JPWO2019130754A1 - ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
これを周波数の差によって表すと、第2の周波数fp2と第1の周波数fp1との差は、次の関係を満たす。
すなわち、第1の周波数fp1と第2の周波数fp2との差Δfpは、第1の周波数fp1を基準として±X1×102%の周波数領域内になる。なお、好ましくは、X1は、約0.05である。
また、圧電ポンプの入力インピーダンスZiは、例えば、次の方法で計測できる。駆動回路10の出力端子に、電流検出用の抵抗素子を介して、圧電ポンプを接続する。この状態で、抵抗素子に流れる電流値Ipと、出力端子の電圧Vpを計測する。これにより、入力インピーダンスZiは、次式より算出できる。
なお、上述の各電圧、電流は実効値である。
増幅回路13は、オペアンプU1、トランジスタQ1、トランジスタQ2、抵抗素子R4、抵抗素子R5、および、抵抗素子R13を備える。
10、10A、10B:駆動回路
11:制御回路
12:ブリッジ回路
13:増幅回路
14:位相反転回路
15:差動回路
16:フィルタ回路
17:基準電圧生成回路
21、22、23:圧電ポンプ
30:電源
31:昇圧回路
40:空気タンク
100:抵抗素子
111:差動回路
112:MCU
310:昇圧制御IC
Claims (14)
- 単独の駆動において第1の周波数で駆動される第1の圧電ポンプと、
単独の駆動において第2の周波数で駆動される第2の圧電ポンプと、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとを同一の駆動周波数で駆動する駆動回路と、
を備え、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとは、電気的に並列に接続された状態で、前記駆動回路へ電気的に接続されており、
前記第1の周波数と前記第2の周波数との差は、所定の周波数よりも小さい、
ポンプ装置。 - 前記駆動周波数は、前記第1の周波数と前記第2の周波数のいずれかと等しい、もしくはその間の所定の周波数である、
請求項1に記載のポンプ装置。 - 前記第1の周波数と前記第2の周波数との周波数差の閾値は、前記第1の周波数の±5%である、
請求項1または請求項2に記載のポンプ装置。 - 前記第1の圧電ポンプは、前記第1の周波数において最大の流量を生じさせ、
前記第2の圧電ポンプは、前記第2の周波数において最大の流量を生じさせる、
請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のポンプ装置。 - 前記駆動周波数は、前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとの並列回路に流れる電流値が最大値となる周波数を含む所定の周波数範囲内に設定されている、
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のポンプ装置。 - 前記駆動周波数は、さらに、前記並列回路のインピーダンスを用いて設定されている、
請求項5に記載のポンプ装置。 - 前記駆動回路の前記駆動周波数での出力インピーダンスは、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数での入力インピーダンスに対して小さく、且つ、インピーダンスの閾値以下である、
請求項1乃至請求項6のいずれかにポンプ装置。 - 前記インピーダンスの閾値は、前記入力インピーダンスの1%である、
請求項7に記載のポンプ装置。 - 前記第1の圧電ポンプの前記駆動周波数でのインピーダンスおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数でのインピーダンスは、200Ω以下である、
請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のポンプ装置。 - 前記第1の圧電ポンプの前記駆動周波数でのインピーダンスおよび前記第2の圧電ポンプの前記駆動周波数でのインピーダンスは、100Ω以上である、
請求項9に記載のポンプ装置。 - 前記駆動回路は、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとの並列回路に対して直列接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の電圧を用いて、前記並列回路に流れる電流値を計測して、該電流値に基づいた制御電圧を出力する制御回路と、
前記制御電圧を用いて、前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとに駆動電圧を印加する駆動電圧印加回路と、
を備える、
請求項1乃至請求項10のいずれかに記載のポンプ装置。 - 前記制御電圧の周波数は、前記電流値が最大となる駆動周波数になるように設定されている、
請求項11に記載のポンプ装置。 - 前記駆動回路は、
前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに与える第1駆動信号を出力する増幅回路と、
前記第1駆動信号を位相反転して、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに与える第2駆動信号を出力する位相反転回路と、
前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプの並列回路と前記増幅回路との間に接続された抵抗素子と、
前記抵抗素子の両端電圧が入力される差動回路と、
前記差動回路の出力から、前記第1の圧電ポンプおよび前記第2の圧電ポンプに作用する高調波成分を除去して、前記増幅回路に与えるフィルタ回路と、
を備える、
請求項1乃至請求項10のいずれかに記載のポンプ装置。 - 前記駆動周波数は、
前記第1の圧電ポンプと前記第2の圧電ポンプとのインピーダンスと、前記フィルタ回路のインピーダンスとによって決定されている、
請求項13に記載のポンプ装置。
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