JP3450733B2

JP3450733B2 - 摺動部材、それを用いた振動波駆動装置及び機器

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Publication number: JP3450733B2
Application number: JP00394799A
Authority: JP
Inventors: 耕治木谷; 成人杉本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-01-11
Filing date: 1999-01-11
Publication date: 2003-09-29
Anticipated expiration: 2019-01-11
Also published as: JP2000209878A; US6320299B1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は摺動部材、それを用
いた振動波駆動装置及び機器に関し、詳しくは振動体に
発生させた進行性振動波により、振動体と該振動体に加
圧接触した移動体とを相対運動させる振動波駆動装置の
加圧接触部における摺動部材、それを用いた振動波駆動
装置及び機器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】進行性振動波を利用した振動波駆動装置
の代表例である、振動波モータの原理的概要は下記のよ
うである。全長がある長さλの整数倍であるような弾性
体材料製のリング状の弾性体の片面に、周方向に配列さ
れた二群の複数個の圧電素子を固着したものを振動体
（ステータ）とする。これらの圧電素子は各群内ではλ
／２のピッチにて、かつ交互に逆の伸縮極性となるよう
に配列されており、また両群間にはλ／４の奇数倍のず
れがあるように配列されている。圧電素子の両群にはそ
れぞれ電極膜が施されている。いずれかの一群（以下Ａ
相と称す）のみに交流電圧を印加すれば、上記振動体
は、該群の各圧電素子の中央点及びそこからλ／２おき
の点が腹の位置、また該腹の位置間の中央点が節の位置
であるような曲げ振動の定在波（波長λ）が振動体の全
周にわたって発生する。他の一群（以下Ｂ相と称す）の
みに交流電圧を印加すれば同様に定在波が生ずるが、そ
の腹及び節の位置はＡ相による定在波に対して、λ／４
ずれたものになる。

【０００３】両Ａ、Ｂ相に、周波数が同じで、かつ互い
に９０°の時間的位相差を有する交流電圧を同時に印加
すると、両者の定在波の合成の結果、振動体には周方向
に振動する曲げ振動の進行波（波長λ）が発生し、この
とき、厚みを有する上記振動体の各点は楕円運動をす
る。よって、振動体の片面に移動体（ロータ）として、
例えばリング状移動体を加圧接触させておけば、該移動
体は振動体から周方向の摩擦力を受け回転駆動される。
また、前記楕円運動の周方向成分を増やすために、振動
体の圧電素子固着面と反対側に周方向に複数個の径方向
の溝をいれると、振動の中立面が圧電素子固着面側に移
動し、同じ振幅でも回転数が上がり、モータ効率をも上
げる効果が大きいことが確認されている。また、この溝
は摩耗粉除去の効果をもあわせ持っている。

【０００４】このような原理に基づき、振動波モータの
長所として１）無通電時、保持トルクを有し、しかも位置決め動作
時にハンチングをおこさない。２）イナーシャが小さく、駆動トルクが大きいため、回
転の立ち上がり、立ち下がりが速い（機械的時定数が小
さい）。３）円周上すべての点が等しい駆動力を発生するので、
コギングがない。ことなどがあげられる。

【０００５】これらの長所により振動波モータは原理的
に高精度回転や、高精度位置決めに適しているといえる
が、摺動部が摩耗するために、経時的な摩擦面の変化で
モータ性能が変化する欠点があり、その欠点を捕完する
ものとして、数々の複合樹脂摩擦材が提案されている。
その中でも、摺動性能の安定性、耐久性を併せ持った材
料として、特開平１−２０６８８０号公報、特開平２−
２８５９７４号公報、特開平５−１８４１６８号公報な
どに開示されているように、各種充填材を充填したポリ
テトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと記す）樹脂
が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ＰＴＦＥ樹脂は、振動
波モータに限らず、摺動材料として一般に多く用いられ
ている。ＰＴＦＥ樹脂は摺動すると、分子的に表面エネ
ルギーが小さい材料であるため、層状剥離を起こす。こ
のような層状剥離をする材料は、摩擦係数を低く安定化
する作用があるので、例えば、黒鉛、二硫化モリブデ
ン、マイカのように、摺動材の添加材として良く用いら
れる。その中でも、ＰＴＦＥを添加材に用いた場合、そ
の低弾性率であるために、相手材を傷つけにくく、しか
も、高分子材料であるため、材料の伸びが大きいので相
手側に移着（ｔｒａｎｓｆｅｒ）しやすく、摩擦の際に
相手側に移着した（一般に“移着膜（ｔｒａｎｓｆｅｒ
ｆｉｌｍ）”と称される）ＰＴＦＥとＰＴＦＥ同士の
摺動になるので、摩擦係数が低く、安定した摩擦状態を
得ることが出来るとされている。

【０００７】しかし、ＰＴＦＥは単体で摺動させると、
層状剥離しやすいため摩耗が多く、また低弾性率のた
め、クリープもしやすいという短所も持つ。そこでその
欠点を補うために、２つの手法が取られている。

【０００８】１つは、他の強度の高い樹脂（例えば、熱
硬化性、熱可塑性ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリ
エーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエ
ーテルサルフォンなど）にＰＴＦＥを充填する方法で、
母材樹脂の影響が大きく、往々に、安定した摩擦状態を
得ることが出来ないことがある。実際に、これらの複合
樹脂を摩擦材として振動波モータを構成すると、母材樹
脂の摩耗が多く、摩耗粉が摺動部に挟まったり、こびり
ついたりして、出力が非常に不安定なものになってしま
い、これらの複合樹脂を使いこなすことは困難である。

【０００９】もう１つは、ＰＴＦＥを母材にして、クリ
ープ特性と、耐摩耗性をあげるために、各種充填材を入
れる方法である。例えば、ガラス繊維、炭素繊維、芳香
族ポリエステル粉末、ポリイミド粉末を充填したものが
それぞれ上市されている。しかし、ポリイミド、芳香族
ポリエステルなどのみを充填したＰＴＦＥ樹脂は、駆動
時間とともに摩擦係数がさがり、振動波モータのトルク
性能が低下してしまう場合があり、また炭素織維、ガラ
ス織維のみを充填した複合樹脂は摩耗が多い場合があ
り、またトルク性能のばらつきや鳴きの発生など、モー
タ性能が不安定になる場合がある、という問題点があっ
た。

【００１０】本発明は、この様な従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであり、ＰＴＦＥ樹脂を母材とし、特
定の充填材の量と割り合いを選択した摺動部材を用い
て、経時的なトルク性能の変化が少なく、摩耗特性に優
れた、寿命の長い振動波駆動装置及びそれを用いた機器
を提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、電気−
機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することによ
り、該電気−機械エネルギー変換素子に固着されている
振動体に進行性振動波を形成し、該振動体と加圧接触し
ている移動体を摩擦力により相対移動させる振動波駆動
装置における振動体と移動体との接触部に用いる摺動部
材において、ポリテトラフルオロエチレンを母材とし、
少なくとも無機繊維状物質とポリイミドまたは全芳香族
ポリエステルとを夫々１種以上含有した複合樹脂からな
り、かつポリテトラフルオロエチレンの含有量が７０〜
９２ｖｏｌ％であり、無機繊維状物質とポリイミドまた
は全芳香族ポリエステルの合計の含有量が８〜３０ｖｏ
ｌ％であり、無機繊維状物質の含有量Ｖｆ（ｖｏｌ％）
とポリイミドまたは全芳香族ポリエステルの含有量Ｖｒ
（ｖｏｌ％）の比が１／３≦Ｖｆ／Ｖｒ≦３であること
を特徴とする摺動部材である。

【００１２】前記無機繊維状物質が炭素繊維であるのが
好ましい。前記耐熱性樹脂が全芳香族ポリエステルもし
くはポリイミドであるのが好ましい。前記耐熱性樹脂が
全芳香族ポリエステルであるのが好ましい。前記無機繊
維状物質の含有量Ｖｆ（ｖｏｌ％）と耐熱性樹脂の含有
量Ｖｒ（ｖｏｌ％）の合計が、８≦Ｖｆ＋Ｖｒ≦３０の
範囲にあるのが好ましい。摩擦調整剤として二硫化モリ
ブデンを添加してなるのが好ましい。

【００１３】また、本発明は、電気−機械エネルギー変
換素子に交流電圧を印加することにより、該電気−機械
エネルギー変換素子に固着されている振動体に進行性振
動波を形成し、該振動体と加圧接触している移動体を摩
擦力により相対移動させる振動波駆動装置において、該
振動体と移動体との接触部のいずれか一方に上記の摺動
部材を用いたことを特徴とする振動波駆動装置である。

【００１４】前記振動体の櫛歯状の突起上に上記の摺動
部材を固着してなるのが好ましい。前記振動体と移動体
との接触部の相手材がタングステンカーバイドであるの
が好ましい。

【００１５】

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の摺動部材は、電気−機械
エネルギー変換素子に交流電圧を印加することにより、
該電気−機械エネルギー変換素子に固着されている振動
体に進行性振動波を形成し、該振動体と加圧接触してい
る移動体を摩擦力により相対移動させる振動波駆動装置
における振動体と移動体との接触部に用いる摺動部材に
おいて、ポリテトラフルオロエチレンを母材とし、少な
くとも無機繊維状物質とポリイミドまたは全芳香族ポリ
エステルとを夫々１種以上含有した複合樹脂からなり、
かつポリテトラフルオロエチレンの含有量が７０〜９２
ｖｏｌ％であり、無機繊維状物質とポリイミドまたは全
芳香族ポリエステルの合計の含有量が８〜３０ｖｏｌ％
であり、無機繊維状物質の含有量Ｖｆ（ｖｏｌ％）とポ
リイミドまたは全芳香族ポリエステルの含有量Ｖｒ（ｖ
ｏｌ％）の比が１／３≦Ｖｆ／Ｖｒ≦３であることを特
徴とする。なお、本発明において、ポリイミドまたは全
芳香族ポリエステルを耐熱性樹脂とも称す。

【００１７】本発明等は、摺動部材として、ＰＴＦＥに
無機繊維状物質として炭素繊維を、耐熱性樹脂として芳
香族ポリエステル、ポリイミドなどを各々独立に添加し
たものを用いた振動波モータについて検討した結果、モ
ータ性能上不具合を起こした振動波モータの摩擦面を観
察すると、各材料ごとに、移着膜に差が見られた。例え
ば、ＰＴＦＥに芳香族ポリエステル、ポリイミドなどの
耐熱性樹脂のみを充填したサンプルは、相手材にＰＴＦ
Ｅ樹脂を主成分とする移着膜が摺動部全面についてお
り、また厚みは０．２〜３μｍ程度とむらがあった。

【００１８】一方、ＰＴＦＥに炭素繊維を充填したサン
プルの場合、相手材には移着膜が斑状についており、そ
の厚みは移着膜がついている部分で０．３μｍ程度であ
った。ガラス繊維を充填したサンプルの相手材には、移
着膜がやはり斑状についており、その厚みは炭素繊維の
場合にくらべてややばらつきがあり０．３〜０．８μｍ
であった。

【００１９】定性的には、ＰＴＦＥ複合樹脂の場合、移
着膜でおおわれている面が多い程、また面が滑らかな
程、摩擦係数は低下し、安定すると考えられる。また、
炭素繊維、ガラス繊維などの繊維状物質は、摺動中、摩
擦面においては相対的に柔らかいＰＴＦＥの移着膜に対
し、ひっかかりながら摩擦するので、摩擦係数を上げた
り、もしくは移着膜を削り、また母材樹脂を強化し、Ｐ
ＴＦＥの層状剥離を抑制すると考えられる。

【００２０】そこで、本発明は、移着膜の様子に注目し
ながら、ＰＴＦＥを母材とし、少なくとも無機繊維状物
質と耐熱性樹脂とを夫々１種以上含有した複合樹脂を用
いて、該無機繊維状物質の含有量Ｖｆ（ｖｏｌ％）と耐
熱性樹脂の含有量Ｖｒ（ｖｏｌ％）の比が１／３≦Ｖｆ
／Ｖｒ≦３となる様に添加量と割り合いを選ぶことで、
各充填材の長所を最大限にいかし、経時的なトルク性能
の変化が少なく、摩耗特性に優れた、寿命の長い振動波
駆動装置を得ることができたものである。

【００２１】本発明の振動波駆動装置は、振動体と移動
体との接触部のいずれか一方に上記の摺動部材を用いた
ことを特徴とする。

【００２２】本発明の振動波駆動装置は、例えば振動波
モータ、紙送り装置、リニアモータ等に用いることがで
きる。また、本発明の振動波駆動装置は、駆動源として
各種の機器に用いることができる。機器の具体例として
は、カメラなどの光学機器、プリンター，複写機等の事
務機器、パワーウインドー，アクティブサスペンション
等の自動車関連機器が挙げられる。

【００２３】

【実施例】以下本発明を図面に示す実施例に基づいて説
明する。

【００２４】図１は振動波駆動装置の一実施態様である
振動波モータの摩擦接触部を示す概略図である。図１
（ａ）は概略斜視図で、図１（ｂ）は概略断面図を示
す。図中、１は振動体で構造材の金属なみの弾性率を有
する、例えばステンレス、鋼、真ちゅう、燐青銅、アル
ミ合金などからなるリング状の金属振動体の一端面に、
前述の如く複数個に分極された２群の圧電素子４をリン
グ状に形成した圧電素子群を耐熱性のエポキシ樹脂系接
着剤で同心円状に接着し、もう一方の端面に摺動部材３
として、ナトリウムエッチング処理等で接着可能に処理
したＰＴＦＥ複合樹脂を同様に接着し、ＰＴＦＥ複合樹
脂側の面は、モータ効率を上げるために櫛歯状に複数の
溝が周方向に規則的に形成されている。

【００２５】２は移動体であり、アルミ合金などからな
るリング状を呈し、振動体１と相対する面には、摩擦材
５としてタングステンカーバイドが溶射されており、適
度な表面粗さにラップ、研磨などの方法で仕上げられて
いる。

【００２６】振動体１の摺動面と移動体２の摺動面は、
不図示の加圧用の板ばねにより、軸方向に例えば１０ｋ
ｇｆの荷重で加圧接触されている。振動体摺動面の径方
向の段差は、振動波モータそれぞれの摩耗しろによって
異なるが、ＰＴＦＥ複合樹脂は弾性率が小さいため、振
動を効率よく伝達するためには、１．０ｍｍ以下が望ま
しい。

【００２７】そして、交互に厚み方向に分極処理された
圧電素子からなる２群の圧電素子４に振動体１の固有の
周波数の交流電圧を印加すると、振動体１は共振を起こ
し、その周方向に進行性振動波を生じ、振動体１に加圧
接触している移動体２が、振動体１と移動体２の摺動面
の摩擦力により回転駆動される。

【００２８】振動体１の摺動部材３として、ＰＴＦＥの
母材に炭素繊維とポリイミドの充填量を種々変えて含有
する複合樹脂を３６０〜３８０℃で焼成したものを使
い、双方の摺動面をラップ加工した後、振動波モータを
構成し、約１００ｒｐｍで２００時間連続回転を行い、
モータ特性と、移着膜のつき方、厚み、また複合樹脂の
摩耗状況を見た。その結果を表１および２に示す。

【００２９】なお、ＰＴＦＥ、炭素繊維、ポリイミドの
各充填材の含有量は体積百分率（ｖｏｌ％）で表わさ
れ、該体積百分率は、比重と重量百分率より、（重量百
分率）／（比重）の値に換算して試料を作成した。その
時用いた比重の値は、ＰＴＦＥ＝２．２、ポリイミド＝
１．４、炭素繊維＝１．８（それぞれｇ／ｃｃ）として
算出した。

【００３０】

【表１】

【００３１】

【表２】

【００３２】（注）鳴きやすさの評価は下記の通りであ
る。 ○：鳴きの発生なし。 △：経時的にたまに鳴きが発生するようになる。 ×：経時的に常に鳴きが発生するようになる。

【００３３】これらの結果から、まず、移着膜と性能の
関係を見てみると、単一充填材の時と同じく、移着膜が
厚くついている場合では、トルク性能の低下がおこって
おり、移着膜が斑になっている場合では、鳴きやすかっ
たり、トルクが不安定になっている。

【００３４】さらに、移着膜の厚みとポリイミドと炭素
繊維の充填量との関係を見ると、移着膜が厚い場合は、
ポリイミドが炭素繊維にくらべて多く充填されている場
合で、ポリイミドが炭素繊維に対して３倍以下だと移着
膜の厚みも０．６μｍ以下になり、バラツキも少ない。
また、斑になっている場合は、全体の充填物が少なくて
摩耗が多い場合と、炭素繊維がポリイミドにくらべて多
く充填されている場合で、その量的比率は、炭素繊維が
ポリイミドに対して３倍以上の量充填されている時であ
る。

【００３５】全体で見ると、ポリイミドの絶対量が同じ
でも、移着膜の厚みが炭素繊維の量によって変化し、ま
た、炭素繊維の量が同じでも移着膜の厚みがポリイミド
の量によって変化することが分かる。以上から、ポリイ
ミドは移着膜の形成を促進するが炭素繊維は移着膜の形
成を抑制していることがわかる。

【００３６】また、摩耗で見ると、炭素繊維とポリイミ
ドの充填率が１０％以上、３０％以下の時が少なく、炭
素繊維、ポリイミド双方が充填されていないと、摩耗が
多くなる結果が出た。

【００３７】一般に、ポリイミドはＰＴＦＥの移着膜の
強度を大きくする効果があると以前から実験的に言われ
ているが、そのメカニズムは今後の研究に委ねられてい
る。今回の実験でも、ポリイミドの多く充填された材料
は、移着膜が粘り強い感触が得られた。これは、摺動面
に広がる移着膜の伸びの様子からそのように判断したも
のである。逆に、炭素繊維を多く充填すると、同様の観
点から、移着膜は脆くなるように感じられた。この理由
は定かでないが、炭素繊維の摺動によって生ずるごく微
細な摩耗粉がＰＴＦＥに含有されたためと考えられる。
また、炭素繊維そのものが移着膜を物理的に削る作用も
移着膜の厚みを抑える作用があると考えられる。

【００３８】以上のように、充填割り合いを選ぶことに
よって、経時的にも鳴きにくく、性能の安定した振動波
モータを得ることができる。移着膜の促進には、ポリイ
ミドに加え、一般に移着膜の形成促進作用を持つとされ
る酸化鉛、金属モリブデンなどの添加も有効と考えられ
る。耐熱性樹脂としては、芳香族ポリエステルもポリイ
ミドほど移着膜の促進作用はないが、相手材への損傷が
少ないことから、ポリイミドの代わりに用いることがで
きる。

【００３９】移着膜の制御と母材ＰＴＦＥの層状剥離に
よる摩耗や、クリープによる摩耗を防ぐため、無機繊維
状物質としては、炭素繊維の代わりにガラス繊維や、チ
タン酸カリウムウィスカーなどの繊維状物質を炭素繊維
の代わりに用いることもできるが、熱伝導率の点で炭素
繊維の方が優れている。

【００４０】炭素繊維は、今回異方性の炭素化グレード
のものを使用したが、等方性黒鉛化グレードのもの、ピ
ッチ系、ＰＡＮ系のものを問わず、今回と同様の結果が
得られる。また、摩擦調整剤として、二硫化モリブデン
を１ｖｏｌ％添加したサンプルも同様の傾向を示し、ト
ルク性能の安定の効果も見られた。

【００４１】このような摺動部材は、櫛歯形状の駆動部
を有する振動波モータでももちろん使用可能だが、その
ような場合、ＰＴＦＥ樹脂はクリープ特性にやや劣るた
め、長期間停止状態を保つと、櫛歯形状がＰＴＦＥ樹脂
に転写してしまい、摺動面が段差になり、モータ特性が
劣化する場合がある。そのため、櫛歯の上に樹脂を張り
つけ、ロータ側を対樹脂の摩擦材料にする方が優れてい
る。

【００４２】また例えば、平板状の支持部材上に振動体
を移動体として加圧接触させ、振動体上に発生した進行
性振動波により振動体自身を移動させるような場合は、
平板上の摩擦材を用い、振動体には本実施例と同種のＰ
ＴＦＥ複合樹脂を張り付けた構成で自走構成をとること
も可能である。

【００４３】本発明において、複合樹脂の母材であるＰ
ＴＦＥの量は７０〜９２ｖｏｌ％、好ましくは７３〜８
７ｖｏｌ％であり、無機繊維状物質と耐熱性樹脂の含有
量は両者の合計で８〜３０ｖｏｌ％、好ましくは１３〜
２７ｖｏｌ％の範囲にあるのが望ましい。

【００４４】また、無機繊維状物質の含有量Ｖｆ（ｖｏ
ｌ％）と耐熱性樹脂の含有量Ｖｒ（ｖｏｌ％）の比は１
／３≦Ｖｆ／Ｖｒ≦３、好ましくは０．６≦Ｖｆ／Ｖｒ
≦１．６の範囲にあるのが望ましい。

【００４５】図２は本発明の振動波駆動装置の実施形態
として振動波モータの一例を示す断面図である。図中、
１は振動体でステンレス鋼からなるリング状の金属弾性
体９の一端面に、前述の様にリング状で複数個に分極さ
れた２群の圧電素子４を耐熱性のエボキシ樹脂系接着剤
で接着し、金属弾性体９のもう一方の端面には摺動部材
３が同様に接着して形成されている。

【００４６】一方、移動体２側のアルミニウム合金から
なるリング状の接触体の摩擦摺動面には摩擦材５を設け
てある。接触体はゴムリング７を介して支持体８に取付
けてあり、支持体８はネジ１１により出力軸１２に固定
されている。そして、振動体１の摺動部材３と移動体２
の摩擦材５は接触して摩擦摺動面を形成し、加圧用の板
バネ１６により、軸方向に例えば総圧で５ｋｇｆの荷重
で加圧されている。１９はベアリング、１３はカバー、
１４、１５は与圧カラー、１７はカラーでネジ１１ａに
より出力軸１２に固定されている。

【００４７】そして、交互に厚み方向に分極処理された
２群の圧電素子４に振動体１に固有の周波数の交流電圧
を印加すると、振動体１は共振を起こし、その周方向に
進行性振動波を生じ、摺動部材３を介して摩擦材５に摩
擦力が作用し、移動体２は回転駆動する。

【００４８】本発明においては、上記の振動体及び移動
体のうち一方の摩擦接触部が、ポリテトラフルオロエチ
レンを母材とし、少なくとも無機繊維状物質と耐熱性樹
脂とを夫々１種以上含有し、かつ無機繊維状物質の含有
量Ｖｆ（ｖｏｌ％）と耐熱性樹脂の含有量Ｖｒ（ｖｏｌ
％）の比が１／３≦Ｖｆ／Ｖｒ≦３である複合樹脂で形
成されているので、振動モータの摩擦接触面の摩耗を抑
制する事ができる。

【００４９】上記実施例では、摺動部材を図２に示した
円盤状の振動波モータに適用した例を示したが、その他
に棒状の振動波モータに同様の方法で、上記の摩擦材を
設けた摩擦接触面を形成してもよい。

【００５０】また、図３は、図２に示した振動波モータ
を駆動源とする機器の概略図である。２３は大歯車２３
ａと小歯車２３ｂを有するギアで、大歯車２３ａが振動
波モータ側のギア２０と噛合している。２４は被駆動部
材、例えばレンズ鏡筒で、外周部に設けられたギア２４
ａにギア２３の小歯車２３ｂが噛合し、モータの駆動力
により回転する。一方、ギア２３にはエンコーダスリッ
ト板２５が取り付けられ、ギア２３の回転をフォトカッ
プラー２６により検出し、例えばオートフォーカスのた
めにモータの回転、停止を制御する。

【００５１】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、振
動波駆動装置における摺動部材として、ポリテトラフル
オロエチレン（ＰＴＦＥ）を母材とし、無機繊維状物質
と耐熱性樹脂とを夫々１種以上含有した複合樹脂を用い
て、それら無機繊維状物質と耐熱性樹脂の含有量を適宜
選択することによって、摩耗を防ぎ、無音で回転性能が
優れ、寿命の長い振動波駆動装置を得ることができた。

【００５２】

【図面の簡単な説明】

【図１】振動波駆動装置の一実施態様である振動波モー
タの摩擦接触部を示す概略図である。

【図２】本発明の振動波モータの一例を示す断面図であ
る。

【図３】図２に示した振動波モータを駆動源とする機器
の概略図である。

【符号の説明】

１振動体２移動体３摺動部材４圧電素子５摩擦材８支持体９金属弾性体１１，１１ａネジ１２出力軸１３カバー１４、１５与圧カラー１６板バネ１７カラー１９ベアリング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平６−54565（ＪＰ，Ａ) 特開平９−285155（ＪＰ，Ａ) 特開平５−83959（ＪＰ，Ａ) 特開平５−76189（ＪＰ，Ａ) 特開平５−161368（ＪＰ，Ａ) 特開平５−146176（ＪＰ，Ａ) 特開平６−271776（ＪＰ，Ａ) 特開平８−23687（ＪＰ，Ａ) 特開平10−84682（ＪＰ，Ａ) 特開平９−191666（ＪＰ，Ａ) 特開平10−36679（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00 C08L 101/00 C08K 7/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】電気−機械エネルギー変換素子に交流電
圧を印加することにより、該電気−機械エネルギー変換
素子に固着されている振動体に進行性振動波を形成し、
該振動体と加圧接触している移動体を摩擦力により相対
移動させる振動波駆動装置における振動体と移動体との
接触部に用いる摺動部材において、ポリテトラフルオロ
エチレンを母材とし、少なくとも無機繊維状物質とポリ
イミドまたは全芳香族ポリエステルとを夫々１種以上含
有した複合樹脂からなり、かつポリテトラフルオロエチ
レンの含有量が７０〜９２ｖｏｌ％であり、無機繊維状
物質とポリイミドまたは全芳香族ポリエステルの合計の
含有量が８〜３０ｖｏｌ％であり、無機繊維状物質の含
有量Ｖｆ（ｖｏｌ％）とポリイミドまたは全芳香族ポリ
エステルの含有量Ｖｒ（ｖｏｌ％）の比が１／３≦Ｖｆ
／Ｖｒ≦３であることを特徴とする摺動部材。
【請求項２】前記無機繊維状物質が炭素繊維であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の摺動部材。
【請求項３】摩擦調整剤として二硫化モリブデンが添
加されていることを特徴とする請求項１または２に記載
の摺動部材。
【請求項４】電気−機械エネルギー変換素子に交流電
圧を印加することにより、該電気−機械エネルギー変換
素子に固着されている振動体に進行性振動波を形成し、
該振動体と加圧接触している移動体を摩擦力により相対
移動させる振動波駆動装置において、該振動体と移動体
との接触部のいずれか一方に請求項１乃至３のいずれか
に記載の摺動部材を用いたことを特徴とする振動波駆動
装置。
【請求項５】前記振動体と移動体との接触部の相手材
がタングステンカーバイドであることを特徴とする請求
項４に記載の振動波駆動装置。