JP2012210052A5 - - Google Patents
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- 被駆動手段に付勢する振動板と、を備え、
前記振動板が前記被駆動手段を付勢する方向における前記振動板のヤング率ＥLと、前記付勢する方向に交差する方向における前記振動板のヤング率ＥSと、が異なる、
ことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 前記振動板は圧延法により形成された板状基材を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記ヤング率ＥLおよび前記ヤング率ＥSは、
ＥL＞ＥS
である、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記振動板に積層される圧電体と、を備え、
前記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含む、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーター。 - 請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備える、
ことを特徴とするモーター。 - 請求項５に記載のモーターを備えるロボットハンド。
- 請求項６に記載のロボットハンドを備えるロボット。
- 第１の辺、第２の辺、前記第１の辺と前記第２の辺との間をつなぐ第３の辺および第４の辺、を有する振動板と、を備え、
前記振動板は、前記第１の辺から突出し、かつ、被駆動部材と当接する突出部を有し、
前記第１の辺の中心と前記第２の辺の中心とを通る直線方向における前記振動板のヤング率ＥLと、前記第３の辺の中心と前記第４の辺の中心とを通る直線方向における前記振動板のヤング率ＥSと、が異なる、ことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 前記振動板は圧延法により形成された板状基材を含む、
ことを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記ヤング率ＥLおよび前記ヤング率ＥSは、
ＥL＞ＥS
である、
ことを特徴とする請求項８または９に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記振動板に積層される圧電体と、を備え、
前記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含む、
ことを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーター。 - 請求項８から１１のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備える、
ことを特徴とするモーター。 - 請求項１２に記載のモーターを備えるロボットハンド。
- 請求項１３に記載のロボットハンドを備えるロボット。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011073559A JP5776270B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、モーター、ロボットハンドおよびロボット |
| US13/431,047 US8525387B2 (en) | 2011-03-29 | 2012-03-27 | Piezoelectric actuator, motor, robot hand, and robot |
| US13/954,284 US8810109B2 (en) | 2011-03-29 | 2013-07-30 | Piezoelectric actuator, motor, robot hand, and robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011073559A JP5776270B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、モーター、ロボットハンドおよびロボット |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012210052A JP2012210052A (ja) | 2012-10-25 |
| JP2012210052A5 true JP2012210052A5 (ja) | 2014-04-03 |
| JP5776270B2 JP5776270B2 (ja) | 2015-09-09 |
Family
ID=46926204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011073559A Active JP5776270B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、モーター、ロボットハンドおよびロボット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8525387B2 (ja) |
| JP (1) | JP5776270B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013204026B4 (de) * | 2013-03-08 | 2019-08-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Aktoranordnung für einen Ultraschallmotor |
| JP6164044B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-07-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
| JP6268999B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2018-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
| KR102177156B1 (ko) | 2014-03-10 | 2020-11-10 | 삼성전자주식회사 | 로봇 및 그를 구비한 기판 처리 장치 |
| USD751044S1 (en) * | 2014-05-22 | 2016-03-08 | Hzo, Inc. | Control switch for an electronic device |
| JP6398454B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 |
| JP6467809B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2019-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
| CN105375812A (zh) * | 2014-08-13 | 2016-03-02 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及其驱动方法 |
| JP6543896B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 |
| JP6503764B2 (ja) * | 2015-02-02 | 2019-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子駆動回路、及び、ロボット |
| JP2017017916A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
| JP6641944B2 (ja) | 2015-12-03 | 2020-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | モーター用圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
| JP7035358B2 (ja) * | 2017-07-28 | 2022-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、及び、ロボット |
| CN112161765B (zh) * | 2020-09-01 | 2021-08-20 | 大连理工大学 | 一种基于压电致动器的循环载荷下的接触界面切向刚度测试装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5683983A (en) * | 1979-12-12 | 1981-07-08 | Sony Corp | Electricity-machinery conversion element |
| JPS59188381A (ja) | 1983-04-06 | 1984-10-25 | Shinsei Kogyo:Kk | 超音波モータ |
| JP3167432B2 (ja) | 1992-07-16 | 2001-05-21 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた機器 |
| EP1819036B1 (en) * | 1998-12-21 | 2013-06-19 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator, timepiece, and portable device |
| JP2001286167A (ja) | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの調整方法および圧電アクチュエータ |
| JP2003159566A (ja) | 2001-11-27 | 2003-06-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子と駆動装置及び加熱装置 |
| JP2004166479A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 回転型駆動装置およびこれを備えた装置 |
| JP2004159403A (ja) | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ |
| JP4370854B2 (ja) | 2003-08-21 | 2009-11-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータおよびこれを備えた装置 |
| JP2005086991A (ja) | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、モータおよび圧電アクチュエータを備えた機器 |
| JP4857886B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2012-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータの耐衝撃装置、これを備えた電子機器 |
| JP2007221865A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Seiko Epson Corp | 圧電振動体、圧電振動体の固有振動数調整方法、圧電アクチュエータ、および電子機器 |
| JP4465397B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2010-05-19 | シャープ株式会社 | 超音波モータ |
| JP2010233335A (ja) | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、液体噴射装置及び時計 |
-
2011
- 2011-03-29 JP JP2011073559A patent/JP5776270B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-27 US US13/431,047 patent/US8525387B2/en active Active
-
2013
- 2013-07-30 US US13/954,284 patent/US8810109B2/en active Active
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