JP2006179578A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 表面に形成された電極膜に交流電界が印加されることによって振動を発生する電気−機械エネルギ変換素子において、
   前記電気−機械エネルギ変換素子の表面に電極膜を有し、
   前記電極膜と平行な面における前記電気−機械エネルギ変換素子の断面が多角形であり、前記電極膜が前記多角形の頂点を含まない領域に設けられた電極膜境界部によって複数に分割されていることを特徴とする電気−機械エネルギ変換素子。
2. 前記分割された電極膜は前記多角形の頂点を含む領域に形成されていることを特徴とする請求項１記載の電気−機械エネルギ変換素子。
3. 前記多角形は正方形であり、前記電極膜境界部は正方形の各辺の中点からの垂線上に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の電気−機械エネルギ変換素子。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載の電気−機械エネルギ変換素子からなる層を複数積層したことを特徴とする積層圧電素子。
5. 前記多角形の中心からの距離が前記多角形の頂点からの距離よりも短い領域に、異なる層の電極膜を繋ぐ導電部が形成されることを特徴とする請求項４に記載の積層圧電素子。
6. 請求項４又は５に記載の積層圧電素子と、
   前記電気−機械エネルギ変換素子を固定する弾性体と、
   前記電気−機械エネルギ変換素子及び前記弾性体の内部を通ってこれらを固定するシャフトと、
   前記振動子に接触し、前記弾性体の表面に発生した円運動によって駆動される接触体を有し、
   前記振動子は前記電気−機械エネルギ変換素子が発生した振動によって、前記シャフトと直交する方向に振動する複数の曲げ振動を発生し、この複数の曲げ振動を合成することで前記弾性体の表面に円運動を発生させることを特徴とする振動波駆動装置。