JP2021100308A - 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット - Google Patents

圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット Download PDF

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Abstract

【課題】圧電振動体に印加する駆動信号の周波数を適切に制御可能な技術を提供する。【解決手段】圧電振動体は、圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、位相差が駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有している。この圧電振動体を備える圧電駆動装置の制御方法は、第１周波数領域において、ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、駆動信号の周波数を制御し、第２周波数領域において、位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、ピックアップ電圧が一定になるように駆動信号の周波数を制御する。【選択図】図６

Description

本開示は、圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボットに関する。
圧電駆動装置の制御方法に関し、例えば、特許文献１には、振動体と円環状のローターとで構成された超音波モーターの制御方法が開示されている。特許文献１には、振動体の駆動から検出された振動検出信号と、振動体を駆動させる駆動制御信号との位相差を用いた制御方法が開示されている。特許文献１における制御方法では、振動体の駆動時に、位相差が、所定の値となるように、振動体の駆動周波数を制御している。
特開２００８−１６０９１３号公報
しかし、振動体を駆動する周波数領域によっては、安定した振動検出信号が得られず、位相差を検出することが困難となり、駆動周波数を適切に制御することができない場合が生じ得る。
本開示の第１の形態によれば、圧電振動体を備える圧電駆動装置の制御方法が提供される。前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、前記制御方法は、前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する。
本開示の第２の形態によれば、被駆動部を駆動する圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、前記被駆動部を駆動する圧電振動体と、制御部と、を備え、前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、前記制御部は、前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する。
本開示の第３の形態によれば、上記第２の形態における圧電駆動装置を備えるロボットが提供される。
第１実施形態の圧電駆動装置を備えた駆動機構を示す斜視図。 圧電振動モジュールの一例を示す平面図。 圧電振動モジュールの振動の様子を示す概念図。 圧電素子に供給される駆動信号の例を示す図。 圧電駆動装置の動作特性を示すグラフ。 周波数調整処理のフローチャート。 第２実施形態に係るロボットを示す斜視図。
Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態の圧電駆動装置４００を備えた駆動機構を示す斜視図である。圧電駆動装置４００は、被駆動部２２０を駆動する圧電振動体１００と、圧電振動体１００を電気的に駆動する制御部３００と、を備えている。図１には、被駆動部２２０として、回転軸Ｏのまわりに回転可能なローターを示している。被駆動部２２０としては、この他にも、直線的に移動可能な部材などの他の種類の部材を使用可能である。なお、圧電振動体１００は、１つの被駆動部２２０に対して複数設けられてもよい。
圧電振動体１００は、振動可能な振動部１１０と、振動部１１０を支持する支持部１２０と、振動部１１０と支持部１２０とを接続する一対の接続部１３０とを有している。振動部１１０は、略長方形の板状の形状を有する。振動部１１０の先端には、被駆動部２２０に接触可能な接触子１６０が設けられている。接触子１６０は、例えば、耐摩耗性の高いセラミックスによって形成されて、振動部１１０に接着される。
圧電振動体１００の支持部１２０は、振動部１１０の接触子１６０とは反対側の部分を囲むＵ字形の形状を有している。支持部１２０は、支持部材としてのステージ２００に固定されている。ステージ２００は、バネ部材２１０によって被駆動部２２０側に向けて押されている。なお、バネ部材２１０を固定している構造材は図示が省略されている。
接触子１６０の先端は、被駆動部２２０の表面２２２に接触する。圧電振動体１００は、バネ部材２１０によって被駆動部２２０側に向けて押しつけられており、これにより、接触子１６０が十分な摩擦力で被駆動部２２０の表面２２２と接触する。そのため、スリップが抑制され、接触子１６０を介して振動部１１０の振動を効率的に被駆動部２２０へ伝達することができる。
以下では、説明の便宜上、振動部１１０の長手方向であり、振動部１１０と被駆動部２２０とが並ぶ方向のことを、「Ｘ軸方向」と呼ぶ。＋Ｘ軸方向は、振動部１１０から被駆動部２２０へ向かう方向であり、−Ｘ軸方向は、＋Ｘ軸方向の反対方向である。単に、Ｘ軸方向というときは、＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向の両方の方向を含む。Ｘ軸方向に交差する圧電振動体１００の厚さ方向を、「Ｙ軸方向」と呼ぶ。＋Ｙ軸方向は、圧電駆動装置４００から被駆動部２２０の回転軸Ｏへ向かう方向であり、−Ｙ軸方向は、＋Ｙ軸方向の反対方向である。単に、Ｙ軸方向というときは、＋Ｙ軸方向と−Ｙ軸方向の両方の方向を含む。Ｘ軸方向およびＹ軸方向に交差する振動部１１０の幅方向を「Ｚ軸方向」と呼ぶ。＋Ｚ軸方向は、図１において、被駆動部２２０の回転軸Ｏから見て、左側の方向であり、−Ｚ軸方向は、＋Ｚ軸方向の反対方向である。単に、Ｚ軸方向というときは、＋Ｚ軸方向と−Ｚ軸方向の両方の方向を含む。本実施形態において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は、互いに直交している。
圧電振動体１００は、Ｙ軸方向に積層された複数の圧電振動モジュール１４０を有している。図１に示した例では、圧電振動モジュール１４０の数は３である。複数の圧電振動モジュール１４０は、接着剤等の電気絶縁性の接合部材によって接合されている。但し、圧電振動体１００は、１つの圧電振動モジュール１４０で構成されていてもよい。
複数の圧電振動モジュール１４０は、制御部３００に接続されている。制御部３００は、駆動信号生成部３１０と、振動検出部３２０とを有している。駆動信号生成部３１０は、圧電振動体１００に備えられた圧電素子に、交流の信号である駆動信号を供給する機能を有する。振動検出部３２０は、圧電振動体１００に備えられたピックアップ電極から、圧電振動体１００の振動を表すピックアップ信号ＰＵを取得し、そのピックアップ信号ＰＵから、ピックアップ信号の振動振幅を表すピックアップ電圧を求める機能を有する。駆動信号生成部３１０は、振動検出部３２０によって検出されたピックアップ電圧や、駆動信号とピックアップ信号との位相差に応じて、駆動信号の周波数を調整する。駆動信号の周波数のことを、以下では、単に、「駆動周波数」とも呼ぶ。ピックアップ信号ＰＵは、振動検出信号とも呼ばれる。
制御部３００は、更に、駆動信号生成部３１０および振動検出部３２０を用いることにより、第１周波数領域において、ピックアップ電圧が一定になるように、駆動周波数を制御し、第２周波数領域において、駆動信号とピックアップ信号との位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、ピックアップ電圧が一定になるように駆動周波数を制御する機能を有する。この機能の詳細については後述する。制御部３００の上述した機能は回路によって実現されてもよいし、それらの機能の一部または全部は、制御部３００に備えられたＣＰＵがメモリーに記憶されたプログラムを実行することによってソフトウェア的に実現されてもよい。
図２は、圧電振動モジュール１４０の一例を示す平面図である。圧電振動モジュール１４０の振動部１１０は、５つの圧電素子１４７Ａ〜１４７Ｅを含んでいる。矩形の振動部１１０の１つの対角線上にある一対の圧電素子１４７Ａ，１４７Ｅは同時にＸ軸方向に伸縮して、振動部１１０に屈曲振動を生じさせる。振動部１１０の他の１つの対角線上にある他の一対の圧電素子１４７Ｂ，１４７Ｄも同時にＸ軸方向に伸縮して、振動部１１０に屈曲振動を生じさせる。但し、一対の圧電素子１４７Ａ，１４７Ｅの伸縮と、他の一対の圧電素子１４７Ｂ，１４７Ｄの伸縮は、位相が１８０度異なることが好ましい。振動部１１０の幅方向の中央にある圧電素子１４７Ｃは、Ｘ軸方向に伸縮して、振動部１１０にＸ軸方向に沿った縦振動を生じさせる。
個々の圧電素子１４７Ａ〜１４７Ｅは、圧電体と、圧電体の両面を挟む２つの電極とを有している。圧電体の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。なお、圧電体の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
圧電振動モジュール１４０は、更に、ピックアップ電極１８０を有している。ピックアップ電極１８０は、圧電振動体１００の振動を検出して制御部３００にピックアップ信号ＰＵを供給するための電極である。図２の例では、ピックアップ電極１８０は、振動部１１０の中央にある圧電素子１４７Ｃの上側に設けられている。但し、ピックアップ電極１８０は、圧電素子１４７Ｃの上側と下側とに１つずつ設けられてもよい。
図３は、圧電振動モジュール１４０の振動の様子を示す概念図である。圧電振動モジュール１４０は、接触子１６０を楕円運動させるように振動することができる。このような楕円運動は、一対の圧電素子１４７Ａ，１４７Ｅの伸縮と他の一対の圧電素子１４７Ｂ，１４７Ｄの伸縮によって屈曲振動を発生させ、また、中央の圧電素子１４７Ｃの伸縮によって縦振動を発生させることによって実現される。「屈曲振動」は、圧電振動モジュール１４０の平面内において、圧電振動モジュール１４０が図３に示すようにＳ字状に屈曲する振動である。「縦振動」は、圧電振動モジュール１４０のＸ軸方向に沿って伸縮する振動である。圧電振動体１００の全体も、圧電振動モジュール１４０と同様に振動する。４つの圧電素子１４７Ａ，１４７Ｂ，１４７Ｄ，１４７Ｅは、屈曲振動を発生するものであり、「第１圧電素子」とも呼ぶ。圧電素子１４７Ｃは、縦振動を発生するものであり、「第２圧電素子」とも呼ぶ。第１圧電素子１４７Ａ，１４７Ｂ，１４７Ｄ，１４７Ｅや第２圧電素子１４７Ｃの数は一例であり、第１圧電素子と第２圧電素子の数は、これ以外の値に適宜設定可能である。例えば、一対の第１圧電素子１４７Ａ，１４７Ｂを省略し、他の一対の第１圧電素子１４７Ｄ，１４７Ｅで屈曲振動を発生させてもよい。
図４は、圧電素子１４７Ａ〜１４７Ｅに供給される駆動信号の例を示す図である。駆動信号Ｖ１は一対の圧電素子１４７Ａ，１４７Ｅに印加され、駆動信号Ｖ２は圧電素子１４７Ｃに印加され、駆動信号Ｖ３は他の一対の圧電素子１４７Ｂ，１４７Ｄに印加される。なお、駆動信号Ｖ３は、駆動信号Ｖ１から位相をπ、すなわち、１８０度変えたものであり、実質的には駆動信号Ｖ１と等価である。これらの駆動信号Ｖ１，Ｖ３は、圧電振動モジュール１４０に屈曲振動を発生させるための駆動信号であり、「第１駆動信号」とも呼ぶ。駆動信号Ｖ２は、圧電振動モジュール１４０に縦振動を発生させるための駆動信号であり、「第２駆動信号」とも呼ぶ。なお、第１駆動信号Ｖ１，Ｖ３の周波数と、第２駆動信号Ｖ２の周波数は通常は等しい値に設定される。
図４に示した駆動信号Ｖ２には、ピックアップ信号ＰＵを重畳して示している。ピックアップ信号ＰＵと駆動信号Ｖ２とには、位相差Ｐｄがある。ピックアップ信号ＰＵの上限値と下限値の差分、つまり、振幅のことを、ピックアップ電圧Ｖｐｐという。ピックアップ電圧Ｖｐｐは、その値が大きいほど、圧電振動体１００の振動振幅が大きいことを表す。本実施形態において、ピックアップ信号ＰＵは、駆動信号Ｖ２による縦振動を表す信号である。
図３に示したように、圧電振動モジュール１４０は、屈曲振動と縦振動との合成により、接触子１６０が楕円運動を行うように振動する。このように、一対の圧電素子１４７Ａ，１４７Ｅと、他の一対の圧電素子１４７Ｂ，１４７Ｄと、圧電素子１４７Ｃと、を図４に示した駆動波形によって伸縮させることによって、接触子１６０を楕円軌道に沿って振動させることができる。ただし、接触子１６０を楕円軌道に沿って振動させることができるのであれば、圧電振動モジュール１４０の駆動信号の波形は、図４に示したもの以外の種々の波形を使用可能である。例えば、駆動信号は、交流成分の他に直流成分を含むようにしても良い。この場合に、「駆動信号の周波数」とは、その交流成分の周波数を意味する。
図２に示したように、本実施形態におけるピックアップ電極１８０は、平面視において、Ｘ軸方向に沿って延びる圧電振動体１００の中心軸ＣＸ上の位置に配置されている。この中心軸ＣＸは、平面視において、振動部１１０の中心軸と一致する位置にある。ピックアップ電極１８０を圧電振動体１００の中心軸ＣＸ上の位置に配置すれば、屈曲振動の影響が少なくなり、縦振動を正確に検出し易い。ピックアップ電極１８０は、更に、屈曲振動の節ｎ１，ｎ２，ｎ３のいずれか位置に配置されていることが好ましい。図２の例では、屈曲振動の節ｎ１は、振動部１１０の中央に存在し、他の２つの節ｎ２，ｎ３は中心軸ＣＸ上において振動部１１０の端部近傍の位置に存在する。これらの屈曲振動の節ｎ１，ｎ２，ｎ３のいずれかの位置にピックアップ電極１８０を配置すれば、屈曲振動の影響を更に低減できるので、圧電振動体１００の縦振動を更に検出し易くなるという利点がある。節ｎ１，ｎ２，ｎ３のうち、屈曲振動の影響を最も低減できるのは節ｎ１である。節ｎ１は、節ｎ１，ｎ２，ｎ３のうち、接続部１３０に最も近く、屈曲振動の影響を受けにくい。但し、ピックアップ電極１８０は、これら以外の位置に配置されてもよい。
図１に示した駆動信号生成部３１０で生成される駆動信号Ｖｄは、図４に示した３つの駆動信号Ｖ１〜Ｖ３のいずれかに相当している。制御部３００は、駆動信号Ｖ１〜Ｖ３を生成するために、駆動信号生成部３１０を３つ有するものとしてもよい。或いは、駆動信号生成部３１０は、位相調整回路を備え、駆動信号生成部３１０で生成された駆動信号Ｖｄの位相を位相調整回路を用いて調整することにより、１つの駆動信号から、図４に示した３つの駆動信号Ｖ１〜Ｖ３を生成するようにしてもよい。以下では、圧電素子１４７Ｃに印加される駆動信号Ｖ２が、駆動信号生成部３１０で生成される駆動信号を代表する駆動信号Ｖｄであるものとして圧電駆動装置４００の動作説明を行う。
図５は、第１実施形態における圧電駆動装置４００の動作特性を示すグラフである。横軸は、圧電振動体１００の駆動周波数であり、右側ほど大きな周波数であることを示す。図５の左側に示す第１縦軸は、ピックアップ電圧Ｖｐｐを表す。図５の右側に示す第２縦軸は、駆動信号Ｖ２とピックアップ信号ＰＵの位相差Ｐｄを表す。第１縦軸は、上側ほど大きな電圧であることを示す。第２縦軸は、上側ほど大きな位相差であることを示す。図５には、ピックアップ電圧Ｖｐｐの特性を破線のグラフで示しており、位相差Ｐｄの特性を実線のグラフで示している。
圧電振動体１００の駆動状態において、ピックアップ電圧Ｖｐｐは、圧電振動体１００の共振周波数ｆｒにおいて最も大きくなる。つまり、駆動周波数ｆｄを圧電振動体１００の共振周波数ｆｒに合わせることにより、圧電振動体１００は最も大きな振動振幅となる。駆動周波数ｆｄが、共振周波数ｆｒに一致するときには、位相差Ｐｄは、概ね９０°になる。駆動周波数ｆｄが、共振周波数ｆｒよりも小さくなった場合、ピックアップ電圧Ｖｐｐは急激に小さくなる。つまり、駆動周波数ｆｄを共振周波数ｆｒよりも小さく設定すると、圧電振動体１００の振動振幅が極度に小さくなり、被駆動部２２０の駆動が困難になる可能性がある。そのため、制御部３００は、駆動周波数ｆｄを、共振周波数ｆｒよりも大きい周波数であって、所望の振動振幅を得られる周波数に設定することによって、圧電振動体１００を振動させることが好ましい。
図５に示すように、本実施形態の圧電振動体１００は、周波数に応じて位相差Ｐｄが単調変化しない第１周波数領域ＦＡ１と、位相差Ｐｄが単調変化する第２周波数領域ＦＡ２とを有している。「周波数に応じて位相差Ｐｄが単調変化しない」とは、位相差Ｐｄが駆動信号Ｖｄ、特に、駆動信号Ｖ２や、周波数の変化によらず不規則に昇降したり、位相差Ｐｄが検出できないことを意味している。「周波数に応じて位相差Ｐｄが単調変化する」とは、本実施形態においては、周波数を小さくするほど位相差Ｐｄが１８０°に向けて単調増加することをいう。なお、単調変化とは、制御部３００の動作周波数に応じて予め定められた間隔で取得された位相差Ｐｄが単調変化していればよく、その間隔よりも短い間隔においては位相差Ｐｄが微小に変動してもよい。本実施形態において、第１周波数領域ＦＡ１は、第２周波数領域ＦＡ２よりも周波数が高い領域である。周波数が高いと、圧電振動体１００の振動振幅が小さくなり、圧電振動体１００の振動に対して、被駆動部２２０の反力による影響が及びやすくなる。そのため、周波数の高い第１周波数領域ＦＡ１では、位相差Ｐｄが単調変化せず、不規則になると考えられる。第１周波数領域ＦＡ１と第２周波数領域ＦＡ２との境界となる閾値ｆｔｈは、例えば、５００ｋＨｚである。なお、この閾値ｆｔｈは、圧電振動体１００や被駆動部２２０の構造、寸法、材質によって様々な値になり得る。
図６は、制御部３００によって実行される周波数調整処理のフローチャートである。このフローチャートは、圧電駆動装置４００の制御方法を示している。この周波数調整処理は、圧電駆動装置４００に電源が投入されたタイミングで開始される。
ステップＳ１００において、制御部３００は、ダウンスイープ制御を行うための開始周波数を設定する。ダウンスイープ制御とは、周波数を高周波側から低下させていき、圧電振動体１００が所望の振動振幅で駆動する周波数を求めるための制御である。本実施形態において、ダウンスイープ制御の開始周波数は、圧電振動体１００の共振周波数ｆｒよりも十分に大きく、第１周波数領域ＦＡ１内における周波数であるものとする。
ステップＳ１０２において、制御部３００は、圧電振動体１００の駆動周波数を１段階下げる。１段階低下させる周波数は任意であり、適宜設定すればよい。そして、ステップＳ１０４において、制御部３００は、ピックアップ電圧Ｖｐｐが、目標電圧Ｖｔ以上となったか否かを判定する。目標電圧Ｖｔは、圧電振動体１００を所望の振動振幅で駆動させることのできる値であり、実験やシミュレーションによって予め定めることができる。
ステップＳ１０４において、ピックアップ電圧Ｖｐｐが、目標電圧Ｖｔに達していないと判定された場合、制御部３００は、処理をステップＳ１０２に戻して、再度、駆動周波数を低下させる。ステップＳ１０２およびステップＳ１０４の処理は、駆動信号Ｖ２の１周期毎に実行されることが好ましい。
ステップＳ１０４において、ピックアップ電圧Ｖｐｐが、目標電圧Ｖｔ以上になったと判定された場合、制御部３００は、ダウンスイープ制御を終了し、その時点で設定された駆動周波数ｆｄにより、圧電振動体１００を駆動し、周波数追尾を開始する。周波数追尾とは、ピックアップ電圧Ｖｐｐが目標電圧Ｖｔを維持するように、駆動周波数ｆｄを制御する処理である。以下に説明するステップＳ１０８以降の処理が、周波数追尾に該当する。
周波数追尾において、まず、制御部３００は、ステップＳ１０８において、現在の駆動周波数ｆｄを一時的に記憶する。そして、ステップＳ１１０において、制御部３００は、ピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように、より具体的には、ピックアップ電圧Ｖｐｐが目標電圧Ｖｔになるように、駆動周波数ｆｄを調整する。本実施形態において、制御部３００は、ピックアップ電圧Ｖｐｐが目標電圧Ｖｔになるように、ＰＩＤ制御等のフィードバック制御を行うことにより、駆動周波数ｆｄを調整する。
ステップＳ１１２において、制御部３００は、ステップＳ１１０において調整した駆動周波数ｆｄが、閾値ｆｔｈ以下であるか否かを判定する。つまり、制御部３００は、現在の駆動周波数ｆｄが、第２周波数領域ＦＡ２にあるか否かを判定する。駆動周波数ｆｄが閾値ｆｔｈを越えていた場合、すなわち、駆動周波数ｆｄが第２周波数領域ＦＡ２ではなく、第１周波数領域ＦＡ１にある場合には、制御部３００は、処理をステップＳ１０８に戻して、引き続き、駆動周波数ｆｄのフィードバック制御を継続する。つまり、駆動周波数ｆｄが第１周波数領域ＦＡ１にある場合には、制御部３００は、ピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように、駆動周波数ｆｄを制御する。
ステップＳ１１２において、駆動周波数ｆｄが、閾値ｆｔｈ以下であると判定された場合、すなわち、駆動周波数ｆｄが第２周波数領域ＦＡ２にある場合には、制御部３００は、ステップＳ１１４において、更に、現在の位相差Ｐｄが、予め定めた値である目標位相差Ｐｔを越えているか否かを判定する。本実施形態において、目標位相差Ｐｔは、９０°以下の値であり、例えば、４０〜７０°の範囲において適宜設定した値である。目標位相差Ｐｔは、圧電振動体１００を所望の振動振幅で駆動させることのできる位相差であり、実験やシミュレーションによって予め定めることができる。
ステップＳ１１４において、現在の位相差Ｐｄが目標位相差Ｐｔ以下であると判定された場合には、制御部３００は、処理をステップＳ１０８に戻して、上述したステップＳ１０８からステップＳ１１２までの処理を繰り返す。これに対して、ステップＳ１１４において、現在の位相差Ｐｄが目標位相差Ｐｔを越えていると判定された場合には、制御部３００は、ステップＳ１１６において、ステップＳ１０８で記憶しておいた駆動周波数を読み出し、その周波数に、駆動周波数ｆｄを設定する。つまり、駆動周波数ｆｄが第２周波数領域ＦＡ２にある場合には、制御部３００は、位相差Ｐｄを目標位相差Ｐｔ以下に保ちつつ、ピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように、駆動周波数ｆｄを制御する。
以上で説明した第１実施形態における圧電駆動装置４００の制御方法によれば、駆動周波数ｆｄが第１周波数領域ＦＡ１にある場合には、ピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように駆動周波数ｆｄを制御し、駆動周波数ｆｄが第２周波数領域ＦＡ２にある場合には、位相差Ｐｄを目標位相差Ｐｔ以下に保ちつつ、ピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように駆動周波数ｆｄを制御する。そのため、位相差Ｐｄが単調変化しない第１周波数領域ＦＡ１では、位相差Ｐｄを用いることなくピックアップ電圧Ｖｐｐが一定になるように駆動信号Ｖ１の周波数を制御できるので、例えば、被駆動部２２０からの反力等によって安定した位相差Ｐｄが得られない場合であっても、駆動周波数ｆｄを適切に制御できる。また、位相差Ｐｄが単調変化する第２周波数領域ＦＡ２では、ピックアップ電圧Ｖｐｐだけではなく位相差Ｐｄに基づいて駆動周波数ｆｄを調整できるので、位相差Ｐｄが予め定めた値よりも大きくなることによって圧電振動体１００の振動振幅が小さくなることを抑制できる。そのため、圧電駆動装置４００の動作を良好に制御できる。圧電振動体１００の振動振幅が小さくなる位相差Ｐｄは、圧電振動体１００の温度等によらず、概ね一定である。これに対して、ピックアップ電圧Ｖｐｐは、圧電振動体１００の温度や周辺環境に応じて変動する可能性が高い。従って、第２周波数領域ＦＡ２において、位相差Ｐｄを用いて駆動周波数ｆｄを制御すれば、ピックアップ電圧Ｖｐｐだけを用いて駆動周波数ｆｄを制御するよりも、圧電駆動装置４００を適切に動作させることが可能である。また、第１周波数領域ＦＡ１では、ピックアップ電圧Ｖｐｐに基づいて駆動周波数ｆｄを制御するため、位相差Ｐｄとピックアップ電圧Ｖｐｐとに基づいて駆動周波数ｆｄを制御する第２周波数領域ＦＡ２に比べて高速な制御を行うことができる。
また、本実施形態では、第１周波数領域ＦＡ１は、第２周波数領域ＦＡ２よりも周波数が高い領域であるため、周波数が高い領域において、ピックアップ電圧Ｖｐｐの振幅が一定になるように、駆動周波数を制御できる。
また、本実施形態では、圧電振動体１００は、縦振動と屈曲振動とをすることによって被駆動部２２０を駆動するものであり、ピックアップ信号ＰＵは、それらの振動モードのうち、縦振動を表す信号である。そのため、圧電振動体１００の振動振幅を精度よく制御できる。
Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態に係るロボット１０００を示す斜視図である。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０，１０３０，１０４０，１０５０，１０６０，１０７０と、これらアーム１０２０，１０３０，１０４０，１０５０，１０６０，１０７０の駆動を制御するロボット制御部１０８０と、を有している。ロボット制御部１０８０には、制御部３００が備えられている。アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。
各アームを連結する関節部のうちの全部または一部には圧電駆動装置４００が搭載されている。圧電駆動装置４００は、各アーム１０２０，１０３０，１０４０，１０５０，１０６０，１０７０を回動させる。各圧電駆動装置４００の駆動は、ロボット制御部１０８０によって制御される。圧電駆動装置４００は、エンドエフェクター１０９０に搭載され、エンドエフェクター１０９０の駆動に用いられてもよい。なお、ロボット１０００は、６軸ロボットのような垂直多関節ロボットに限らず、水平多関節ロボットであってもよい。
Ｃ．他の実施形態：
（Ｃ−１）上記実施形態において、目標位相差Ｐｔは、４０〜７０°であるものとした。これに対して、目標位相差Ｐｔは、９０°であってもよい。目標位相差Ｐｔを９０°とすれば、圧電振動体１００の振動振幅を大きくすることができる。
（Ｃ−２）上記実施形態において、制御部３００は、図６に示した周波数調整処理を実行する前に、第１周波数領域ＦＡ１と第２周波数領域ＦＡ２との周波数範囲をそれぞれ求める処理を行ってもよい。具体的には、制御部３００は、高周波側から徐々に圧電振動体１００の駆動周波数を低下させていき、ある一定の期間に亘って、位相差Ｐｄが単調変化することを検出した場合に、単調変化する直前の駆動周波数を閾値ｆｔｈとして設定し、それ以降の周波数領域を第２周波数領域ＦＡ２である識別し、それ以前の周波数領域を第１周波数領域ＦＡ１であると識別することができる。
（Ｃ−３）上記実施形態において、制御部３００は、図６に示した周波数調整処理を実行する前、または、実行中に、目標位相差Ｐｔを設定する処理を行ってもよい。例えば、制御部３００は、駆動周波数ｆｄを徐々に低下させるダウンスイープ制御において、ピックアップ電圧Ｖｐｐが小さくなり始める位相差Ｐｄを求め、その位相差Ｐｄあるいはその位相差Ｐｄから一定の値を減算した位相差を、目標位相差Ｐｔとしてもよい。
（Ｃ−４）上記実施形態では、第１周波数領域ＦＡ１と第２周波数領域ＦＡ２とは、閾値ｆｔｈを境界として連続した領域である。しかし、第１周波数領域ＦＡ１と第２周波数領域ＦＡ２とは、連続した領域に限らず、不連続な領域であってもよい。例えば、第１周波数領域ＦＡ１と第２周波数領域ＦＡ２との間に、位相差が変化しない周波数領域や位相差が検出されない周波数領域が存在してもよい。また、上記実施形態では、第１周波数領域ＦＡ１よりも第２周波数領域ＦＡ２の方が周波数の小さい領域であるが、圧電振動体１００の特性によっては、第１周波数領域ＦＡ１の方が第２周波数領域ＦＡ２よりも周波数の小さい領域であってもよい。
（Ｃ−５）上記実施形態において、図６に示したステップＳ１００〜Ｓ１０４の処理は省略してもよい。つまり、周波数追尾を開始する周波数は、ダウンスイープ制御によって求めるのではなく、予め定められていてもよい。
Ｄ．他の形態：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、以下に記載する各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
（１）本開示の第１の形態によれば、圧電振動体を備える圧電駆動装置の制御方法が提供される。前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、前記制御方法は、前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する。
このような形態によれば、圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が単調変化しない第１周波数領域では、位相差を用いることなくピックアップ電圧が一定になるように駆動信号の周波数を制御するため、第１周波数領域において安定した位相差が得られない場合であっても、駆動周波数を適切に制御できる。また、位相差が単調変化する第２周波数領域では、位相差とピックアップ電圧とに基づき駆動周波数を調整することができるので、圧電駆動装置の動作を良好に制御できる。上記のように、第１周波数領域では、ピックアップ電圧に基づいて駆動信号の周波数を制御するため、位相差とピックアップ電圧とに基づいて駆動信号の周波数を制御する第２周波数領域に比べて高速な制御を行うことができる。
（２）上記形態の圧電駆動装置の制御方法において、前記第１周波数領域は、前記第２周波数領域よりも周波数が高い領域であってもよい。このような形態であれば、周波数が高い領域において、ピックアップ電圧の振幅が一定になるように、駆動信号の周波数を制御できる。
（３）上記形態の圧電駆動装置の制御方法において、前記予め定めた値は、９０°であってもよい。このような形態であれば、圧電振動体の振動振幅を大きくすることができる。
（４）上記形態の圧電駆動装置の制御方法において、前記圧電振動体は、縦振動と屈曲振動とをすることによって被駆動部を駆動し、前記ピックアップ信号は、前記縦振動を表す信号であってもよい。このような形態であれば、圧電振動体の振動振幅を精度よく制御できる。
（５）本開示の第２の形態によれば、被駆動部を駆動する圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、前記被駆動部を駆動する圧電振動体と、制御部と、を備え、前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、前記制御部は、前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する。このような形態によっても、第１の形態と同様の効果を奏する。
（６）本開示の第３の形態によれば、上記第２の形態における圧電駆動装置を備えるロボットが提供される。このような形態によっても、第１の形態と同様の効果を奏する。
１００…圧電振動体、１１０…振動部、１２０…支持部、１３０…接続部、１４０…圧電振動モジュール、１４７Ａ〜１４７Ｅ…圧電素子、１６０…接触子、１８０…ピックアップ電極、２００…ステージ、２１０…バネ部材、２２０…被駆動部、２２２…表面、３００…制御部、３１０…駆動信号生成部、３２０…振動検出部、４００…圧電駆動装置、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０〜１０７０…アーム、１０８０…ロボット制御部、１０９０…エンドエフェクター、ＣＸ…中心軸、Ｏ…回転軸、ＦＡ１…第１周波数領域、ＦＡ２…第２周波数領域

Claims (6)

  1. 圧電振動体を備える圧電駆動装置の制御方法であって、
    前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、
    前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、
    前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する、
    圧電駆動装置の制御方法。
  2. 請求項１に記載の圧電駆動装置の制御方法であって、
    前記第１周波数領域は、前記第２周波数領域よりも周波数が高い領域である、圧電駆動装置の制御方法。
  3. 請求項１または請求項２に記載の圧電駆動装置の制御方法であって、
    前記予め定めた値は、９０°である、圧電駆動装置の制御方法。
  4. 請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置の制御方法であって、
    前記圧電振動体は、縦振動と屈曲振動とをすることによって被駆動部を駆動し、
    前記ピックアップ信号は、前記縦振動を表す信号である、圧電駆動装置の制御方法。
  5. 被駆動部を駆動する圧電駆動装置であって、
    前記被駆動部を駆動する圧電振動体と、
    制御部と、を備え、
    前記圧電振動体は、前記圧電振動体の振動を表すピックアップ信号と前記圧電振動体を駆動する駆動信号との位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化しない第１周波数領域と、前記位相差が前記駆動信号の周波数に応じて単調変化する第２周波数領域とを有しており、
    前記制御部は、
    前記第１周波数領域において、前記ピックアップ信号の振幅を表すピックアップ電圧が一定になるように、前記駆動信号の周波数を制御し、
    前記第２周波数領域において、前記位相差を予め定めた値以下に保ちつつ、前記ピックアップ電圧が一定になるように前記駆動信号の周波数を制御する、
    圧電駆動装置。
  6. 請求項５に記載の圧電駆動装置を備えるロボット。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023188516A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 株式会社村田製作所 振動装置を制御する制御装置及び振動装置を制御する方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1118456A (ja) 1997-06-26 1999-01-22 Nikon Corp 振動アクチュエータの駆動装置
US7119475B2 (en) * 2003-03-31 2006-10-10 Seiko Epson Corporation Driving method of piezoelectric actuator, driving apparatus of piezoelectric actuator, electronic watch, electronics, control program of piezoelectric actuator, and storage medium
CN1929283A (zh) * 2005-08-23 2007-03-14 精工爱普生株式会社 压电致动器的驱动控制方法、驱动控制装置和电子设备
JP2007074829A (ja) 2005-09-07 2007-03-22 Konica Minolta Opto Inc 振動アクチュエータ
JP2007221924A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Seiko Epson Corp 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御方法、および電子機器
JP4891053B2 (ja) 2006-12-21 2012-03-07 オリンパス株式会社 超音波モータ
JP5553565B2 (ja) * 2009-09-18 2014-07-16 キヤノン株式会社 振動型モータ制御装置
JP5884303B2 (ja) * 2011-06-07 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
JP6399824B2 (ja) 2014-06-30 2018-10-03 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの制御装置及び制御方法、撮像装置
JP2018186680A (ja) * 2017-04-27 2018-11-22 セイコーエプソン株式会社 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス
JP2019030091A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター
JP7035358B2 (ja) 2017-07-28 2022-03-15 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、及び、ロボット
JP6946893B2 (ja) 2017-09-22 2021-10-13 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター
JP7031244B2 (ja) 2017-11-17 2022-03-08 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023188516A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 株式会社村田製作所 振動装置を制御する制御装置及び振動装置を制御する方法

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