JP2010118483A5 - 基板保持部材、接合装置および接合方法 - Google Patents

Claims (19)

1. 加圧により他の基板に接合される基板を保持する保持領域を有する板状部材と、
   前記板状部材を介して前記基板が加圧されたときに前記基板の周縁部に生じる応力集中を緩和する応力緩和部とを備え、
   前記応力緩和部は、前記保持領域の外側に配され、前記基板の加圧時に前記板状部材から加圧力を受ける受圧部材を有する基板保持部材。
2. 前記受圧部材は、前記板状部材の前記保持領域を含む保持面から突出するように前記保持面上に配される請求項１に記載の基板保持部材。
3. 前記受圧部材は、前記基板に対して前記板状部材から加えられる圧力が低い領域において前記板状部材に保持される請求項１または２に記載の基板保持部材。
4. 前記受圧部材は、前記保持領域に保持された基板の厚さと等しい突出量を有する請求項１から３のいずれか一項に記載の基板保持部材。
5. 前記受圧部材は、前記保持領域を包囲する環状部材である請求項１から４のいずれか一項に記載の基板保持部材。
6. 前記環状部材は、前記保持面に保持した前記基板の外形に略等しい内側形状を有する請求項５に記載の基板保持部材。
7. 前記受圧部材は、前記板状部材の外形と等しい外形を有する請求項１または２に記載の基板保持部材。
8. 前記受圧部材は、前記基板の材料と同一の材料で形成されている請求項１から７のいずれか一項に記載の基板保持部材。
9. 前記受圧部材は、前記基板の弾性係数と等しい弾性係数を有する材料で形成されている請求項１から８のいずれか一項に記載の基板保持部材。
10. 前記受圧部材の突出量は、前記板状部材に保持された前記基板と前記基板に接合される前記他の基板との厚さを合わせた大きさと等しい請求項１から９のいずれか一項に記載の基板保持部材。
11. 前記受圧部材は、前記保持面からの突出量が可変である請求項１から１０のいずれか一項に記載の基板保持部材。
12. 前記受圧部材は、印加される電圧の増減に応じて伸縮する電気機械変換材料を有する請求項１１に記載の基板保持部材。
13. 前記板状部材は、前記板状部材の前記基板を保持する保持面において前記受圧部材の外側まで延在するフランジ部を更に有する請求項１から１２のいずれか一項に記載の基板保持部材。
14. 請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載された前記基板保持部材に保持された前記基板と前記他の基板とに、前記板状部材を介して圧力を加える加圧面を有する加圧部を備える接合装置。
15. 請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載された一対の前記基板保持部材と、
    前記一対の基板保持部材に各々保持されて前記一対の基板保持部材の間に挟まれた一対の基板に、前記板状部材を介して圧力を加える加圧部とを備え、当該一対の基板を圧着させる接合装置。
16. 基板と当該基板の厚さと等しい厚さを有して当該基板の外側に配された受圧部材とに接して当該基板を加圧する加圧面を備えた接合装置。
17. 一対の基板を互いに位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記一対の基板を一対の加圧面の間で加圧する加圧工程と、
    前記加圧工程で圧力を受ける受圧部材を前記加圧面上に前記一対の基板の外側で配置する配置工程とを有する接合方法。
18. 前記一方の加圧面からの前記受圧部材の突出量を前記基板の厚さに応じて調整する調整工程を有する請求項１７に記載の接合方法。
19. 互いに厚さが異なる複数の受圧部材から前記基板の厚さと等しい厚さを有する前記受圧部材を選択する選択工程を有する請求項１８に記載の接合方法。