JP3402816B2 - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents
超音波モータの駆動回路Info
- Publication number
- JP3402816B2 JP3402816B2 JP33530994A JP33530994A JP3402816B2 JP 3402816 B2 JP3402816 B2 JP 3402816B2 JP 33530994 A JP33530994 A JP 33530994A JP 33530994 A JP33530994 A JP 33530994A JP 3402816 B2 JP3402816 B2 JP 3402816B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- ultrasonic motor
- piezoelectric element
- drive circuit
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000018199 S phase Effects 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
置等に用いられる振動体の共振を利用して駆動する超音
波モータに関するものである。
と称する振動波モータが開発され、実用化されている。
この振動波モータは圧電素子もしくは電歪素子等の電気
−機械エネルギー変換素子に、交番電圧を印加すること
により当該素子に高周波振動を発生させ、その振動エネ
ルギーを連続的な機械運動として取出すように構成され
た非電磁駆動式の新型モータであり、低速、高トルク等
の特性によりカメラのレンズ駆動装置等に用いられてい
るものである。このモータにおける振動子の楕円駆動等
の動作原理については本出願人による特開平3−289
375号の提案を始め、多くの説明がなされてよく知ら
れているものなので詳細は省略する。
である。図の棒状超音波モータを構成する振動体1は、
圧電素子もしくは電歪素子と弾性体との結合体から成
る。
電素子a1、a2およびB相圧電素子b1、b2と、振
動検出圧電素子s1から構成され、A相圧電素子a1、
a2に挟まれた金属板A−dにA相印加電圧を、B相圧
電素子b1、b2にB−dよりB相印加電圧を加えて圧
電素子部を駆動する。また、A相圧電素子a1、a2お
よびb相圧電素子b1、b2の両外側はGND電位とな
り、振動検出圧電素子s1は同様に一方(図12のB相
側)がGND電位になっていて、その反対側の取出電極
S−dから信号を取出すように構成されている。なお、
この場合、振動検出圧電素子s1の信号取出し面側は金
属ブロックと接しているが、金属ブロックは絶縁シート
によりGND電位から絶縁されているので、振動検出圧
電素子s1からはその振動に応じた出力電圧がそのまま
得られる。従って、出力電圧の大きさや駆動電圧の位相
差等により共振周波数を求め制御を行うことができる。
駆動回路のブロック図である。図13の駆動回路はマイ
コン11の制御によって動作し、発信器2で発生させた
交番電圧を移相器3で90度移相し、発信器2からの交
番電圧はスイッチング回路4に、移相器3からの交番電
圧はスイッチング回路5に加えて電源電圧を交番電圧で
スイッチングする。その出力をモータとのインピーダン
スを整合させるマッチングコイル6、7を介して、モー
タの駆動電極A−d、B−dに印加する。モータの回転
速度を速度検出器(エンコーダ等)8で検出し、駆動電
極A−dと振動検出電極S−dの信号位相差θA−Sを
位相差検出器10で検出して、共振周波数を基に周波数
制御を行う。
回路の信号位相差対周波数およびモータ回転数の関係を
示す図である。
2と振動検出用圧電素子s1とは位置的に180度ずれ
ていて、共振周波数frでは位相差θA−SがCW(時
計回り)、CCW(反時計回り)共に−90度(θ1と
θ2の間)になり、共振周波数frから高い周波数にな
るにつれ−90度からずれて行って、モータ1が停止す
るような周波数fより高い周波数では、振動検出用圧電
素子s1の出力信号が小さくなるためノイズ等の影響で
安定した値に定まらない。
波数を高い方から低い方へスイープする時、速度検出器
8の信号よりモータ1が動いているかを判断し、動いて
いないときは位相差θA−Sを検出せずにそのまま周波
数を下げ、動き出したら位相差θA−Sが共振周波数f
r付近(位相差θ1とθ2の間)になるよう駆動周波数
を制御して超音波モータ1を駆動する。
来例では、モータ1が停止するようなある周波数f以上
になると位相差θA−Sが安定した値に定まらず、共振
周波数frではないのに共振周波数frと誤認してしま
う不安定領域となる。この現象を避けるためにはエンコ
ーダ等の速度検出器8を用意して、モータが回転してい
るか否かを先ず確認しなければならないという問題があ
る。
特開平4−331485号に、振動検出圧電素子の電極
リード線にA相圧電素子の電極リード線を巻き付ける等
の方法で、わざと駆動信号による誘導ノイズを検出信号
に重畳するように構成し、周波数fより高い不安定領域
においては振動検出圧電素子の検出信号が小さくなる
と、駆動信号からの誘導ノイズが現れて位相差θA−S
を−180度に収束するようにしたものが提案されてい
るが、この場合もリード線の引き回しの状態などによっ
て信号の大きさがバラツキ、実施上管理するのが困難で
あるという問題がある。
いて振動検出圧電素子のみで正確に超音波モータの共振
周波数近傍での駆動を可能にして、小型化、高効率化と
低コスト化を実現できる超音波モータの駆動回路を提供
することにある。
め、本発明は、弾性体に配置された電気−機械エネルギ
ー変換素子に交番電圧を印加することによって弾性体に
振動モードを励振させ、且つこの振動モードと直交する
振動モードに適当な時間位相差を持たせることにより弾
性体の表面粒子に楕円運動を行わしめる振動体と、振動
体に押圧されて摩擦駆動される移動体を有する超音波モ
ータの駆動回路において、振動体の一部に振動検出部を
設け、振動検出部に対して直列に接続されたインピーダ
ンス素子を介して、交番電圧による信号を該振動検出部
に重畳させることを特徴とするものである。
は、弾性体に配置された積層圧電素子に交番電圧を印加
することによって弾性体に振動モードを励振させ、且つ
この振動モードと直交する振動モードに適当な時間位相
差を持たせることにより弾性体の表面粒子に楕円運動を
行わしめる振動体と、振動体に押圧されて摩擦駆動され
る移動体を有する超音波モータの駆動回路において、積
層圧電素子は交番電圧を印加する駆動部および振動検出
部を備えた圧電素子を積層化したものであり、交番電圧
による信号を振動検出部に重畳させるものであって、交
番電圧の信号の大きさを調整するために、駆動部と振動
検出部との間に生じる容量成分と振動検出部の持つ容量
成分の比が調整されていることを特徴とするものであ
る。
インピーダンス素子を直列に配置して、インピーダンス
素子を介して、振動体の圧電素子に印加する交番電圧に
よる信号を振動検出部に重畳させるため、位相差が不安
定になる高い周波数でも位相差を安定した値にし、正確
に検知することができる。
る駆動部および振動検出部を備えた圧電素子を積層化し
た積層圧電素子を用いて、交番電圧による信号を該振動
検出部に重畳させるものであって、交番電圧の信号の大
きさを調整するために、駆動部と振動検出部との間に生
じる容量成分と該振動検出部の持つ容量成分の比が調整
されているので、積層構造の圧電素子部の場合にも駆動
電圧の給電側パターンと振動検出部側パターンの重なり
度合い等を変えることにより容量成分の比を変えて重畳
させる信号の大きさを調整することができる。
る。図1〜図4は本発明の超音波モータの駆動回路につ
いての第1実施例を示す。図1は本発明の第1実施例に
係る超音波モータの駆動回路のブロック図である。
用した速度検出器8を省き、インピーダンス素子である
コンデンサ12をS相(振動検出側)に対しA相(A相
駆動側)が直列につながるように配置されている。この
場合、A相駆動用圧電素子と振動検出用圧電素子とは位
置的に同位相であり、共振周波数では位相差θA−Sが
+90度になるようになっている。なお、その他の図1
3に示す従来例と同一構成には同一符号を付し重複する
説明は省略する。
の要部の簡略図である。図2は図1の超音波モータの駆
動回路の要部を等価的に簡略化して示したものであり、
振動検出用圧電素子側の容量成分Csと、S相にたいし
て直列に接続されるコンデンサ12による容量成分Ci
nとの構成として表すことができる。
る信号が振動検出部に重畳される比率を示したグラフで
ある。
フから明らかなように、重畳させる信号(本実施例では
A相電圧)が一定であれば、両容量成分の比「Cin/
Cs」が大きい程S相に大きなA相電圧成分が重畳され
る。すなわち、「Cin/Cs」を変えることによって
S相に重畳させる信号の大きさを調整できることにな
る。
さすぎるとS相信号が小振幅のとき誤差を生じ、大きす
ぎると共振周波数の検出に誤差が生じてしまう。従っ
て、重畳される信号の大きさは、共振周波数における振
動検出部の出力電圧(最大時)の「1/20〜1/3」
の範囲に入るよう調整するのが、実験的にも最適な大き
さの範囲である。
力電圧と重畳させる大本のA相信号の大きさを等しくな
るように設定した場合、振動検出部の持つ容量成分Cs
と直列に配置する容量成分Cinの比を、「0.05<
Cin/Cs<0.5」の範囲に入るよう、容量成分の
比「Cin/Cs」を調整することによって、重畳させ
る信号の大きさは振動検出部の出力電圧の「1/20〜
1/3」の最適範囲内の値となる。
さの関係は、調整工程上の基準あるいは設計上の指標と
して利用することができる。
の駆動周波数と位相差およびモータ回転数の関係を示す
図である。
出す周波数fより高い周波数では、位相差θA−Sが安
定した値を示していなかったが、本実施例の場合にはモ
ータが動き出す周波数fより高い周波数でも、位相差θ
A−Sが0度(A相と同相)に安定している。従って、
起動時に周波数を高い方から低い方へスイープしていく
時、モータが動き出していなくても位相差は0度である
から周波数を下げ続けて、共振周波数fr付近の回転数
Nの安定領域でモータが駆動されるように制御すること
ができる。
には必要であったエンコーダ等の速度検出器8を省い
て、位相差θA−Sの情報のみによりモータ1共振周波
数frで効率良く駆動することが可能になり、小形化、
低コストも実現される。
る。図5は本発明の第2実施例に係る超音波モータの駆
動回路のブロック図である。図5に示す本実施例で、第
1実施例と異なる点は、インピーダンス素子であるコン
デンサ12の代わりに抵抗12′を設けたことである。
その他第1実施例と同一構成には同一符号を付して重複
する説明は省略する。
図6は図5の超音波モータの駆動回路の要部を等価的に
簡略化して示したものであり、振動検出用圧電素子側の
容量成分CsとS相に直列に接続した抵抗Rin12′
による構成として表すことができる。
同様に振動検出部のCsとRinとの比「Rin/C
s」、を変えることによってS相に重畳させる信号の大
きさを調整することができる。それに、「Rin/C
s」は抵抗値の可変によつて変えられるので調整も簡単
である。
号の大きさを位相ずれ等の心配なしに簡単な構成で調整
できると共に、高い周波数になるに従いS相に重畳させ
る信号の大きさの減衰度がコンデンサ素子12よりは大
きくなるので、重畳させる大本の信号にある不要な高周
波成分を除去してS相に重畳しないようにする効果も得
られる。
る。図7は本発明の第3実施例に係る棒状超音波モータ
の側面図である。
容量素子12をモータの外部に設けたのに対し、内蔵型
としてモータ内部S相の部分に圧電素子s1の他にもう
1枚s2を増やし、S相(S−d)と反対側をA相(A
−d)と接続する構成としている。
素子として動作する特性を有しているので、モータの振
動体1用の圧電素子を容量素子としてそのまま流用でき
る。このような構成によって、S相信号に第1実施例と
同様にA相電圧成分を重畳させることができる。
圧電素子をそのまま容量素子に利用し、モータ内に内蔵
型として組込む構造にしたので外付け部品を無くして、
よりコンパクトな構成とし、さらに、第1実施例と同様
効率の良い制御効果が得られる。
る。図8は本発明の第4実施例に係る超音波モータの圧
電素子部の構造図である。図8に示す第4実施例は、小
型化、高信頼度化等を図るために圧電素子部を積層構造
とした超音波モータへの適用例である。なお、積層構造
の詳細については、特願平5−331848号に詳述さ
れている。
駆動および振動検出素子部でスルーホール等を用いて積
層化したものである。13−1は駆動用電極A、Bおよ
び振動検出用電極Sの3つの領域に分かれている。13
−1の裏面すなわち13−2の表面は貫通穴(スルーホ
ール)の部分以外は全体に電極が描かれている。
のパターンが描かれ4つの領域に分かれている。その中
の丁度向き合っている領域がA駆動用、B駆動用にそれ
ぞれ用いられる。もう一方の面は13−1と同様に貫通
穴(スルーホール)以外は全体に電極が描かれている。
スルーホールが対称な位置に設けられている。(但し、
13−2もしくは13−3の片方が上述の電極パターン
で、もう一方は電極パターンが無くても同様な効果が得
られる) 13−4以降は13−2、13−3の組合わせを繰返す
ように重ねていけばn層の積層素子を形成することがで
きる。但し、13−nのみはスルーホールの数が1個で
ある。
られているのは、モータの駆動力を有効に使うためのも
のであるがここでは詳細は略す。また、向かい合う電極
は互いに逆方向に分極されている。これらの圧電素子は
圧電素子13−1のA及びBに位相の異なる交流電圧を
印加することで、同様に超音波モータの駆動を行うこと
ができる。
素子で給電する位置をモータの円周上の一部に集めてい
る(A、B、Sのパターン)。
簡略図である。図9は図8の圧電素子14と13−1の
部分の振動検出部付近の構造を等価的に簡略化して示し
たものであり、図から明らかなように圧電素子14のA
相を給電する部分が13−1等のS相の部分に重なって
構成されている。従って、14のA相パターンと13−
1のS相パターンとで圧電素子14の容量成分を挟み、
結合容量Cinを形成してつながっているいることにな
り、Cinを介してS相にA相電圧成分が重畳される。
することによって圧電素子14、13−1〜nまでが一
体で焼成されて一つの部品として形成されるので、圧電
素子を電極板(A−d、S−d等)を介しながら重ねる
必要がなくなる。また、A相S相のパターン間隔、形状
等の重なり度合いから結合容量による、「Cin/C
s」が変わり、重畳させる信号の大きさを調整できるの
で本発明による効果も得られ、小形、高能率の超音波モ
ータを構成することができる。
について述べてきたが、棒状以外のタイプのモータでも
振動検出圧電素子を用いているものであれば、本発明の
適用実施は可能である。
る。図10は本発明の第5実施例に係る超音波モータの
圧電素子部の構造図である。図10に示す第5実施例
は、第4実施例と同様に圧電素子15−2〜nを積層構
造としたものであるが、パターンが異なり駆動用電極
A、Bの他にA′、B′を設けている。
反転した電圧を供給することで、ABのみの場合に比較
して半分の駆動電圧で駆動できるという消エネ効果が得
られるものである。また、それぞれの圧電素子15−2
〜nは片面のみ電極が設けられていて、電極の設けられ
ていない側はその面に向かい合う側の電極パターンがそ
のまま転写される。
スルーホールのみが出ている。フレキシブル基板16に
はスルーホール部15−1に給電できるようにパターン
が描かれているので、フレキシブル基板16のパターン
が最上層の圧電素子15−1の電極パターンと等価とな
る。
供給部を、圧電素子15−2のS相部分に対してどの程
度重ねるかによって、同様に結合容量Cinが変わり比
「Cin/Cs」を変えて、S相に重畳させるA相成分
の大きさを調整することができる。
子部の上部よりフレキシブル基板16を用いて給電する
形式なので、重畳される信号の大きさの調整には圧電素
子部15−1〜nを変更する(パターン等)必要は無
く、フレキシブル基板16側でA相供給部分を圧力電気
素子15−2のS相部分に重ねる度合いを変えて、重畳
させるA相成分の大きさを調整することができる。
る。図11は本発明の駆動回路により駆動する超音波モ
ータを用いたレンズ駆動装置の構成図である。
こで使用している振動体1を有する棒状超音波モータは
本発明の駆動回路によるもので、従来用いていた速度検
出器8等の圧電素子部に外付けする部品を無くしたもの
である。
るギアFは、ギア伝達機構Gの入力ギアGIに噛合し、
その出力ギアGOはレンズL1を保持するレンズ保持部
材Hに形成されたギアHIに噛合している。このレンズ
保持部材Hは固定筒Kにヘリコイド結合し、超音波モー
タの駆動力によりギア伝達機構Gを介して回転駆動され
て合焦動作が行われる。
動回路により駆動される超音波モータを用いてカメラの
レンズ駆動装置を構成したので、さらなる小形化とAF
高速駆動等にも対応できる高性能のレンズ駆動装置を構
成できる。
ータの駆動回路によれば、速度検出器を省いて振動検出
圧電素子のみで正確にモータの共振周波数近傍で駆動す
ることが可能になり、小型化、高効率化、低コストを実
現できるものである。
よれば、積層構造の圧電素子部を用いる場合にも容量成
分の比による重畳させる信号の大きさ調整が可能にな
り、小型化、高効率化を達成できるものである。
回路のブロック図である。
略図である。
in/Csと重畳信号の比率を示すグラフである。
波数と位相差θA−S、モータ回転数Nの関係を示す図
である。
回路のブロック図である。
図である。
圧電素子部の構成図である。
の圧電素子部の構成図である。
構成図である。
ブロック図である。
差θA−S、モータ回転数Nの関係を示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 弾性体に配置された電気−機械エネルギ
ー変換素子に交番電圧を印加することによって弾性体に
振動モードを励振させ、且つ該振動モードと直交する振
動モードに適当な時間位相差を持たせることにより弾性
体の表面粒子に楕円運動を行わしめる振動体と、該振動
体に押圧されて摩擦駆動される移動体を有する超音波モ
ータの駆動回路において、 振動体の一部に振動検出部を設け、該振動検出部に対し
て直列に接続されたインピーダンス素子を介して、該交
番電圧による信号を該振動検出部に重畳させることを特
徴とする超音波モータの駆動回路。 - 【請求項2】 重畳させる信号の大きさを調整するため
に、該振動検出部の持つ容量成分と該インピーダンス素
子の持つ容量成分の比が調整されていることを特徴とす
る請求項1に記載の超音波モータの駆動回路。 - 【請求項3】 重畳させる信号の大きさが共振周波数に
おける該振動検出部の出力電圧の1/20乃至1/3の
範囲に入るように、該振動検出部の持つ容量成分と該イ
ンピーダンス素子の持つ容量成分の比が調整されている
ことを特徴とする請求項2に記載の超音波モータの駆動
回路。 - 【請求項4】 共振周波数における該振動検出部の出力
電圧と該交番電圧の大きさが等しくなるように設定した
場合に、該振動検出部の持つ容量成分と該インピーダン
ス素子の持つ容量成分の比が0.05乃至0.5の範囲
に入るように調整されていることを特徴とする請求項3
記載の超音波モータの駆動回路。 - 【請求項5】 該インピーダンス素子を圧電素子で構成
したことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載
の超音波モータの駆動回路。 - 【請求項6】 該インピーダンス素子が抵抗で構成され
ており、重畳させる信号の大きさを調整するために、該
振動検出部の持つ容量成分と該インピーダンス素子の持
つ抵抗の比が調整されていることを特徴とする請求項1
に記載の超音波モータの駆動回路。 - 【請求項7】 弾性体に配置された積層圧電素子に交番
電圧を印加することによって弾性体に振動モードを励振
させ、且つ該振動モードと直交する振動モードに適当な
時間位相差を持たせることにより弾性体の表面粒子に楕
円運動を行わしめる振動体と、該振動体に押圧されて摩
擦駆動される移動体を有する超音波モータの駆動回路に
おいて、該積層圧電素子は該交番電圧を印加する駆動部および振
動検出部を備えた圧電素子を積層化したものであり、該
交番電圧による信号を該振動検出部に重畳させるもので
あって、該交番電圧の信号の大きさを調整するために、
該駆動部と該振動検出部との間に生じる容量成分と該振
動検出部の持つ容量成分の比が調整されている ことを特
徴とする超音波モータの駆動回路。 - 【請求項8】 該積層圧電素子の各圧電素子の該駆動部
と該振動検出部はスルーホールが形成され、該積層圧電
素子の最上層にはスルーホールが露出しており、基板を
用いて該最上層のスルーホールに交番電圧を印加するこ
とを特徴とする請求項7に記載の超音波モータの駆動回
路。 - 【請求項9】 請求項1乃至8記載の超音波モータの駆
動回路により駆動される超音波モータを用いてレンズ鏡
筒を駆動するレンズ駆動装置を構成したことを特徴とす
る超音波モータの駆動回路。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33530994A JP3402816B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 超音波モータの駆動回路 |
US08/574,080 US5739621A (en) | 1994-12-22 | 1995-12-18 | Vibration type motor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33530994A JP3402816B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 超音波モータの駆動回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08182357A JPH08182357A (ja) | 1996-07-12 |
JP3402816B2 true JP3402816B2 (ja) | 2003-05-06 |
Family
ID=18287086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33530994A Expired - Lifetime JP3402816B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 超音波モータの駆動回路 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5739621A (ja) |
JP (1) | JP3402816B2 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3839898B2 (ja) * | 1997-04-21 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置および振動型アクチュエータを駆動源とする装置 |
AU6357298A (en) * | 1997-04-28 | 1998-10-29 | Ethicon Endo-Surgery, Inc. | Methods and devices for controlling the vibration of ultrasonic transmission components |
JP4026885B2 (ja) | 1997-05-16 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 圧電素子および振動型駆動装置 |
JPH11136967A (ja) * | 1997-10-29 | 1999-05-21 | Canon Inc | 振動型駆動装置および振動型モータ装置 |
US6404104B1 (en) | 1997-11-27 | 2002-06-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator and vibration type driving apparatus |
DE69838595T2 (de) * | 1997-12-12 | 2008-07-24 | Canon K.K. | Antriebsvorrichtung für einen Vibrationsaktor |
US6016052A (en) * | 1998-04-03 | 2000-01-18 | Cts Corporation | Pulse frequency modulation drive circuit for piezoelectric transformer |
JP3148729B2 (ja) * | 1998-04-13 | 2001-03-26 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
JP2000184759A (ja) | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Canon Inc | 振動型アクチュエ―タ駆動装置 |
JP4428747B2 (ja) | 1999-02-22 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ駆動制御装置、駆動制御方法、及び記憶媒体 |
JP4520570B2 (ja) * | 1999-03-01 | 2010-08-04 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ |
JP4328412B2 (ja) | 1999-05-14 | 2009-09-09 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 |
JP2002101678A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-05 | Asmo Co Ltd | 超音波モータ |
SE0002884D0 (sv) * | 2000-08-11 | 2000-08-11 | Piezomotor Uppsala Ab | Switched actuator control |
JP2002095272A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-29 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
JP2002204585A (ja) | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御装置 |
JP4726167B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2011-07-20 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP5031153B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 |
JP4027090B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 振動体および振動波駆動装置 |
JP4756916B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
DE102005042108A1 (de) * | 2005-09-05 | 2007-03-15 | Siemens Ag | Schaltung und Verfahren zum analogen Ansteuern einer kapazitiven Last, insbesondere eines piezoelektrischen Aktors |
JP4795158B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-10-19 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
JP4891053B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2012-03-07 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
JP5328109B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
CN101471614B (zh) * | 2007-12-28 | 2012-12-05 | 德昌电机(深圳)有限公司 | 用于电容性负载的驱动电路 |
CN101567640B (zh) * | 2008-04-21 | 2013-07-10 | 德昌电机(深圳)有限公司 | 压电马达驱动方法及电路 |
JP5791343B2 (ja) | 2010-05-31 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 振動型モータの制御方法および振動型モータの駆動装置 |
JP6584247B2 (ja) | 2014-10-10 | 2019-10-02 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動方法、駆動装置の制御方法、駆動装置、撮像装置及び装置 |
JP7388174B2 (ja) * | 2019-12-20 | 2023-11-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4727276A (en) * | 1985-03-26 | 1988-02-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving circuit for vibration wave motor |
US5023526A (en) * | 1988-10-31 | 1991-06-11 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vibratory motor |
JPH03145976A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-21 | Nikon Corp | 超音波モータの駆動装置 |
JP2995789B2 (ja) * | 1990-03-15 | 1999-12-27 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動装置 |
JP2996483B2 (ja) * | 1990-04-05 | 1999-12-27 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ |
JP2714261B2 (ja) * | 1990-12-14 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 振動子および振動装置 |
US5410204A (en) * | 1992-02-28 | 1995-04-25 | Olympus Optical Co. Ltd. | Ultrasonic oscillator |
DE69315767T2 (de) * | 1992-08-25 | 1998-05-07 | Canon Kk | Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor |
JP3416233B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2003-06-16 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子、積層圧電素子の分極処理方法、超音波モータ及び超音波モータを備えた装置 |
EP0661764B1 (en) * | 1993-12-27 | 1999-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave actuator |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33530994A patent/JP3402816B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-12-18 US US08/574,080 patent/US5739621A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08182357A (ja) | 1996-07-12 |
US5739621A (en) | 1998-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3402816B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
US7786648B2 (en) | Semi-resonant driving systems and methods thereof | |
US7759840B2 (en) | Ultrasonic motor and vibration detection method for ultrasonic motor | |
JP4479725B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび機器 | |
US6720711B2 (en) | Piezoelectric actuator, ultrasonic motor equipped with piezoelectric actuator, and electronic apparatus equipped with piezoelectric actuator | |
US6218769B1 (en) | Ultrasonic motor and electronic apparatus having ultrasonic motor | |
JP3432001B2 (ja) | 振動波装置 | |
US7382080B2 (en) | Piezoelectric ultrasonic motor driver | |
JP3059031B2 (ja) | 振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた装置 | |
US5955819A (en) | Standing-wave vibration motor | |
US5920144A (en) | Vibrating actuator device | |
US6586860B1 (en) | Ultrasonic motor and electronic device with ultrasonic motor | |
US8304962B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JP5074674B2 (ja) | 積層圧電素子および振動波モータ | |
JP3126563B2 (ja) | 振動型モータの駆動装置 | |
JPH10304687A (ja) | 振動型アクチュエータの駆動装置および振動型アクチュエータを駆動源とする装置 | |
JPH0984365A (ja) | 振動型アクチュエーター装置 | |
JP4499877B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 | |
JP2001157473A (ja) | 電気機械エネルギ変換素子を振動源とする振動体、この振動体を駆動源とする振動波駆動装置、振動波駆動装置を有する装置およびこの振動体を搬送源とする搬送装置 | |
US8446066B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JPS60183981A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH0681523B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
JP5486256B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH0833366A (ja) | 超音波モータの駆動方法とその駆動回路 | |
JP2752105B2 (ja) | 振動波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080229 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090228 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100228 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100228 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120229 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130228 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140228 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |