JP7219722B2 - ポンプ装置 - Google Patents
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Description
これを周波数の差によって表すと、第2の周波数fp2と第1の周波数fp1との差は、次の関係を満たす。
すなわち、第1の周波数fp1と第2の周波数fp2との差Δfpは、第1の周波数fp1を基準として±X1×102%の周波数領域内になる。なお、好ましくは、X1は、約0.05である。
また、圧電ポンプの入力インピーダンスZiは、例えば、次の方法で計測できる。駆動回路10の出力端子に、電流検出用の抵抗素子を介して、圧電ポンプを接続する。この状態で、抵抗素子に流れる電流値Ipと、出力端子の電圧Vpを計測する。これにより、入力インピーダンスZiは、次式より算出できる。
なお、上述の各電圧、電流は実効値である。
増幅回路13は、オペアンプU1、トランジスタQ1、トランジスタQ2、抵抗素子R4、抵抗素子R5、および、抵抗素子R13を備える。
10、10A、10B:駆動回路
11:制御回路
12:ブリッジ回路
13:増幅回路
14:位相反転回路
15:差動回路
16:フィルタ回路
17:基準電圧生成回路
21、22、23:圧電ポンプ
30:電源
31:昇圧回路
40:空気タンク
100:抵抗素子
111:差動回路
112:MCU
310:昇圧制御IC
Claims (4)
- 単独の駆動において第1の周波数で駆動される第1の圧電ポンプと、
単独の駆動において第2の周波数で駆動される第2の圧電ポンプと、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとを同一の駆動周波数で駆動する駆動回路と、
を備え、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとは、電気的に並列に接続された状態で、前記駆動回路へ電気的に接続されており、
前記第1の圧電ポンプは、前記第1の周波数において最大の流量を生じさせ、
前記第2の圧電ポンプは、前記第2の周波数において最大の流量を生じさせ、
前記第1の周波数と前記第2の周波数は異なり、
前記第1の周波数は、前記第2の周波数よりも大きく、且つ、前記第2の周波数の1.05倍以下であり、
前記駆動周波数は、前記第1の周波数と前記第2の周波数との間の所定の周波数であり、
前記駆動回路は、
前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに与える第1駆動信号を出力する増幅回路と、
前記第1駆動信号を位相反転して、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに与える第2駆動信号を出力する位相反転回路と、
前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプの並列回路と前記増幅回路との間に接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の両端電圧が入力される差動回路と、
前記差動回路の出力から、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに作用する高調波成分を除去して、前記増幅回路に与えるフィルタ回路と、
を備えており、
前記増幅回路の出力端子は、前記抵抗素子を介して、前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとの並列回路の一方端に接続されており、
前記増幅回路の出力端子は、前記位相反転回路の入力端子に接続され、
前記位相反転回路の出力端子は、前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとの前記並列回路の他方端に接続されている、
ポンプ装置。 - 前記駆動回路の前記駆動周波数での出力インピーダンスは、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスに対して小さく、且つ、出力インピーダンスの閾値以下であり、
前記出力インピーダンスの閾値は、前記入力インピーダンスの1%である、
請求項1に記載のポンプ装置。 - 前記第1の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスは、200Ω以下である、
請求項1又は請求項2に記載のポンプ装置。 - 前記第1の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスは、100Ω以上である、
請求項3に記載のポンプ装置。
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