JPH03190578A - 振動波駆動装置および振動波駆動装置を駆動源とする移動機器 - Google Patents
振動波駆動装置および振動波駆動装置を駆動源とする移動機器Info
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- JPH03190578A JPH03190578A JP1325425A JP32542589A JPH03190578A JP H03190578 A JPH03190578 A JP H03190578A JP 1325425 A JP1325425 A JP 1325425A JP 32542589 A JP32542589 A JP 32542589A JP H03190578 A JPH03190578 A JP H03190578A
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、進行性振動波が形成される振動弾性体を、少
なくとも直線部を有する閉ループ状、例えば長円形状と
する振動波モータに関するものである。
なくとも直線部を有する閉ループ状、例えば長円形状と
する振動波モータに関するものである。
[従来の技術]
リング状の金属などの弾性体に圧電素子などの電気−機
械エネルギー変換素子を貼りつけた振動体に該電気−機
械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することにより
、該弾性体に進行性振動波を励起させ、表面粒子に楕円
運動を生ぜしめ、加圧接触した部材を回転運動させる振
動波モータは既に実用化され、商品に使用されている。
械エネルギー変換素子を貼りつけた振動体に該電気−機
械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することにより
、該弾性体に進行性振動波を励起させ、表面粒子に楕円
運動を生ぜしめ、加圧接触した部材を回転運動させる振
動波モータは既に実用化され、商品に使用されている。
また、直線駆動用の振動波モータは、直線梁状の弾性体
の一端から振動を起こし、他端で吸収させることにより
、進行性振動波を起こし、直線駆動するものまた、閉ル
ープ形状の振動体を使用するものでは、前記リング状振
動体の接線力を利用するものや円弧部と直線部を有する
振動体の直線部に接触させて直線運動させる方法などが
提案されていた。
の一端から振動を起こし、他端で吸収させることにより
、進行性振動波を起こし、直線駆動するものまた、閉ル
ープ形状の振動体を使用するものでは、前記リング状振
動体の接線力を利用するものや円弧部と直線部を有する
振動体の直線部に接触させて直線運動させる方法などが
提案されていた。
ここでは、閉ループ形状の振動体及び、それを用いた自
走式振動波モータを図に基づいて説明する。
走式振動波モータを図に基づいて説明する。
第2図は、従来の円弧部と直線部を有する振動体1の一
例であり、等間隔な溝1cを有する弾性体1aに、圧電
素子群1bが接合されている。
例であり、等間隔な溝1cを有する弾性体1aに、圧電
素子群1bが接合されている。
第4図(a) 、 (b)は上記振動体を用いた自走式
振動波モータの一例を示す。1は振動体、9は振動体1
と摩擦接触するレール状の摩擦部材で、摩擦部材9は振
動絶縁材2(例えばフェルト)を介して加圧バネ3によ
って振動体1と圧接している。
振動波モータの一例を示す。1は振動体、9は振動体1
と摩擦接触するレール状の摩擦部材で、摩擦部材9は振
動絶縁材2(例えばフェルト)を介して加圧バネ3によ
って振動体1と圧接している。
6はくし面状の移動止めで、そのくし歯部6aが基台8
上の摩擦部材9と接触していない部分の振動体1のスリ
ットに差し込まれており、該くし歯部6aによりスリッ
トの底部に配置されたフェルト5を介して振動体1を支
持している。
上の摩擦部材9と接触していない部分の振動体1のスリ
ットに差し込まれており、該くし歯部6aによりスリッ
トの底部に配置されたフェルト5を介して振動体1を支
持している。
振動体1は、移動止め6、加圧バネ3等を介して置載台
4に支持されており、置載台4は予定移動方向以外の変
位を拘束する拘束部材7によって支持されている。
4に支持されており、置載台4は予定移動方向以外の変
位を拘束する拘束部材7によって支持されている。
[発明が解決しようとしているif!題コしかしながら
、上記従来例では、振動体1の振動のごく一部のみ駆動
に使用するため、効率が低く、また、振動体と相対運動
する被駆動体との接触が均一に当たりにくく、駆動力が
増減したり、局部的に摩耗する欠点もしくは、振動体1
及び被駆動体の接触面の平行出し及び均一加圧を行なう
ために、部品点数や調整時間の増加をまねくなどの欠点
をもっていた。
、上記従来例では、振動体1の振動のごく一部のみ駆動
に使用するため、効率が低く、また、振動体と相対運動
する被駆動体との接触が均一に当たりにくく、駆動力が
増減したり、局部的に摩耗する欠点もしくは、振動体1
及び被駆動体の接触面の平行出し及び均一加圧を行なう
ために、部品点数や調整時間の増加をまねくなどの欠点
をもっていた。
つまり、弾性体1上に形成される進行波の進行方向は、
対向する直線部において逆方向であるため、両直線部を
直線駆動に供することはできないのである。したがって
、一方の直線部のみしか駆動に供することができず、上
記した欠点が生じることになる。
対向する直線部において逆方向であるため、両直線部を
直線駆動に供することはできないのである。したがって
、一方の直線部のみしか駆動に供することができず、上
記した欠点が生じることになる。
本発明の目的は、上記した欠点を解消し、両直線部を同
時に直線駆動のために供することができる振動波モータ
を提供することにある。
時に直線駆動のために供することができる振動波モータ
を提供することにある。
[課題を解決するための手段及び作用]本発明によれば
、少なくとも1組の平行な直線部を有する閉ループ形状
の振動体に該振動体の駆動周波数において、振動モード
が固定端一自由端振動の1次モードである突起群を一方
の直線部に設け、平行な他方の直線部には振動モードが
固定端一自由端振動の2次モードである突起群を設ける
ことにより、両直線部で偶力ではない一方向の力を発生
させ、両直線部で形成される平面で物体を直線駆動する
ことを可能とし、片当たりによる送り速度ムラや部分摩
耗などを防ぎ駆動力の増大を可能としたものである。
、少なくとも1組の平行な直線部を有する閉ループ形状
の振動体に該振動体の駆動周波数において、振動モード
が固定端一自由端振動の1次モードである突起群を一方
の直線部に設け、平行な他方の直線部には振動モードが
固定端一自由端振動の2次モードである突起群を設ける
ことにより、両直線部で偶力ではない一方向の力を発生
させ、両直線部で形成される平面で物体を直線駆動する
ことを可能とし、片当たりによる送り速度ムラや部分摩
耗などを防ぎ駆動力の増大を可能としたものである。
[実 施 例]
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第1図(a)は本発明による振動波モータの一実施例を
示す振動体1の斜視図である。
示す振動体1の斜視図である。
図中1は例えばステンレスやリン青銅からなる円弧部と
直線部を有する弾性体1aの下面に、複数個に分極され
た2群の駆動用圧電素子を有し、弾性体1aと同じ横断
面形状の圧電素子群1bを耐熱性のエポキシ樹脂系接着
剤などで固着した振動体である。また、弾性体1aは、
基底部laoと、一方の直線部の上面に形成された複数
の突起からなる突起部第1群18、及び他方の直線部の
上面に形成された複数の突起からなる突起部第2群1a
2よりなり、第2群1a2の各突起は第1群1aIの各
突起よりも周方向の厚みが薄くなっている。
直線部を有する弾性体1aの下面に、複数個に分極され
た2群の駆動用圧電素子を有し、弾性体1aと同じ横断
面形状の圧電素子群1bを耐熱性のエポキシ樹脂系接着
剤などで固着した振動体である。また、弾性体1aは、
基底部laoと、一方の直線部の上面に形成された複数
の突起からなる突起部第1群18、及び他方の直線部の
上面に形成された複数の突起からなる突起部第2群1a
2よりなり、第2群1a2の各突起は第1群1aIの各
突起よりも周方向の厚みが薄くなっている。
また振動体1の駆動モードの共振周波数をfr、突起部
第1群1a+の固定端一自由端振動の1次モードの共振
周波数をfll、突起部第2群1azの固定端−自由端
振動の1次モードの共振周波数をf21.2次モードの
共振周波数をf22で表すと、その大小関係は、 f、<f++ ・・・条件 ■ f2+<f、<f22 ・・・条件 ■となってい
る。
第1群1a+の固定端一自由端振動の1次モードの共振
周波数をfll、突起部第2群1azの固定端−自由端
振動の1次モードの共振周波数をf21.2次モードの
共振周波数をf22で表すと、その大小関係は、 f、<f++ ・・・条件 ■ f2+<f、<f22 ・・・条件 ■となってい
る。
ここで第1図(b)のような突起の矢印方向の固定端−
自由端振動の共振周波数はおよそ(E:ヤング率 ρ
:密度) で求まる。
自由端振動の共振周波数はおよそ(E:ヤング率 ρ
:密度) で求まる。
このような振動体lを、共振周波数f、付近の交流電圧
を印加して共振させ、進行性振動波を励起させると、振
動体1の各粒子は、楕円運動を起こし、突起部第1群1
a、は、前記条件■により第1図(C)のような1次モ
ードで振動し、基底部1aoと突起部第1群1a、の境
界の楕円運動とほぼ同位相で楕円運動をするが、突起部
第2群1a、は、前記条件■により第1図(d)のよう
な2次モードで振動し、その先端の粒子は、基底部18
゜と突起部第2群1a2の境界の楕円運動とほぼ180
°位相がずれた楕円運動をおこす、そのため双方の突起
群の先端で楕円運動の最高点では同一方向に運動してい
ることになる。
を印加して共振させ、進行性振動波を励起させると、振
動体1の各粒子は、楕円運動を起こし、突起部第1群1
a、は、前記条件■により第1図(C)のような1次モ
ードで振動し、基底部1aoと突起部第1群1a、の境
界の楕円運動とほぼ同位相で楕円運動をするが、突起部
第2群1a、は、前記条件■により第1図(d)のよう
な2次モードで振動し、その先端の粒子は、基底部18
゜と突起部第2群1a2の境界の楕円運動とほぼ180
°位相がずれた楕円運動をおこす、そのため双方の突起
群の先端で楕円運動の最高点では同一方向に運動してい
ることになる。
以下、本発明の振動体を用いた自走式振動波モータを図
示の実施例に基づいて説明する。
示の実施例に基づいて説明する。
第3図においてlaは、突起部第1群1a、と突起部第
2群la2を有する振動体で、圧電素子1bが接合され
ている。振動体lは、くし面状の移動止め6が突起部第
1群1a、または突起部第2群1a、の間の溝部にさし
こまれており、移動止め6のくし歯部により溝の底部に
配置されたフェルト5を介して置載台4に対して支持さ
れている。また置載台4はスラスト方向及び左右方向に
拘束するガイドレール7により拘束されている。また、
振動体1と基台8の接触面は、耐摩耗処理もしくは耐摩
耗材がコーティングされていて、振動体1はフェルト2
をはさんで板バネ3により基台8に適当な加圧で押圧さ
れている。
2群la2を有する振動体で、圧電素子1bが接合され
ている。振動体lは、くし面状の移動止め6が突起部第
1群1a、または突起部第2群1a、の間の溝部にさし
こまれており、移動止め6のくし歯部により溝の底部に
配置されたフェルト5を介して置載台4に対して支持さ
れている。また置載台4はスラスト方向及び左右方向に
拘束するガイドレール7により拘束されている。また、
振動体1と基台8の接触面は、耐摩耗処理もしくは耐摩
耗材がコーティングされていて、振動体1はフェルト2
をはさんで板バネ3により基台8に適当な加圧で押圧さ
れている。
次にこの自走式撮動波モータを駆動した場合を説明する
。
。
圧電素子群1bにある周波数の交流電圧を印加すると、
振動体1に進行性振動波が生ずる。前述のように突起部
第1群1a、と突起部第2群la2の表面粒子は同方向
に運動するため、両突起部′i41群1a、と突起部第
2群1a、と基台8との摩擦力により置載台4などとと
もに振動体1は第3図の紙面の垂直方向に移動する。ま
た進行性振動波の向きを反対にすると、各粒子の楕円運
動も反転するため逆方向に移動する。このように進行性
振動波の向きを適宜反転させることで往復運動をさせる
ことができる。
振動体1に進行性振動波が生ずる。前述のように突起部
第1群1a、と突起部第2群la2の表面粒子は同方向
に運動するため、両突起部′i41群1a、と突起部第
2群1a、と基台8との摩擦力により置載台4などとと
もに振動体1は第3図の紙面の垂直方向に移動する。ま
た進行性振動波の向きを反対にすると、各粒子の楕円運
動も反転するため逆方向に移動する。このように進行性
振動波の向きを適宜反転させることで往復運動をさせる
ことができる。
次に本発明による振動体をもちいたシート搬送系を図に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
第5図は周方向の厚みの違う2つの突起群を有する振動
体を2ゲ対面押圧し、その間にはさんだ紙などのシート
状物体を搬送する装置の駆動部分の一実施例である。
体を2ゲ対面押圧し、その間にはさんだ紙などのシート
状物体を搬送する装置の駆動部分の一実施例である。
振動体1は、基台8に移動止め6によりそれぞれフェル
トを介して支持されている。また相対する振動体10は
上i12に同様に移動止め6によりフェルトを介して支
持されている。
トを介して支持されている。また相対する振動体10は
上i12に同様に移動止め6によりフェルトを介して支
持されている。
そして、上3ii12と基台8は斜行防止ガイド11と
バネ性を有する部材13により結合され、振動体1と振
動体10は適当な加圧力で押圧される。また振動体1及
び振動体10の前記条件■を満たす突起部第1群1a、
及び10a1が相対し、条件■を満たす突起部第2群1
a2及び10a2が相対している。
バネ性を有する部材13により結合され、振動体1と振
動体10は適当な加圧力で押圧される。また振動体1及
び振動体10の前記条件■を満たす突起部第1群1a、
及び10a1が相対し、条件■を満たす突起部第2群1
a2及び10a2が相対している。
ここで、同方向に進行性振動波が起きるよう、振動体1
及び10に夫々接合された圧電素子!b及び10bに同
一周波数の交流電圧を印加し、再振動体の振動の時間的
位相を適切に選び、再振動体の間にシート状物体14(
例えば紙)を挟むと、シート状物体14は振動体1及び
10双方の突起部第1群1al、10a、と突起部第2
群1a2.10a2から同じ方向に力を受ける。ここで
、振動体夫々の突起部第1群と突起部第2群(la、と
la2. lOa、と1oaz)の表面部の粒子速度は
一般に等しくないので、斜行防止ガイド1】につきあて
られることにより、直線的に駆動することができる。
及び10に夫々接合された圧電素子!b及び10bに同
一周波数の交流電圧を印加し、再振動体の振動の時間的
位相を適切に選び、再振動体の間にシート状物体14(
例えば紙)を挟むと、シート状物体14は振動体1及び
10双方の突起部第1群1al、10a、と突起部第2
群1a2.10a2から同じ方向に力を受ける。ここで
、振動体夫々の突起部第1群と突起部第2群(la、と
la2. lOa、と1oaz)の表面部の粒子速度は
一般に等しくないので、斜行防止ガイド1】につきあて
られることにより、直線的に駆動することができる。
[発明の効果]
以上説明したように、振動波モータの振動体の平行な直
線部の一方に1次モードで振動する突起群を設けもう一
方に2次モードで振動する突起群を設けることにより、
両突起群の駆動力を同一方向に揃えることが可能となり
、直線部1つを使用するのに比べ、 1、同一振動体の平行な三直線部を使うため片当たりせ
ず、抑圧が容易である。
線部の一方に1次モードで振動する突起群を設けもう一
方に2次モードで振動する突起群を設けることにより、
両突起群の駆動力を同一方向に揃えることが可能となり
、直線部1つを使用するのに比べ、 1、同一振動体の平行な三直線部を使うため片当たりせ
ず、抑圧が容易である。
2、片当たりが起こらないため駆動力のムラ、速度ムラ
が少なく局部的な摩耗も起こらない。
が少なく局部的な摩耗も起こらない。
3.2群で接触するため駆動力が得やすく、保持力も大
きい。
きい。
などの効果がある。
第1図(a)は本発明による振動波モータの一実施例を
示す振動体の斜視図、第1図(b)は、その突起を示し
た斜視図、第1図(c) 、(d)は夫々固定端一自由
端振動の1次と2次のモードでの振動状態を示す図、第
2図は従来の振動体の斜視図、第3図は、本発明の振動
体を用いた自走式振動波モータの断面図、第4図(a)
、 (b)は従来の振動体を用いた自走式振動波モー
タの断面図、平面図、第5図は本発明の振動体を用いた
、シート搬送系を示す断面図である。 1:振動体、 1a:弾性体、 lb:圧電素子、 lao :弾性体基底部、l
a、 :突起部第1群、1a2:突起部第2群、1c
:突起部、 2:フェルト、3:板バネ、
4:置載台、 5:フェルト、 6:移動止め、 6a:移動止めのくし歯、 7:拘束部材、 8:基台、 9:摩擦部材、 lO:振動体、 10a、 :突起部第1群、10a2 :突起部第2群
、10b:圧電素子、 11:斜行防止ガイド、12
:上蓋、 13:バネ性部材、14:シート。 第1図 他4名 第 2 図 第 図
示す振動体の斜視図、第1図(b)は、その突起を示し
た斜視図、第1図(c) 、(d)は夫々固定端一自由
端振動の1次と2次のモードでの振動状態を示す図、第
2図は従来の振動体の斜視図、第3図は、本発明の振動
体を用いた自走式振動波モータの断面図、第4図(a)
、 (b)は従来の振動体を用いた自走式振動波モー
タの断面図、平面図、第5図は本発明の振動体を用いた
、シート搬送系を示す断面図である。 1:振動体、 1a:弾性体、 lb:圧電素子、 lao :弾性体基底部、l
a、 :突起部第1群、1a2:突起部第2群、1c
:突起部、 2:フェルト、3:板バネ、
4:置載台、 5:フェルト、 6:移動止め、 6a:移動止めのくし歯、 7:拘束部材、 8:基台、 9:摩擦部材、 lO:振動体、 10a、 :突起部第1群、10a2 :突起部第2群
、10b:圧電素子、 11:斜行防止ガイド、12
:上蓋、 13:バネ性部材、14:シート。 第1図 他4名 第 2 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体
からなる振動体の該電気−機械エネルギー変換素子に交
流電圧を印加し、該振動体に進行性振動波を生ぜしめ、
以って該振動体と、該振動体に加圧接触した部材を相対
的に摩擦駆動させるようにした振動波モータにおいて、
該振動体の形状が少なくとも一組以上の平行な直線部を
有する閉ループ状であ り、一方の直線部の駆動面側に該振動体の駆動周波数に
おいて、固定端−自由端振動の1次モードで振動する突
起群を有し、もう一方の直線部の駆動面側には該周波数
において固定端−自由端振動の2次モードで振動する突
起群を有することを特徴とした振動波モー タ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1325425A JP2669913B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を駆動源とする移動機器 |
US07/627,302 US5041750A (en) | 1989-12-15 | 1990-12-14 | Vibration wave driven apparatus |
EP90313717A EP0436336B1 (en) | 1989-12-15 | 1990-12-14 | Vibration wave driven apparatus |
DE69020125T DE69020125T2 (de) | 1989-12-15 | 1990-12-14 | Vibrationswellenbetriebene Anordnung. |
Applications Claiming Priority (1)
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