JP2012191733A5 - - Google Patents

Description

本発明の圧電素子は、圧電層と電極層とが重ねられて構成された電極部と、前記電極部に接して電極層を含まない圧電層から構成された非電極部と、を含む圧電素子であって、
前記電極部の圧電層は銀元素を含有し、前記非電極部の圧電層は、前記電極部の圧電層よりも密度が小さい領域を含むことを特徴とする。
また、本発明の圧電アクチュエータは、上記した圧電素子を有することを特徴とする。
また、本発明の振動波モータは、上記した圧電素子と、振動体とを有し、該圧電素子により前記振動体を駆動することを特徴とする。

Claims (11)

1. 圧電層と電極層とが重ねられて構成された電極部と、前記電極部に接して電極層を含まない圧電層から構成された非電極部と、を含む圧電素子であって、
   前記電極部の圧電層は銀元素を含有し、
   前記非電極部の圧電層は、前記電極部の圧電層よりも密度が小さい領域を含むことを特徴とする圧電素子。
2. 圧電層と電極層とが重ねられて構成され、前記非電極部を介して前記電極部に隣接する電極部を有し、
   前記非電極部の圧電層は、前記電極部の圧電層より密度が小さい領域を含み、
   前記非電極部は、前記２つの電極部の間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
3. 前記電極部において、前記圧電層は低温焼結助剤を含み、前記電極層は銀元素を含むことを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
4. 圧電層と電極層とが重ねられて構成された２つの電極部と、
   前記２つの電極部の間に設けられ電極層を含まない圧電層から構成された非電極部と、
   を含み、
   前記非電極部は、前記２つの電極部の圧電層よりも密度が小さい領域を含むことを特徴とする圧電素子。
5. 前記２つの電極部は、分極極性が異なることを特徴とする請求項２または４に記載の圧電素子。
6. 前記２つの電極部において、前記圧電層は低温焼結助剤を含み、前記電極層は銀元素を含むことを特徴とする請求項４または５に記載の圧電素子。
7. 前記低温焼結助剤は、銅元素を含むことを特徴とする請求項３または６に記載の圧電素子。
8. 前記圧電素子は、最高焼成温度が９４０℃以下で焼成されて形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電素子。
9. 前記非電極部の密度は、前記電極部の密度の９４％以上、９７％以下であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の圧電素子。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の圧電素子を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
11. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の圧電素子と、振動体とを有し、前記圧電素子により前記振動体を駆動することを特徴とする振動波モータ。