JP2019030091A - 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター - Google Patents
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Abstract
Description
この形態によれば、縦振動の共振周波数が屈曲振動の共振周波数よりも高くなるように圧電振動モジュール構成されているので、第1駆動電圧及び第2駆動電圧として、縦振動の共振周波数以上の駆動周波数を有する電圧を生成して第1圧電素子と第2圧電素子を駆動することにより、安定して大きなトルクを発生させながら被駆動部材を駆動することが可能である。
この形態によれば、駆動周波数が徐々に縦振動の共振周波数に近づくようにダウンスウィープするので、更に安定した状態で被駆動部材を駆動できる。
この形態によれば、ピッチアップ電極が、縦振動を検出し易く屈曲振動を検出し難い位置に形成されるので、駆動周波数を縦振動の共振周波数に近い値に容易に近付けることができる。
この形態によれば、ピッチアップ電極により検出される振動が屈曲振動の影響を受け難くなるので、駆動周波数を縦振動の共振周波数に近い値に更に容易に近付けることができる。
図1は、第1実施形態の圧電駆動装置400を備えた駆動機構を示す斜視図である。圧電駆動装置400は、被駆動部材220を駆動する圧電振動体100と、圧電振動体100を電気的に駆動する駆動回路300と、を備えている。この例では、被駆動部材220は回転軸Oのまわりに回転可能なローターである。但し、被駆動部材220としては、直線的に移動可能な部材などの他の種類の部材を使用可能である。なお、1つの被駆動部材220に対して複数の圧電振動体100を設けてもよい。
図8は、第2実施形態の圧電駆動装置400aを備えた駆動機構を示す斜視図である。圧電駆動装置400aは、複数の圧電振動モジュール140の間に第2の圧電振動モジュール150が配置されている点が第1実施形態と異なっており、他の構成は第1実施形態と同じである。すなわち、前述した図1では、3つの圧電振動モジュール140が第2方向Yに積層されていたが、図8に示す第2実施形態では、2つの第1の圧電振動モジュール140の間に、これと異なる構造を有する第2の圧電振動モジュール150が配置されている。
Claims (9)
- 被駆動部材を駆動する圧電駆動装置であって、
圧電振動体と、
前記圧電振動体を電気的に駆動する駆動回路と、
を備え、
前記圧電振動体は、
前記被駆動部材に対して第1方向に延びて前記被駆動部材に接触する接触子と、
前記駆動回路から供給される第1駆動電圧に応じて前記第1方向と交差する方向に屈曲振動を発生する第1圧電素子と、
前記駆動回路から供給される第2駆動電圧に応じて前記第1方向に縦振動を発生する第2圧電素子と、
を備え、
前記圧電振動体は、前記縦振動の共振周波数が前記屈曲振動の共振周波数よりも高くなるように構成されており、
前記駆動回路は、前記第1駆動電圧及び前記第2駆動電圧の駆動周波数を、前記縦振動の共振周波数以上に設定する、圧電駆動装置。 - 請求項1に記載の圧電駆動装置であって、
前記駆動回路は、前記駆動周波数を、前記縦振動の共振周波数よりも高い周波数からダウンスウィープして前記縦振動の共振周波数以上の周波数に設定する、圧電駆動装置。 - 請求項1又は2に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動体は、更に、前記圧電振動体の振動を検出して前記駆動回路に振動検出信号を供給するピックアップ電極を備え、
前記駆動回路は、前記振動検出信号に応じて前記駆動周波数を決定し、
前記ピックアップ電極は、前記第1方向に沿って延びる前記圧電振動体の中心軸上の位置に配置されている、圧電駆動装置。 - 請求項3に記載の圧電駆動装置であって、
前記ピックアップ電極は、前記屈曲振動の節となる位置に配置されている、圧電駆動装置。 - 被駆動部材に対して第1方向に延びて前記被駆動部材に接触する接触子と、第1駆動電圧に応じて前記第1方向と交差する方向に屈曲振動を発生する第1圧電素子と、第2駆動電圧に応じて前記第1方向に縦振動を発生する第2圧電素子と、を備える圧電振動体を有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記圧電振動体は、前記縦振動の共振周波数が前記屈曲振動の共振周波数よりも高くなるように構成されており、
前記縦振動の共振周波数以上の駆動周波数を有する第1駆動電圧及び第2駆動電圧を前記第1圧電素子及び前記第2圧電素子に供給する、圧電駆動装置の駆動方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を備えるロボット。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を備える電子部品搬送装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を備えるプリンター。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置を備えるプロジェクター。
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