JP2008537513A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、
   前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、
   前記基板内を局所的に変形させるステップと、
   を有し、前記変形させるステップは前記基板の第１の領域に正の圧力を与え、前記基板の第２の領域に真空力を与えるステップをさらに有することを特徴とする方法。
2. 前記変形させるステップは、前記分離強制力に応答して局所的に変形させるステップをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、
   前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、
   前記分離強制力とは独立して前記基板内を局所的に変形させるステップと、
   有することを特徴とする方法。
4. 前記変形させるステップは、前記モールドと重なり合う領域で前記基板を局所的に変形させるステップをさらに有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
5. 前記変形させるステップは、前記モールドと重なり合う領域で、前記領域の外側の前記基板の領域の変形を回避しながら前記基板を局所的に変形させる前記ステップをさらに有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
6. 前記印加するステップで前記モールドは接着力によって前記層に接着され、前記印加するステップはさらに、前記接着力に勝る大きさで前記分離強制力を印加するステップを有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
7. テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、
   前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、
   前記基板内を局所的に変形させるステップと、
   を有し、前記変形させるステップは複数の間隔をおいた領域にある前記基板に真空力を与えるステップをさらに有し、これらの領域の一部は、前記間隔を置いた複数の領域のうちの残りの領域の真空より低い真空を有することを特徴とする方法。
8. 前記変形させるステップは、前記基板を前記テンプレートから離れる方向に移動させるために前記基板に面して向けられた押し付け力を加えるステップをさらに有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
9. テンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法であって、
   前記テンプレートを前記層から分離させるために前記テンプレートに分離強制力を印加するステップと、
   前記基板内を局所的に変形させるステップと、
   を有し、前記変形させるステップは、前記モールドと重なり合う前記基板の第１の領域に正の圧力を加え、前記第１の領域の外側の前記基板の第２の領域に真空を加えるステップをさらに有することを特徴とする方法。
10. テンプレート内に含まれ、基板上に配置された層に接着力で接着されているモードを分離させる方法であって、
    分離強制力に関連する大きさを有する分離強制力を前記テンプレートに印加するステップと、
    前記分離強制力で前記接着力に打ち勝つために、前記分離強制力とは独立して前記基板内に局所的な変形を発生させるステップとを有することを特徴とする方法。
11. 前記発生させるステップは、前記モールドと重なり合う領域で、前記領域の外側の前記基板の領域の変形を回避しながら前記基板を局所的に変形させるステップをさらに有することを特徴とする請求項１０に記載の方法。
12. テンプレート内に含まれ、基板上に配置された層に接着力で接着されているモールドを分離させる方法であって、
    分離強制力に関連する大きさを有する分離強制力を前記テンプレートに印加するステップと、
    前記分離強制力で前記接着力に打ち勝つために、前記基板内に局所的な変形を発生させるステップと、
    を有し、前記発生させるステップは複数の間隔をおいた領域にある前記基板に真空力を与えるステップをさらに有し、これらの領域の一部は、前記間隔を置いた複数の領域のうちの残りの領域の真空より低い真空を有することを特徴とする方法。
13. テンプレート内に含まれ、基板上に配置された層に接着力で接着されているモールドを分離させる方法であって、
    分離強制力に関連する大きさを有する分離強制力を前記テンプレートに印加するステップと、
    前記分離強制力で前記接着力に打ち勝つために、前記基板内に局所的な変形を発生させるステップと、
    を有し、前記局所的な変形を発生させるステップは前記基板の第１の領域に正の圧力を与え、前記基板の第２の領域に真空力を与えるステップをさらに有することを特徴とする方法。
14. 前記変形させるステップは、前記分離強制力に応答して局所的な変形を発生させるステップをさらに有することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
15. テンプレート内に含まれ、基板上に配置された層に接着力で接着されているモールドを分離させる方法であって、
    分離強制力に関連する大きさを有する分離強制力を前記テンプレートに印加するステップと、
    前記分離強制力で前記接着力に打ち勝つために前記基板内に十分の局所的な変形を発生させるステップと、
    前記基板を前記テンプレートから離れる方向に移動させるために前記基板に面して向けられた押し付け力を加えるステップと、
    を有し、前記の変形を発生させるステップは前記基板の第１の領域に正の圧力を与え、前記基板の第２の領域に真空力を与えるステップをさらに有することを特徴とする方法。
16. 前記押し付け力を加えるステップは、前記モールドと重なり合う前記基板の区域の外側の前記基板の領域に面して気体の流れを向けるステップをさらに有することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
17. テンプレート内に含まれ、基板上に配置された層に接着力で接着されているモールドを分離させる方法であって、
    分離強制力に関連する大きさを有する分離強制力を前記テンプレートに印加するステップと、
    前記分離強制力で前記接着力に打ち勝つために前記基板内に十分の局所的な変形を発生させるステップと、
    前記基板を前記テンプレートから離れる方向に移動させるために前記基板に面して向けられた押し付け力を加えるステップと、
    を有し、前記発生させるステップは、間隔を置いた複数の領域で前記基板に真空を加えるステップをさらに含み、これらの領域の一部は前記間隔を置いた複数の領域のうちの残りの領域の真空より低い真空を有することを特徴とする方法。