JP2011072132A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

【課題】拡がり振動モードと曲げ振動モードとを組み合わせた多重振動モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする超音波モータを提供する。
【解決手段】多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極４ｄおよびグランド電極と、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極４ｅとを備え、二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとしたとき、拡がり振動の共振周波数と曲げ振動の共振周波数とが実質的に同一となるｗ／Ｌの値に基づいて形成されている。これにより、圧電活性層の比率が大きく、効率のよい高性能の超音波モータを提供できる。
【選択図】図７Ｃ

Description

本発明は、矩形積層型の圧電振動子を多重振動モードで振動させる超音波モータに関する。

従来、積層型圧電素子が用いられた超音波モータやアクチュエータにセンサ用の電極を設け、そこから取り出した信号により積層型圧電素子の動作を制御しようとする技術が知られている（特許文献１、２、３）。

特許文献１記載のアクチュエータは、アクチュエータ部とセンサ部とが絶縁材料層を介して一体に積層されてなり、センサ部には圧電材料層として厚さ方向に分極処理が済んでいる圧電セラミックスが用いられている。そして、アクチュエータ部が厚さ方向に変位すると変位量に応じてセンサ部の電界が変位し、この電界の変位量が電圧信号としてサンプルホールドされて制御部にフィードバックされることで、アクチュエータ部に発生した応力変動を非線形的に検出し、センシング感度を向上させている。

特許文献２記載の積層圧電素子は、圧電セラミックスの片面側に電極を形成した圧電素子板を厚み方向に複数枚積層した積層圧電素子において、圧電セラミック層の一部をセンサー相として用い、最上層の圧電素子板にセンサー相の信号取り出し用の電極を設けている。そして、１波長幅のセンサー電極を導通穴と非接触に設け、一方最上層の圧電素子板にはスルーホールなどによりセンサー電極と導通する電極が形成されており、このようなセンサー相により振動波駆動装置の駆動制御を高精度に行おうとしている。

特許文献３記載の振動波モータは、積層圧電素子において第１層に表面電極層が配置され、第２層に圧電層が配置されている。第３層から第Ｎ層までの層においては、異なる圧電層が交互に配置されており、圧電層の表面には、４分割された内部電極が形成されている。圧電層の表面には、４分割された内部電極が形成されており、各圧電層において、センサ相である内部電極およびそれと同位相に配置されている内部電極とのみが圧電層の外部に露出するように形成されており、これにより小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図っている。

特許３０５９０３８号公報 特許３７２９７８１号公報 特開２００７−１３０３９号公報

上記のように、センサ用の電極を設けた圧電アクチュエータは存在するが、拡がり振動モードと曲げ振動モードとを組み合わせた多重振動モードで駆動される超音波モータにおいては、電極によりセンシングを行う構成が開発されておらず、駆動の効率的な検出および制御が行われていない。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、拡がり振動モードと曲げ振動モードとを組み合わせた多重振動モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする超音波モータを提供することを目的とする。

（１）上記の目的を達成するため、本発明の超音波モータは、多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとしたとき、拡がり振動の共振周波数と曲げ振動の共振周波数とが実質的に同一となるｗ／Ｌの値に基づいて形成されていることを特徴としている。

このように、駆動電極とセンシング電極とを同一面内に設けることによって動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。そして、矩形積層型の圧電振動子を拡がり振動と曲げ振動の多重モードで振動させる超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層と別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため効率のよい高性能の超音波モータを提供することが可能になる。

（２）また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、全体の中心に対称な位置に２つ設けられていることを特徴としている。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。

（３）また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、２分の１電極面積を有し、前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、２分の１電極面積を有することを特徴としている。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。

（４）また、本発明の超音波モータは、前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極が、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴としている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくしたことで動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。

（５）また、本発明の超音波モータは、前記圧電層が、同一層内で２つの分極方向に分極されており、前記内層された駆動電極には、１相の駆動電圧が印加されることを特徴としている。このように、１相駆動した場合にセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよくセンサ回路を簡略化できる。

本発明によれば、拡がり振動モードと曲げ振動モードとを組み合わせた多重振動モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にできる。

本発明に係る超音波モータの正面図である。 本発明に係る超音波モータが拡がり振動をしている様子を示す図である。 本発明に係る超音波モータが曲げ振動をしている様子を示す図である。 矩形型の圧電振動子を複数種類の振動モードで振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。 圧電振動子の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。 本発明に係る圧電振動子の斜視図である。 駆動層上の電極パターンを示す平面図である。 グランド電極のパターンを示す平面図である。 センシング層上の電極パターンを示す平面図である。 センシング層上の電極パターンを示す平面図である。 第１の実施形態に係る超音波モータの駆動層上の電極に対する配線を示す図である。 第１の実施形態に係る超音波モータのセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。 第１の実施形態において時間に対する入力電圧を示すグラフである。 第１の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。 第１の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。る。 第１の実施形態に係る超音波モータの応用例を示す図である。 第１の実施形態に係る超音波モータの応用例を示す図である。 第２の実施形態に係る超音波モータの駆動層上の電極に対する配線を示す図である。 第２の実施形態において時間に対する入力電圧を示すグラフである。 第２の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

［第１の実施形態］
図１は、超音波モータ１０の正面図である。図１に示すように、超音波モータ１０は圧電振動子１と摺動チップ２を備えており、矩形積層型の圧電振動子１を多重振動モードで振動させることで駆動可能となっている。圧電振動子１は、矩形積層型の圧電セラミックスから形成されており、各層は図１のｚ方向の正負のいずれか向きに分極している。この圧電振動子１には、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックス等の公知の材料を用いることができる。一般的なセラミックスの製造プロセス、例えば、圧電セラミックス粉末の成形（脱脂）、焼成、加工という製造プロセスに従って、圧電振動子１を作製する。作製した圧電振動子１に銀ペーストをスクリーン印刷等により所定のパターンで塗布し、焼成することによって、一方の主面に、後述する２つの電極を設けることができる。

また、圧電振動子１の紙面に対して上側の中央部に、駆動力を伝達する摺動チップ２が設けられている。この摺動チップ２は、耐摩耗性に優れた材料が用いられる。例えば、アルミナやジルコニア、窒化珪素、炭化珪素等のセラミックス部品や、超剛等の耐摩耗性金属部品、硬質金属材料の表面にセラミックス薄膜やダイヤモンド薄膜をコーティングした部品等が好適に用いられる。

なお、図中に点線で示すように、圧電振動子１のｙ方向端部の両端部に摺動チップ３ａおよび３ｂを設けても良い。圧電振動子１のｙ方向端部の中央部に摺動チップ２を設けた場合は、円板や球体等の回転体を駆動するのに好適であり、圧電振動子１のｙ方向端部の両端部に摺動チップ３ａおよび３ｂを設けた場合は、直線的に動作する摺動体を駆動するのに好適である。また、図１に示すように、矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さはＬであり、他方の組の辺の長さはｗである。

図２は、超音波モータ１０が拡がり振動をしている様子を示す図である。拡がり振動とは、矩形型の圧電振動子１が、中心から四辺の方向へ伸縮を繰り返す振動である。圧電振動子１の電位分布は、等電位線がほぼ平行に端面に向かって高くなる。図３は、超音波モータ１０が曲げ振動をしている様子を示す図である。曲げ振動とは、矩形型の圧電振動子１が二次元的に屈曲するのであるが、電位分布は、出力側中心部とその幅方向の両側に逆符号の電位が発生する。図２に示す拡がり振動モードと図３に示す曲げ振動モードとが合成（縮退）することによって、摺動チップ２、または摺動チップ３ａおよび３ｂは、楕円運動をし、駆動力が生ずる。

次に、超音波モータの駆動原理について説明する。図４は、矩形型の圧電振動子１を、拡がり振動モード（Expand Mode）および曲げ振動モード（Flexural Mode）で振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さはＬであり、他方の組の辺の長さはｗであるとし、図４に示すように、ｗ／Ｌを変数として、ｗ／Ｌと圧電振動子の拡がり振動モードの共振周波数とを対応させると共に、ｗ／Ｌと曲げ振動モードの共振周波数とを対応させる。

なお、図４ではＬ＝２０ｍｍで固定し、ｗ（Width）のみを変化させている。この場合、ｗが１７．０ｍｍ、すなわち、縦横の二辺の比（以下、「辺比」という。）ｗ／Ｌが、０．８５付近で両者の共振周波数が一致し、二つの振動が縮退する。このときの共振周波数は、１０７ｋＨｚ〜１０８ｋＨｚとなっている。このように、辺比が０．８５であり、一辺が２０ｍｍ程度の正方形となるため、小型化が可能となる。

図５は、圧電振動子１の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。図中のシート番号は積層するシートの番号を、シート厚は各シートの厚さを、内層印刷の種類は内層印刷のパターンを示している。印刷パターンＪ１、ＧＮＤ、Ｓ１、Ｓ２は、後述の電極パターンに対応している。図５に示す例では、圧電振動子の第３〜６シート、第１１〜１４シート、第２５〜２８シート、第３３〜３６シートが駆動層となるシートであり、第３シート、第１１シート、第２９シート、第３７シートのシート上には駆動電極が印刷されている。駆動層とは、電圧が印加されることで変位を生じさせる圧電層である。

また、第７シート、第１５シート、第２５シート、第３３シートのシート上にはグランド電極が印刷されている。また、第１５〜１８シート、第２１〜２４シートはセンシング層となるシートであり、層上の同一面内にはセンシング電極および駆動電極が印刷されている。このようにシートを積層して形成された成形体を焼成することで圧電振動子１が得られる。センシング層とは、駆動を検出するための圧電層である。なお、上記の積層構造は一例であり、必ずしもこの順番である必要はないが、電極パターンの位置が中心対称となるように積層されていることが好ましい。

図６は、圧電振動子１の斜視図である。圧電振動子１は、矩形積層型の圧電セラミックスから形成されており、各層の分極方向は、図６に示す座標軸のｚ軸方向の正負のいずれかに一致している。また、圧電振動子１はｘｙ平面の方向に拡がり振動モードで振動し、圧電振動子１のｘ軸方向の長さはＬ、ｙ軸方向の長さはｗである。

圧電振動子１は、積層された圧電層の表面または層間に交互に設けられたグランド電極および駆動電極を有している。また、圧電振動子１は、駆動電極と同じ面内に設けられ、圧電振動子１の動作を信号として検出するセンシング電極を有している。つまりセンシング電極は、駆動層の一方の主面側で、駆動電極が内層された面内に内層されている。

図７Ａは、駆動層上の電極パターンＪ１を示す平面図である。駆動電極４ａ、４ｂは、それぞれ概ね主面の２分の１の面積に等分されている。そして、それぞれ圧電振動子１の側面に露出する取り出し部分を有している。電極パターンにおいて対角の関係にある駆動電極４ａ、４ｂそれぞれには所定の交流電圧が印加され、駆動電極４ｂには駆動電極４ａへの印加電圧とは位相がπ／２異なる電圧を印加する。

図７Ｂは、グランド電極のパターンＧＮＤを示す平面図である。グランド電極４ｃと駆動電極４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｆとの間に電界が生じることで、その間の圧電層１ｂが変位する。また、グランド電極４ｃとセンシング電極４ｅ、４ｇとの間の圧電層１ｂが変位することでセンシング電極４ｅ、４ｇに電圧が発生し、圧電振動子１の駆動を検出することができる。

図７Ｃ、図７Ｄは、それぞれセンシング層上の電極パターンＳ１、Ｓ２を示す平面図である。センシング層は、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものである。センシング電極４ｅ、４ｇは、主面全体を２分割したときの１つの矩形形状に形成され、２分の１電極面積を有している。また、駆動電極４ｄ、４ｆも、主面全体を２分割したときの１つの矩形形状に形成され、２分の１電極面積を有している。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。

このように、駆動電極４ｄ、４ｆは、センシング電極４ｅ、４ｇと同一平面上に設けている。これにより、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくし、コンパクトに外部取り出し電極を構成できる。そして、矩形積層型の圧電振動子１を曲げ振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動させる超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層とは別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため、超音波モータ１０をセンシング層付きでかつ高性能なものとすることができる。

駆動電極４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｆは、外部電極により入力端子に接続されている。また、グランド電極４ｃは、外部電極により接地端子に接続されている。各センシング電極４ｅ、４ｇも外部電極により、検出端子を介して後述の検出部６に接続されている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくし、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。

駆動電極４ｄ、４ｆには、駆動電極４ｂと同じ電圧が印加される。２つのセンシング電極４ｅ、４ｇは、それぞれ圧電振動子１の中心に対称な位置に設けられている。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。なお、各駆動電極４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｆについても、中心対称に設けられていることが好ましい。

図８は、超音波モータ１０の駆動層上の電極に対する配線を示す図である。図８では、圧電振動子１の駆動層上の電極面を模式的に切り出して示している。図８に示すように、超音波モータ１０において、駆動層上には、矩形の圧電層１ｂの一方の主面を２分割するように、駆動電極４ａと駆動電極４ｂとが設けられている。そして、駆動層の他方の主面にはグランド電極４ｃが設けられ、接地されている。駆動電極４ａ、４ｂは、互いに絶縁された状態で個別に設けられる。

超音波モータ１０の駆動回路は、２つの交流電圧源５ａ、５ｂによって構成される。交流電圧源５ａは、駆動電極４ａにＶ_０ｓｉｎωｔの電圧を印加し、交流電圧源５ｂは、駆動電極４ｂにＶ_０ｃｏｓωｔの電圧を印加する。このように、圧電振動子１の駆動電極４ａ、４ｂに対して位相がπ／２ずれた電圧Ｖ_０ｓｉｎωｔおよびＶ_０ｃｏｓωｔが印加されると、圧電振動子１には、図２および図３に示すように、ｘｙ平面上で拡がる拡がり振動モードの振動と、ｘｙ平面上で曲がる曲げ振動モードの振動とが発生する。

そして、拡がり振動モードの共振周波数と、曲げ振動モードの共振周波数とが等しいときに、両振動モードが合成（縮退）され、圧電振動子１のチップ（図８に図示せず）には楕円振動が発生する。なお、電圧Ｖ_０ｓｉｎωｔとＶ_０ｃｏｓωｔとは、それぞれ第１の交流電圧と第２の交流電圧とに該当する。両者が入れ替わっても何ら問題はない。

このように、いずれか一方の主面上に２枚の電極が並設されているため、Ｌ１Ｆ２モードの場合のように、主面を４つの領域に分けて、それぞれに電力を配置し、対角に位置する電極同士を接続しなければならない構成よりも簡単な構成にすることができる。

なお、上記の例では、２相信号入力の構成を説明しているが、１相信号入力の構成を採ってもよい。この場合、一方の駆動電極４ａに、交流電圧源５ａによってＶ_０ｓｉｎωｔの交流信号を印加し、他方の駆動電極４ｂを開放状態とすることで動作させることも可能である。

図９は、超音波モータ１０のセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。図９に示すように、駆動電極４ｄには、図８に示す駆動電極４ａと同じ電圧が印加される。その結果、センシング層も駆動層と同様に変位し、効率の良い駆動が可能になる。一方、駆動によりセンシング電極４ｅに生じた電圧は、センシング電極４ｅに接続された検出部６により検出される。また、センシング電極４ｇに生じた電圧は、同様にしてセンシング電極４ｇに接続された検出部により検出される。

次に、超音波モータ１０を２相で駆動させたときの動作を説明する。図１０Ａは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図１０Ａに示す駆動電圧Ｖａは、交流電圧源５ａにより駆動電極４ａに印加される電圧であり、Ｖａ＝Ｖ_０ｓｉｎωｔと表せる。また、駆動電圧Ｖｂは、交流電圧源５ｂにより駆動電極４ｂに印加される電圧であり、Ｖｂ＝Ｖ_０ｃｏｓωｔと表せる。

図１０Ｂ、図１０Ｃは、それぞれ時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。図１０Ｂに示す検出電圧Ｖ_Ｓ１は、センシング電極４ｅに発生する電圧である。また、図１０Ｂに示す検出電圧Ｖ_Ｓ２は、センシング電極４ｇに発生する電圧である。図１０Ｂ、図１０Ｃに示す例では、検出電圧Ｖ_Ｓ１は、駆動電圧Ｖａ、Ｖｂを合成した波の位相を有するサイン波である。また、検出電圧Ｖ_Ｓ２は、検出電圧Ｖ_Ｓ１と位相をπ変えたサイン波である。これらは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧Ｖ_Ｓ１と検出電圧Ｖ_Ｓ２の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Ｖａ、Ｖｂの各位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ１０の駆動を正常になるよう調整する。

図１１Ａは、超音波モータ１０の応用例を示す図である。超音波モータ１０は、駆動層の側面の中央部に摺動チップ２を１つ備える構成を採る。この構成は、円板や球体等の回転体を駆動するのに好適であり、円板５０を図１１Ａ中、矢印の方向に回転させる。

図１１Ｂは、超音波モータ１０の応用例を示す図である。この超音波モータ１０は、圧電振動子１の紙面に対して左端の両端部に摺動チップ３ａ、３ｂを２つ備える構成を採る。この構成では、直線的に動作する摺動体を駆動するのに好適であり、実施例２では、リニアガイド６０にスライド自在に配置されたスライダ６１を、図１１Ｂ中、矢印の方向にスライドさせる。

以上説明したように、本実施形態によれば、圧電振動子１が、拡がり振動の共振周波数と曲げ振動の共振周波数とが実質的に同一となるｗ／Ｌの値に基づいて形成されているので、他のモード、例えば、Ｌ１Ｆ２モードで駆動させる場合よりも圧電振動子の主面の形状を正方形に近いものとすることができる。その結果、全体の寸法が扁平とならないため、奥行き寸法を小さくすることができる。これにより、パワー入力を従来のものよりも大きく取ることが可能となる。

［第２の実施形態］
上記の実施形態では、各駆動電極４ａ、４ｂに位相の異なる電圧を印加するが、ｂ同位相の電圧を印加してもよい。その場合には、あらかじめ各駆動電極４ａ、４ｂとグランド電極との間の圧電層をそれぞれ逆方向に分極処理しておく。このように、圧電層は、同一層内で２つの分極方向に分極されており、駆動電極には１相の駆動電圧が印加される。

このように、１相駆動した場合に２つのセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで超音波モータ１０の動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよく、センサ回路を簡略化できる。

図１２は、超音波モータ１０の駆動層上の電極に対する配線を示す図である。センシング層に対する配線については上記の実施形態と同様である。図１３Ａ、図１３Ｂは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図１３Ｂに示す検出電圧Ｖ_Ｓ１、Ｖ_Ｓ２は、センシング電極４ｅ、４ｇに発生する検出電圧である。図１２Ｂに示す例では、検出電圧Ｖ_Ｓ１、Ｖ_Ｓ２は、駆動電圧Ｖａ、Ｖｂを合成した波の位相を有するサイン波である。これは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧Ｖ_Ｓ１、Ｖ_Ｓ２の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Ｖａ、Ｖｂの位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ１０の駆動を正常になるよう調整する。

１ 圧電振動子
２ 摺動チップ
３ａ、３ｂ 摺動チップ
４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｆ 駆動電極
４ｃ グランド電極
４ｅ、４ｇ センシング電極
５ａ、５ｂ 交流電圧源
６ 検出部
１０ 超音波モータ
５０ 円板
６０ リニアガイド
６１ スライダ
ＧＮＤ グランド電極のパターン
Ｊ１ 駆動層上の電極パターン
Ｓ１、Ｓ２ センシング層上の電極パターン
Ｖａ、Ｖｂ 駆動電圧
Ｖ_Ｓ１、Ｖ_Ｓ２ 検出電圧

Claims (5)

1. 多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、
   積層された圧電層と、
   前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、
   前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、
   二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとしたとき、拡がり振動の共振周波数と曲げ振動の共振周波数とが実質的に同一となるｗ／Ｌの値に基づいて形成されていることを特徴とする超音波モータ。
2. 前記センシング電極は、全体の中心に対称な位置に２つ設けられていることを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
3. 前記センシング電極は、２分の１電極面積を有し、
   前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、２分の１電極面積を有することを特徴とする請求項１または請求項２記載の超音波モータ。
4. 前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極は、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の超音波モータ。
5. 前記圧電層は、同一層内で２つの分極方向に分極されており、
   前記内層された駆動電極には、１相の駆動電圧が印加されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の超音波モータ。

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