JP6112835B2 - 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 - Google Patents
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Description
詳しくは、超音波振動子に振動波を生じさせ、この超音波振動子に接触する被駆動体を摩擦力により相対移動させる振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法に関する。
振動型アクチュエータの基本的な構成としては、例えば図10に示すような構成が知られている。
図11は、従来の振動型アクチュエータの基本的な構成を示す一例を示す外観斜視図である。
図11に示すように、この振動型アクチュエータの振動子は、矩形の板状に形成された金属材料から成る弾性体4を備え、弾性体4の裏面には圧電素子(電気−機械エネルギー変換素子)5が接合されている。弾性体4の上面の所定位置には、複数の突起部6が設けられている。
この構成によれば、圧電素子5に交流電圧を印加することにより、弾性体4の長辺方向における2次の屈曲振動と、弾性体4の短辺方向における1次の屈曲振動とが同時に発生し、突起部6に楕円運動が励起される。
そして、突起部6に被駆動体7を加圧接触させることにより、被駆動体7を突起部6の楕円運動によって直線的に駆動することができるようになっている。
つまり、突起部6がこの振動子の駆動部として作用する。
ちなみに、振動子は弾性体と圧電素子を張り付けた振動発生部、振動型アクチュエータは加圧接触している被駆動体と振動子が相対移動するための駆動力を発生する部分、振動型モータ装置は上記駆動力部、を少なくとも1つ以上有している。そして、それらの駆動力を被駆動部に与えることにより回転運動もしくは直線運動をさせることが可能となるものである。
図12において8は1つの振動子部を模式的に記述したもので、VA相とVA’相間に電圧を印加し、VB相とVB’相間にVA相とは位相が異なる電圧を印加することで駆動に必要な2モードを発生させるものである。
図12の回路動作の詳細を説明する。
スィッチング回路には不図示の発振器部より振動型アクチュエータの共振周波数のパルス信号である第一のパルス信号Aと第一のパルス信号と同じ周波数で位相が異なる第二の信号Bの駆動信号が入力される。それぞれのパルス幅およびパルス信号Aとパルス信号Bの位相差は可変である。
ここでA’はパルス信号Aとは180度位相が異なるパルス信号であり、同様にB’はパルス信号Bと180度位相が異なるパルス信号である。
図12点線部は上記A,B,A’,B’パルス信号をモータ電源電圧でスイッチングするスイッチング回路(手段)である。
モータ電源電圧をスイッチング素子51,52でスイッチングしてAのタイミングで電源電圧とGND電圧をオンオフさせたVAを作成し、インピーダンス素子41を介して振動
型アクチュエータの圧電素子A部の一端(A+)に、印加する。
そして、スイッチング素子53,54により、A’のタイミングで電源電圧とGND電圧をオンオフさせたVA’を作成し、振動型アクチュエータの圧電素子A部のもう一端(A−)に入力させて圧電素子A部に振動を発生させる。
同様に圧電素子B部もモータ電源電圧をスイッチング素子55,56でスイッチングしてBのタイミングで電源電圧とGND電圧をオンオフさせたVBを作成し、
インピーダンス素子42を介して振動型アクチュエータの圧電素子B部の一端(B+)に印加する。そして、スィッチング素子57,58により、B’のタイミングで電源電圧とGND電圧をオンオフさせたVB’を作成し、
振動型アクチュエータの圧電素子B部のもう一端(B−)に入力させて圧電素子B部に振動を発生させる。
上記インダクタンスは振動型アクチュエータとインピーダンスマッチングさせることで、高電圧に昇圧し、入力電力を増加させることが可能となる。
モータ電源は、例えば安定化電源、電池などである。
振動型アクチュエータの制御では加圧され摩擦駆動される被駆動体(ここでは移動体)の速度を観測して検出速度が目標速度より低いと周波数を下げて速度を増加させ、検出速度が目標速度より大きいと周波数を低い周波数へ下げるという速度制御を行っている。振動型モータの特性として駆動周波数を下げていくと入力電力が増え、出力も増加する。例えば負荷が一定であれば周波数を下げることで速度が増加していく。よって、ある負荷のときに目標速度になりかつ入力電力もあらかじめ決められた電力を超えないようにモータの出力を決定することで必要な出力を出している。ここで、負荷が想定していた大きさより大きくなるとモータ速度が下がる。
このようなときに目標速度が出るように周波数を下げていくと入力電力が前記設定された許容電力よりも大きくなってしまう現象が発生する。
また、この振動型アクチュエータの特性として、駆動周波数を共振周波数より高い周波数から除々に下げていくと振動が大きくなる共振周波数で最大速度となるが共振周波数を超えたところで急激に速度が落ちてしまうという現象がある。
上記負荷が想定していた大きさより大きくなってしまったときなどに、この周波数領域で上記速度制御アルゴリズムを用いて制御してしまうと共振周波数を超えて周波数を下げ続けてしまい、電力が必要以上に入ってしまう場合がある。
この現象を回避するため、圧電素子の一部に振動検出部を設け駆動電圧と検出電圧の位相差の特性から上記急激に速度が落ちる周波数より手前で駆動周波数を下げることを停止するという制御を行っている。
移動体7は振動子部S1とS2により接触駆動され、直線方向に駆動される。
図14の形態では上記振動子部を直線上に2ヶ配置している。このように配置することにより、推力が振動子1ヶ当たりに比べ2倍にすることが可能となり、振動子1つで駆動するときよりも大きな出力を発生させることが可能である。
同様に、振動子の数を3ヶにすれば、推力3倍、4ヶにすれば推力4倍というように、このような構成を取ることで、必要な推力に応じて振動子の数を変えることで対応できる。
また、上記位相差検出および信号処理回路を1つにしようと考えた場合、急峻な速度低下が発生する駆動周波数が最も高い1つの振動子を選択するなどの工夫が必要となる。
また、駆動周波数が最も高い振動子を絞りこめたとしても、駆動電圧と検出電圧との位相差特性にもばらつきがあるため、急激な速度低下を避けるためにはかなりの特性マージンが必要となる。
また、本発明の振動型アクチュエータの駆動制御方法は、電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する複数の振動子を有する振動体部と、前記振動体部に押圧されて摩擦駆動される被駆動体と、を有する振動型アクチュエータの、駆動制御方法であって、前記複数の振動子で消費される消費電力の和を検出し、前記検出された前記消費電力の和に基づいて、駆動周波数を設定することを特徴とする。
実施例1として、複数の振動子を同一円周上に配置し、円環形状の被駆動体を回転移動させるタイプの振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法の構成例を、図を用いて説明する。
本実施例の振動型アクチュエータの駆動装置は、
電気−機械エネルギー変換素子に固定され、該電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する振動子を複数備えた振動体部を有している。
また、前記振動体部における振動子に押圧されて摩擦駆動され、前記振動体部に対して相対移動する被駆動体を有している。
具体的には、図1に示すように、上記振動子部を1a、1b、1cとし、120度間隔で3ヶ配置している。ここでは、被駆動体が回転移動する例を示すが、被駆動体が固定され、振動体部が回転移動してもよい。
リング形状の被駆動体2は不図示のガイドで回転以外の動作はできないようになっている。
このように、3ヶの振動子を用い1つの被駆動体を合成した力で駆動することで、振動子1つで駆動するときの3倍の推力を発生させることが可能である。
図2において、14は複数振動子から成る振動型アクチュエータ装置である。
本振動型アクチュエータ装置では、従来振動子1つに対しスィッチング回路も1つであったのに対し、スィッチング回路は1つで、各振動子へインピーダンス素子を介し給電する形をとっている。
10はマイクロコンピュータなどのコント−ロールを司るマイコン部分である。以下、10をマイコン部と略す。
11はマイコン部の指令値に応じて振動子の共振周波数のパルス信号である第一のパルス信号Aと第一のパルス信号と同じ周波数で位相が異なる第二の信号Bの駆動信号を発生させる発振器部である。それぞれのパルス幅およびパルス信号Aとパルス信号Bの位相差は可変である。
ここでA’はパルス信号Aと、B’はパルス信号Bと、それぞれ180度位相が異なるパルス信号である。
マイコン10の指令により、駆動周波数、ABの位相差、ABのパルス幅などが設定され上記A,B,A’,B’パルス信号が出力される。
12は、図12で示したA,B,A’,B’パルス信号を電源電圧でスイッチングするスイッチング回路(駆動回路)である。
A,B,A’,B’パルス信号をモータに印加する電圧パルスVA、VB,VA’,VB’として、VA,VBはインピーダンス素子を介して振動子の圧電素子の端子A+および圧電素子の端子B+に印加される。
また、VA’,VB’はそのまま圧電素子の端子A−および圧電素子の端子B−に印加される。
16は直流電源であり、例えば安定化電源、電池などである。
複数の振動子部を駆動させる場合、スイッチング回路を振動子部の数分必要とするが、図1の本実施例ではスィッチング回路を一つにし、スィッチング回路出力をそれぞれの振動子用に分岐している。
ここで、VAとVBはインピーダンス素子を介して振動子に接続するという形をとっている。
すなわち、本実施例では3つの振動子が配置されているためVA信号が3つに分かれ(1−VA,2−VA,3−VA)インピーダンス素子21,23,25を介して1aの圧電素子の端子1−A+、1bの圧電素子2−の端子A+、1cの圧電素子3−の端子A+に印加される。
VA’信号も同様に3つに分かれ(1−VA’,2−VA’,3−VA’)1aの圧電素子の端子1−A−、1bの圧電素子の端子2−A−、1cの圧電素子の端子3−A−に印加される。
VB信号も同様に3つに分かれ(1−VB,2−VB,3−VB)インピーダンス素子22,24,26を介して1aの圧電素子の端子B1−+、1bの圧電素子の端子2−B+、1cの圧電素子3−の端子B+に印加される。VB’信号も同様に3つに分かれ(1−VB’,2−VB’,3−VB’)1aの圧電素子の端子1−B−、1bの圧電素子の端子2−B−、1cの圧電素子3−の端子B−に印加される。
路の消費電力の和を検出する手段でもよい。
31は電流を電圧に変換するためのシャント抵抗、32は該シャント抵抗間の電圧を検出する差動増幅器であり、この出力Ioutが電流値に比例した電圧値となる。
この出力電圧Ioutは、AD変換器等を介してマイコン部10に取り込まれる。33はインピーダンス素子、34,35はコンデンサであり33〜35でノイズ除去フィルタを構成している。
本フィルタを挿入することで電流波形がきれいになり差動アンプ出力もノイズの少ない信号が得られる。ただし、本フィルタは電流検出回路には必須ではなくノイズが少ない状態では省くことも可能である。
上記回路構成にて3つの振動子部を駆動しかつ電流検出回路17で、それぞれの振動子部に流れる電流の合計を検出することが可能である。
図5に本実施例のアルゴリズムを示し、図4を参照しながら動作を説明する。
モータ起動時はマイコン部10は十分速度の低い周波数fsを設定し、振動子部に交流電圧の印加を開始させる(F−11、F−12)。
次に、速度検出手段により現在の位置を検出する(F−13)。
ここで、位置偏差からPID演算した結果をPID制御周波数(f_dr1)とする(F−14)。
上記PID制御周波数を発振器部11に出力する(F−15)。
次に、該電力検出手段17より3振動子合計の電力を検出する(F−16)。
図4では3つの振動子部それぞれの電力としてM1電力、M2電力、M3電力として記載している。
振動子部の共振周波数の違いなどにより電力特性が周波数によりずれていることがわかる。実際に製造誤差、加圧などの取り付け誤差によりこのような周波数ずれが発生する。
図4の実線はそのときの電力の和の、電力特性を示している。
P_Limの値は、M1〜M3の電力特性が周波数を下げることで低下するようになる手前の値となっている。M1〜M3電力は、本実施例の効果を分かりやすくするために記載しているが、本実施例で実際に検出しているのは電力の和のみである。
ここで、検出電力値があらかじめ設定されたP_Limよりも大きいか小さいかをマイコン部10で判断する(F−17)。
なお、駆動周波数を、検出電力Pi≧P_Limとなった瞬間の駆動周波数に固定すると時間経過すると、オーバーシュートなどにより更にPi≧P_Limになるケースがある。プラスαの値は、それを避けるための周波数シフト量であり、上記オーバーシュートがあってもPi≧P_Limにならないようにするシフト量が設定される。
なお、駆動周波数設定手段10は、検出電力PiがP_Limとなるまで、駆動周波数を、前回の検出時の駆動周波数より低い値に設定するように構成してもよい。
このようにF−16〜F−18の動作を入れることにより電力の和がある値(所定量)以上になることを防ぐことが可能である。
また、P_Limの値は前記急激に速度が低下する周波数での電力よりも小さい値に設定するため、この動作を入れることで駆動速度が急激に低下することを抑制し、所定の周波数範囲内の周波数での駆動を可能とすることができる。
電力がP_Limよりも小さいときは前記設定された制御周波数f_dr1をf_drに設定して駆動し、位置検出後、目標位置に到達しているか否かを検出する(F−19、F−20)。
目標位置に到達していなければF−14に戻りモータ制御を繰り返す。
そして、目標位置に到達したときにモータを停止させる(F−21)。
ここで、あらかじめ設定された電力の制限値P_Limは3つの振動子部の共振周波数のばらつきも考慮してどの振動子部も電力が入りすぎることが無いような値に設定する必要がある。
本実施例では 振動子が3ヶのときの説明をしているが、本提案は振動子が複数であれば同様にして実施することが可能である。
実施例2として、実施例1とは異なる形態の振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法の構成例を、図6を用いて説明する。
図6は、本実施例における振動型アクチュエータの駆動回路の構成例を説明するブロック図である。
実施例1ではスイッチング回路とインピーダンス素子の間で3つの振動子に配線が分岐されたのに対し、実施例2ではインピーダンス素子21,22と振動子部との間で配線が分岐されている。
実施例1のようにスイッチング回路とインピーダンス素子の間で分岐させた場合、それぞれの振動子の共振周波数がずれていて、1つの振動子部からの速度が低下しても残りの振動子部は正常に駆動される。
本実施例のようにインピーダンス素子21,22と振動子との間で配線が分岐される場合1つの振動子部の駆動周波数が共振周波数より低くなってしまった場合、インピーダンス特性が変わり他の振動子部への印加電圧も変化してしまうという問題がある。そのため、インピーダンス素子をそれぞれの振動子部(合計6ヶ)に接続していた。
本実施例では電力特性の変化点を抑えることで、インピーダンス素子を共有しても振動子部の特性が落ちないように周波数を制御するアルゴリズムとし、2ヶのインピーダンス素子にする構成を可能としている。
本実施例では、駆動周波数の下限値を決めるための指標として駆動周波数における電力の和の変化率(傾き)を算出している。
図8は本実施例のアルゴリズムを示す図である。
図8に本実施例のフローを示し 図7を参照しながら動作を説明する。
図7では、実施例1と同様に 実際には検出されていない振動子部個々の電力もグラフ上にプロットしている。
ここで、振動子部個々の電力は実施例1のときに比べ共振周波数がばらつき、個々の電力最大になる周波数がずれている場合をを示している。
起動時、高い周波数fsに駆動周波数を設定し動作させる(F−11、F−20)。
実施例1と同様、駆動周波数設定手段は、速度制御動作により制御周波数(駆動周波数)
を変更しながら電力の和の傾き(制御周波数に対する電力の和の変化率)も検出し目標速度に達していなければ周波数を高い側から下げていく動作を続ける(f−13〜f−20)。
上記動作中に検出電力の傾き値(制御周波数に対する検出電力の変化率)があらかじめ設定されたK_Limよりも大きいか小さいか判断する(F−22、F−23)。
周波数に対する検出電力の変化率≧K_Limとなった場合はその周波数よりも低い周波数にすると、より電力が大きくなり、且つ、ある振動型モータの急激に速度低下する周波数になってしまう。そのため、そのようにならないように駆動周波数を固定もしくはそれより高い周波数(その周波数にプラスαした周波数)に設定する(F−24)。
なお、駆動周波数を、周波数に対する検出電力の変化率≧K_Limとなった瞬間の駆動周波数に固定すると、時間経過するとオーバーシュートなどにより、更に周波数に対する検出電力の変化率≧K_Limになるケースがある。プラスαの値は、それをを避けるための周波数シフト量である。上記オーバーシュートがあっても周波数に対する検出電力の変化率≧K_Limにならないようにするシフト量が設定される。
上記周波数に対する検出電力の変化率がK_Limを超える動作がない範囲であれば駆動周波数f_drは速度制御による制御周波数f_dr1になる状態を繰り返す速度制御ループとして動作するのでモータ停止の指令が来るまでは通常の速度制御での動作を繰り返す。
そして、目標位置に到達したときにモータ停止させる(F−21)。
実施例3として、周波数に対する検出された消費電力の和の変化率の符号を検出し、該符号が正から負に変わった周波数よりも低い周波数にならないように駆動周波数を設定するようにした構成例、
及び、周波数に対する検出された消費電力の和の変化率が増加する傾向の周波数をスタート周波数とし、前記駆動速度および前記消費電力が増加する周波数へ周波数を掃引させるようにした構成例について説明する。
図9は、本実施例の制御アルゴリズムを説明するための周波数vs速度、電力および電力の和とその変化率、変化率の符号を示す図である。
本実施例は、周波数の下限値を決めるための指標として電力の和の変化率の符号を算出して用いるようにされている。
実施例2のように電力の和の変化率の値で動作周波数を決定する場合、あらかじめリミットとする値K_Limを決定しておく必要があるのに対し本実施例では電力の和の変化率の符号を検出するようにするため、上記K_Limを設定するための測定が不要となり、アルゴリズムを簡単にすることが可能である。
Kの値は実施例2と同様に電力の和の変化率であり、Fの値は電力の和の符号を示している。Fの値がHiであるときは電力の和の変化率がプラスであり、Fの値がLoである時は電力の和の変化率がマイナスであることを示している。
図10に本実施例のフローを示し図9を参照しながら動作を説明する。
図9でも実施例1と同様に実際には検出されていない振動子部個々の電力もグラフ上にプロットしている。
図10のアルゴリズムにおいてF−25〜F−27以外は、実施例2と同様な動作である。
起動時、高い周波数fsに駆動周波数を設定し動作させる(F−11、F−12)。
実施例1と同様速度制御動作により制御周波数(駆動周波数)を変更しながら、周波数に対する電力の和の変化率(傾き)の符号を検出し符号がプラスであれば、駆動周波数設定手段は、周波数を高い側から下げていく動作を続ける。上記動作中に周波数に対する電力の和の変化率(傾き)の符号を検出する(F−25)。
周波数に対する電力の和の変化率(傾き)の符号がマイナスになったとき、どれかの振動型モータの電力が落ち始めた(共振周波数を超えてしまった)ことがわかり、それ以上周波数を下げるのを停止もしくはプラスαの周波数にもどす動作を行う(F−27)。
ちなみに、図9からもわかるように実施例3において周波数に対する電力の和の変化率(傾き)の符号がマイナスになった周波数よりも下げてしまうとどれかのモータの速度が急峻に低下する周波数領域になり振動型モータが停止してしまう。
この周波数領域では周波数を下げていっても振動型モータの速度が上がらないため、速度制御ループが正常にならず、速度制御ができなくなってしまう。
上記周波数に対する検出電力の変化率がK_Limを超える動作がない範囲であれば駆動周波数f_drは速度制御による制御周波数f_dr1になりそれを繰り返す速度制御ループとして動作するのでモータ停止の指令が来るまでは通常の速度制御での動作となる。そして、目標位置に到達したときにモータ停止させる(F−21)。
、振動子にばらつきがあっても確実に性能が満足できる周波数領域で駆動することが可能である。
以上のように値振動子部を複数有し、1つの被駆動体を駆動させる振動型モータは小型で配置が簡単であるという長所より、カメラ、ビデオなど様々な装置に展開されつつある。そのような振動型モータにおいて複数の振動子の駆動制御を検出電力の和を用いることにより、簡単な回路構成で安定した駆動ができる振動型モータの駆動回路を提供することが可能である。
2:円環型移動体
10:マイコン部
11:発振器
12:スィッチング回路
14:振動型アクチュエータ
15:位置検出手段
16:直流電源
17:電力検出部
21〜26:インピーダンス素子
Claims (10)
- 電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する複数の振動子を有する振動体部と、前記振動体部に押圧されて摩擦駆動される被駆動体と、を有する振動型アクチュエータの、駆動装置であって、
前記複数の振動子で消費される消費電力の和を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記消費電力の和に基づいて、駆動周波数を設定する駆動周波数設定手段と、
を有することを特徴とする振動型アクチュエータの駆動装置。 - 前記駆動周波数設定手段は、前記検出手段によって検出された消費電力の和が予め設定された値を超えている場合、
前記駆動周波数を固定、または前記消費電力の和が前記予め設定された値を超えた時の駆動電圧の周波数より高い周波数に、前記駆動周波数を設定することを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 前記駆動周波数設定手段は、前記駆動周波数に対する前記検出手段によって検出された消費電力の和の変化率が、予め設定された値を超えている場合、
前記駆動周波数を固定、または前記変化率が前記予め設定された値を超えた時の駆動電圧の周波数より高い周波数に、前記駆動周波数を設定することを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 前記駆動周波数設定手段は、前記駆動周波数に対する前記検出手段によって検出された消費電力の和の変化率の符号が正から負に変わった場合、
前記駆動周波数を固定、または前記変化率の符号が正から負に変わった時の周波数より高い周波数に、前記駆動周波数を設定することを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 前記駆動周波数設定手段は、前記駆動周波数に対する前記検出手段によって検出された消費電力の和の変化率が増加する傾向の周波数をスタート周波数とし、
駆動速度および前記消費電力が増加する周波数へ周波数を掃引させることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 前記駆動周波数設定手段は、前記駆動周波数を所定の周波数範囲に設定することにより、前記駆動速度が急激に低下することもしくは電力が所定量を超えてしまうことを抑制することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。
- 前記複数の振動子で消費される消費電力の和を検出する検出手段は、前記振動体部を駆動する駆動回路の消費電力を検出する手段であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。
- 前記駆動周波数設定手段は、前記検出手段によって検出された消費電力の和が、前記予め設定された値を超えるまでは、前記駆動周波数を前回の検出時の駆動周波数より低い値に設定することを特徴とする請求項2に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。
- 前記駆動周波数設定手段は、前記駆動周波数に対する前記検出手段によって検出された消費電力の和の変化率が、前記予め設定された値を超えるまでは、前記駆動周波数を前回の検出時の駆動周波数より低い値に設定することを特徴とする請求項3に記載の振動型アクチュエータの駆動装置。
- 電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する複数の振動子を有する振動体部と、前記振動体部に押圧されて摩擦駆動される被駆動体と、を有する振動型アクチュエータの、駆動制御方法であって、
前記複数の振動子で消費される消費電力の和を検出し、
前記検出された前記消費電力の和に基づいて、駆動周波数を設定することを特徴とする振動型アクチュエータの駆動制御方法。
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