CN109309458A - 压电驱动装置及其驱动方法、机器人、电子部件输送装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供压电驱动装置及其驱动方法、机器人、电子部件输送装置。在弯曲振动的共振频率高于纵向振动的共振频率的情况下，压电驱动装置的驱动控制是困难的。压电驱动装置具备压电振动体和驱动电路。压电振动体具备：沿第一方向延伸并与被驱动部件接触的触头；根据第一驱动电压在与第一方向交叉的方向上产生弯曲振动的第一压电元件；以及根据第二驱动电压在第一方向上产生纵向振动的第二压电元件。压电振动体构成为纵向振动的共振频率高于弯曲振动的共振频率。驱动电路将第一驱动电压及第二驱动电压的驱动频率设定为纵向振动的共振频率以上。

Description

压电驱动装置及其驱动方法、机器人、电子部件输送装置

技术领域

本发明涉及压电驱动装置、以及具备压电驱动装置的机器人等各种装置。

背景技术

压电驱动装置是采用压电元件使振动体振动并利用其振动使被驱动部件移动的装置。在专利文献1记载的压电驱动装置中，利用纵向振动和弯曲振动使压电驱动装置的前端的触头产生椭圆运动，通过该触头的椭圆运动使被驱动部件移动。此外，在专利文献1中披露有如下所述的技术：将弯曲振动的共振频率设定得高于纵向振动的共振频率，通过将这两个共振频率之间的频率用作驱动电压的驱动频率来提高驱动效率。

专利文献1：日本专利特开2016-040994号公报

但是，本申请的发明人发现如专利文献1这样地，在弯曲振动的共振频率高于纵向振动的共振频率时，存在如下问题。即、在比弯曲振动的共振频率高的频率范围驱动了压电元件时，压电驱动装置的触头以边减少按压被驱动部件的力、边传递驱动力的牵引驱动模式(挽驱动(pull driving)模式)进行动作，因此，难以输出大的扭矩。另一方面，在纵向振动的共振频率与弯曲振动的共振频率之间的频率范围驱动了压电元件时，压电驱动装置的触头以边增大按压被驱动部件的力、边传递驱动力的按压驱动模式(推驱动(pushdriving)模式)进行动作，因此，可以输出大的扭矩。但是，可以实现该按压驱动模式的频率仅在纵向振动的共振频率与弯曲振动的共振频率之间，因此，在这两个共振频率接近的情况下，合适的驱动频率的范围极窄。因此，压电驱动装置的驱动特性变得非常尖(陡峭的山型的特性)，存在不易良好地控制的问题。

发明内容

本发明为解决上述问题的至少一部分而完成，可作为以下的方式而实现。

(1)根据本发明的一方式，提供一种驱动被驱动部件的压电驱动装置。该压电驱动装置具备：压电振动体；以及驱动电路，电气驱动所述压电振动体。所述压电振动体具备：触头，相对于所述被驱动部件沿着第一方向延伸并与所述被驱动部件接触；第一压电元件，根据从所述驱动电路供给的第一驱动电压，在与所述第一方向交叉的方向上产生弯曲振动；以及第二压电元件，根据从所述驱动电路供给的第二驱动电压，在所述第一方向上产生纵向振动。所述压电振动体构成为所述纵向振动的共振频率高于所述弯曲振动的共振频率。所述驱动电路将所述第一驱动电压及所述第二驱动电压的驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上。

根据该方式，压电振动模块构成为纵向振动的共振频率高于弯曲振动的共振频率，因此，生成具有纵向振动的共振频率以上的驱动频率的电压作为第一驱动电压及第二驱动电压来驱动第一压电元件和第二压电元件，从而可以边稳定地产生大的扭矩，边驱动被驱动部件。

(2)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是，所述驱动电路从高于所述纵向振动的共振频率的频率起对所述驱动频率进行降频扫描来将所述驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上的频率。

根据该方式，以使驱动频率慢慢地接近纵向振动的共振频率的方式进行降频扫描，因此，能够以更稳定的状态来驱动被驱动部件。

(3)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是，所述压电振动体还具备拾取电极(pickup electrode)，所述拾取电极检测所述压电振动体的振动并向所述驱动电路供给振动检测信号，所述驱动电路根据所述振动检测信号确定所述驱动频率，所述拾取电极配置于沿所述第一方向延伸的所述压电振动体的中心轴上的位置。

根据该方式，拾取电极形成于易于检测纵向振动而不易检测弯曲振动的位置，因此，可以使驱动频率容易地接近离纵向振动的共振频率近的值。

(4)在上述方式的压电驱动装置中，也可以是，所述拾取电极配置于成为所述弯曲振动的节的位置。

根据该方式，通过拾取电极检测的振动难以受到弯曲振动的影响，因此，可以使驱动频率更容易地接近离纵向振动的共振频率近的值。

本发明可以通过各种方式来实现，例如，除了压电驱动装置之外，还可以通过压电驱动装置的驱动方法、具备压电驱动装置的各种装置等各种方式来实现。该各种装置包括例如机器人、电子部件输送装置、打印机、投影仪等。

附图说明

图1是示出具备第一实施方式的压电驱动装置的驱动机构的立体图。

图2是压电振动模块的平面图。

图3是示出压电振动模块的振动的样子的图。

图4是示出压电振动模块的驱动电压波形的例子的图。

图5是示出触头的按压驱动模式和牵引驱动模式的动作的说明图。

图6是示出实施方式中的位移量及驱动速度的特性的图表。

图7是示出比较例中的位移量及驱动速度的特性的图表。

图8是示出具备第二实施方式的压电驱动装置的驱动机构的立体图。

图9是第二实施方式的第二压电振动模块的平面图。

图10是示出其它实施方式的机器人的立体图。

图11是示出又一实施方式的电子部件输送装置的立体图。

图12是示出电子部件输送装置的电子部件保持部的立体图。

图13是示出又一实施方式的打印机的概略图。

图14是示出又一实施方式的投影仪的概略图。

附图标记说明

100、100a压电振动体；110振动部；120支承部；130连接部；140压电振动模块；147A～147E压电元件；150压电振动模块；157压电元件；160触头；180拾取电极；200台架；210弹簧部件；220被驱动部件；222表面；300驱动电路；310驱动电压生成部；320振动检测部；400、400a压电驱动装置；1000机器人；1010基座；1020臂；1030臂；1040臂；1050臂；1060臂；1070臂；1080机器人控制部；1090末端执行器；2000电子部件输送装置；2100基台；2110上游侧工作台；2120下游侧工作台；2130检查台；2200支承台；2210Y台架；2220X台架；2230电子部件保持部；2231微调板；2232转动部；2233保持部；3000打印机；3010装置主体；3011托盘；3012排纸口；3013操作面板；3020印刷机构；3021头单元；3021a头；3021b墨盒；3021c滑架；3022滑架电机；3023往复移动机构；3023a滑架引导轴；3023b正时带；3030供纸机构；3031从动辊；3032驱动辊；3040控制部；4000投影仪；4010光源；4021反射镜；4022反射镜；4031二向色镜；4032二向色镜；4040B液晶显示元件；4040G液晶显示元件；4040R液晶显示元件；4050二向色棱镜；4060投射透镜系统。

具体实施方式

<第一实施方式>

图1是示出具备第一实施方式的压电驱动装置400的驱动机构的立体图。压电驱动装置400具备驱动被驱动部件220的压电振动体100、以及电气驱动压电振动体100的驱动电路300。在该例子中，被驱动部件220是能够绕旋转轴O旋转的转子。不过，作为被驱动部件220，可以使用能够直线移动的部件等其它种类的部件。需要说明的是，也可以针对一个被驱动部件220设置多个压电振动体100。

压电振动体100具有可振动的振动部110、支承振动部110的支承部120、以及连接振动部110和支承部120的一对连接部130。振动部110具有大致长方形的板状的形状。在振动部110的前端设置有从振动部110沿X方向延伸并与被驱动部件220接触的触头160。这里，“从振动部110沿X方向延伸”这句话意指设置于振动部110的X方向侧。触头160例如由耐磨损性高的陶瓷形成，粘结于振动部110。

压电振动体100的支承部120具有包围振动部110的基端侧(在图1中，为上端侧)的U字形的形状。此外，支承部120固定于作为支承部件的台架200。台架200被弹簧部件210压向被驱动部件220侧(在图1中，为下方侧)。需要说明的是，省略了固定弹簧部件210的结构件的图示。

触头160的前端与被驱动部件220的表面222接触。压电振动体100被弹簧部件210压向被驱动部件220侧，由此，触头160以充分的摩擦力与被驱动部件220的表面222接触。因此，抑制打滑，可以通过触头160高效地将振动部110的振动向被驱动部件220传递。

作为压电振动体100的构成，可以采用图1所示的构成以外的各种构成，例如，也可以省略支承部120和连接部130。需要说明的是，下面，为了便于说明，将振动部110和被驱动部件220的排列方向(即、振动部110的长边方向)称为“第一方向X”，将与第一方向X交叉的压电振动体100的厚度方向(振动面的法线方向)称为“第二方向Y”，将与第一方向X及第二方向Y交叉的振动部110的宽度方向称为“第三方向Z”。进而，将由第一方向X与第三方向Z限定的面称为“XZ面”。XZ面平行于压电振动体100的表面。优选三个方向X、Y、Z相互正交。

压电振动体100具有在第二方向Y上层叠的多个压电振动模块140。在图1的例子中，压电振动模块140的数量是3个。多个压电振动模块140通过粘结剂等电绝缘性的接合部件而接合。不过，压电振动体100也可以由一个压电振动模块140构成。

多个压电振动模块140连接于驱动电路300。驱动电路300具有驱动电压生成部310、以及振动检测部320。驱动电压生成部310具有向压电振动体100的压电元件(后述)供给驱动电压的功能。振动检测部320连接于压电振动体100的拾取电极(后述)，具有检测压电振动体100的振动的功能。驱动电压生成部310根据从拾取电极供给至振动检测部320的振动检测信号Sv，调整驱动电压的频率，并将该驱动电压供给至压电元件。关于驱动电路300的动作将在后面进一步描述。

图2是示出压电振动模块140的一个例子的平面图。压电振动模块140的振动部110包括五个压电元件147A～147E。位于矩形的振动部110的一个对角线上的一对压电元件147A、147E同时在X方向上伸缩，使振动部110产生弯曲振动。位于振动部110的另一个对角线上的另一对压电元件147B、147D也同时在X方向上伸缩，使振动部110产生弯曲振动。不过，优选一对压电元件147A、147E的伸缩与另一对压电元件147B、147D的伸缩相位相差180度。位于振动部110的宽度方向的中央的压电元件147C沿X方向伸缩，使振动部110产生沿着X方向的纵向振动。

各个压电元件147A～147E具有压电体(省略图示)、以及夹着压电体的两面的两个电极(省略图示)。作为压电体的构成材料，例如可以采用锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、钛酸铅、铌酸钾、铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸锶钡(BST)、钽酸锶铋(SBT)、偏铌酸铅、钪铌酸铅等压电陶瓷。由压电陶瓷构成的压电体例如既可以由块(bulk)材料形成，也可以使用溶胶-凝胶法、溅射法形成。需要注意的是，作为压电体的构成材料，除了上述压电陶瓷之外，还可以使用聚偏二氟乙烯、水晶等。

压电振动模块140还具有两个拾取电极180。拾取电极180是用于检测压电振动体100的振动并向驱动电路300供给振动检测信号Sv(图1)的电极。在图2的例子中，拾取电极180分别设置于位于振动部110的中央的压电元件147C的上侧和下侧。不过，既可以仅设置一个拾取电极180，也可以省略拾取电极180。

图3是示出压电振动模块140的振动的样子的概念图。压电振动模块140能够以使触头160进行椭圆运动的方式进行振动。这样的椭圆运动是通过一对压电元件147A、147E的伸缩和另一对压电元件147B、147D的伸缩产生弯曲振动，此外，通过中央的压电元件147C的伸缩产生纵向振动来实现的。“弯曲振动”是在压电振动模块140的平面内、压电振动模块140如图3所示地呈S字状弯曲的振动。“纵向振动”是沿着压电振动模块140的长边方向(第一方向X)伸缩的振动。压电振动体100整体也和压电振动模块140同样地进行振动。四个压电元件147A、147B、147D、147E是产生弯曲振动的元件，相当于“第一压电元件”。压电元件147C是产生纵向振动的元件，相当于“第二压电元件”。第一压电元件147A、147B、147D、147E或第二压电元件147C的数量为一个例子，第一压电元件和第二压电元件的数量可以适当设定为除此之外的值。例如，也可以省略一对第一压电元件147A、147B而通过另一对第一压电元件147D、147E产生弯曲振动。

图4示出了供给至压电元件147A～147E的驱动电压的波形的例子。驱动电压V1施加于一对压电元件147A、147E，驱动电压V2施加于压电元件147C，驱动电压V3施加于另一对压电元件147B、147D。需要说明的是，驱动电压V3是从驱动电压V1使相位改变π(＝180度)而得的电压，实质上与驱动电压V1等效。这些驱动电压V1、V3是用于使压电振动模块140产生弯曲振动的驱动电压，相当于“第一驱动电压”，驱动电压V2是用于使压电振动模块140产生纵向振动的驱动电压，相当于“第二驱动电压”。需要说明的是，第一驱动电压V1、V3的频率与第二驱动电压V2的频率通常被设定为相等的值。

压电振动模块140通过弯曲振动和纵向振动的合成而以使触头160进行椭圆运动的方式进行振动(图3)。这样，通过使一对压电元件147A、147E、另一对压电元件147B、147D和压电元件147C以不同的相位进行伸缩，从而可以使触头160沿椭圆轨道进行振动。不过，若可以使触头160沿椭圆轨道进行振动的话，则压电振动模块140的驱动电压的波形可以采用图4所示的波形之外的各种波形。例如，驱动电压除了交流成分之外还可以包括直流成分。在这种情况下，“驱动电压的频率”意指其交流成分的频率。

如图2所示，优选地，拾取电极180在平面图中配置于沿第一方向X延伸的压电振动体100的中心轴CX上的位置。该中心轴CX在平面图中位于与振动部110的中心轴一致的位置。如果将拾取电极180配置于压电振动体100的中心轴CX上的位置，则弯曲振动的影响减小，具有易于准确地检测纵向振动的优点。拾取电极180更优选配置于弯曲振动的节n1、n2、n3中任一位置上。在图2的例子中，弯曲振动的节n1存在于振动部110的中央，另外两个节n2、n3在中心轴CX上存在于振动部110的端部附近的位置。如果将拾取电极180配置于这些弯曲振动的节n1、n2、n3中任一位置上，则可以进一步降低弯曲振动的影响，因此，具有更加易于检测压电振动体100的纵向振动的优点。不过，也可以将拾取电极180配置于这些之外的位置上。

图5是示出取决于触头160的动作的不同的两个驱动模式的说明图。作为取决于触头160的驱动模式，存在按压驱动(extrusion driving)模式PS(推驱动模式)以及牵引驱动(tension driving)模式PL(挽驱动模式)。在按压驱动模式PS中，触头160边增大按压被驱动部件220的力，边向被驱动部件220传递沿着驱动方向的驱动力。因此，在按压驱动模式PS中，可以向被驱动部件220提供大的驱动力。另一方面，在牵引驱动模式PL中，触头160边减小按压被驱动部件220的力，边向被驱动部件220传递沿着驱动方向的驱动力。因此，在牵引驱动模式PL中，不易向被驱动部件220提供大的驱动力。如果考虑这些特性，则优选以按压驱动模式PS而非牵引驱动模式PL驱动被驱动部件220。

图6是示出第一实施方式中的位移量及驱动速度的特性的图表。横轴是驱动电压V1～V3(图4)的频率。压电振动体100构成为纵向振动的共振频率fa高于弯曲振动的共振频率fb。需要说明的是，这些共振频率fa、fb可以通过调整压电振动体100的振动部110(图1)的长度和宽度来进行变更。“振动部110的长度”意指振动部110的长边方向(第一方向X)的尺寸。“振动部110的宽度”意指振动部110的短边方向(第三方向Z)的尺寸。例如，如果将振动部110的长度和宽度的比设定为大约7:2，则可以使纵向振动的共振频率fa和弯曲振动的共振频率fb为大致相等的值。如果将振动部110的宽度设定得比这种情况短，则可以使纵向振动的共振频率fa高于弯曲振动的共振频率fb。

在图6中绘制了纵向位移量Da、弯曲位移量Db和驱动速度Sp的频率依赖特性的图表。纵向位移量Da意指纵向振动中触头160沿第一方向X的位移量。弯曲位移量Db意指弯曲振动中触头160沿第三方向Z的位移量。驱动速度Sp意指驱动被驱动部件220的速度。纵向位移量Da在纵向振动的共振频率fa处为最大。弯曲位移量Db在弯曲振动的共振频率fb处为最大。驱动速度Sp在两个共振频率fa、fb的中间的位置为最大。

驱动电压的频率的整个范围可以分为弯曲振动的共振频率fb以下的频率范围RA、两个共振频率fa、fb之间的频率范围RB、以及纵向振动的共振频率fa以上的频率范围RC。在频率范围RA中，能够以按压驱动模式PS驱动被驱动部件220，但驱动速度Sp相当小。在频率范围RB中，驱动速度Sp最大，但其驱动特性变尖(陡峭的山型的特性)，难以良好地进行控制。在频率范围RC中，具有驱动速度Sp较大、且其变化和缓而易于控制的优点。

驱动电路300的驱动电压生成部310在图6的频率范围RC中驱动压电振动体100的压电元件147A～147E。即、驱动电压生成部310生成具有纵向振动的共振频率fa以上的驱动频率的电压作为压电元件147A～147E的驱动电压V1～V3(图4)。这样，可以稳定地产生大的扭矩来驱动被驱动部件220。

需要说明的是，适于压电元件的驱动的驱动频率会根据被驱动部件220的形态、环境温度等情况变化。为了使压电驱动装置400产生高驱动力，期望追随适于这些情况的驱动频率来进行驱动控制。为此，优选地，在纵向振动的共振频率fa以上的频率范围RC中，边从高于纵向振动的共振频率fa的频率起对驱动频率进行降频扫描(down sweep)，边设定为适当的频率。这样一来，可良好地设定与各种情况相应的适当的驱动频率。在图6的例子中，在开始压电元件147A～147E的驱动时，首先，将驱动频率设定为预定的频率f0，之后，慢慢地降低驱动频率，设定为纵向振动的共振频率fa以上、且接近于纵向振动的共振频率fa的频率。这样一来，能够一边总是以按压驱动模式PS驱动被驱动部件220，一边慢慢地增大驱动速度Sp，因此，可以在稳定地产生大的扭矩的同时，调整为优选的驱动速度Sp。

图7是示出比较例中的位移量及驱动速度的特性的图表。在该比较例中，弯曲振动的共振频率fb高于纵向振动的共振频率fa这一点与图6所示的第一实施方式不同。在高于弯曲振动的共振频率fb的频率范围RC驱动了压电元件时，触头160以牵引驱动模式PL进行动作，难以输出大的扭矩。另一方面，在纵向振动的共振频率fa与弯曲振动的共振频率fb之间的频率范围RB驱动了压电元件时，触头160以按压驱动模式PS进行动作，但由于可以实现按压驱动模式PS的频率仅为两个共振频率fa、fb之间的频率范围RB，因此，在这两个共振频率fa、fb接近的情况下，适当的驱动频率的范围也极窄。因此，压电驱动装置的驱动特性变得非常尖(陡峭的山型的特性)，存在难以良好地进行控制的问题。

另一方面，根据图6所示的第一实施方式的特性，由于纵向振动的共振频率fa高于弯曲振动的共振频率fb，因此，通过在纵向振动的共振频率fa以上的频率范围RC驱动压电元件，从而可以稳定地以大的驱动力来驱动被驱动部件220。

需要说明的是，优选地，根据从拾取电极180供给至驱动电路300的振动检测信号Sv(图1)来确定优选的驱动频率的值。例如，可以调整驱动电压V1～V3的频率，以使供给至压电元件的驱动电压V1(或V2)与通过拾取电极180所检测到的振动检测信号Sv的相位差为预定的优选值。或者，也可以调整驱动电压V1～V3的频率，以使振动检测信号Sv的振幅变得足够大。

在第一实施方式中，如结合图2所说明的，拾取电极180配置于沿第一方向X延伸的压电振动体100的中心轴CX上的位置，因此，具有易于检测压电振动体100的纵向振动的优点。进而，如果将拾取电极180配置于弯曲振动的节n1、n2、n3中任一位置上，则可以降低弯曲振动的影响，因此，更加易于检测压电振动体100的纵向振动。其结果是，可以容易地将驱动电压的频率设定为适当的值。

如上所述，在第一实施方式的压电驱动装置400中，将压电振动体100构成为纵向振动的共振频率fa高于弯曲振动的共振频率fb，此外，驱动电路300生成具有纵向振动的共振频率fa以上的驱动频率的驱动电压并供给至压电元件。因此，可以通过压电驱动装置400稳定地产生大的扭矩来驱动被驱动部件220。

<其它实施方式>

图8是示出具备第二实施方式的压电驱动装置400a的驱动机构的立体图。压电驱动装置400a在多个压电振动模块140之间配置有第二压电振动模块150这一点与第一实施方式不同，其它构成均与第一实施方式相同。即、在前述的图1中，三个压电振动模块140在第二方向Y上层叠，但在图8所示的第二实施方式中，在两个第一压电振动模块140之间配置有具有与其不同的结构的第二压电振动模块150。

图9是第二实施方式的第二压电振动模块150的平面图。第二压电振动模块150具有在其振动部110的大致整个区域拓展配置的一个压电元件157。该压电元件157与配置于第一压电振动模块140的中央的压电元件147C(图2)同样地是产生纵向振动的元件，相当于“第二压电元件”。因此，也可以向该压电元件157供给和供给至压电元件147C的驱动电压V2(图4)相同的驱动电压。需要说明的是，在第二实施方式中，由于第二压电振动模块150产生纵向振动，因此，也可以省略第一压电振动模块140(图2)的压电元件147C。该第二实施方式的压电驱动装置400a也具有和第一实施方式的压电驱动装置400大致同样的效果。

图10是示出其它实施方式所涉及的机器人的立体图。机器人1000是六轴机器人，具有固定在地板、天花板上的基座1010、以转动自如的方式与基座1010连结的臂1020、1030、1040、1050、1060、1070、以及控制这些臂1020、1030、1040、1050、1060、1070的驱动的机器人控制部1080。此外，在臂1070上设置有手爪连接部，在手爪连接部上安装与使机器人1000执行的作业相应的末端执行器1090。此外，在各关节部中的全部或一部分上搭载有压电驱动装置400，通过该压电驱动装置400的驱动，各臂1020、1030、1040、1050、1060、1070转动。需要注意的是，各压电驱动装置400的驱动由机器人控制部1080控制。此外，压电驱动装置400也可以搭载于末端执行器1090，用于末端执行器1090的驱动。该机器人1000由于具备压电驱动装置400，因此，可以享有上述压电驱动装置400的效果。

图11是示出又一实施方式所涉及的电子部件输送装置的立体图。图12是示出图11所示的电子部件输送装置具有的电子部件保持部的立体图。需要注意的是，下面，为了便于说明，将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴。这三个轴的方向X、Y、Z与图1等中说明的三个方向X、Y、Z没有关系。

图11所示的电子部件输送装置2000被应用于电子部件检查装置，具有基台2100、以及配置在基台2100的侧方的支承台2200。此外，在基台2100上设置有：上游侧工作台2110，载置检查对象的电子部件Q并沿Y轴方向被输送；下游侧工作台2120，载置检查完毕的电子部件Q并沿Y轴方向被输送；以及检查台2130，位于上游侧工作台2110与下游侧工作台2120之间，检查电子部件Q的电气特性。需要注意的是，作为电子部件Q的例子，例如可列举半导体、半导体晶片、CLD或OLED等显示器件、水晶器件、各种传感器、喷墨头、各种MEMS器件等。在支承台2200上设置有能够相对于支承台2200在Y轴方向上移动的Y台架2210，在Y台架2210上设置有能够相对于Y台架2210在X轴方向上移动的X台架2220，在X台架2220上设置有能够相对于X台架2220在Z轴方向上移动的电子部件保持部2230。

如图12所示，电子部件保持部2230具有：微调板2231，能够在X轴方向及Y轴方向上移动；转动部2232，能够相对于微调板2231绕Z轴转动；以及保持部2233，设于转动部2232，保持电子部件Q。此外，在电子部件保持部2230中内置有：压电驱动装置400，用于使微调板2231在X轴方向上移动；压电驱动装置400，用于使微调板2231在Y轴方向上移动；以及压电驱动装置400，用于使转动部2232绕Z轴转动。该电子部件输送装置2000由于具备压电驱动装置400，因此，可以享有上述压电驱动装置400的效果。

图13是示出又一实施方式所涉及的打印机的整体构成的概略图。该打印机3000具备装置主体3010、设置在装置主体3010的内部的印刷机构3020、供纸机构3030及控制部3040。此外，在装置主体3010中设有供记录用纸P设置的托盘3011、排出记录用纸P的排纸口3012、以及液晶显示器等操作面板3013。

印刷机构3020具备头单元3021、滑架电机3022、以及借助滑架电机3022的驱动力使头单元3021往复移动的往复移动机构3023。此外，头单元3021具有作为喷墨式记录头的头3021a、向头3021a供给墨水的墨盒3021b、以及搭载有头3021a和墨盒3021b的滑架3021c。

往复移动机构3023具有：滑架引导轴3023a，以使滑架3021c能够往复移动的方式支承滑架3021c；以及正时带3023b，借助滑架电机3022的驱动力使滑架3021c在滑架引导轴3023a上移动。

供纸机构3030具有互相压接的从动辊3031和驱动辊3032、以及驱动驱动辊3032的作为供纸电机的压电驱动装置400。

控制部3040例如基于从个人计算机等主机输入的印刷数据，控制印刷机构3020、供纸机构3030等。

在这种打印机3000中，供纸机构3030将记录用纸P逐张地间歇输送到头单元3021的下部附近。这时，头单元3021在与记录用纸P的输送方向几乎正交的方向上往复移动，对记录用纸P进行印刷。

该打印机3000由于具备压电驱动装置400，因此，能够享有上述压电驱动装置400的效果。需要注意的是，在本实施方式中，压电驱动装置400驱动供纸用的驱动辊3032，但除此之外，例如也可以驱动滑架3021c。

图14是示出又一实施方式所涉及的投影仪的整体构成的概略图。该投影仪4000是LCD方式的投影仪，具备光源4010、反射镜4021、4022、4023、二向色镜4031、4032、液晶显示元件4040R、4040G、4040B、二向色棱镜4050、投射透镜系统4060和压电驱动装置400。

作为光源4010，例如可列举卤素灯、水银灯、发光二极管(LED)等。此外，作为该光源4010，使用射出白色光的光源。于是，从光源4010射出的光首先被二向色镜4031分离成红色光(R)和其它光。红色光在被反射镜4021反射后，射入液晶显示元件4040R，其它光被二向色镜4032进一步分离成绿色光(G)和蓝色光(B)。并且，绿色光射入液晶显示元件4040G，蓝色光在被反射镜4022、4023反射后，射入液晶显示元件4040B。

液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别被用作空间光调制器。这些液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别是与R、G、B原色对应的透射型的空间光调制器，例如具备排列成纵1080行、横1920列的矩阵状的像素。在各像素中，调整对应于入射光的透射光的光量，在各液晶显示元件4040R、4040G、4040B中，所有像素的光量分布被协调控制。通过这种液晶显示元件4040R、4040G、4040B而分别被空间调制的光由二向色棱镜4050合成，并从二向色棱镜4050射出全彩色的影像光LL。然后，射出的影像光LL被投射透镜系统4060放大，例如被投射到屏幕等上。压电驱动装置400能够使投射透镜系统4060中包括的至少一个透镜在光轴方向上移动而变更焦距。该投影仪4000由于具备压电驱动装置400，因此，可以享有上述压电驱动装置400的效果。

在上述各种实施方式中，对将压电驱动装置应用于机器人、电子部件输送装置、打印机及投影仪的构成进行了说明，但压电驱动装置也可以应用于除此之外的各种装置。

Claims (9)

1.一种压电驱动装置，其特征在于，驱动被驱动部件，并具备：

压电振动体；以及

驱动电路，电气驱动所述压电振动体，

所述压电振动体具备：

触头，相对于所述被驱动部件沿着第一方向延伸并与所述被驱动部件接触；

第一压电元件，根据从所述驱动电路供给的第一驱动电压，在与所述第一方向交叉的方向上产生弯曲振动；以及

第二压电元件，根据从所述驱动电路供给的第二驱动电压，在所述第一方向上产生纵向振动，

所述压电振动体构成为所述纵向振动的共振频率高于所述弯曲振动的共振频率，

所述驱动电路将所述第一驱动电压及所述第二驱动电压的驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述驱动电路从高于所述纵向振动的共振频率的频率起对所述驱动频率进行降频扫描来将所述驱动频率设定为所述纵向振动的共振频率以上的频率。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述压电振动体还具备拾取电极，所述拾取电极检测所述压电振动体的振动并向所述驱动电路供给振动检测信号，

所述驱动电路根据所述振动检测信号确定所述驱动频率，

所述拾取电极配置于沿所述第一方向延伸的所述压电振动体的中心轴上的位置。

4.根据权利要求3所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述拾取电极配置于成为所述弯曲振动的节的位置。

5.一种压电驱动装置的驱动方法，其特征在于，

所述压电驱动装置具有压电振动体，

所述压电振动体具备：触头，相对于被驱动部件沿着第一方向延伸并与所述被驱动部件接触；第一压电元件，根据第一驱动电压，在与所述第一方向交叉的方向上产生弯曲振动；以及第二压电元件，根据第二驱动电压，在所述第一方向上产生纵向振动，

在所述压电驱动装置的驱动方法中，所述压电振动体构成为所述纵向振动的共振频率高于所述弯曲振动的共振频率，并且，

在所述压电驱动装置的驱动方法中，将具有所述纵向振动的共振频率以上的驱动频率的第一驱动电压及第二驱动电压供给至所述第一压电元件及所述第二压电元件。

6.一种机器人，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

7.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

8.一种打印机，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。

9.一种投影仪，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的压电驱动装置。