JPH03183376A - 振動波モータ - Google Patents
振動波モータInfo
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- JPH03183376A JPH03183376A JP1320127A JP32012789A JPH03183376A JP H03183376 A JPH03183376 A JP H03183376A JP 1320127 A JP1320127 A JP 1320127A JP 32012789 A JP32012789 A JP 32012789A JP H03183376 A JPH03183376 A JP H03183376A
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Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 7
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 3
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、進行性振動波の形成される弾性体を長円環形
状、所謂トラック型に形成した振動波モータに関するも
のである。
状、所謂トラック型に形成した振動波モータに関するも
のである。
[従来の技術]
直線部と円弧部からなる長円形状の金属製弾性体に進行
性振動波を形成する振動波モータにおいて、例えば該弾
性体を移動体としてその直線部を固定側のレール状固定
子に圧接させ、弾性体を前記レール状固定子の上を直線
移動させる振動波モータが提案されている。
性振動波を形成する振動波モータにおいて、例えば該弾
性体を移動体としてその直線部を固定側のレール状固定
子に圧接させ、弾性体を前記レール状固定子の上を直線
移動させる振動波モータが提案されている。
第5図、第6図は、その振動波モータの構成を示したも
のである。1は摺動面側に設けられた突起1aを有する
弾性体で、弾性体1に進行性振動波を形成するための圧
電素子2がその上面に接合されている。8は弾性体1と
摩擦接触するレール状固定子(被駆動体)で、振動絶縁
材5(例えばフェルト)を介して加圧バネ3によって弾
性体1と圧接している。
のである。1は摺動面側に設けられた突起1aを有する
弾性体で、弾性体1に進行性振動波を形成するための圧
電素子2がその上面に接合されている。8は弾性体1と
摩擦接触するレール状固定子(被駆動体)で、振動絶縁
材5(例えばフェルト)を介して加圧バネ3によって弾
性体1と圧接している。
6はくし歯状の移動止めで、そのくし歯部6aがレール
状固定子8と接触していない部分の弾性体1のスリット
に差し込まれており、該くし歯部6aによりスリットの
底部に配置されたフェルト7を介して弾性体1を支持し
ている。
状固定子8と接触していない部分の弾性体1のスリット
に差し込まれており、該くし歯部6aによりスリットの
底部に配置されたフェルト7を介して弾性体1を支持し
ている。
弾性体1は、移動止め6.加圧バネ3等を介して置載台
4に支持されており、置載台4は予定移動方向であるB
Y方向以外の変位を拘束する拘束部材9によって支持さ
れている。
4に支持されており、置載台4は予定移動方向であるB
Y方向以外の変位を拘束する拘束部材9によって支持さ
れている。
弾性保工に位相的および時間的に90”ずれた2つの定
在波によって進行性振動波が形成されると、レール状固
定子8と弾性体1との摩擦力により、弾性体1がレール
状固定子8の上を移動し、それに伴って置載台4及びそ
の他の部材(3,5,6,7)も拘束部材9に沿ってB
Y方向に移動する。その際、発生する摩擦駆動力は弾性
体1の一部に作用しそれが支持部とずれているため、弾
性体1にモーメントが働き、Bx、By方向にずれよう
とする。
在波によって進行性振動波が形成されると、レール状固
定子8と弾性体1との摩擦力により、弾性体1がレール
状固定子8の上を移動し、それに伴って置載台4及びそ
の他の部材(3,5,6,7)も拘束部材9に沿ってB
Y方向に移動する。その際、発生する摩擦駆動力は弾性
体1の一部に作用しそれが支持部とずれているため、弾
性体1にモーメントが働き、Bx、By方向にずれよう
とする。
移動止め6のくし歯部6aは第6図に示す様に弾性体1
のスリット部に差し込まれており、弾性体1のBY方向
に変位を拘束すると共に、弾性体1の自重をフェルト7
を介して支えている。拘束部6b、6cは弾性体1のB
X方向の変位を拘束しており、拘束部材6dは加圧部側
の弾性体1のBy方向に変位を拘束している。
のスリット部に差し込まれており、弾性体1のBY方向
に変位を拘束すると共に、弾性体1の自重をフェルト7
を介して支えている。拘束部6b、6cは弾性体1のB
X方向の変位を拘束しており、拘束部材6dは加圧部側
の弾性体1のBy方向に変位を拘束している。
これら部材6a〜6dにより弾性体1はガタつくことな
く、置載台4と共にスムーズに直線運動が可能となる。
く、置載台4と共にスムーズに直線運動が可能となる。
第7図は、圧電素子2が接合された前記弾性体1の斜視
図であり、第8図、第9図はその、有限要素法による固
有値解析によって求めた共振周波数の等しい位置的に9
0”ずれた2つの定在波モードの圧電素子の面の変位の
等高線図である。変位は圧電素子の面に垂直な方向の成
分で、変位量は最大を「1」としている。
図であり、第8図、第9図はその、有限要素法による固
有値解析によって求めた共振周波数の等しい位置的に9
0”ずれた2つの定在波モードの圧電素子の面の変位の
等高線図である。変位は圧電素子の面に垂直な方向の成
分で、変位量は最大を「1」としている。
この振動体は、全周で15波の波が発生し、駆動に用い
る直線部には、約5つの波が発生する。したがって、レ
ール状固定子8と弾性体1とは5つの波の腹で接触して
いる。
る直線部には、約5つの波が発生する。したがって、レ
ール状固定子8と弾性体1とは5つの波の腹で接触して
いる。
[発明が解決しようとしている課題]
ところで、一般に弾性体1に生じる進行性振動波は、弾
性体1や圧電素子2の面のそりや材料不均一性のため、
場所によって振幅の大きさにムラがある。このため、弾
性体1とレール状固定子8が多数の彼の腹で接触してい
る場合、個々の波での接触状態が異なっており、極端な
場合は接触したり、しなかったりする所がある。この接
触のムラによって、摺動面でのすべり損失が大きくなり
、モータの効率が低下し、また騒音が発生していた。
性体1や圧電素子2の面のそりや材料不均一性のため、
場所によって振幅の大きさにムラがある。このため、弾
性体1とレール状固定子8が多数の彼の腹で接触してい
る場合、個々の波での接触状態が異なっており、極端な
場合は接触したり、しなかったりする所がある。この接
触のムラによって、摺動面でのすべり損失が大きくなり
、モータの効率が低下し、また騒音が発生していた。
本発明の目的は、弾性体をレール状固定子に安定した接
触状態を保持して駆動させることができ、モータの効率
低下や騒音発生を防止できる振動波モータを提供するこ
とにある。
触状態を保持して駆動させることができ、モータの効率
低下や騒音発生を防止できる振動波モータを提供するこ
とにある。
「課題を解決するための手段]
本発明の目的を達成するための要旨とするところは、直
線部と円弧部とから形成される長円形状の弾性体の片面
に電気−機械エネルギー変換素子を固着した振動体と、
該弾性体の他面側と圧接する部材とを有し、該電気−機
械エネルギー変換素子の2相に分けられた駆動相に時間
的に90度の位相差を有する交流電圧を印加することに
より該弾性体に進行性振動波を励起し、以て該振動体と
、該振動体と圧接する部材とを相対させる振動波モータ
において、該電気−機械エネルギー変換素子の2相の駆
動相は、該弾性体の直線部に1波の進行波のみが形成さ
れるように夫々分極処理がなされていることを特徴とす
る振動波モータにある。
線部と円弧部とから形成される長円形状の弾性体の片面
に電気−機械エネルギー変換素子を固着した振動体と、
該弾性体の他面側と圧接する部材とを有し、該電気−機
械エネルギー変換素子の2相に分けられた駆動相に時間
的に90度の位相差を有する交流電圧を印加することに
より該弾性体に進行性振動波を励起し、以て該振動体と
、該振動体と圧接する部材とを相対させる振動波モータ
において、該電気−機械エネルギー変換素子の2相の駆
動相は、該弾性体の直線部に1波の進行波のみが形成さ
れるように夫々分極処理がなされていることを特徴とす
る振動波モータにある。
[作 用]
上記した構成の振動波モータは、弾性体の直線部と、該
直線部に圧接する部材とは、常に離れることなく1つの
進行波の腹で接触する。
直線部に圧接する部材とは、常に離れることなく1つの
進行波の腹で接触する。
[実 施 例]
第1図乃至第4図は本発明による振動波モータの一実施
例を示す。
例を示す。
第1図は、長円環形状に形成した弾性体1およびその片
面に圧電素子2を接着した振動体の斜視図を示している
。本実施例は弾性体1に全周6波の進行性振動波を形成
するようにしたもので圧電素子2の分極パターンを第4
図に示ず。2a、、2a2は夫々(+)極性、(−)極
性に分8ii処理された一方の駆動相(以下A相と称す
)の圧電素子で圧電素子2a+ と2a2は位置的に入
/2の位相差を有して図示の如く配置されている。2b
、、2b2は夫々(+)極性、(−) g!性に分極処
理された他方の駆動相(以下B相と称す)の圧電素子で
、圧電素子2 b + と2b2は位置的にλ/2の位
置的位相差を有して図示の如く配置されている。そして
、A相とB相とは位置的にλ/4のずれを有して配置さ
れている。第4図に示す分極パターンは、弾性体1の直
線部に対し、A相は一組の圧電素子2a+ 、2a2の
みを配置し、又B相も一組の圧電素子2b+ 、2b2
のみを配置することによって、全周6波の進行波のうち
、直線部には1波の進行波のみが形成されるようにして
いる。進行波はA相とB相に夫々共振周波数の等しい時
間的に90°の位相がずれた交流電圧を印加することに
より弾性体1に形成されることになるが、A相駆動時の
定在波モードを第2図に、B相駆動時の定在波モードを
第3図に示す。
面に圧電素子2を接着した振動体の斜視図を示している
。本実施例は弾性体1に全周6波の進行性振動波を形成
するようにしたもので圧電素子2の分極パターンを第4
図に示ず。2a、、2a2は夫々(+)極性、(−)極
性に分8ii処理された一方の駆動相(以下A相と称す
)の圧電素子で圧電素子2a+ と2a2は位置的に入
/2の位相差を有して図示の如く配置されている。2b
、、2b2は夫々(+)極性、(−) g!性に分極処
理された他方の駆動相(以下B相と称す)の圧電素子で
、圧電素子2 b + と2b2は位置的にλ/2の位
置的位相差を有して図示の如く配置されている。そして
、A相とB相とは位置的にλ/4のずれを有して配置さ
れている。第4図に示す分極パターンは、弾性体1の直
線部に対し、A相は一組の圧電素子2a+ 、2a2の
みを配置し、又B相も一組の圧電素子2b+ 、2b2
のみを配置することによって、全周6波の進行波のうち
、直線部には1波の進行波のみが形成されるようにして
いる。進行波はA相とB相に夫々共振周波数の等しい時
間的に90°の位相がずれた交流電圧を印加することに
より弾性体1に形成されることになるが、A相駆動時の
定在波モードを第2図に、B相駆動時の定在波モードを
第3図に示す。
第2図、第3図は定在波モードの変位を等高線図で示し
ており、第8図及び第9図と同様の方法で示している。
ており、第8図及び第9図と同様の方法で示している。
なお、第2図及び第3図に示す振動モードを得るために
、本実施例では直線部の長さ(L)を7mm、円弧部の
平均半径(外周半径と内周半径の平均)(R)を5mm
としており、本発明者等の実験によれば、円弧部の平均
半径(R) と直線部の長さ(L)の比 (R/L)が
馬以上であると、弾性体1の直線部における定在波の最
大振幅の位置は、2つの振動モードとも内周側又は外周
側のいずれか一方にのみ存在し、進行波にしたときに直
線部において常に外周側又は内周側のいずれか一方の振
幅が高くなることが判明した。本実施例では、弾性体1
の直線部に形成される1波の進行波は、外周側の振幅が
高くなっている。このことから、例えば第5図に示すよ
うな場合には、レール状固定子8に弾性体1の外周側を
圧接することにより、効率よく駆動することができる。
、本実施例では直線部の長さ(L)を7mm、円弧部の
平均半径(外周半径と内周半径の平均)(R)を5mm
としており、本発明者等の実験によれば、円弧部の平均
半径(R) と直線部の長さ(L)の比 (R/L)が
馬以上であると、弾性体1の直線部における定在波の最
大振幅の位置は、2つの振動モードとも内周側又は外周
側のいずれか一方にのみ存在し、進行波にしたときに直
線部において常に外周側又は内周側のいずれか一方の振
幅が高くなることが判明した。本実施例では、弾性体1
の直線部に形成される1波の進行波は、外周側の振幅が
高くなっている。このことから、例えば第5図に示すよ
うな場合には、レール状固定子8に弾性体1の外周側を
圧接することにより、効率よく駆動することができる。
このように、弾性体1に形成される進行波は、直線部に
おいて1波のみ形成されるので、第5図に示す装置に通
用すると、弾性体1とレール状固定子8は一つの波の腹
で常に離れることなく接触するので、摺動面でのすべり
損失によるモータの効率低下を減少させ、同時に騒音の
発生も防止することができる。
おいて1波のみ形成されるので、第5図に示す装置に通
用すると、弾性体1とレール状固定子8は一つの波の腹
で常に離れることなく接触するので、摺動面でのすべり
損失によるモータの効率低下を減少させ、同時に騒音の
発生も防止することができる。
第10図およびび第11図は本発明の他の実施例を示す
弾性体1の2つの定在波モードの変位の等高線図である
。これは、全周7波で、駆動に用いる直線部はほぼ1つ
の波が発生する。
弾性体1の2つの定在波モードの変位の等高線図である
。これは、全周7波で、駆動に用いる直線部はほぼ1つ
の波が発生する。
この他にも、全周か何波であっても、駆動に用いる直線
部がほぼ1彼ならばよい。
部がほぼ1彼ならばよい。
[発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、駆動に用いる振
動体の直線部にほぼ1つの波が生しるような進行性振動
波を発生させ、振動体と、該振動体が圧接する部材とを
常にはなれることなく1つの波の腹で接触させることに
よって、モータの効率をよくし、また騒音を防止するこ
とができるようになった。
動体の直線部にほぼ1つの波が生しるような進行性振動
波を発生させ、振動体と、該振動体が圧接する部材とを
常にはなれることなく1つの波の腹で接触させることに
よって、モータの効率をよくし、また騒音を防止するこ
とができるようになった。
第1図乃至第4図は本発明による振動波モータの一実施
例を示し、第1図は振動体の斜視図、第2図、第3図は
有限要素法による定在波モードの変位の等高線図、第4
図はその圧電素子の分極パターンを示す図、第5図及び
第6図は従来の振動波モータの側面図及び平面図、第7
図は従来の振動体の斜視図、第8図、第9図は第7図の
弾性体に励起される2つの定在波モートの変位の等高線
図、第10図及び第11図は他の実施例の定在波モード
の変位の等高線図である。 1・・・弾性体 2・・・圧電素子8・・・
レール状固定子 10・・・底板第 1 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 8 図 第 図 第 0 図
例を示し、第1図は振動体の斜視図、第2図、第3図は
有限要素法による定在波モードの変位の等高線図、第4
図はその圧電素子の分極パターンを示す図、第5図及び
第6図は従来の振動波モータの側面図及び平面図、第7
図は従来の振動体の斜視図、第8図、第9図は第7図の
弾性体に励起される2つの定在波モートの変位の等高線
図、第10図及び第11図は他の実施例の定在波モード
の変位の等高線図である。 1・・・弾性体 2・・・圧電素子8・・・
レール状固定子 10・・・底板第 1 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 8 図 第 図 第 0 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 直線部と円弧部とから形成される長円形状の弾性体
の片面に電気−機械エネルギー変換素子を固着した振動
体と、該弾性体の他面側と圧接する部材とを有し、該電
気−機械エネルギー変換素子の2相に分けられた駆動相
に時間的に90度の位相差を有する交流電圧を印加する
ことにより該弾性体に進行性振動波を励起し、以て該振
動体と、該振動体と圧接する部材とを相対させる振動波
モータにおいて、 該電気−機械エネルギー変換素子の2相の駆動相は、該
弾性体の直線部に1波の進行波のみが形成されるように
夫々分極処理がなされていることを特徴とする振動波モ
ータ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1320127A JPH03183376A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 振動波モータ |
DE69032138T DE69032138T2 (de) | 1989-12-08 | 1990-12-07 | Scwingungswellengetriebene Vorrichtung und Strahldrucker mit eine solchen Vorrichtung |
US07/623,571 US5155407A (en) | 1989-12-08 | 1990-12-07 | Vibration driven apparatus |
DE69023752T DE69023752T2 (de) | 1989-12-08 | 1990-12-07 | Vibrationswellengetriebener Motor und thermischer Tintenspritzdrucker mit einem solchen Motor. |
EP90313324A EP0435496B1 (en) | 1989-12-08 | 1990-12-07 | A vibration driven motor and thermal jet type printer using the same |
EP94200301A EP0598710B1 (en) | 1989-12-08 | 1990-12-07 | Vibration driven apparatus and thermal jet type printer incorporating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1320127A JPH03183376A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 振動波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03183376A true JPH03183376A (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=18118003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1320127A Pending JPH03183376A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 振動波モータ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5155407A (ja) |
EP (2) | EP0598710B1 (ja) |
JP (1) | JPH03183376A (ja) |
DE (2) | DE69032138T2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03183381A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-09 | Canon Inc | 振動波モータ |
US5428260A (en) * | 1990-08-03 | 1995-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
JPH0564467A (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-12 | Canon Inc | 振動波リニアモーター |
JPH05116788A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-14 | Canon Inc | シート送り装置 |
JPH066986A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-14 | Canon Inc | 振動波モーター及びその製造方法 |
JPH06178560A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-24 | Canon Inc | 振動波モータおよびプリンタ装置 |
IL104349A (en) * | 1993-01-08 | 1997-01-10 | Mul T Lock Ltd | Locking apparatus |
JP3155109B2 (ja) * | 1993-01-22 | 2001-04-09 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置およびプリンタ装置 |
US6628046B2 (en) | 1997-05-27 | 2003-09-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator |
US6404104B1 (en) | 1997-11-27 | 2002-06-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator and vibration type driving apparatus |
JP4328412B2 (ja) | 1999-05-14 | 2009-09-09 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 |
JP4726167B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2011-07-20 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP4731723B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-07-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置の製造方法 |
JP4027090B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 振動体および振動波駆動装置 |
JP4756916B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
DE102012022146A1 (de) | 2012-11-12 | 2014-05-15 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Ultraschallaktor für einen linearen Ultraschallmotor sowie linearer Ultraschallmotor mit einem Ultraschallaktor |
US10451833B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
US10536097B2 (en) | 2015-11-27 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
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JPS6046781A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-13 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
US4786836A (en) * | 1984-03-01 | 1988-11-22 | Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. | Piezoelectric motor |
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US4692652A (en) * | 1985-03-29 | 1987-09-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
JPS61224880A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS6277969A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-10 | Nec Corp | プリンタ装置 |
JPS6277968A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-10 | Nec Corp | プリンタ装置 |
JP2555122B2 (ja) * | 1987-02-02 | 1996-11-20 | 株式会社日立製作所 | 携帯用線量計 |
JPS63213480A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-06 | Nec Corp | 超音波モ−タ |
JPS63294273A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-30 | Jgc Corp | 超音波駆動装置 |
US4945275A (en) * | 1987-07-26 | 1990-07-31 | Honda Electric Co., Ltd. | Ultrasonic driving device |
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JPH0268465A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-07 | Shirakawa Shiro | 冷却ならびに、加熱装置 |
JPH02285974A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-26 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH0321879A (ja) * | 1989-06-20 | 1991-01-30 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | テスターのタイミング信号発生回路 |
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