変換素子12(A+),12(A−),12(B+),12(B−)および振動検出用の電気機械変換素子12(C+),12(C−),12(D+),12(D−)を備え、前記駆動用の電気機械変換素子12(A+),12(A−),12(B+),12(B−)に所定の位相差および所定の駆動周波数の2相の交番電圧を供給することにより、異なる2つの振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子を備える超音波モータであって、前記振動検出用の電気機械変換素子12(C+),12(C−),12(D+),12(D−)により縦振動モードおよび屈曲振動モードの双方の振動モードをそれぞれ独立した形で検出可能とされている。
【選択図】 図11
Description
(1)ギヤなしで高トルクが得られる。
(2)電気OFF時に保持力がある。
(3)高分解能である。
(4)静粛性に富んでいる。
(5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
この発明は、駆動用の電気機械変換素子および振動検出用の電気機械変換素子を備え、前記駆動用の電気機械変換素子に所定の位相差および所定の駆動周波数の2相の交番電圧を供給することにより、異なる2つの振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子を備える超音波モータであって、前記振動検出用の電気機械変換素子により縦振動モードのみが検出可能とされている。
この発明によれば、特別な装置を用いることなく、縦振動モードのみを容易に検出することができる。また、周波数を振動子の縦振動振幅が最大となる周波数の近傍に設定することにより効率よく超音波モータを駆動することができて、高いモータ出力を得ることができる。
この発明によれば、縦振動モードにより発生する各領域での電荷の総和が有限値をとり、かつ屈曲振動により発生する各領域での電荷の総和が打ち消されてゼロとなるような位置に振動検出用の電気機械変換素子が配置されており、これにより縦振動のみが検出されることとなる。
この発明によれば、特別な装置を用いることなく、縦振動モードおよび屈曲振動モードの双方の振動モードをそれぞれ独立した形で容易に検出することができる。また、周波数を振動子の縦振動振幅が最大となる周波数の近傍に設定することにより効率よく超音波モータを駆動することができて、高いモータ出力を得ることができる。
この発明によれば、縦振動モードにより発生する各領域での電荷の和が有限値をとるとともに、縦振動モードにより発生する各領域での電荷の差がゼロとなり、かつ屈曲振動により発生する各領域での電荷の和がゼロとなるとともに、屈曲振動により発生する各領域での電荷の差が有限値をなるような位置に振動検出用の電気機械変換素子が配置される。したがって、これら領域において発生した電位の和を演算することにより縦振動モードを検出し、これら領域において発生した電位の差を演算することにより屈曲振動モードを検出することができる。これにより縦振動モードおよび屈曲振動モードの双方の振動モードをそれぞれ独立した形で容易に検出することができる。
本実施形態に係る超音波モータ1は、図1に示されるように、被駆動体2に接触配置される超音波振動子3と、該超音波振動子3を被駆動体2に押し付ける押圧手段4とを備えている。被駆動体2は、ベース5に固定された直動ベアリング6の可動部7に固定されている。また、被駆動体2には、超音波振動子3に接触する面に、例えば、ジルコニアセラミックスからなる摺動板8が接着されている。図中符号9は、直動ベアリング6の固定部10をベース5に固定するためのネジである。
圧電積層体13を構成する圧電セラミックスシート11は、図4に示されるように、例えば、厚さ約80μmのチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス素子(以下、PZTという。)である。PZTとしては、Qm値の大きなハード系材料を選択した。Qm値は約1800である。
また、内部電極12は、例えば、厚さ約4μmの銀パラジウム合金からなっている。積層方向の一端に配置される圧電セラミックスシート11aは内部電極12を備えていない。それ以外の圧電セラミックスシート11は、図4に示されるような2種類の内部電極12を備えている。
圧電積層体13を製造するには、まず、圧電セラミックスシート11を製造する。圧電セラミックスシート11は、例えば、PZTの仮焼粉末と所定のバインダとを混合して作成された泥しょうをドクターブレード法によってフィルム上にキャスティングした後に乾燥し、フィルムから剥離することにより製造する。
最後に、対向する内部電極12間に直流高電圧を加えることにより圧電セラミックスシート11を分極処理し、圧電的に活性化する。
圧電積層体13の長さ方向の一端に形成された6つの外部電極17を、圧電積層体13の他側面の側(図において上側)からA相(A+,A−)、C相(C+,C−)、およびB相(B+,B−)、他端に形成された4つの外部電極17を、圧電積層体13の他側面の側(図において上側)からB相(B+,B−)、およびA相(A+,A−)とする。A相およびB相は駆動用の外部電極であり、C相は振動検出用の外部電極である。
また、A相とB相とに逆位相で共振周波数に対応する交番電圧を加えると、図6に示されるような2次の屈曲振動が励起されるようになっている。このとき、前述した各領域では図7(c)に示すような電荷状態となる。すなわち、屈曲振動モードが励起されている場合には、四つの領域のうち、対角線上に位置する領域では同符号の電荷が同時に励起され、隣り合う領域では異符号の電荷が同時に励起されていることになる。
そして、これら各領域における電荷状態は、C相を介して前述した制御器に出力され、この制御器において処理されることとなる。
なお、どちらの符号の電荷が励起されるかは振動の位相状態によって決まる。
したがって、超音波振動子3のA相とB相とに、位相が90°ずれた共振周波数に対応する交番電圧を加えることにより、1次の縦振動と2次の屈曲振動とが同時に発生して、図2に矢印Cで示されるように、摩擦接触子14の位置において時計回りまたは反時計回りの略楕円振動が発生するようになっている。
本実施形態に係る超音波モータ1を作動させるには、外部電極17に接続された配線を介して、位相が90°異なる高周波電圧(A相およびB相)を供給する。
これにより、超音波振動子3に接着された摩擦接触子14には、縦振動モードと屈曲振動モードとがミックスされた略楕円振動が発生し、その楕円振動の接線方向に沿って被駆動体2の摺動板8との間の生ずる摩擦力により、被駆動体2が推進されることになる。
また、周波数を振動子の縦振動振幅が最大となる周波数の近傍に設定することにより効率よく超音波モータを駆動することができて、高いモータ出力を得ることができる。
本実施形態に係る超音波モータは、図9に示されるように、振動検出用の内部電極がセラミックスシート11の長さ方向の中央部において、セラミックスシート11の幅方向に沿って設けられた超音波振動子30を備えている点において、前述した第1の実施形態に係る超音波モータ1と相違している。
その他の作用および効果については、前述した第1の実施形態のものと同じであるのでここではその説明を省略する。
本実施形態に係る超音波モータは、図10および図11に示されるように、振動検出用の内部電極としてC相およびD相が設けられた超音波振動子40を備えている点において、前述した第1の実施形態および第2の実施形態に係る超音波モータと相違している。
一方、C相およびD相から出力された信号の和は縦振動に比例しており、C相およびD相から出力された信号の差は屈曲振動に比例している。そして、これらの計算は前述した制御器により行われる。
また、周波数を振動子の縦振動振幅または屈曲振動振幅が最大となる周波数の近傍に設定することにより効率よく超音波モータを駆動することができて、高いモータ出力を得ることができる。
本実施形態に係る超音波モータは、図13に示されるように、セラミックスシート11の幅方向において中央に位置する内部電極12が省略され、かつ、A相(A+)の一方(図11(b)において左下に位置する方)がD相(D+)として、A相(A−)の一方(図11(a)において左下に位置する方)がD相(D−)として、B相(B+)の一方(図11(b)において左上に位置する方)がC相(C+)として、B相(B−)の一方(図11(a)において左上に位置する方)がC相(C−)として使用される超音波振動子50を備えている点において、前述した第3の実施形態に係る超音波モータと相違している。
その他の作用および効果については、前述した第3の実施形態のものと同じであるのでここではその説明を省略する。
本実施形態に係る超音波モータは、図15に示されるように、セラミックスシート11の幅方向において中央に位置する内部電極12が省略され、かつ、A相(A+)の一方(図11(b)において左下に位置する方)がD相(D+)として、A相(A−)の一方(図11(a)において左下に位置する方)がD相(D−)として、B相(B+)の一方(図11(b)において右下に位置する方)がC相(C+)として、B相(B−)の一方(図11(a)において右下に位置する方)がC相(C−)として使用される超音波振動子70を備えている点において、前述した第3の実施形態に係る超音波モータと相違している。
その他の作用および効果については、前述した第3の実施形態のものと同じであるのでここではその説明を省略する。
また、上記各実施形態においては、内部電極の材質として銀パラジウム合金を用いたが、これに代えて、銀、ニッケル、白金または金を用いてもよい。
さらに、被駆動体2の表面にジルコニアセラミックスからなる摺動板を接着する代わりに、ジルコニアセラミックスを溶射法により被駆動体2の表面に付着させることにしてもよい。
さらにまた、上述した実施形態では、振動検出用の内部電極を全層にわたって設けるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、一層にだけもしくは数層にだけ設けるようにすることもできる。
2 被駆動体
3 超音波振動子
11 セラミックスシート(電気機械変換素子)
14 摩擦接触子(出力端)
30 超音波振動子
40 超音波振動子
50 超音波振動子
70 超音波振動子
Claims (4)
- 駆動用の電気機械変換素子および振動検出用の電気機械変換素子を備え、前記駆動用の電気機械変換素子に所定の位相差および所定の駆動周波数の2相の交番電圧を供給することにより、縦振動モードおよび屈曲振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子を備える超音波モータであって、
前記振動検出用の電気機械変換素子により前記縦振動モードのみが検出可能とされている超音波モータ。 - 前記振動検出用の電気機械変換素子が、前記縦振動モードにおいて同符号の電荷状態となり、前記屈曲振動モードにおいて異符号の電荷状態となる領域にまたがって配置されている請求項1に記載の超音波モータ。
- 駆動用の電気機械変換素子および振動検出用の電気機械変換素子を備え、前記駆動用の電気機械変換素子に所定の位相差および所定の駆動周波数の2相の交番電圧を供給することにより、縦振動モードおよび屈曲振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子を備える超音波モータであって、
前記振動検出用の電気機械変換素子により前記縦振動モードおよび前記屈曲振動モードの双方の振動モードがそれぞれ独立した形で検出可能とされている超音波モータ。 - 前記振動検出用の電気機械変換素子が、前記縦振動モードにおいて同符号の電荷状態となり、かつ前記屈曲振動モードにおいて異符号の電荷状態となる領域にそれぞれ配置されている請求項3に記載の超音波モータ。
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