JP2011217595A5 - - Google Patents

Description

本発明の振動波駆動装置は、少なくとも、基部、及びバネ性を有する突起部を有する振動体と、前記基部に固定された電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記突起部が、一つの部材によって前記基部と一体的に形成され、前記振動子の駆動方向と交差する方向に延在するスリットが前記基部の端部まで延びていることを特徴とする。
また、本発明の振動体の製造方法は、
少なくとも、基部と、バネ性を有する突起部が形成された振動体と、電気−機械エネルギ変換素子と、を有する振動子を備えた振動波駆動装置における振動体の製造方法であって、前記基部の一部の領域に前記突起部を形成するために複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、
前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部を曲げ加工し、前記突起部を形成する工程と、を有することを特徴とする。

Claims (12)

1. 少なくとも、基部、及びバネ性を有する突起部を有する振動体と、
   前記基部に固定された電気−機械エネルギ変換素子と、
   を有する振動子を備え、
   前記突起部が、一つの部材によって前記基部と一体的に形成され、
   前記振動子の駆動方向と交差する方向に延在するスリットが前記基部の端部まで延びていることを特徴とする振動波駆動装置。
2. 前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体が駆動されることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
3. スリット又は切り欠きが、前記振動子の駆動方向と交差する方向において、前記突起部及び前記基板との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
4. 前記突起部は、被駆動体との接触面を有する接触部と変換部とによって形成され、前記変換部が、前記振動体の突起部と反対側の面と、前記接触部における前記被駆動体との接触面との間に、設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
5. 前記変換部は、前記接触部に繋る、下に凸の形状部と、該下に凸の形状部と繋る、上に凸の形状部を有していることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。
6. 前記変換部の一部の曲げ剛性が、前記基部と比較して小さい曲げ剛性に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。
7. 前記変換部の一部の厚さが前記基部より小さい、若しくは前記変換部の一部に穴が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。
8. 前記基部は、厚さが不均一に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
9. 前記基部の厚さの薄い部分に、前記突起部が形成されていることを特徴とする請求項８に記載の振動波駆動装置。
10. 前記振動子が、前記振動体と該電気−機械エネルギ変換素子との間に板部材を設けて構成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
11. 少なくとも、基部と、バネ性を有する突起部が形成された振動体と、
    電気−機械エネルギ変換素子と、
    を有する振動子を備えた振動波駆動装置における前記振動体の製造方法であって、前記基部の一部の領域に前記突起部を形成するために複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、
    前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部を曲げ加工し、前記突起部を形成する工程と、
    を有することを特徴とする振動体の製造方法。
12. 前記振動子の楕円運動によって、前記突起部と接触する被駆動体が駆動されることを特徴とする請求項１１に記載の振動体の製造方法。