JP2019129165A5 - - Google Patents
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- 第１の基板を保持する保持部と、
保持部に保持した第１の基板の少なくとも一部に第２の基板の少なくとも一部を接合した後、接合領域を拡大させて、第１の基板および第２の基板を接合する接合部と、
を備え、
前記保持部は、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方に関する情報、および、前記接合部の環境条件の少なくとも一方に基づいて決定された保持力で前記第１の基板を保持する接合装置。 - 前記環境条件は、前記第１の基板および前記第２の基板が置かれた環境の温度、湿度、気体の種類および気圧の少なくとも一つを含む請求項１に記載の接合装置。
- 前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方に関する情報は、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の物理特性を含む請求項１または２に記載の接合装置。
- 前記物理特性は、前記第１の基板および前記第２の基板の相互の間の初期倍率の差、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の剛性、前記第１の基板の前記保持部に対する摩擦力、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の形状、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の表面性状、および、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の表面の活性化度合、少なくとも一つを含む請求項３に記載の接合装置。
- 前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方に関する情報は、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の製造条件に関する情報を含む請求項１から４のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記保持力を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記第１の基板と前記保持部との間に発生した負圧を変化させることにより前記保持力を変化させる請求項１から５のいずれか一項に記載の接合装置。 - 前記制御部は、前記第１の基板の複数の領域に対して個別に発生させた負圧を変化させることにより、前記複数の領域ごとに前記保持力を変化させる請求項６に記載の接合装置。
- 互いに接合される第１の基板および第２の基板の少なくとも一方に関する情報、および、環境条件の少なくとも一方に基づいて、前記第１の基板および前記第２の基板を接合するときに前記第１の基板を保持する保持部の保持力を決定する装置。
- 互いに接合される第１の基板および第２の基板の少なくとも一方に関する情報、および、環境条件の少なくとも一方に基づいて、前記第１の基板および前記第２の基板を接合するときに前記第１の基板を保持する保持部の保持力を決定する段階を含む接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018007730A JP7234494B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 接合装置および接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018007730A JP7234494B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 接合装置および接合方法 |
Publications (3)
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| JP2019129165A JP2019129165A (ja) | 2019-08-01 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018007730A Active JP7234494B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 接合装置および接合方法 |
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2018
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