JP4726167B2 - 振動波駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波等の振動波により駆動力を得る振動波駆動装置に関するものであり、特に駆動方向の多自由度化及び小型化を目的とするものである。
【0002】
【従来の技術】
超音波等の振動波による振動波駆動装置で2自由度又は3自由度の駆動力を得るものが幾つか提案されている。例えば第1の例として、特開平11-220891号公報に開示されるようにランジュバンタイプの振動子に長手軸方向の面内伸縮振動と、長手軸に対する2つの直交する面外曲げ振動の固有振動モードを励起して、これらを合成して任意の並進と回転駆動力を発生させる方法が提案されている。
【0003】
また、第2の例として、特開平08-023686号公報に開示されるように平板タイプの振動子に2つの面内伸縮振動と、2つの面外曲げ振動の固有モードを励起して2自由度の駆動力を発生する方法が提案されている。この方法は、第1の面内伸縮振動と第3の面外曲げ振動の合成により第1の方向への並進駆動力を発生させ、第2の面内伸縮運動と第4の面外曲げ振動の合成により第2の方向への並進駆動力を発生させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
振動波駆動装置は小型化及び高機能化が求められているが、従来提案されている振動波駆動装置の例では下記の改善の余地が残されている。
【0005】
第1の例の振動波駆動装置は、振動子がランジュバンタイプであり、長手軸方向の面内伸縮振動を発生させる必要がある。長手軸方向の寸法を短くするとそれだけ面内伸縮振動の周波数が高くなるため、実用的な周波数で抑えるために長手軸方向の寸法を短くする上での制約が生じている。
【0006】
第2の例の振動波駆動装置は、振動子が板状であるので厚み方向の寸法の小型化は比較的容易であるが、面内の伸縮振動を発生させる必要があるので、振動の周波数を実用的な値に抑えるために板の長さ方向の寸法を短くする上での制約が生じている。また、この例では駆動力は2つの直交する軸の方向、つまり2自由度に限定しており、3自由度の駆動力を発生させるには至っていない。
【0007】
即ち、多自由度(特に3次元)の駆動力を発生でき、かつ小型である振動波駆動装置の実現という点で改善の余地がある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、接触突起部を有する板状の振動体と、前記振動体に曲げによる面外の変形を生じる固有振動モードである3つの異なる面外振動を発生させる電気−機械エネルギー変換素子とを備える振動子と、
前記接触突起部に加圧されて接触する被駆動体と、を有し、
前記振動子は前記振動体に前記3つの異なる面外振動を発生させることで前記接触突起部に楕円運動を生じさせるものであり、前記3つの異なる面外振動における前記振動体に発生させる面外振動の組み合わせを変えることによって、前記接触突起部に生じる楕円運動の回転の軸の向きを変えることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
(第1実施の形態)
図1に本発明における第1実施の形態の振動子1の斜視図を、図2に第1実施の形態の振動子1に励振される固有振動モードの模式図を示す。図2中の矢印は各固有振動モードにおける相対的な位置変位を示す。
【0011】
振動子1はリン青銅等の金属で形成した略正方板状に複数の突起が設けられた振動体2と、この振動体2に接着固定される電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子3より形成される。振動子1の略外周辺中央部の4箇所には、不図示の被駆動体と接触して駆動力を伝達するための接触突起部PC1〜PC4が形成され、この接触突起部PC1〜PC4は被駆動体に駆動力を伝達する駆動点C1〜C4を先端面(被駆動体との接触面)に有している。この駆動点C1〜C4には表面酸化処理を施したSUS等の耐磨耗性を有する部材が接着等により一体化されている。また、振動子1の略外周角部の4箇所には突起部PE1〜PE4が形成され、振動子1の略中央部には突起部PGが形成されている。更に振動体2の中央部には不図示の被駆動体を振動体2に吸引加圧するための加圧磁石5が配置されている。
【0012】
振動子1はX軸及びY軸を中心軸として、それぞれ線対称な形状に形成されている。これは後述する重根モードの振動を発生させるためである。本実施の形態では、図2に示すように振動モードはMode−α、Mode−βx、Mode−βyであり、それぞれが振動子1のXY面外の変形を生じる固有振動モードである。重根モードの振動とは同一の波形パターンである振動であり、本実施の形態における重根モードの振動は図2のMode−βxとMode−βyの変位分布図に示してあるように、同一の面外振動の波形パターンが90度位相のずれた状態で重畳している状態である。圧電素子3により励起された振動パターンというものは、振動体2の形状の影響を受けて変化してしまう。よって90度位相のずれた同一パターンの振動を発生させるような駆動電流を圧電素子3に加えたとしても、振動体2自体の形状が不均一であれば、振動パターンは振動体2の形状の影響を受けてしまい振動パターンにずれが生じてしまう。よって90度位相のずれた同一パターンの振動を発生させるような駆動電流を圧電素子3に加えたときに、振動体2の形状によって互いの振動パターンにずれが生じないように、振動体2は90度位相のずれた軸(X軸及びY軸)を中心としてそれぞれ線対称な形状に形成されているのである。
【0013】
また図2のMode−βxとMode−βyにおいては、同一の振動パターンを励振する圧電素子3を90度位相がずれるように配置し、かつ振動体2の形状がX軸及びY軸を中心軸として、それぞれ線対称な形状に形成されていれば固有振動数は一致する。なお、本実施の形態ではMode−βxとMode−βyを励振させる圧電素子3は共通している。しかし、図2のMode−αは同じく面外振動であるが振動パターンが異なるため、ほとんどの場合は固有振動周波数が一致しない。よってMode−αの固有振動周波数とMode−βx及びMode−βyの固有振動周波数とを一致させる必要が生じる。図2からわかるように本実施の形態では、Mode−βxとMode−βyにおける面外振動はMode−αにおける面外振動に比較して波長が短いため、固有振動周波数が高くなってしまう。よってMode−βxとMode−βyの振動振幅の比較的大きな位置である略外周角部の4箇所に、突起部PE1〜PE4を形成して質量を増すことによりMode−βxとMode−βyの固有振動周波数を抑え、Mode−αの固有振動周波数と一致させている。また、これらの突起部PE1〜PE4を形成することで、駆動点C1〜C4の振動変位を拡大させることができる。
【0014】
図3は振動体2の裏面に配置され、振動子1に固有振動モードMode−α、Mode−βx、Mode−βyを励振するための圧電素子3−1〜3−8の構成を示す。
【0015】
図3において(+)(−)は各圧電素子3の分極方向を示している。端子A,B,C及びこれらと各圧電素子3を結ぶ線は駆動振動の印加端子と接続状態を模式的に示している。振動体2と接続するGはコモン電位とする。端子Aに交番信号を印加すればMode−αの面外振動が励振される。端子Bと端子Cに互いに逆位相の交番信号を印加することでMode−βxの面外振動が励振され、端子Bと端子Cに同位相の交番信号を印加することでMode−βyの面外振動が励振される。重根モードの振動であるMode−βxとMode−βyは共通の圧電素子3により励振されている。
【0016】
図4に駆動点C1〜C4における振動変位状態を示す。
【0017】
図4(a)は振動子1と被駆動体との相対運動としてY軸回りの回転(図1のRy)あるいはX軸方向の並進運動を発生させる時の振動変位状態である。Mode−αを基準としてMode−βxが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加している。各駆動点C1〜C4において振動変位は時間的にt1→t2→t3→t4→t1への変化を繰り返し、XZ面内の円又は楕円運動を生じる。この円又は楕円運動により、駆動点C1〜C4に加圧接触する被駆動体と振動子1は相対的な運動を生じる。
【0018】
例えば図5に示すように被駆動体として球状の被駆動体4Sを選択し、振動子1を固定支持としたときには被駆動体4SはY軸回り(Ry)の回転運動を行う。また図6(a)に示すように被駆動体として平面状の被駆動体4Pを選択し、振動子1を固定支持としたときには被駆動体4PはX軸方向の並進運動を行う。
【0019】
図4(b)は振動子1と被駆動体との相対運動としてX軸回りの回転(Rx)あるいはY軸方向の並進運動を発生させる時の振動変位状態である。Mode−αを基準としてMode−βyが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加している。Mode−αとMode−βxの場合と同様に、各駆動点C1〜C4においてYZ面内の楕円運動を生じる。
【0020】
図5に示すように被駆動体として球状の被駆動体4Sを選択し、振動子1を固定支持したときには被駆動体4SはX軸まわり(Rx)の回転運動を行う。また図6(a)に示すように被駆動体として平面状の被駆動体4Pを選択し、振動子1を固定支持したときには被駆動体4PはY軸方向の並進運動を行う。
【0021】
図4(c)は振動子1と被駆動体との相対運動としてZ軸回り(Rz)の回転運動を発生させる時の振動変位状態である。Mode-βxを基準としてMode-βyが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加している。各駆動点C1〜C4においてXY面内の楕円運動を生じる。
【0022】
図5に示すように被駆動体として球状の被駆動体4Sを選択し、振動子1を固定支持したときには被駆動体4SはZ軸回り(Rz)の回転運動を行う。また図6(a)に示すように被駆動体として平面状の被駆動体4Pを選択し、振動子1を固定支持したときには被駆動体4Pは振動子1との間にZ軸回り(Rz)の相対的な回転運動を発生させることができる。
【0023】
以上各軸方向あるいは各軸回りの運動を独立して説明したが、各固有振動モードの組み合わせにより任意方向の駆動力を発生させることが可能である。図6(b)に示すように被駆動体として楕円体状の被駆動体4Eを選択し、振動子1を固定支持した時には被駆動体はX軸回り(Rx)及びY軸回り(Ry)、あるいはこれらを合成した任意方向への駆動力を発生させることができる。
【0024】
また、図5の球状の被駆動体4SはCCDカメラであり、本実施の形態の振動波駆動装置をCCDカメラの位置出し機構への応用例を示している。球状の被駆動体4SにCCDカメラEが組み込まれており振動子1の発生する駆動力により任意の方向へCCDカメラEを向けることが可能である。
【0025】
図7は本実施の形態における振動子1の他の構成を示している。(a)は平面図、(b)は(a)のAA線断面図、(c)は(a)のBB線断面図である。
【0026】
振動子1を構成する振動体2は鉄系板材のプレス加工により形成されている。振動子1が振動体2と圧電素子3から構成されているのは前記した実施の形態と同様である。振動子1に励振する固有振動モードの形態も同様である。接触突起部PC1〜PC4は先端に駆動点C1〜C4を持ちZ方向に突出すると共に、側方(X方向又はY方向)にも突出する構成として駆動点C1〜C4の変位を拡大させている。突起部PE1〜PE4も同様に、Z方向に突出すると共に側方にも突出する構成として、Mode−βxとMode−βyの振動振幅の比較的大きな位置である略外周角部の4箇所の質量を増すことにより駆動に用いる固有振動モードの周波数の一致を実現させている。
【0027】
また、振動子1の形状はこれらに限定されない。本提案の効果を得る他の形状として、例えば図8(a)(b)に示す振動体2(振動子1)のような形状でもよい。振動子1が励振する固有振動モードも上記のモードに限定されず、例えば図9に示す固有振動モードを用いることで同様の駆動を行うことができる。
【0028】
(第2実施の形態)
図10に本発明における第2実施の形態の振動子1の斜視図を、図11に第2実施の形態の振動子1に励振される固有振動モードの模式図を示す。図11中の矢印は各固有振動モードにおける相対的な変位を示す。
【0029】
第1実施の形態と異なる点は、接触突起部PC1〜PC4が振動子1の略外周角部の4箇所に形成され、突起部PE1〜PE4が振動子1の略外周辺中央に形成されている点である。本実施の形態では図11に示すパターンの振動を有する固有振動モードが発生するので、この固有振動モードを効率よく励振できるような形状に形成されている。すなわち、振動子1はX軸及びY軸を中心軸としてそれぞれ線対称な形状に形成されており、Mode−βxとMode−βyの固有振動数を抑えてMode−αの固有振動数と一致させるために、Mode−βxとMode−βyの振動振幅の比較的大きな位置である略外周辺中央部の4箇所に、突起部PE1〜PE4を形成して質量を増している。
【0030】
図12は振動体2の裏面に配置され、振動体2に固有振動モードMode−α、Mode−βx、Mode−βyを励振するための圧電素子3−1〜3−8の構成を示す。
【0031】
図12において、(+)(−)は各圧電素子3の分極方向を示している。端子A,B,C及びこれらと各圧電素子3を結ぶ線は駆動振動の印加端子と接続状態を模式的に示している。振動体2と接続するGはコモン電位とする。端子Aに交番信号を印加すればMode−αが励振され、端子Bと端子Cに互いに逆位相の交番信号を印加することでMode−βxが励振され、端子Bと端子Cに同位相の交番信号を印加することでMode−βyが励振される。本実施の形態でも、重根モードの振動であるMode−βxとMode−βyは共通の圧電素子3により励振されている。その他の構成は第1実施の形態と同様である。
【0032】
本実施の形態は固有振動モードの振動パターンが第1実施の形態と異なるだけで、駆動原理は同じである。
【0033】
Mode−αを基準としてMode−βxが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加すれば、振動子1と被駆動体との相対運動としてY軸回りの回転(Ry)あるいはX軸方向の並進運動を発生し、Mode−αを基準としてMode−βyが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加すれば、振動子1と被駆動体との相対運動としてX軸回りの回転(Rx)あるいはY軸方向の並進運動を発生する。また、Mode−βxを基準としてMode−βyが時間的にπ/4遅れるように駆動信号を印加すれば、振動子1と被駆動体との相対運動としてZ軸回り(Rz)の回転運動を発生する。
【0034】
以上第1、第2実施の形態をあげて説明してきたが、振動子1が励振する固有振動モードは上記モードに限定されず、重根モードを含む3種のXY平面における面外振動であり、固有振動モードの周波数が一致すればよい。
【0035】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、複数の振動モードを励振し、これらを合成することで任意の方向、例えば、互いに直交する3軸周りの回転や、互いに直交する2方向の並進と1軸周りの回転駆動など、3次元に多彩なパターンの駆動が可能な高機能で、しかも小型である振動波駆動装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態での振動子の斜視図
【図2】図1で示した振動子に励起される固有振動モードの模式図
【図3】図1で示した振動子の圧電素子の配置と接続状態を示す図
【図4】図1で示した振動子における駆動点の挙動を示す図
【図5】図1で示した振動子を用いた振動波駆動装置の形態例を示す図
【図6】図1で示した振動子を用いた振動波駆動装置の他の形態例を示す図
【図7】第1の実施の形態での振動子の他の構成を示す図
【図8】第1の実施の形態でのさらに他の構成を示す図
【図9】第1の実施の形態での振動子に励起される他の固有振動モードの模式図
【図10】第2の実施の形態での振動子の斜視図
【図11】図10で示した振動子に励起される固有振動モードの模式図
【図12】図10で示した振動子の圧電素子の配置と接続状態を示す図
【符号の説明】
1 振動子
2 振動体
3 圧電素子
4 被駆動体
5 加圧磁石
Claims (9)
- 接触突起部を有する板状の振動体と、前記振動体に曲げによる面外の変形を生じる固有振動モードである3つの異なる面外振動を発生させる電気−機械エネルギー変換素子とを備える振動子と、
前記接触突起部に加圧されて接触する被駆動体と、を有し、
前記振動子は前記振動体に前記3つの異なる面外振動を発生させることで前記接触突起部に楕円運動を生じさせるものであり、前記3つの異なる面外振動における前記振動体に発生させる面外振動の組み合わせを変えることによって、前記接触突起部に生じる楕円運動の回転の軸の向きを変えることを特徴とする振動波駆動装置。 - 前記3つの異なる面外振動のうち2つの面外振動は、振動パターンが同一で位相がずれていることを特徴とする請求項1に記載の振動波駆動装置。
- 前記3つの異なる面外振動のうち前記2つの面外振動は、他の1つの面外振動とは振動パターンが異なることを特徴とする請求項2に記載の振動波駆動装置。
- 前記2つの面外振動は、位相が90度ずれていることを特徴とする請求項2又は3に記載の振動波駆動装置。
- 前記2つの面外振動は、同一の電気−機械エネルギー変換素子により発生することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1つに記載の振動波駆動装置。
- 前記2つの面外振動は、同一の電気−機械エネルギー変換素子に対して互いに異なる位相の信号を与えることにより発生することを特徴とする請求項5に記載の振動波駆動装置。
- 前記振動体は、前記接触突起部とは異なる位置であって、前記3つの面外振動のうちのいずれかの面外振動による振幅の大きな位置に、前記接触突起部とは異なる別の突起部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の振動波駆動装置。
- 前記接触突起部は、前記振動体のうち正方形部分の4つの辺の中央部、あるいは、4つの角部に設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載の振動波駆動装置。
- 前記被駆動体が球体であり、
前記振動子が前記3つの異なる面外振動のうち、前記振動体に発生させる面外振動の組み合わせを変えることによって、前記被駆動体を、互いに直交する3つの軸のいずれかの軸周りに回転させるか、あるいは、互いに直交する3つの軸のうち複数の軸周りの回転を合成して回転させることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1つに記載の振動波駆動装置。
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