JP2001309651A - 圧電素子駆動回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電素子を小形電子機器における機械的動作
のアクチュエータとして使用する際の圧電素子駆動回路
に関するもので、高効率な圧電素子駆動回路の提供を目
的とする。 【解決手段】 任意の信号波形をパルス幅変調し、この
パルス幅変調した信号を所定の昇圧比のトランス１次側
に入力し、このトランス２次側出力信号を圧電素子に接
続することで、静的消費電流がほぼゼロとなるデジタル
回路でのパルス幅変調部が構成でき、スイッチング周波
数が高いために変換効率のよいコア材料を有する昇圧型
巻線トランスの採用が可能となり、高効率な圧電素子駆
動回路を実現することができた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子を小形電
子機器における機械的動作のアクチュエータとして使用
する際の圧電素子駆動回路に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電素子は低価格、高寿命といっ
た観点から単なる発音体としてだけでなく、アクチュエ
ータ用途に用いられている。

【０００３】図７はこのようなアクチュエータ用途に使
用される従来の圧電素子駆動回路の構成図であり、正弦
波発生部１の出力信号を非反転増幅部２および反転増幅
部３に入力し、非反転増幅部２および反転増幅部３のそ
れぞれの出力を圧電素子４に接続する構成となってい
る。

【０００４】図８は、図７における各部の電圧波形のタ
イミング図であり、ｈは正弦波発生部１の出力電圧波
形、ｊは非反転増幅部２の出力電圧波形、ｋは反転増幅
部３の出力電圧波形である。ｊ−ｋ間の電圧波形はｊと
ｋの差動電圧を示すものであり、これはすなわち圧電素
子３の両端に加わる電圧波形となる。

【０００５】以下図７、図８を用いてその動作の説明を
行う。

【０００６】正弦波発生部１では、ウィーンブリッジ発
振回路等により圧電素子４を駆動するための駆動波形を
生成する。ここで波形を正弦波としているのは、矩形波
のような電圧変化が急峻な信号を圧電素子に与えた場合
に生じる圧電素子４の振動加速度増大による破壊防止
や、圧電素子４の急峻な機械的変位で生じる空気振動に
よる高レベルな音の発生を防止するためである。正弦波
発生部１で生成した正弦波のピークトゥピーク電圧は、
正弦波発生部１の電源電圧が５Ｖであれば、図８のｈの
ように最大で５Ｖになるが、一般的に圧電素子４をアク
チュエータ用途、例えばダイヤフラム式ポンプのダイヤ
フラムを機械的に駆動するアクチュエータとする場合、
比較的低周波な正弦波を比較的高電圧で圧電素子４に印
加する必要がある。周波数に関しては、ポンプの弁効率
やポンプの媒体が特に液体の場合は２００Ｈｚ程度以下
が望ましいと考えられる。

【０００７】また、印加電圧に関しては、圧電素子４の
構成材質や圧電素子４の固定方法によっても大きく異な
るが、ここでは１００Ｖ前後の印加電圧の場合を例に説
明すると、図７に示す非反転増幅部２の内部の高電圧オ
ペアンプ５と反転増幅部３の内部の高電圧オペアンプ６
は、高電圧生成部７で生成した±３０Ｖの直流電源（Ｖ
ｐおよびＶｍ）で動作するものであり、非反転増幅部２
の出力は正弦波発生部１の出力である５Ｖピークトゥピ
ークの正弦波電圧を±３０Ｖに増幅（図８のｊで示す）
し、反転増幅部３の出力は非反転増幅部２の出力とはち
ょうど逆位相の±３０Ｖに増幅（図８のｋで示す）する
ことで、ｊ−ｋ間の電圧波形で示すピークトゥピーク電
圧が１２０Ｖの正弦波電圧を圧電素子４に印加する圧電
素子駆動回路としている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すような圧電素子駆動回路においては、静的消費電流
が駆動回路としての効率を劣化させているという欠点が
あった。例えば圧電素子４への印加電圧が１２０Ｖピー
クトゥピークで周波数が２００Ｈｚの正弦波であり、か
つ圧電素子４の容量値が１００ｎＦの場合には、その負
荷電流値は（数１）より約５．３ｍＡとなる。

【０００９】

【数１】

【００１０】一方、高電圧オペアンプ５あるいは６自身
における静的消費電流は一般市販されているもので７〜
８ｍＡ程度であり２ヶ使用することから合計１４〜１６
ｍＡ程度の静的消費電流が流れることになる。以上のこ
とから図７の圧電素子駆動回路全体では約２０ｍＡ消費
（±３０Ｖ系）し、このうち約３／４が高電圧オペアン
プの静的消費電流ということになる。このため、効率劣
化もさることながら、高電圧オペアンプが発熱し、これ
を防ぐために大面積の放熱板等を必要とした。

【００１１】また、５Ｖ単一電源をスイッチング電源等
で±３０Ｖのような高電圧電源を生成する必要があり、
この高電圧生成部７においても効率を低下させるという
課題を有していた。

【００１２】本発明は、このような従来の課題を解決
し、高効率な圧電素子駆動回路の提供を目的とするもの
である。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の圧電素子駆動回路は、正弦波信号成分をパル
ス幅変調し、このパルス幅変調した信号を所定の昇圧比
のトランス１次側に入力し、このトランス２次側の出力
を圧電素子に印加して駆動するものとした。

【００１４】これにより、静的消費電流がほぼゼロとな
るデジタル回路でのパルス幅変調信号生成部が構成で
き、パルス信号の周波数を高く設定することによって変
換効率のよいコア材料を有する昇圧型巻線トランスの採
用が可能となり、高効率な圧電素子駆動回路を得ること
ができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、任意波形の電気信号をパルス幅変調するパルス幅変
調信号生成部と、所定の昇圧比を有する巻線トランス
と、圧電素子からなり、前記巻線トランスの１次側が前
記パルス幅変調信号生成部の出力側に接続され、前記巻
線トランスの２次側が前記圧電素子に接続された圧電素
子駆動回路としたものであり、パルス幅変調信号生成部
からの出力信号が巻線トランスで昇圧されると共に、巻
線トランスの直流抵抗成分と負荷となる圧電素子自身の
リアクタンス成分で構成される低周波域通過フィルタ効
果により、パルス幅変調信号の高周波成分が除去された
電気信号、すなわちパルス幅変調される前の任意波形の
出力が巻線トランスの２次側から得られて圧電素子に印
加できるというものであり、大きな静的消費電流を生じ
る部品を用いる必要がないという作用を有する。

【００１６】請求項２に記載の発明は、任意波形の電気
信号をパルス幅変調する第１のパルス幅変調信号生成部
と、任意波形の電気信号をパルス幅変調する第２のパル
ス幅変調信号生成部と、絶縁型巻線トランスと、圧電素
子からなり、前記絶縁型巻線トランスの１次側の一端が
前記第１のパルス幅変調信号生成部の出力端に、他端が
前記第２のパルス幅変調信号生成部の出力端に接続さ
れ、前記絶縁型巻線トランスの２次側が前記圧電素子の
両端に接続された圧電素子駆動回路としたものであり、
第１のパルス幅変調信号生成部からの出力信号と第２の
パルス幅変調信号生成部からの出力信号との電位差分が
絶縁型巻線トランスで昇圧されると共に、絶縁型巻線ト
ランスの直流抵抗成分と負荷となる圧電素子自身のリア
クタンス成分で構成される低周波域通過フィルタ効果に
より、パルス幅変調信号の高周波域成分が除去された電
気信号、すなわち第１のパルス幅変調信号生成部で変調
される任意波形と第２のパルス幅変調信号生成部で変調
される任意波形の差である波形の出力が絶縁型巻線トラ
ンスの２次側から得られて圧電素子に印加できるもので
あり、大きな静的消費電流を生じる部品を要せず、かつ
巻線トランスの１次側の入力電圧を高くできて２次側か
らの高い出力を容易に得ることができ、さらに第１のパ
ルス幅変調信号生成部と第２のパルス幅変調信号生成部
で変調される波形の位相差を変えることで、絶縁型巻線
トランスの２次側の出力を容易に可変できるという作用
を有する。

【００１７】請求項３記載の発明は、任意波形の電気信
号をパルス幅変調するパルス幅変調信号生成部と、前記
パルス幅変調信号生成部で生成される信号の電位を反転
した反転パルス幅変調信号生成部と、絶縁型巻線トラン
スと、圧電素子からなり、前記絶縁型巻線トランスの１
次側の一端が前記パルス幅変調信号生成部の出力端に、
他端が反転パルス幅変調信号生成部の出力端に接続さ
れ、前記絶縁型巻線トランスの２次側が前記圧電素子の
両端に接続された圧電素子駆動回路としたものであり、
パルス幅変調信号生成部からの出力信号と反転パルス幅
変調信号生成部からの出力信号との電位差分が絶縁型巻
線トランスで昇圧されると共に、絶縁型巻線トランスの
直流抵抗成分と負荷となる圧電素子自身のリアクタンス
成分で構成される低周波域通過フィルタ効果により、パ
ルス幅変調された信号の高周波成分が除去された電気信
号、すなわちパルス幅変調前の任意波形の出力が絶縁型
巻線トランスの２次側から得られて圧電素子に印加でき
るというものであり、大きな静的消費電流を生じる部品
を要せず、かつ簡素な構成で巻線トランスの１次側の入
力電圧を高くできて２次側からの高い出力を容易に得る
ことができるという作用を有する。

【００１８】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図６を用いて説明する。

【００１９】なお、従来の技術の項で説明した構成と同
一構成の部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。

【００２０】（実施の形態１）図１は本発明の一実施の
形態による圧電素子駆動回路の構成図であり、巻線トラ
ンス８の１次側の一端にパルス幅変調信号生成部９が接
続され、巻線トランスの２次側の一端には、圧電素子４
が接続される構成としている。

【００２１】なお、巻線トランス８の１次、２次共通端
はグランド接続としているが、所定の一定の電位にすれ
ばよい。

【００２２】また、パルス幅変調信号生成部９の電源電
圧は、５Ｖ電源である必要性はなく、生成されるパルス
幅変調信号のピークトゥピークの電圧値に応じ、圧電素
子４への印加に要する電圧を巻線トランス８の昇圧比で
調整すればよい。

【００２３】さらに、巻線トランス８は、１次側巻線が
２次側巻線の一部を共用した非絶縁型の巻線トランス、
いわゆるオートトランスとしているが、絶縁型の巻線ト
ランスを用いてもよい。

【００２４】次に図１で示した構成の圧電素子駆動回路
の動作について、図２で示す各部の電圧波形のタイミン
グ図を用いて説明する。

【００２５】ここで図２のａの波形は、パルス幅変調信
号生成部９の出力信号、ｃの波形は圧電素子に加わる電
圧を示している。

【００２６】パルス幅変調信号生成部９では、２００Ｈ
ｚの正弦波データをパルス幅変調する。このとき後段回
路で再生する正弦波波形の歪みを抑えるために、変調前
正弦波１周期を６４分割以上とすることが望ましく、２
００Ｈｚ×６４＝１２．８ＫＨｚがパルス幅変調周波数
となるパルス幅変調信号を生成する。この波形が図２に
示すａの波形であり、パルス幅変調信号における“Ｌ”
レベルが０Ｖ（＝グランドレベル）、“Ｈ”レベルが＋
５Ｖ（＝Ｖｃｃレベル）である場合には、ピークトゥピ
ーク電圧を５Ｖとするパルス幅変調信号（周波数＝１
２．８ＫＨｚ）が巻線トランス８の１次側に入力される
ことになる。この信号は巻線トランス８の１次側巻線数
と２次側巻線数の比率で昇圧されるために、例えば巻線
トランス昇圧比が１５．６倍のとき、５Ｖ×１５．６＝
７８Ｖピークトゥピーク電圧のパルス幅変調信号を２次
側に出力しようとする。

【００２７】ところが、巻線トランス８の２次側の直流
抵抗成分と圧電素子４のリアクタンス成分により、低周
波域通過フィルタが構成され、かつ巻線トランス８のイ
ンダクタにより電流を保持しようとする作用から、圧電
素子４に流れる電流はパルス幅変調信号の“Ｈ”レベル
と“Ｌ”レベルに応じて充放電が繰り返され、パルス幅
変調の時比率の増減に応じて平均電流も増減することに
なる。圧電素子４の両端の電圧波形は、平均電流の増減
に応じるために、パルス幅変調の時比率で表すことがで
き、図２のｃで示す２００Ｈｚの正弦波が再生され、そ
のピークトゥピーク電圧は、理論上は７８Ｖになる。

【００２８】以上の構成により、パルス幅変調信号生成
部９はデジタル回路で構成でき、巻線トランス８の通過
周波数は１２．８ＫＨｚであることから、コア材料に磁
性効率のよいフェライト等の材料選択範囲が可能とな
り、また従来例の構成では必須の高電圧生成部７を省略
できる。

【００２９】次に、図３の変調度に応じた電圧波形のタ
イミング図により、パルス幅変調信号生成部９のパルス
幅変調度に応じて、圧電素子４に加える正弦波のピーク
トゥピーク電圧が変わることを説明する。

【００３０】パルス幅変調の変調度を変えるには、パル
ス幅変調信号生成部９の内部にバレルシフター回路（所
定の値において、２のｎ乗分の１で示される値を準備
し、組み合せ加算することで前記所定の値の除算結果を
得る：ｎは自然数）を設け、元の正弦波データを比例縮
小させることで簡単に実現する。基本的な動作は図１お
よび２を用いて説明した内容と重複するので省略する
が、圧電素子４の両端の電圧波形はパルス幅変調の時比
率で表すことができるので、図３のｃで示す２００Ｈｚ
の正弦波が再生され、ピークトゥピーク電圧は、理論
上、（数２）で表すことができる。

【００３１】

【数２】

【００３２】以上の構成により、圧電素子４に印加する
電圧が可変できて、機械的変位量を自由に設定できるよ
うになり、当該アプリケーションにおける制御量の検出
手段を別途設けることで、その制御量を一定にするよう
なフィードバック制御系を容易に構成することが可能と
なる。

【００３３】（実施の形態２）図４は本発明の第２の実
施の形態による圧電素子駆動回路の構成図であり、絶縁
型巻線トランス１０の１次側の一端に第１のパルス幅変
調信号生成部１１が接続され、絶縁型巻線トランス１０
の１次側のもう一端には第２のパルス幅変調信号生成部
１２が接続されている。絶縁型巻線トランス１０の２次
側の両端には、圧電素子４と、コンデンサ１３とコンデ
ンサ１４の直列接続体が接続され、コンデンサ１３とコ
ンデンサ１４の直列接続体の中点はグランドに接続され
る構成としている。

【００３４】なお、第１のパルス幅変調信号生成部１１
と第２のパルス幅変調信号生成部１２は各々完全に独立
させる必要はなく、パルス幅変調前の任意の波形を共有
することや位相制御関係から破線で示すように１つのブ
ロックとしてもよい。

【００３５】また、絶縁型巻線トランス１０の２次側両
端に接続されたコンデンサ１３およびコンデンサ１４の
直列接続体は、圧電素子４が無いときの無負荷時電圧を
安定させるためのものであり、１つのコンデンサにして
中点のグランドを無くしてもかまわないし、場合によっ
てはコンデンサ１３、１４を完全に除くことも可能であ
る。

【００３６】さらに、第１のパルス幅変調信号生成部１
１と第２のパルス幅変調信号生成部１２の電源電圧Ｖｃ
ｃは、５Ｖである必要性はなく、生成されるパルスはパ
ルス幅変調信号のピークトゥピークの電圧値に応じ、圧
電素子４への印加に要する電圧を絶縁型巻線トランス１
０の昇圧比で調整すればよい。

【００３７】次に図４で示した構成の圧電素子駆動回路
の動作について図５で示す各部の電圧波形のタイミング
図を用いて説明する。

【００３８】図５のａの波形は第１のパルス幅変調信号
生成部１１の出力信号、ｂの波形は第２のパルス幅変調
信号生成部１２の出力信号、ｃの波形は圧電素子４に加
わる電圧を示している。

【００３９】ではまず、図４と図５により、変調前波形
の位相差が１８０ｄｅｇの場合の動作を説明する。

【００４０】第１のパルス幅変調信号生成部１１では、
２００Ｈｚの正弦波データをパルス幅変調する。このと
き後段回路で再生する正弦波波形の歪みを抑えるため
に、変調前正弦波１周期を６４分割以上とすることが望
ましく、２００Ｈｚ×６４＝１２．８ＫＨｚがパルス幅
変調周波数となるパルス幅変調信号を生成する。この波
形が図５に示すａの波形であり、同様の手段を用いて第
２のパルス幅変調信号生成部１２でパルス幅変調信号
（ｂの波形）を生成する。このとき、ａとｂのパルス幅
変調前正弦波の位相差を１８０ｄｅｇとしておくと、絶
縁型巻線トランス１０の１次側には、ａとｂの電位差分
が入力されるので、ａおよびｂのパルス幅変調信号にお
ける“Ｌ”レベルが０Ｖ（＝グランドレベル）、“Ｈ”
レベルが＋５Ｖ（＝Ｖｃｃレベル）である場合には、ピ
ークトゥピーク電圧を１０Ｖとするパルス幅変調信号
（周波数＝１２．８ＫＨｚ）が入力されることになる。
この信号は絶縁型巻線トランス１０の１次側インダクタ
ンスが９０ｍＨ、２次側のインダクタンスが２２Ｈのと
き、（数３）より絶縁型巻線トランス１０の昇圧比は約
１５．６倍であり、１０Ｖ×１５．６＝１５６Ｖピーク
トゥピーク電圧のパルス幅変調信号を２次側に出力しよ
うとする。

【００４１】

【数３】

【００４２】ところが、絶縁型トランス１０の２次側の
直流抵抗成分と圧電素子４のリアクタンス成分により、
低周波域通過フィルタが構成され、かつ絶縁型巻線トラ
ンス１０のインダクタにより電流を保持しようとする作
用から、圧電素子４に流れる電流はパルス幅変調信号の
“Ｈ”レベルと“Ｌ”レベルに応じて充放電が繰り返さ
れ、パルス幅変調の時比率の増減に応じて平均電流も増
減することになる。圧電素子４の両端の電圧波形は、平
均電流の増減に応じるために、パルス幅変調の時比率で
表すことができ、図５のｃで示す２００Ｈｚの正弦波形
が再生され、そのピークトゥピーク電圧は、理論上は１
５６Ｖになる。

【００４３】以上の構成により、第１および第２のパル
ス幅変調信号生成部１１、１２は、デジタル回路で構成
でき、絶縁型巻線トランス１０の通過周波数は１２．８
ＫＨｚであることから、コア材料に磁性効率のよいフェ
ライト等の材料選択範囲が可能となり、さらに従来例の
構成では必須の高電圧生成部７を省略することができ
る。

【００４４】また、実施の形態２によれば実施の形態１
と比較して、同一の昇圧比を有するトランスを使用する
場合、２倍の電圧を圧電素子４に印加することができ
る。

【００４５】さらに図６は、２つのパルス幅変調信号の
位相差に応じた電圧波形のタイミング図であり、第１の
パルス幅変調信号生成部１１と第２のパルス幅変調信号
生成部１２で変調する以前の正弦波波形の位相差を変え
ることで圧電素子に加える電圧を可変できる様子を示し
ている。

【００４６】基本的な動作は図４および図５を用いて説
明した内容と重複するので省略するが、圧電素子４の端
子の電圧波形はパルス幅変調の時比率で表すことができ
るので、圧電素子４の各端子部における位相差を持つ正
弦波の差となる。

【００４７】したがって、図６のｃで示す２００Ｈｚの
正弦波が再生され、波形Ｖは、理論上、（数４）が導か
れ、したがってピークトゥピーク電圧Ｖｐｐは、（数
５）で表すことができる。

【００４８】

【数４】

【００４９】

【数５】

【００５０】以上の構成とすることで、パルス幅変調時
の時間軸方向に対する分解能を減ずることなく、圧電素
子４の機械的変位量を自由に設定できるようになり、当
該アプリケーションにおける制御量の検出手段を別途設
けることで、その制御量を一定にするフィードバック制
御系を容易に構成し、かつ滑らかに制御することが可能
となる。

【００５１】なお、位相差制御を用いて圧電素子４に加
える電圧を可変制御する必要がない場合は、第２のパル
ス幅変調信号生成部１２の代わりに、第１のパルス幅変
調信号生成部１１で生成した信号の電位を反転させるイ
ンバータ等で反転パルス幅変調信号生成部を構成すれ
ば、簡素な構成でピークトゥピーク電圧の高い圧電素子
４の駆動電圧が得られ、第１のパルス幅変調信号生成部
１１と第２のパルス幅変調信号生成部１２を用いた場合
で説明したパルス幅変調前の位相差が１８０ｄｅｇと同
様の結果を得る。

【００５２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、任意波形
の電気信号をパルス幅変調信号に変換し、巻線トランス
での昇圧と低周波域通過フィルタ作用を利用すること
で、従来例に示すような高電圧オペアンプや高電圧生成
部が不要であり、効率の向上と費用負担の軽減という効
果が得られる。

【００５３】また、巻線トランスのコア材料にフェライ
ト等が選定できるために、小形で高効率な巻線トランス
を使用することが可能になる。

【００５４】さらに、絶縁型巻線トランスの１次側両端
に逆位相のパルス幅変調信号を与えることで、より高電
圧な出力を容易に得ることができる。

【００５５】また、複数の圧電素子を位相制御駆動する
場合（例えばダイヤフラム式ポンプのポンプだけではな
く、そのポンプを構成する吸込弁と吐出弁の３者をすべ
て圧電素子で駆動しようとするような場合）、パルス幅
変調信号生成処理に伴うデジタル化の際に、位相制御精
度を上げることが極めて容易であり、アクチュエータ用
途の圧電素子駆動回路としては複数素子の連携動作が簡
単に構成できるという効果が得られる。

【００５６】また、パルス幅変調度を制御しフィードバ
ック系を構築することで、安定性に優れたシステムを容
易に実現することが可能になり、さらに位相差制御を行
うことで、より安定性に優れたシステムを実現できると
いう有利な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による圧電素子駆動回路
の構成図

【図２】同各部の電圧波形のタイミング図

【図３】同変調度に応じた電圧波形のタイミング図

【図４】本発明の第２の実施の形態による圧電素子駆動
回路の構成図

【図５】同各部の電圧波形のタイミング図

【図６】同位相差に応じた電圧波形のタイミング図

【図７】従来の圧電素子駆動回路の構成図

【図８】同各部の電圧波形のタイミング図

【符号の説明】

４ 圧電素子 ８ 巻線トランス ９ パルス幅変調信号生成部 １０ 絶縁型巻線トランス １１ 第１のパルス幅変調信号生成部 １２ 第２のパルス幅変調信号生成部 １３ コンデンサ １４ コンデンサ

フロントページの続き (72)発明者 酒井 康司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 貝崎 啓二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5H730 AA14 BB21 BB57 BB61 BB86 BB88 DD32 EE48 EE79 FG05 FG07

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 任意波形の電気信号をパルス幅変調する
   パルス幅変調信号生成部と、所定の昇圧比を有する巻線
   トランスと、圧電素子からなり、前記巻線トランスの１
   次側が前記パルス幅変調信号生成部の出力端に接続さ
   れ、前記巻線トランスの２次側が前記圧電素子に接続さ
   れたことを特徴とする圧電素子駆動回路。
2. 【請求項２】 任意波形の電気信号をパルス幅変調する
   第１のパルス幅変調信号生成部と、任意波形の電気信号
   をパルス幅変調する第２のパルス幅変調信号生成部と、
   絶縁型巻線トランスと、圧電素子からなり、前記絶縁型
   巻線トランスの１次側の一端が前記第１のパルス幅変調
   信号生成部の出力端に、他端が前記第２のパルス幅変調
   信号生成部の出力端に接続され、前記絶縁型巻線トラン
   スの２次側が前記圧電素子の両端に接続されたことを特
   徴とする圧電素子駆動回路。
3. 【請求項３】 任意波形の電気信号をパルス幅変調する
   パルス幅変調信号生成部と、前記パルス幅変調信号生成
   部で生成する信号の電位を反転した反転パルス幅変調信
   号生成部と、絶縁型巻線トランスと、圧電素子からな
   り、前記絶縁型巻線トランスの１次側の一端が前記パル
   ス幅変調信号生成部の出力端に、他端が反転パルス幅変
   調信号生成部の出力端に接続され、前記絶縁型巻線トラ
   ンスの２次側が前記圧電素子の両端に接続されたことを
   特徴とする圧電素子駆動回路。