JP2011200051A5 - - Google Patents

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本発明の振動型アクチュエータは、一つ以上の突起部が形成された弾性体と、電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、を備え、
前記弾性体は、前記電気−機械エネルギ変換素子と接合される接合部を有し、 前記突起部は、被駆動体と接触する接触部と、前記接触部と前記接合部との間に設けられたバネ部及び環状の立ち上げ部と、を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギ変換素子との間には、前記バネ部及び前記立ち上げ部に囲まれた空間部を有し、
前記接触部は、前記弾性体の一部を加工することで形成されていることを特徴とする。
また、本発明の振動型アクチュエータの製造方法は、一つ以上の突起部が形成された弾性体と、電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体を備える振動型アクチュエータの製造方法であって、
前記突起部の、被駆動体との接触部及び環状の立ち上げ部を、プレス加工にて形成する工程と、
前記接触部と、前記弾性体の、前記電気−機械エネルギ変換素子との接合部との間に、バネ部を形成する工程と、
を有することを特徴とする。

Claims (14)

  1. 一つ以上の突起部が形成された弾性体と、電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、を備え、
    前記弾性体は、前記電気−機械エネルギ変換素子と接合される接合部を有し、
    前記突起部は、被駆動体と接触する接触部と、前記接触部と前記接合部との間に設けられたバネ部及び環状の立ち上げ部と、を有し、
    前記接触部と前記電気−機械エネルギ変換素子との間には、前記バネ部及び前記立ち上げ部に囲まれた空間部を有し、
    前記接触部は、前記弾性体の一部を加工することで形成されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
  2. 前記バネ部は、前記立ち上げ部と前記接触部との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
  3. 前記立ち上げ部は、前記接触部と前記バネ部との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
  4. 前記バネ部が、前記接触部及び前記接合部よりも薄い厚みで形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
  5. 前記バネ部が、前記立ち上げ部に一つ以上の穴が形成されることにより、
    弾性変形してバネ性を有する構造とされていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
  6. 前記弾性体と前記突起部は、該突起部と前記電気−機械エネルギ変換素子との接合部を含め、プレス加工によって一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
  7. 前記突起部は、前記電気−機械エネルギ変換素子への交流駆動電圧の印加により振動体に発生する二つの振動モードの組合せによって、楕円運動が励起され、
    前記楕円運動により、前記突起部の接触部と接触する前記被駆動体が駆動されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
  8. 前記接触部の被駆動体側の面は、前記バネ部の被駆動体側の面よりも、被駆動体側に突き出していることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
  9. 一つ以上の突起部が形成された弾性体と、電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体を備える振動型アクチュエータの製造方法であって、
    前記突起部の、被駆動体との接触部及び環状の立ち上げ部を、プレス加工にて形成する工程と、
    前記接触部と、前記弾性体の、前記電気−機械エネルギ変換素子との接合部との間に、バネ部を形成する工程と、
    を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
  10. 前記バネ部を形成する工程は、前記バネ部を、前記接触部及び前記接合部よりも薄い厚みに加工する工程を含むことを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
  11. 前記バネ部を形成する工程は、前記立ち上げ部に１つ以上の穴を形成する工程を含むことを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
  12. 前記バネ部を形成する工程は、前記接触部及び前記立ち上げ部を形成する工程と同時に、プレス加工により行われることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
  13. 前記バネ部を形成する工程は、前記前記接触部及び前記立ち上げ部を形成する工程の後に行われることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
  14. 前記バネ部を形成する工程を行う前に、前記プレス加工の際に生じる余肉を移動させる穴を、前記突起部の周囲に設ける工程を有することを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010190706A (ja) * 2009-02-18 2010-09-02 Panasonic Corp 慣性力センサ
JP5627258B2 (ja) 2010-03-23 2014-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよびその製造方法
JP5930595B2 (ja) * 2010-04-06 2016-06-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、振動子及び振動子の製造方法
JP6214232B2 (ja) * 2013-06-20 2017-10-18 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、交換用レンズ、撮像装置、及び自動ステージ
JP6261279B2 (ja) 2013-10-16 2018-01-17 キヤノン株式会社 振動型駆動装置の振動子、振動型駆動装置、交換レンズ、撮像装置、自動ステージ
FR3042660B1 (fr) * 2015-10-16 2018-04-06 Airbus Helicopters Actionneur electromecanique pour commandes de vol electriques d'un aeronef
US20180295513A1 (en) * 2017-04-06 2018-10-11 Walmart Apollo, Llc Authentication system using nfc tags
JP7321688B2 (ja) * 2017-09-29 2023-08-07 キヤノン株式会社 振動波アクチュエータ及びそれを用いた撮像装置、ステージ装置
CN108110133B (zh) * 2017-11-22 2021-03-16 浙江农林大学 一种层状二维纳米片/碳化纤维复合材料及制备方法和应用
JP7527828B2 (ja) * 2020-04-13 2024-08-05 キヤノン株式会社 振動波モータ及びそれを備える電子機器

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5099166A (en) * 1987-01-12 1992-03-24 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driven motor
JP2542528Y2 (ja) 1991-07-18 1997-07-30 株式会社ケンウッド 超音波モータの振動体構造
JPH0624395U (ja) 1992-08-24 1994-03-29 株式会社ケンウッド 超音波モータの振動体構造
JP3450524B2 (ja) 1994-08-04 2003-09-29 キヤノン株式会社 振動アクチュエータ
US5949178A (en) * 1995-04-26 1999-09-07 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driving apparatus and a vibration member, and manufacturing method of the apparatus and the member
US6404104B1 (en) 1997-11-27 2002-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
JPH11308883A (ja) * 1998-04-20 1999-11-05 Nikon Corp 振動アクチュエータ
US6198201B1 (en) 1998-06-03 2001-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave apparatus
JP4026930B2 (ja) * 1998-06-03 2007-12-26 キヤノン株式会社 振動波装置および振動波駆動装置
JP3610241B2 (ja) * 1998-09-30 2005-01-12 京セラ株式会社 ステージ装置用超音波モータ
JP2000140759A (ja) * 1998-11-09 2000-05-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電アクチュエータ及び圧電バイブレータ
KR100483804B1 (ko) * 2002-03-22 2005-04-20 한국과학기술연구원 압전 선형초음파모터
JP2003331942A (ja) * 2002-05-08 2003-11-21 Yonezawa Densen Kk アース用ジョイントコネクタ
US7187104B2 (en) 2003-03-28 2007-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus
JP4697929B2 (ja) 2003-11-13 2011-06-08 キヤノン株式会社 積層圧電素子及び振動波駆動装置
JP4086023B2 (ja) 2003-12-04 2008-05-14 セイコーエプソン株式会社 マイクロメカニカル静電振動子
US7053527B2 (en) * 2003-12-18 2006-05-30 Piezomotor Uppsala Ab Electromechanical motor and assembling method therefore
US7242131B2 (en) * 2004-05-12 2007-07-10 Olympus Corporation Ultrasonic motor
JP4576214B2 (ja) 2004-11-26 2010-11-04 オリンパスイメージング株式会社 超音波モータおよびレンズ鏡筒
JP2006174549A (ja) * 2004-12-14 2006-06-29 Canon Inc 振動波駆動装置
JP4290168B2 (ja) 2005-03-31 2009-07-01 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP2007185056A (ja) * 2006-01-10 2007-07-19 Sony Corp 弾性振動体の励振方法および振動型駆動装置
JP4965973B2 (ja) * 2006-11-08 2012-07-04 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ
JP5184811B2 (ja) * 2007-05-07 2013-04-17 パナソニック株式会社 振動型アクチュエータ
JP4954814B2 (ja) * 2007-07-11 2012-06-20 パナソニック株式会社 振動型アクチュエータ及びそれを備えた駆動装置
US8310128B2 (en) * 2008-05-07 2012-11-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois High precision silicon-on-insulator MEMS parallel kinematic stages
JP5979817B2 (ja) 2010-03-16 2016-08-31 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
US8987972B2 (en) 2010-03-16 2015-03-24 Canon Kabushiki Kaisha Vibrator in vibration type driving apparatus and manufacturing method thereof
JP5627258B2 (ja) 2010-03-23 2014-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよびその製造方法
JP5930595B2 (ja) * 2010-04-06 2016-06-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、振動子及び振動子の製造方法
US8643252B2 (en) * 2010-05-11 2014-02-04 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave actuator
JP5929138B2 (ja) * 2011-12-06 2016-06-01 セイコーエプソン株式会社 圧電モーターおよびロボット

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