JP2011527241A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ＭＳＴ部品（３）を封入するための方法であって、
   前記ＭＳＴ部品（３）は容器（２）内に配置され、
   前記容器は被覆層（４）で閉じられ、
   前記被覆層（４）には、リング状のくぼみに閉じられた少なくとも１つの切抜部（４ａ）が設けられ、切抜部は、内側領域および外側領域の両方が、前記ＭＳＴ部品（３）の、前記被覆層に面する上部側に接続されるように、前記被覆層を内側領域および外側領域に分割し、
   前記外側領域が接着したままの状態で、前記内側領域が剥離される、方法。
2. 前記被覆層（４）は、前記ＭＳＴ部品（３）および前記容器（２）の上部側に接着接合される、請求項１に記載の方法。
3. 自己接着性の被覆層（４）が使用される、請求項２に記載の方法。
4. 前記容器（２）が前記被覆層で閉じられる前に、被覆層（４）と前記容器（２）の端縁との間、および前記被覆層（４）と前記部品の（３）の上部側との間の接続領域に接着剤が塗布される、請求項２に記載の方法。
5. 前記被覆層にさらなる切抜部が作成され、前記容器の上部側の一領域が露出される、請求項１〜４のうちいずれか１項に記載の方法。
6. 前記切抜部（４ａ）は、レーザアブレーションによって前記被覆層（４）に作成される、請求項１〜５のうちいずれか１項に記載の方法。
7. 前記被覆層（４）は、フォトリソグラフィ処理によって処理可能な材料を含み、マスク露光または走査露光および現像によって構造化される、請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の方法。
8. 前記被覆層（４）および前記切抜部（４ａ）は、部分的に金属層（５）で被覆される、請求項１〜７のうちいずれか１項に記載の方法。
9. 複数の容器（２）を含むパネルが設けられ、少なくとも１つのＭＳＴ部品（３）が前記容器の各々に配置され、前記被覆層（４）は、前記パネルの複数の容器上に塗布される、請求項１〜８のうちいずれか１項に記載の方法。
10. 前記被覆層（４）の内側領域は、上に積層されていた剥離膜（７）によって引離される、請求項１〜９のうちいずれか１項に記載の方法。
11. 前記剥離膜（７）は、前記被覆層（４）の内部領域および外側領域上の全域にわたって塗布され、前記被覆層（４）の外側領域上の前記剥離膜（７）の接着強度をＵＶ照射（９）によって低下させる、請求項１０に記載の方法。
12. 前記被覆層（４）の前記外側領域上の前記剥離膜（７）は、構造化された様式で照射される、請求項１１に記載の方法。
13. マイクロホンが前記ＭＳＴ部品（３）として使用される、請求項１〜１２のうちいずれか１項に記載の方法。
14. 効果的な方法で全域にわたって金属層（５）を前記被覆層（４）上に作成した後、前記金属層（５）および下地である前記被覆層が少なくとも部分的に開口される、請求項１〜１３のうちいずれか１項に記載の方法。
15. ＭＳＴ部品（１）を含む装置であって、
    一方側が開いている容器（２）を有し、ＭＳＴ部品（３）が前記容器内に配置されており、
    前記容器の内側と前記ＭＳＴ部品との間に空洞（１ａ）が設けられ、
    前記被覆層（４）は前記空洞を被覆し、前記被覆層に面する上部側において前記容器に前記ＭＳＴ部品を接続し、
    前記ＭＳＴ部品の一領域は、容器開口部に面する上部側において前記被覆層から解放される、装置。