JP2008160913A - 超音波モータ - Google Patents

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Abstract

【課題】 被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、超音波モータの駆動効率を一定に保持することができ、安定したモータ駆動を実現させる。
【解決手段】 超音波モータ10は、複数の圧電セラミックスシート46が交互に積層された振動子1,2と、振動子1,2に2相の共通する駆動交番電圧を印加する制御装置60とを有し、振動子1,2に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、振動子1,2の摩擦接触子50に略楕円振動を生じさせて、振動子1,2とこれに接触するロータ6とを相対的に移動させるモータあって、制御装置60が、振動子1,2の振動を検出し平均の振動検出信号を出力する振動検出回路66と、振動子1,2に印加する2相の駆動交番電圧の何れか一方と平均振動検出信号との位相差を検出する位相比較回路68と、この位相差が所定の値となるように駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御回路70とを備える。
【選択図】図16

Description

本発明は、超音波モータに関するものである。
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして超音波モータが注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を有している。
(1)ギヤなしで高トルクが得られる。
(2)電気OFF時に保持力がある。
(3)高分解能である。
(4)静粛性に富んでいる。
(5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
従来の超音波モータとして、例えば、特許文献1には弾性体に圧電素子を接着した構造の振動子を3個用いた回転モータが開示されている。特許文献1では、各振動子に対して駆動回路をそれぞれ設け、各振動子に対して個別に最適な周波数の信号を与えることにより、各振動子を駆動している。
特開平11−235062号公報
上記特許文献1に開示された回転モータでは、各々の振動子の駆動周波数が全く等しい場合は、被駆動体はムラのない回転を行う。しかしながら、駆動周波数にずれが生じた場合には、その駆動周波数の差に対応してうなり現象が生じ、超音波領域の周波数よりかなり低い周波数、たとえば数十Hz程度の周波数で被駆動体の回転にムラが生じてしまうという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、モータの駆動効率を一定に保持することができ、安定したモータ駆動を実現させることができる超音波モータを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子と、複数の該超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加する制御部とを有し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、前記制御部が、各前記超音波振動子の振動を検出し、平均の振動検出信号を出力する振動検出手段と、各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と前記平均の振動検出信号との位相差を検出する位相比較手段と、該位相比較手段により検出される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御手段とを備える超音波モータを提供する。
本発明によれば、制御部により、複数の超音波振動子に共通する2相の駆動交番電圧が印加されるので、各超音波振動子の駆動周波数を一致させることができる。したがって、各超音波振動子の出力端が略楕円運動することによって回転する被駆動体のうなり現象を低減して、被駆動体の回転にムラが発生するのを防ぐことができる。
また、上記構成によれば、振動検出手段により、各超音波振動子の振動が検出され、各超音波振動子の振動に比例する振動検出信号の平均の振動検出信号が位相比較手段に入力される。位相比較手段では、この平均の振動検出信号が、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の何れか一方と比較され、両者間の位相差が検出される。そして、周波数制御手段の作動により、この位相差が所定の値となるように、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の周波数が制御される。
これにより、各超音波振動子に適した周波数の駆動交番電圧を印加することができる。さらに、超音波振動子に印加する駆動交番電圧と超音波振動子の振動に比例する振動検出信号との位相差に着目して駆動周波数を制御することにより、例えば、環境温度が変化して周波数特性にずれが生じた場合でも、速やかに駆動周波数をその環境温度の変化に追従させることが可能となる。
この結果、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、超音波モータの駆動効率を一定に保持することができ、安定したモータ駆動を実現させることができる。
なお、振動検出手段とは、第1の実施形態においては、振動子1に設けられたC相の内部電極56(例えば、図9,図10参照)と振動子2に設けられたC相の内部電極56と振動検出回路66(図16参照)とを含むものとする。
本発明は、第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子と、複数の該超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加する制御部とを有し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、前記制御部が、各前記超音波振動子の振動を検出し、各振動検出信号を出力する振動検出手段と、各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と各前記振動検出信号との位相差をそれぞれ検出する位相比較手段と、該位相比較手段により検出された複数の前記位相差の内、最大となる位相差を選択する選択手段と、該選択手段により選択される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御手段とを備える超音波モータを提供する。
本発明によれば、制御部により、複数の超音波振動子に共通する2相の駆動交番電圧が印加されるので、各超音波振動子の駆動周波数を一致させることができる。したがって、各超音波振動子の出力端が略楕円運動することによって回転する被駆動体のうなり現象を低減して、被駆動体の回転にムラが発生するのを防ぐことができる。
また、上記構成によれば、振動検出手段により、各超音波振動子の振動が検出され、各超音波振動子の振動に比例する振動検出信号が位相比較手段に入力される。位相比較手段では、各位相検出信号と、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の何れか一方とが比較され、その位相差がそれぞれ検出される。そして、これらの位相差の内、最大となる位相差が選択手段によって選択され、周波数制御手段の作動により、選択された位相差が所定の値となるように、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の周波数が制御される。
これにより、各超音波振動子に位相差が最大の超音波振動子の共振周波数の駆動交番電圧を印加して、各超音波振動子を駆動させるので、各超音波振動子の駆動力が損なわれることなく、全ての超音波振動子を効率よく駆動させることができる。さらに、超音波振動子に印加する駆動交番電圧と超音波振動子の振動に比例する振動検出信号との位相差に着目して駆動周波数を制御することにより、例えば、環境温度が変化して周波数特性にずれが生じた場合でも、速やかに駆動周波数をその環境温度の変化に追従させることが可能となる。
この結果、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、例えば、各超音波振動子の共振周波数に比較的大きな差がある場合でも、駆動力が大きい安定したモータ駆動を実現させることができる。
なお、振動検出手段とは、第2の実施形態においては、振動子1に設けられたC相の内部電極56(例えば、図9,図10参照)と振動子2に設けられたC相の内部電極56と振動検出回路82,84(図21参照)とを含むものとする。
上記超音波モータにおいては、前記振動検出信号が、各前記超音波振動子の縦振動に比例する縦振動検出信号または屈曲振動に比例する屈曲振動検出信号であってもよい。
本発明は、第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの駆動方法であって、各前記超音波振動子の振動を検出し、平均の振動検出信号を出力する振動検出過程と、各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と前記平均の振動検出信号との位相差を検出する位相比較過程と、該位相比較過程により検出される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御過程とを備える超音波モータの駆動方法を提供する。
本発明によれば、複数の超音波振動子に共通する2相の駆動交番電圧が印加されるので、各超音波振動子の駆動周波数を一致させることができる。したがって、各超音波振動子の出力端が略楕円運動することによって回転する被駆動体のうなり現象を低減して、被駆動体の回転にムラが発生するのを防ぐことができる。
また、上記構成によれば、各超音波振動子の振動が検出され、これらの振動検出信号の平均の振動検出信号が得られる。続いて、この平均の振動検出信号が、各超音波振動子に印加される2相の駆動交番電圧の何れか一方と比較され、両者間の位相差が検出される。そして、この位相差が所定の値となるように、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の周波数が制御される。
これにより、各超音波振動子に適した周波数の駆動交番電圧を印加することができる。さらに、超音波振動子に印加する駆動交番電圧と超音波振動子の振動に比例する振動検出信号との位相差に着目して駆動周波数を制御することにより、例えば、環境温度が変化して周波数特性にずれが生じた場合でも、速やかに駆動周波数をその環境温度の変化に追従させることが可能となる。
この結果、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、モータの駆動効率を一定に保持することができ、安定したモータの駆動方法を実現させることができる。
本発明は、第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの駆動方法であって、各前記超音波振動子の振動を検出し、各振動検出信号を出力する振動検出過程と、各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と各前記振動検出信号との位相差をそれぞれ検出する位相比較過程と、該位相比較過程により検出された複数の前記位相差の内、最大となる位相差を選択する選択過程と、該選択過程により選択される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御過程とを備える超音波モータの駆動方法を提供する。
本発明によれば、複数の超音波振動子に共通する2相の駆動交番電圧が印加されるので、各超音波振動子の駆動周波数を一致させることができる。したがって、各超音波振動子の出力端が略楕円運動することによって回転する被駆動体のうなり現象を低減して、被駆動体の回転にムラが発生するのを防ぐことができる。
また、上記構成によれば、各超音波振動子の振動が検出され、振動検出信号が得られる。続いて、各位相検出信号が、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の何れか一方と比較され、その位相差がそれぞれ検出される。そして、これらの位相差の内、最大となる位相差が選択され、この位相差が所定の値となるように、各超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の周波数が制御される。
これにより、各超音波振動子に位相差が最大の超音波振動子の共振周波数の駆動交番電圧を印加して、各超音波振動子を駆動させるので、各超音波振動子の駆動力が損なわれることなく、全ての超音波振動子を効率よく駆動させることができる。さらに、超音波振動子に印加する駆動交番電圧と超音波振動子の振動に比例する振動検出信号との位相差に着目して駆動周波数を制御することにより、例えば、環境温度が変化して周波数特性にずれが生じた場合でも、速やかに駆動周波数をその環境温度の変化に追従させることが可能となる。
この結果、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、例えば、各超音波振動子の共振周波数に比較的大きな差がある場合でも、駆動力が大きい安定したモータ駆動を実現させることができる。
上記超音波モータの駆動方法においては、前記振動検出信号が、各前記超音波振動子の縦振動に比例する縦振動検出信号または屈曲振動に比例する屈曲振動検出信号であってもよい。
本発明によれば、被駆動体の回転のムラの発生を防ぐとともに、超音波モータの駆動効率を一定に保持することができ、安定したモータ駆動を実現させることができるという効果を奏する。
以下、本発明の第1の実施形態に係る超音波モータについて、図面を参照して説明する。
〔第1の実施形態〕
図1は、本実施形態に係る超音波モータ10の平面図であり、図2は、図1のA−A矢視断面図である。
本実施形態に係る超音波モータ10は、図1に示されるように、円環形状をした回転型モータである。
超音波モータ10は、モータ機構12と、後述する制御装置(制御部)60(図16参照)とを備えている。
上記モータ機構12は、図2および図5に示されるように、円環状のベース4に対して回転自在に支持された円環状のロータ(被駆動体)6と、該ロータ6に設けられた摺動部材8に接触させられてロータ6に加える回転力を発生する振動子(超音波振動子)1,2と、該振動子1,2を支持する円環状のカバー14と、該カバー14に取り付けられ振動子1,2を摺動部材8に押し付ける板バネ保持部材16とを備えている。
なお、摺動部材8は、例えば、アルミナセラミクスが用いられる。
ベース4およびロータ6の対向面には、相互に対向する円環状のV溝18,20が設けられ、これらベース4およびロータ6のV溝18,20の間には、複数のボール24がリテーナ26により間隔を空けた状態で挟まれている。
ロータ6には、その一部に半径方向内方に突出する出力取り出し部28が設けられている。
前記振動子1,2は、図1に示すカバー14の周方向に間隔を空けて、2箇所に設けられている。
前記板バネ保持部材16は、振動子1,2に押圧力を付与する板バネ30を備え、ネジ32(図1参照)によりカバー14に固定されるようになっている。図3および図4に示すように、板バネ30にはその中央部に突起32が設けられ、振動子1,2の略中央位置に押圧力を加えるようになっている。
図5に示すように、カバー14には、周方向に間隔を空けて2箇所に、振動子1,2を収容する落とし込み穴34が設けられている。各落とし込み穴34には、後述する振動子保持部材52に固定されたピン54(図6および図7参照)を周方向に係合させる凹部36が設けられている。
なお、図2の符号38はベース4とカバー14の連結部材を、図3および図4の符号42はビスを、符号44はネジ32を通す穴を示し、図5の符号40はネジ32のネジ穴を示している。
次に、上記振動子1,2について詳細に説明する。
振動子1,2は、図6に示されるように、矩形板状の圧電セラミックスシート(電気機械変換素子)46の片側面にシート状の内部電極56(図9および図10参照)を設けたものを複数枚積層してなる直方体状の圧電積層体48と、該圧電積層体48の一側面に接着された2個の摩擦接触子50(出力端)と、振動子保持部材52とを備えている。
圧電積層体48は、図8に示されるように、例えば、長さ20mm、幅5.0mm、厚さ3.2mmの外形寸法とされている。圧電積層体48を構成する圧電セラミックスシート46は、例えば、厚さ約80μmのチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス素子(以下、PZTという。)である。PZTとしては、Qm値の大きなハード系材料を使用することが好ましい。Qm値は約1800である。
また、内部電極56は、図9および図10に示されるように、例えば、厚さ約4μmの銀パラジウム合金からなっている。積層方向の一端に配置される圧電セラミックスシート46a(図6〜図8参照)は内部電極56を備えていない。それ以外の圧電セラミックスシート46は、図9および図10に示されるような2種類の内部電極56を備えている。
図9に示される圧電セラミックスシート(第1の圧電素子)46は、駆動用の内部電極56(A+),56(B+)と、振動検出用の内部電極56(C+)とを備えている。
内部電極56(C+)は、圧電セラミックスシート46の幅方向の中央部において、圧電セラミックスシート46の長さ方向に沿って帯状に設けられている。具体的には、内部電極56(C+)は、図13に示すように、圧電セラミックスシート46を長手方向に2等分および幅方向に2等分して第1の領域乃至第4の領域からなる4つの領域に区分した場合に、第1から第4の各領域における占有面積が略等しくなるように配置されている。
なお、内部電極56(C+)は、上記配置例に代えて、4つの領域のうち、所定の2つの隣接する領域における占有面積が略等しく、また、その他の2つの隣接する領域における占有面積が略等しくなるように配置されてもよい。例えば、第1の領域と第2の領域とが同一占有面積とされ、第3の領域と第4の領域とが同一占有面積とされるように配置されることとしてもよい。この場合、第1の領域と第3の領域とは、占有面積が異なってもよい。また、4つの領域にわたって内部電極56(C+)を配置するのではなく、隣接する2つの領域にわたって内部電極56(C+)を配置することとしてもよい。例えば、内部電極56(C+)を、第3の領域と第4の領域にわたって互いの領域における占有面積が略等しくなるように配置することとしてもよい。
また、駆動用の内部電極56(A+),56(B+)は、圧電セラミックスシート46の長手方向に沿って一列に配置されている。本実施形態では、内部電極56(A+)が図13における第4の領域に、内部電極56(B+)が第3の領域に配置されている。
同様に、図10に示される圧電セラミックスシート(第2の圧電素子)46は、駆動用の内部電極56(A−),56(B−)と、振動検出用の内部電極56(C−)とを備えている。
内部電極56(C−)は、図10に示した圧電セラミックスシート46において、図9に示した圧電セラミックスシート46における内部電極56(C+)に対応する位置に配置されている。同様に、内部電極56(A−),56(B−)についても、図9に示した内部電極56(A+),56(B+)にそれぞれ対応する位置に配置されている。
上記各内部電極56は、圧電セラミックスシート46の幅方向に、約0.4mmの絶縁距離を開けて配置されているとともに、圧電セラミックスシート46の長さ方向に約0.4mmの絶縁距離を開けて設けられている。なお、各内部電極56は、その一部が圧電セラミックスシート46の周縁まで延び、後述する各外部電極58(図6〜図8参照)に接続されるようになっている。
圧電セラミックスシート46の中央に帯状に設けられた内部電極56(C+),56(C−)は共に略同一の大きさを有し、また、内部電極56(A+),56(B+),56(A−),56(B−)は、略同一の大きさを有している。
図9に示される圧電セラミックスシート46と、図10に示される圧電セラミックスシート46とは交互に複数枚積層されることにより、直方体状の圧電積層体48を構成している。
このようにして構成された圧電積層体48の長さ方向の端面には、各圧電セラミックスシート46に配置された同種の内部電極56(A+)乃至内部電極56(C−)をそれぞれ接続するための外部電極58がそれぞれ設けられている。
具体的には、図6〜図8に示されるように、圧電積層体48の長さ方向の一端には、圧電積層体48の他側面の側(図において上側)からC相の外部電極58(C+),B相の外部電極58(B+),58(B−)が設けられ、これに対向する面には、C相の外部電極58(C−),A相の外部電極58(A+),58(A−)が設けられている。
A相およびB相の外部電極58は駆動用の外部電極であり、C相の外部電極58は振動検出用の外部電極である。各外部電極58にはそれぞれ配線が接続されている。この配線は、リード線、フレキシブル基板等、可撓性を有する配線であれば任意のものでよい。
具体的には、A相の外部電極58(A+),58(A−)にそれぞれ接続される1対の配線、並びに、B相の外部電極58(B+),58(B−)にそれぞれ接続される1対の配線は、図16に示されるように、それぞれA相、B相の駆動用信号線として、制御装置60のドライブIC64に接続される。
また、図16に示されるように、振動子1のC相の外部電極58(C+)および振動子2のC相の外部電極58(C+)にそれぞれ接続される1対の配線L1は、制御装置60の振動検出回路66に接続される。
同様に、振動子1のC相の外部電極58(C−)および振動子2のC相の外部電極58(C−)にそれぞれ接続される1対の配線L2は、制御装置60の振動検出回路66に接続される。
次に、このようにして構成された圧電積層体48の動作について説明する。
A相の外部電極58(A+),58(A−)およびB相の外部電極58(B+),58(B−)に同位相で共振周波数に対応する駆動交番電圧を印加すると、図11に示されるような1次の縦振動が励起されるようになっている。また、このとき、前述した圧電セラミックスシート46に生ずる電荷は、例えば、図13に示すように、圧電セラミックシート46を4つの領域に区分した場合、図14に示すように、第1の領域から第4の領域において正電荷もしくは負電荷が同時に励起された状態となる。
また、A相の外部電極58(A+),58(A−)およびB相の外部電極58(B+),58(B−)に逆位相で共振周波数に対応する駆動交番電圧を印加すると、図12に示されるような2次の屈曲振動が励起されるようになっている。このとき、前述した各領域では図15に示すような電荷状態となる。すなわち、屈曲振動が励起されている場合には、第1の領域から第4の領域のうち、対角線上に位置する領域、つまり、第1の領域と第4の領域、第2の領域と第3の領域では同符号の電荷が同時に励起され、隣り合う領域、つまり、第1の領域と第2の領域、第2の領域と第4の領域、第4の領域と第3の領域、第3の領域と第1の領域では異符号の電荷が同時に励起されていることになる。
なお、対をなす内部電極56(C+),56(C−)には、互いに異符号の電荷がそれぞれ励起されることとなる。
以上のことから、隣接する領域に対して均等に分布して配置されているC相の内部電極56(C+),56(C−)においては、それぞれ屈曲振動による電荷は相殺され、縦振動にのみ比例した電荷が励起された状態となる。従って、C相の外部電極58(C+)の一対の配線L1およびC相の外部電極58(C−)の一対の配線L2により検出される電気信号は、縦振動に比例した電気信号となる。なお、どちらの符号の電荷が励起されるかは振動の位相状態によって決まる。
圧電積層体48は、例えば、以下の通りに製造される。
圧電積層体48を製造するには、まず、圧電セラミックスシート46を製造する。圧電セラミックスシート46は、例えば、PZTの仮焼粉末と所定のバインダとを混合して作成された泥しょうをドクターブレード法によってフィルム(図示せず)上にキャスティングした後に乾燥し、フィルムから剥離することにより製造する。製造された圧電セラミックスシート46にはそれぞれ内部電極56のパターンを有するマスクを用いて内部電極材料を印刷する。
そして、最初に、内部電極56を有しない圧電セラミックスシート46aを配置し、次いで、内部電極56を下向きにして正確に位置決めしつつ、形状の異なる内部電極56を有する圧電セラミックスシート46を交互に積層していく。積層された圧電セラミックスシート46は熱圧着した後に、所定の形状に裁断され、1200℃程度の温度で焼成されることにより圧電積層体48が製造される。
また、その後、圧電セラミックスシート46の周縁に露出している内部電極56を連結するように、それぞれ外部電極58となる銀を焼き付けて、外部電極58を形成する。
最後に、対向する内部電極56間に直流高電圧を加えることにより圧電セラミックスシート46を分極処理し、圧電的に活性化する。
前記摩擦接触子50は、前記圧電積層体48の2次の屈曲振動が極となる2カ所の位置に接着されている。これにより、圧電積層体48に1次の縦振動が発生したときには、摩擦振動子50が圧電積層体48の長さ方向(図6に示されるX方向)に変位させられるようになっている。一方、圧電積層体48に2次の屈曲振動が生じたときには、摩擦接触子50が、圧電積層体48の幅方向(図6に示されるZ方向)に変位させられるようになっている。
したがって、振動子1,2のA相の外部電極58とB相の外部電極58とに、位相がずれた共振周波数に対応する駆動交番電圧を印加することにより、1次の縦振動と2次の屈曲振動とが同時に発生して、図6に矢印Cで示されるように、摩擦接触子50の位置において時計回りまたは反時計回りの略楕円振動が発生するようになっている。
なお、摩擦接触子50は、例えば、PPS樹脂中にチタン酸カリウムの繊維、カーボンの繊維、PTFE(4フッ化エチレン)等が混入された素材からなる。
前記振動子保持部材52は、図6および図7に示されるように、断面略コ字状に形成された保持部52aと、該保持部52aの両側面から垂直に突出するとともに、該保持部52aに対して一体的に取り付けられたピン54とを備えている。
保持部52aは、圧電積層体48の幅方向の一側から圧電積層体48を囲むようにして、例えば、シリコン樹脂またはエポキシ樹脂により圧電積層体48に接着されている。保持部52aが圧電積層体48に接着された状態で、保持部52aの両側面に一体的に設けられた2つのピン54は同軸に配置されるようになっている。
次に、本実施形態に係る超音波モータ10の制御装置60について図16〜図20を参照して説明する。
図16に示すように、制御装置60は、2相の駆動制御信号を発生する駆動パルス発生回路62と、該駆動パルス発生回路62から出力される駆動制御信号に基づいて駆動交番電圧を生成するドライブIC64と、振動子1,2の振動を検出する振動検出回路66と、該振動検出回路66から出力される振動検出信号と前記駆動パルス発生回路62から発生される駆動制御信号との位相差を求める位相比較回路(位相比較手段)68と、前記位相差に応じて振動子1,2に印加する駆動交番電圧を制御する周波数制御回路(周波数制御手段)70と、周波数設定回路72と、方向指示回路74とを備えている。
駆動パルス発生回路62は、図17に示すように、所定の駆動周波数、および、所定の位相差θの2相(A相,B相)の駆動制御信号を生成し、ドライブIC64に出力する。所定の位相差θは、例えば、約90°とされている。
ドライブIC64は、駆動パルス発生回路62から出力される2相の駆動制御信号に基づいて、所定の位相差、および、所定の駆動周波数の2相(A相,B相)の駆動交番電圧を生成し、各駆動交番電圧を上述したA相の外部電極58(A+),58(A−)、並びにB相の外部電極58(B+),58(B−)に印加する。
本実施形態では、ドライブIC64からの2相の駆動交番電圧は、図6に示した振動子1の外部電極58と振動子2の外部電極58のそれぞれに入力される。なお、例えば、振動子1に対してドライブIC64´、振動子2に対してドライブIC64″を用意して、振動子1にはドライブIC64´からの2相の駆動交番電圧が、振動子2にはドライブIC64″からの2相の駆動交番電圧が入力されることとしてもよい。
振動検出回路66は、振動子1の外部電極58(C+)と振動子2の外部電極58(C+)とを接続した配線L1と、振動子2の外部電極58(C−)と振動子2の外部電極58(C−)とを接続した配線L2とに接続されている。振動検出回路66は、振動子1,2に生じている縦振動を検出して、この縦振動に比例した振動検出信号を生成する。
具体的には、振動子1のC相の外部電極58と振動子2のC相の外部電極58とを配線L1および配線L2により並列接続したことにより、振動子1の縦振動の電気信号と振動子2の縦振動の電気信号の平均の電気信号が得られ、この平均の電気信号が振動検出回路66に入力されることになる。振動検出回路66は、この電気信号に対して、レベル調整、ノイズ除去、2値化等の各種信号処理を施してデジタル信号に変換し、処理後のデジタル信号を平均の振動検出信号(以下、「平均振動検出信号」という。)として出力するようになっている。
位相比較回路68には、振動検出回路66から出力された平均振動検出信号とドライブIC64に入力されるA相の駆動制御信号とが入力される。位相比較回路68は、図18に示すように、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φを求め、更に、この位相差φと予め記憶している基準位相差φrefとの差分Δφ(=φ−φref)を求め、この差分Δφに応じた信号を出力する。
ここで、超音波モータ10は、共振周波数において駆動すると効率が良いことが知られている。ところが、共振周波数は環境温度によって変化する。具体的には、図19に示すように、環境温度が増加すると、共振周波数は減少する(図中、符号f10→符号f10´)という特性を有している。したがって、最大のモータ速度が得られるように超音波モータ10を制御しようとする場合には、温度変化に追従して、駆動周波数を変化させる必要がある。
なお、図19において、横軸は駆動周波数f(kHz)を、縦軸はモータ速度を示している。
これに対し、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φと、共振周波数との間には、図20に示すように、温度が増加して共振周波数が変化(図中、符合f10→符合f10´)したとしても位相差φは常に一定の値に維持されるという関係がある。これは、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φが常に一定の値となるように、駆動周波数を制御すれば、常に一定のモータ速度が得られることを示している。
そこで、本実施形態においては、上述のように、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φが、常に一定の値となるように、駆動周波数を制御することとしている。
なお、図20において、横軸は駆動周波数f(kHz)を、縦軸は位相差φを示している。
本実施形態では、基準位相差φrefを3π/4に設定し、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φが常に基準位相差3π/4となるように駆動周波数を制御することとしている。これは、位相差φが3π/4のときに、駆動周波数を取ることとなり、図19に示されるように、超音波モータ10を最も効率の良い領域で駆動することができるからである。
なお、基準位相差φrefの値については、特に限定されることなく、超音波モータ10の駆動効率、換言すると、所望のモータ速度に応じて設計事項により任意に決定できる。
図16に戻り、周波数制御回路70は、位相比較回路68からの差分Δφが入力されるようになっている。周波数制御回路70は、差分Δφに基づいて、差分Δφをゼロにするための周波数の変化量Δfを求め、この周波数の変化量Δfを周波数設定回路72へ出力する。具体的には、差分Δφがプラスの値を示していた場合には、周波数を所定数増加させるための変化量+Δfを出力し、差分Δφがマイナスの値を示していた場合には、周波数を所定量減少させるための変化量−Δfを出力する。このように、本実施形態では、差分Δφに基づく逐次制御を実施する。
周波数設定回路72は、周波数制御回路70からの周波数の変化量Δfが入力されるようになっている。周波数設定回路72は、例えば、発振器、分周回路等を備えて構成されている。周波数設定回路72は、周波数を周波数制御回路70からの変化量Δfに応じて増減させたクロック信号を生成し、これを上述の駆動パルス発生回路62に出力する。
なお、駆動パルス発生回路62には、方向指示回路74から方向指示信号が入力されるようになっている。駆動パルス発生回路62は、方向指示信号に応じてドライブIC64に出力する2相の駆動制御信号の位相差θを変更する。これにより、振動子1,2の摩擦接触子50に発生する略楕円振動の向きを正転、または負転に切り替えることができ、この結果、図2のロータ6の回転方向をCW方向、CCW方向に移動させることができる。
次に、上記制御装置60の作用について説明する。
まず、駆動パルス発生回路62から所定の駆動周波数、および、所定の位相差θ(=90°)の2相の駆動制御信号がドライブIC64に入力され、これに基づいて、所定の位相差、および、所定の駆動周波数の2相の駆動交番電圧が振動子1および振動子2の上述したA相の外部電極58(A+),58(A−)、およびB相の外部電極58(B+),58(B−)にそれぞれ印加される。
これにより、振動子1および振動子2には、縦振動と屈曲振動とが同時に励起され、摩擦接触子50に略楕円振動が発生し、その楕円振動の接線方向に沿ってロータ6(図2参照)との間に生ずる摩擦力により、ロータ6が回転させられることになる。
また、振動子1と振動子2の縦振動に応じた電気信号、すなわち、本実施形態においては振動子1と振動子2の平均の電気信号が配線L1,L2を介して振動検出回路66に入力され、振動検出回路66において、デジタル信号に変換され、平均振動検出信号として位相比較回路68に入力される。
位相比較回路68に入力された平均振動検出信号は、A相の駆動制御信号と比較されることによって位相差φが求められ、更に、この位相差φと基準位相差φrefとの差分Δφが求められることにより、差分Δφに応じた信号が周波数制御回路70へ出力される。
周波数制御回路70において、差分Δφの符号(プラス、または、マイナス)に基づいて周波数の変化量Δfの符号(プラス、または、マイナス)が決められ、この変化量Δfが周波数設定回路72に出力される。
周波数設定回路72は、変化量Δfに応じて周波数を変化させたクロック信号を生成し、これを駆動パルス発生回路62に出力する。
これにより、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φが基準位相差φrefとなるようなフィードバック制御が行われることとなり、温度変化に追従した所望の駆動周波数で図1に示した超音波モータ10を駆動することが可能となる。その結果、温度変化にかかわらずに常に安定したモータ駆動を実現させることができる。
以上説明してきたように、本実施形態に係る振動子1,2を使用した超音波モータ10によれば、振動子1と振動子2の縦振動の平均の電気信号を検出し、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号との位相差φに基づいて2相の駆動制御信号を生成して、この2相の駆動制御信号に基づく2相の駆動交番電圧を振動子1,2に印加することとしたので、振動子1,2を同一の適した駆動周波数で駆動させることができる。これにより、ロータ6のうなり現象を低減して、ロータ6の回転にムラが発生するのを防ぐことができる。
さらに、本実施形態においては、振動子1の外部電極58(C+)と振動子2の外部電極58(C+)とを配線L1により接続し、振動子1の外部電極58(C−)と振動子2の外部電極58(C−)とを配線L2により接続し、これらの配線L1,L2を振動検出回路66の入力側に接続することとしたので、振動検出回路66への入力信号を振動子1と振動子2の振動の平均の電気信号とすることができる。これにより、振動子1および振動子2の平均振動検出信号を容易に得ることができる。
なお、上記構成に変えて、振動子1および振動子2の振動を個別に検出し、これらの各振動検出信号を平均化することにより、平均振動検出信号を得ることとしてもよい。
また、本実施形態においては、A相の駆動制御信号と平均振動検出信号とを比較することとしたが、A相の駆動制御信号に代えて、B相の駆動制御信号を用いることとしてもよい。なお、この場合には、基準位相差φrefをA相の駆動制御信号とB相の駆動制御信号との位相差θに応じて変更する必要がある。また、2相の駆動制御信号に代えて、ドライブIC64から振動子1,2へ印加される2相の駆動交番電圧のいずれか一方を用いることとしてもよい。
〔第2の実施形態〕
次に、本発明の第2の実施形態に係る超音波モータについて、図21〜図23を参照して説明する。
本実施形態に係る超音波モータは、その制御装置が、各振動子に対して、それぞれ振動検出回路および位相比較回路を備え、さらに選択回路を備えている点で、上述した第1の実施形態と異なる。以下、本実施形態の超音波モータについて、上述した第1の実施形態に係る超音波モータ10と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る超音波モータの制御装置80を図21に示す。
制御装置80は、振動子1の振動を検出する振動検出回路82と、振動子2の振動を検出する振動検出回路84と、A相の駆動制御信号と前記振動検出回路82から出力される振動検出信号との位相差を検出する位相比較回路86と、A相の駆動制御信号と前記振動検出回路84から出力される振動検出信号との位相差を検出する位相比較回路88と、前記位相比較回路86,88により検出されたそれぞれの位相差の内、最大となる位相差を選択し、基準位相差φrefとの差分Δφを出力する選択回路(選択手段)90とを備えている。
このような構成において、振動子1の縦振動が振動検出回路82により検出され、その振動検出信号が位相比較回路86に出力される。位相比較回路86は、この振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φ1を求め、この位相差φ1を選択回路90へ出力する。
同様に、振動子2の縦振動が振動検出回路84により検出され、その振動検出信号が位相比較回路88に出力される。位相比較回路88は、この振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φ2を求め、この位相差φ2を選択回路90へ出力する。
選択回路90では、上記位相差φ1と位相差φ2の大きい方の振動検出信号が選択され、選択された振動検出信号と基準位相差φrefとの差分Δφが周波数制御回路70へ出力される。
周波数制御回路70は、選択回路90から与えられた差分Δφに基づいて制御を行う。
以上説明してきたように、本実施形態に係る超音波モータによれば、振動子1,2の振動に比例するそれぞれの振動検出信号と、振動子1,2に印加する共通の2相の駆動制御信号の一方との位相差の大きい方の位相差が所定の値となるように、共通の駆動交番電圧の周波数が制御されるので、振動子1,2の駆動力が損なわれることなく、それぞれを効率よく駆動させることができる。
また、このように、大きい方の位相差に基づいて駆動周波数を調整することにより、以下のような効果を得ることができる。
図22に振動子1,2の駆動周波数と駆動力の関係の一例を示す。この図において、横軸は駆動周波数f(kHz)、縦軸は駆動力を示している。図22に示すように、例えば、振動子1の共振周波数をf1、振動子2の共振周波数をf2(f2>f1)とした場合、各振動子1,2は、それぞれの共振周波数f1,f2で駆動した場合に最大の駆動力を得る。また、駆動周波数が共振周波数f1,f2よりも大きくなると駆動力は緩やかに減少し、駆動周波数が共振周波数f1,f2よりも小さくなると駆動力は急激に減少する。
したがって、駆動周波数が共振周波数からずれる場合、駆動周波数が共振周波数よりも高い方へずれる方が、駆動力の低減を抑制できることとなる。
第1の実施形態では駆動周波数は共振周波数f1,f2のほぼ中間の周波数に設定されるが、この駆動周波数は振動子1にとっては共振周波数f1より高い周波数であるからさほど駆動力は下がらない。しかし、振動子2にとっては共振周波数f2より低い周波数で駆動することになり駆動力の小さいところで使用することになる。結局、振動子1と振動子2を同時に動作させた場合には駆動力が低下してしまうというおそれがある。このような場合には、駆動周波数は出来るだけ共振周波数f2の近傍に設定した方が駆動力をそこなわずに効率よく駆動できる。すなわち、複数個の振動子を用いて駆動する場合にはそのなかで共振周波数が最大の振動子の共振周波数近傍で駆動するのが良いことになる。
ここで、図23に駆動周波数f(kHz)と、A相の駆動制御信号と振動検出信号との位相差φの関係を示す。この図において、横軸は駆動周波数f(kHz)、縦軸は位相差φを示している。図23に示すように、例えば、駆動周波数faにおいては、A相の駆動制御信号と振動子1の振動検出信号との位相差φ1´より、A相の駆動制御信号と振動子2の振動検出信号との位相差φ2´の方が大きい。このように、同じ駆動周波数でみると、共振周波数の高い振動子2の位相差φの方が共振周波数の低い振動子1の位相差φより常に大きい。よって、位相差φの大きい振動子2の振動検出信号を選択回路90で選択し、選択した位相差φと基準位相差φrefとの差分Δφに基づいて制御することにより、振動子1,2を振動子2の共振周波数の駆動周波数で効率よく駆動させることができる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記各実施形態では、縦振動の振動検出信号を用いることとしたが、これに代えて、屈曲振動の振動検出信号を用いることとしてもよい。この場合、基準位相差φrefを縦振動の振動検出信号と屈曲振動の振動検出信号との位相差(本実施形態では90°)に応じて変更する必要がある。
本発明に係る超音波モータを示す概略図である。 図1のA−A矢視断面図である。 図1の超音波モータを構成する板バネ保持部材の裏面を示す概略図である。 図1の超音波モータを構成する板バネ保持部材の側面を示す概略図である。 本発明に係る超音波モータから板バネ保持部材を取り除いた概略図である。 図1の超音波モータの超音波振動子を示す概略図である。 図6の超音波振動子を別の角度から見た概略図である。 図6の超音波振動子を構成する圧電積層体を示す概略図である。 図8の圧電積層体を構成する圧電セラミックスシートを示す斜視図である。 図8の圧電積層体を構成する圧電セラミックスシートを示す斜視図である。 図8の圧電積層体が1次の縦振動で振動する様子をコンピュータ解析により示す図である。 図8の圧電積層体が2次の屈曲振動で振動する様子をコンピュータ解析により示す図である。 圧電セラミックスシートに設けられた内部電極に発生する電荷状態を説明するための図であって、圧電セラミックスシートを4つの領域に区分した図である。 縦振動が励起されているときに、図13に示した各領域に励起される電荷状態を示した図である。 屈曲振動が励起されているときに、図13に示した各領域に励起される電荷状態を示した図である。 本発明の第1の実施形態に係る制御装置の概略構成を示したブロック図である。 駆動パルス発生回路により生成される2相の駆動制御信号を示した図である。 A相の駆動制御信号と振動検出信号を示した図である。 駆動周波数−モータ速度の関係を示した図である。 駆動周波数−位相差の特性を示した図である。 本発明の第2の実施形態に係る制御装置の概略構成を示したブロック図である。 駆動周波数と駆動力の関係を示した図である 駆動周波数と位相差の特性を示した図である
符号の説明
1,2 振動子(超音波振動子)
6 ロータ(被駆動体)
10 超音波モータ
46 圧電セラミックスシート(第1の圧電素子,第2の圧電素子)
50 摩擦接触子(出力端)
60 制御装置(制御部)
66 振動検出回路
66 位相比較回路(位相比較手段)
70 周波数制御回路(周波数制御手段)

Claims (6)

  1. 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子と、複数の該超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加する制御部とを有し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
    前記制御部が、
    各前記超音波振動子の振動を検出し、平均の振動検出信号を出力する振動検出手段と、
    各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と前記平均の振動検出信号との位相差を検出する位相比較手段と、
    該位相比較手段により検出される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御手段と
    を備える超音波モータ。
  2. 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子と、複数の該超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加する制御部とを有し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
    前記制御部が、
    各前記超音波振動子の振動を検出し、各振動検出信号を出力する振動検出手段と、
    各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と各前記振動検出信号との位相差をそれぞれ検出する位相比較手段と、
    該位相比較手段により検出された複数の前記位相差の内、最大となる位相差を選択する選択手段と、
    該選択手段により選択される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御手段と
    を備える超音波モータ。
  3. 前記振動検出信号が、各前記超音波振動子の縦振動に比例する縦振動検出信号または屈曲振動に比例する屈曲振動検出信号である請求項1または請求項2に記載の超音波モータ。
  4. 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの駆動方法であって、
    各前記超音波振動子の振動を検出し、平均の振動検出信号を出力する振動検出過程と、
    各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と前記平均の振動検出信号との位相差を検出する位相比較過程と、
    該位相比較過程により検出される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御過程と
    を備える超音波モータの駆動方法。
  5. 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された複数の超音波振動子に2相の共通する駆動交番電圧を印加し、各前記超音波振動子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、各前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、各前記超音波振動子と各前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの駆動方法であって、
    各前記超音波振動子の振動を検出し、各振動検出信号を出力する振動検出過程と、
    各前記超音波振動子に印加する2相の前記駆動交番電圧の何れか一方と各前記振動検出信号との位相差をそれぞれ検出する位相比較過程と、
    該位相比較過程により検出された複数の前記位相差の内、最大となる位相差を選択する選択過程と、
    該選択過程により選択される位相差が所定の値となるように前記駆動交番電圧の周波数を制御する周波数制御過程と
    を備える超音波モータの駆動方法。
  6. 前記振動検出信号が、各前記超音波振動子の縦振動に比例する縦振動検出信号または屈曲振動に比例する屈曲振動検出信号である請求項4または請求項5に記載の超音波モータの駆動方法。
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EP07122988A EP1936707B1 (en) 2006-12-21 2007-12-12 Ultrasonic motor and drive method therefore
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017184316A (ja) * 2016-03-28 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよびポンプ
JP2018191437A (ja) * 2017-05-08 2018-11-29 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、電子部品搬送装置、ロボット、プロジェクターおよびプリンター
CN111480005A (zh) * 2017-12-26 2020-07-31 株式会社村田制作所 泵装置
JP2021100308A (ja) * 2019-12-20 2021-07-01 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット
JP7450856B2 (ja) 2020-05-19 2024-03-18 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、及び、ロボット

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5506552B2 (ja) * 2010-06-07 2014-05-28 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの制御装置及び振動型アクチュエータの制御方法
JP6112835B2 (ja) 2012-11-26 2017-04-12 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法
CN106100228B (zh) * 2016-05-31 2018-09-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种压电陶瓷马达推动的旋转驱动装置及其应用
JP6891619B2 (ja) * 2017-04-27 2021-06-18 セイコーエプソン株式会社 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター
JP6882685B2 (ja) * 2017-10-20 2021-06-02 シンフォニアテクノロジー株式会社 振動系の制御装置およびワーク搬送装置
DE112018006322B4 (de) * 2017-12-11 2024-07-25 Branson Ultrasonics Corporation Intelligenter Ultraschallstapel und Verfahren zum Steuern eines Ultraschallsystems, das einen intelligenten Ultraschallstapel aufweist
US10707784B2 (en) * 2017-12-28 2020-07-07 New Shicoh Motor Co., Ltd. Piezoelectric driving device, optical member driving device, camera device, and electronic apparatus
JP6820484B2 (ja) * 2018-04-19 2021-01-27 シンフォニアテクノロジー株式会社 振動系の制御装置およびワーク搬送装置
JP7205162B2 (ja) * 2018-10-30 2023-01-17 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61251490A (ja) * 1985-04-26 1986-11-08 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モータの駆動回路
JPH02193835A (ja) * 1989-01-19 1990-07-31 Canon Inc シート送り装置
JPH06105571A (ja) * 1992-09-24 1994-04-15 Olympus Optical Co Ltd 超音波リニアモータ及びその製造方法
JPH1118456A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Nikon Corp 振動アクチュエータの駆動装置
JP2003324975A (ja) * 2002-04-30 2003-11-14 Olympus Optical Co Ltd 超音波モータの駆動回路
JP2005110488A (ja) * 2003-09-09 2005-04-21 Olympus Corp 超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法
JP2006311647A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Olympus Corp 超音波モータ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2996483B2 (ja) * 1990-04-05 1999-12-27 キヤノン株式会社 振動型モータ
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
DE69517232T2 (de) * 1994-03-23 2000-10-26 Nikon Corp., Tokio/Tokyo Ultraschallmotor
JP3402816B2 (ja) * 1994-12-22 2003-05-06 キヤノン株式会社 超音波モータの駆動回路
US6078438A (en) 1997-04-14 2000-06-20 Nikon Corporation Vibration actuator and lens barrel
JPH11235062A (ja) 1998-02-12 1999-08-27 Nikon Corp 振動アクチュエータ駆動装置及びレンズ鏡筒
JP3839898B2 (ja) * 1997-04-21 2006-11-01 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの駆動装置および振動型アクチュエータを駆動源とする装置
JP2005185085A (ja) * 2003-11-27 2005-07-07 Olympus Corp 超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法
JP4576214B2 (ja) * 2004-11-26 2010-11-04 オリンパスイメージング株式会社 超音波モータおよびレンズ鏡筒
JP4679938B2 (ja) * 2005-03-11 2011-05-11 オリンパス株式会社 超音波モータ
JP2006343978A (ja) 2005-06-08 2006-12-21 Niws Co Hq Ltd 商品代金精算システム

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61251490A (ja) * 1985-04-26 1986-11-08 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モータの駆動回路
JPH02193835A (ja) * 1989-01-19 1990-07-31 Canon Inc シート送り装置
JPH06105571A (ja) * 1992-09-24 1994-04-15 Olympus Optical Co Ltd 超音波リニアモータ及びその製造方法
JPH1118456A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Nikon Corp 振動アクチュエータの駆動装置
JP2003324975A (ja) * 2002-04-30 2003-11-14 Olympus Optical Co Ltd 超音波モータの駆動回路
JP2005110488A (ja) * 2003-09-09 2005-04-21 Olympus Corp 超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法
JP2006311647A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Olympus Corp 超音波モータ

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017184316A (ja) * 2016-03-28 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよびポンプ
JP2018191437A (ja) * 2017-05-08 2018-11-29 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、電子部品搬送装置、ロボット、プロジェクターおよびプリンター
CN111480005A (zh) * 2017-12-26 2020-07-31 株式会社村田制作所 泵装置
CN111480005B (zh) * 2017-12-26 2023-01-03 株式会社村田制作所 泵装置
JP7219722B2 (ja) 2017-12-26 2023-02-08 株式会社村田製作所 ポンプ装置
US11959472B2 (en) 2017-12-26 2024-04-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric pump device
JP2021100308A (ja) * 2019-12-20 2021-07-01 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット
US11751479B2 (en) 2019-12-20 2023-09-05 Seiko Epson Corporation Method for controlling piezoelectric driving apparatus, piezoelectric driving apparatus, and robot
JP7388174B2 (ja) 2019-12-20 2023-11-29 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット
JP7450856B2 (ja) 2020-05-19 2024-03-18 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、及び、ロボット

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