JP2000243806A

JP2000243806A - ウエハの加熱処理装置

Info

Publication number: JP2000243806A
Application number: JP4378199A
Authority: JP
Inventors: Yusaku Shigeyama; 裕作重山; Kazunari Kojima; 一成小嶋
Original assignee: Tamagawa Machinery Co Ltd
Current assignee: Tamagawa Machinery Co Ltd
Priority date: 1999-02-22
Filing date: 1999-02-22
Publication date: 2000-09-08

Abstract

(57)【要約】【課題】ヒートショックを防止することができるウエ
ハの熱処理装置を提供する。【解決手段】加熱炉３内の載置部105に降下によりウ
エハ５を載置する搬送装置２を備える。搬送装置２は、
ウエハ５の降下速度を載置部15に近接した位置で減速す
るように構成されている。載置部15に近づくと、降下速
度が減速することにより、載置部15にウエハ５がゆっく
りと受渡され、ヒートショック及び機械的な微細な衝撃
の発生を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体などに用い
るシリコンウエハを熱処理する加熱炉に、該ウエハを搬
送する搬送装置を備えたウエハの加熱処理装置に関す
る。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】半導体などに用いるシ
リコンウエハの製造においては、サーマルドナーを減少
させ抵抗率を高めるために熱処理が行われる。このよう
な加熱処理を行う熱処理装置は、ヒータやランプなどの
加熱手段を内蔵した加熱ユニットと空冷ユニットなどの
冷却手段を備え、ウエハを加熱処理した後、冷却処理す
るように構成されている。

【０００３】例えば、特開平１０−８３９６５号公報に
は、載置台上に、昇降可能な第１の昇降ピンと第２の昇
降ピンとを設け、第１の昇降ピンは搬送アームとウエハ
の受渡しを行う第１の位置まで突出し、第２の昇降ピン
はウエハの熱処理を行う載置台から僅かに浮上した第２
の位置まで突出するように構成し、先ず第１の位置で搬
送アームから第１の昇降ピンにウエハに受渡し、次いで
第１の昇降ピンを降下させてウエハを載置台上に載置し
て所定温度まで加熱する。しかし、このような従来の加
熱装置においては、ウエハを昇降ピンや載置台に受渡す
際に、それら昇降ピンや載置台は加熱手段により高温状
態となっているおり、搬入されたウエハとの温度差が大
であるため、受渡し時にウエハがヒートショックを受け
る虞があり、ヒートショックを受けた部位は後の加工で
補修できない部位となる。

【０００４】このような問題を解決するため、同一出願
人は、特開平１０−２５６３４３号公報において、シリ
コンウエハを硝子棒の上部に支持して搬送するシリコン
ウエハの搬送装置において、硝子棒上にシリコンウエハ
の外周を支持するコマを設ける（公報中特許請求の範
囲）シリコンウエハの搬送装置を提案しており、これに
よりヒートショックを防止することが可能となった。そ
して、その駆動機構は、モータによってロータを回転
し、偏心カムを利用して水平揺動棒の平行移動及び昇降
動作の各タイミングを設定（公報第００３１〜００３８
段）するようにしており、単一の駆動手段により水平揺
動棒を平行移動及び昇降移動できる利点も備えている。

【０００５】ところで、上記シリコンウエハの搬送装置
においては、シリコンウエハの支持構造を改良すること
により、ヒートショックを防止する構造であるが、搬送
装置の駆動においては、ヒートショックの点は考慮され
ていなかった。

【０００６】そこで、本発明は、搬送装置を改良するこ
とにより、更にヒートショックを防止することができる
ウエハの熱処理装置を提供することを目的とし、さら
に、搬送工程の設定を容易で、連続熱処理において、加
熱時間を変更設定することができるウエハの熱処理装置
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、加熱
炉内の載置部に降下によりウエハを載置する搬送装置を
備えたウエハの加熱処理装置において、前記搬送装置
は、前記ウエハの降下速度を前記載置部に近接した位置
で減速するように構成されているものである。

【０００８】この請求項１の構成によれば、ウエハが降
下して載置部に近づくと、降下速度が減速することによ
り、載置部にウエハがゆっくりと受渡され、ヒートショ
ック及び機械的な微細な衝撃の発生が防止される。

【０００９】請求項２の発明は、ウエハを支持する支持
体の横移動により加熱炉内の載置部の上方にウエハを搬
送し、この上方位置から前記支持体の降下により前記載
置部にウエハを載置し、前記載置部の下方位置から前記
支持体の上昇により前記載置部のウエハを受取ると共に
上方に搬送し、この上方に搬送したウエハを前記支持体
の横移動により搬送する搬送装置を備えたウエハの加熱
処理装置において、前記搬送装置は、前記支持体を横移
動する横搬送駆動手段と前記支持体を昇降する昇降搬送
駆動手段とを有し、この昇降搬送駆動手段は、昇降時に
前記支持体に近接した位置で前記支持体の昇降速度を減
速するように構成されているものである。

【００１０】この請求項２の構成によれば、ウエハが降
下して載置部に近づくと、降下速度が減速することによ
り、載置部にウエハがゆっくりと受渡され、また、載置
部で加熱されたウエハに対して、下方から支持体が上昇
して載置部に近づくと、上昇速度が減速することによ
り、支持体にウエハがゆっくりと受取られ、受渡し及び
受取り時における機械的な微細な衝突及びヒートショッ
クが防止される。しかも、横搬送と昇降搬送とがそれぞ
れ別の駆動手段により駆動するため、ウエハの加熱時間
を自由に設定することができる。

【００１１】また、請求項３の発明は、前記載置部が平
行な一対の固定杆に設けられ、これら固定杆の両側は、
前記加熱炉外の搬入位置及び搬出位置にそれぞれ延設さ
れ、前記支持体が、前記一対の固定杆と平行に配置され
た一対の可動杆である。

【００１２】この請求項３の構成によれば、支持体の上
昇により搬入位置及び載置部のウエハを受取り、固定杆
の長さ方向に横移動し、搬入位置に有ったウエハを載置
部上に搬送すると共に、載置部上にあったウエハを搬出
位置上までそれぞれ搬送し、降下して載置部及び搬出位
置にウエハを受渡すことができ、上昇・横移動・降下・
横移動の１サイクルにより複数のウエハを同時に次の位
置に移送できる。

【００１３】

【発明の実施形態】以下、本発明の実施形態を添付図面
を参照して説明する。図１ないし図１３は、本発明の一
実施形態を示し、図３等に示すように、加熱処理装置１
は、図中左側から搬送装置２と加熱炉３と冷却部４とが
ウエハ５の搬送方向に並んで設けられ、その加熱処理装
置１の搬入側及び搬出側には、ウエハ供給装置６及びウ
エハ収納装置７がそれぞれ設けられている。尚、ウエハ
５は、８インチや１２インチのものが用いられ、そのウ
エハ５を加熱炉３において、例えば７００〜９００℃の
温度で１〜３分程度加熱する。

【００１４】前記ウエハ供給装置６は、図３，１１，１
２に示すように、テーブル11上の左右にカセット12，12
が設けられ、これらカセット12，12には複数のウエハ５
が間隔を置いて多段に収納可能であり、それらカセット
12，12の中央にロボットハンド13が設けられている。こ
のロボットハンド13は、３つの回動アーム14，14，14を
回動可能に連結し、その先端の回動アーム14にウエハ５
を載置する載置板15を設け、この載置板15上には、テフ
ロン製の支持突起16が４箇所設けられ、この支持突起16
は、図１３に示すように、略裁頭円錐型の案内部16Ａを
有し、この案内部16Ａの周囲に、上面が平坦な周縁部16
Ｂが一体に設けられている。４つの支持突起16は前記ウ
エハ５の直径に対応して配置されており、載置板15が上
方のウエハ５を受取る際、案内部16Ａにウエハ５の外周
部が案内され、該ウエハ５の外周下縁が前記周縁部16Ｂ
に正しく載置される。そして、前記ロボットハンド13は
図示しない駆動制御手段により、前記カセット12内から
ウエハ５を1枚ずつ取り出し、前記加熱処理装置１の受
取り位置101まで搬送する。尚、前記載置板15は、カセ
ット12内のウエハ５下面と離れた位置に移動した後、上
昇してウエハ５を受取る。また、一方のカセット12が空
になったら、他方のカセット12内のウエハ５を取りにい
く。したがって、一方のカセット12が空になり、他方の
カセット12からウエハ５を取り出している間に、空にな
った一方のカセット12を交換或いはカセット12にウエハ
５を供給できる。

【００１５】前記加熱処理装置１は、ウエハ５の搬送方
向に長い本体フレーム21を有し、この本体フレーム21の
略中央に前記加熱炉３が配置されると共に、この加熱炉
３の搬出側に前記冷却部４が配置されている。また、前
記搬送装置２は、始端側の前記受取り位置101から終端
側の受渡し位置102まで前記ウエハ５を搬送する。前記
本体フレーム21の上部には、前記加熱炉３の搬入位置10
3から該加熱炉３内を挿通して前記受渡し位置102まで延
びる一対の固定杆22，22Ａが間隔を置いて平行に配置さ
れており、これらほぼ水平に配置された固定杆22，22Ａ
の両端には、固定支持部23，23Ａが垂設され、この固定
支持部23の下部が本体フレーム21に固定され、その固定
支持部23Ａが後述する第２冷却室77の壁に固定されてい
る。また、前記固定杆22，22Ａと平行に一対の支持体た
る可動杆24，24Ａが配置され、これら可動杆24，24は、
始端位置において、前記受取り位置101から前記加熱炉
３を挿通して該加熱炉３外の搬出位置104まで延びてい
る。それら可動杆24，24Ａは対応する前記固定杆22，22
Ａの左右一側に配置され、該可動杆24，24Ａの両端には
可動支持部25，25Ａが垂設され、それら可動支持部25，
25Ａは、その下部を移動ブロック体26，26Ａに固定し、
これら移動ブロック体26，26Ａは、本体フレーム21の昇
降体27の始端側及び終端側に設けた案内レール28，28Ａ
に沿って移動可能に構成されており、その昇降体27は本
体フレーム21とほぼ等しい長さを有する。また、始端側
及び終端側の前記移動ブロック体26，26Ａ同士を連結ア
ーム29により連結し、両者が同体的に移動する。

【００１６】前記可動杆24，24Ａを横移動する横搬送駆
動手段31は、前記移動ブロック体26に螺合する雌螺子棒
32と、この雌螺子棒32を定位置で正逆回転するサーボモ
ータなどの回転駆動手段33とからなる。尚、図６に示す
ように、前記昇降体27の上部には、前記案内レール28Ａ
が左右に並んで固着され、これら案内レール28Ａ，28Ａ
に沿って前記移動ブロック体26Ａが移動する。また、始
端側の移動ブロック体26も左右の案内レール28，28に沿
って移動する。したがって、前記回転駆動手段33により
雌螺子棒32が回転すると、移動ブロック体26Ａが横移動
すると共に、連結アーム29により連結した移動ブロック
体26が同体的に移動し、それら移動ブロック体26，26Ａ
に一体に設けた前記可動杆24，24Ａが横移動する。

【００１７】昇降駆動手段41は、前記昇降体27を昇降す
ることにより、前記可動杆24，24Ａを昇降するものであ
り、図４及び図５等に示すように、本体フレーム21の搬
出側下部に、サーボモータからなる回転駆動手段42を設
けると共に、この回転駆動手段42の回転を減速する減速
機43を設け、これら回転駆動手段42及び減速機43に並設
した雌螺子棒44を、軸受け44Ｂ，44Ｂにより回転可能に
支持し、前記減速機43に設けた駆動歯付車43Ａと前記雌
螺子棒44に設けた従動歯付車44Ａとに、歯付ベルト45を
掛装し、前記雌螺子棒44に螺合するボールネジ46を設
け、このボールネジ46は、本体フレーム21に設けたガイ
ドレール47に係合して長さ方向にスライドする。したが
って、前記回転駆動手段42を回転し、減速機43により減
速されて雌螺子棒44が回転し、ボールネジ46が移動す
る。さらに、昇降駆動手段41は、前記本体フレーム21の
前記受渡し位置102下部に取付部48を設け、この取付部4
8に枢軸48Ａにより略Ｌ型のリンクアーム49の中央を回
動可能に連結し、前記昇降体27の下部に取付部50を設
け、この取付部50の枢軸50Ａにリンクアーム49の短片49
Ａ先端を回動可能に連結し、リンクアーム49の長片49Ｂ
の先端と前記ボールネジ46とを、両側に自在継手を設け
た連結アーム51により連結する。尚、図６に示すよう
に、前記短片49Ａは、左右一対設けられている。また、
本体フレーム21の前記受取り位置101の下部に取付部52
を設け、この取付部52に枢軸52Ａにより略Ｌ型の従動リ
ンクアーム53の中央を回動可能に連結し、前記昇降体27
の下部に取付部54を設け、この取付部54の枢軸54Ａに前
記従動リンクアーム53の一方の片53Ａ先端を回動可能に
連結し、従動リンクアーム53の他方の片53Ｂの先端と前
記リンクアーム49の長片49Ｂの対応位置とを、両側に自
在継手を設けた従動連結アーム55により連結する。尚、
前記枢軸48Ａと長片49Ｂの前記対応位置との間隔と、前
記枢軸52Ａと前記片53Ｂの先端連結位置との間隔は同一
であり、また、前記短片49Ｂ及び他方の片53Ｂのそれぞ
れの枢軸48Ａ，50Ａ間隔及び枢軸52Ａ，54Ａ間隔は同一
である。したがって、前記回転駆動手段42により前記ボ
ールネジ46が移動すると、前記連結アーム51により、固
定位置の枢軸48Ａを中心にリンクアーム49が回動し、同
時に、このリンクアーム49に従動連結アーム55により連
結した従動リンクアーム53が、固定位置の枢軸52Ａを中
心に回動し、枢軸50Ａ，54Ａが枢軸48Ａ，52Ａを中心に
回動することにより、昇降体27の両側が同一速度で昇降
し、この昇降体27に取付けた前記可動杆24が昇降する。

【００１８】前記加熱炉３の長さ方向中央には、ウエハ
５を載置する載置部105が設けられ、この載置部105は前
記一対の固定杆22，22Ａにより構成されている。また、
前記受取り位置101，搬入位置103，載置部105，搬出位
置104，受渡し位置102の間隔は、等間隔であり、その間
隔が前記搬送装置２の１行程におけるウエハ５の搬送距
離である。

【００１９】前記固定杆22，22Ａには、前記搬入位置10
3，載置部105，搬出位置104，受渡し位置102の４箇所
に、３つで一組の固定側コマ61Ｋ，61Ｋ，61が設けられ
ている。また、前記可動杆24，24Ａには、ウエハ５の搬
送距離に対応して、その４箇所に、３つで一組の固定側
コマ62，62Ｋ，62Ｋが設けられている。前記一組の固定
側コマ61Ｋ，61Ｋ，61は、図３の平面図中右側などに示
すように、固定杆22Ａに、これと直交する前記固定側コ
マ61を設け、この固定側コマ61を中心として長さ方向両
側において、傾斜した前記固定側コマ61Ｋ，61Ｋを設け
ており、また、前記一組の可動側コマ62，62Ｋ，62Ｋ
は、図３の平面図中左側などに示すように、可動杆24
に、これと直交する前記可動側コマ62を設け、この可動
側コマ61を中心として長さ方向両側において、傾斜した
前記可動側コマ62Ｋ，62Ｋを設けている。すなわち、固
定杆22と可動杆24Ａとの中心に対して、コマ61Ｋ，61
Ｋ，61，62，62Ｋ，62Ｋは対象に配置されている。ま
た、前記可動杆24，24Ａは、その可動側コマ62が前記固
定側コマ61と正対した位置で昇降する。前記各コマ61
Ｋ，61Ｋ，61，62，62Ｋ，62Ｋは、板片からなり、図１
１（Ａ）（Ｂ）に示すように、その上縁には中央側に向
って下向きに傾斜した同一傾斜角の傾斜面Ｍが設けら、
この傾斜面Ｍの外側には、該傾斜面Ｍより傾斜が急な段
差傾斜面Ｄが設けられている。これにより固定側コマ61
Ｋ，61Ｋ，61の傾斜面Ｍ，Ｍ，Ｍにウエハ５の外周が点
接触状態で支持されると共に、可動側コマ62，62Ｋ，62
Ｋの傾斜面Ｍ，Ｍ，Ｍにウエハ５の外周が点接触状態で
支持され、ヒートショックを防止することができる。
尚、前記固定杆22，22Ａ，可動杆24，24Ａ及び各コマ61
Ｋ，61Ｋ，61，62，62Ｋ，62Ｋは、硝子製であり、杆2
2，22Ａ，24，24Ａは中空なパイプ状をなす。

【００２０】前記加熱炉３は、前記固定杆22，22Ａ及び
可動杆24，24Ａが遊挿された貫通路71を有し、この貫通
路71の周囲にヒータなどの発熱手段72と断熱材73を設け
ている。また、前記貫通路71に内部が連通する第１冷却
室74により、前記搬出位置104の周囲を覆い、その第１
冷却室74は、内外を連通する複数の孔75を設け、また、
第１冷却室74内の排気又は吸気を行うダクト76が設けら
れ、このダクト76には図示しない給排用のポンプなどが
接続されている。さらに、前記受渡し位置102には、第
２冷却室77が設けられ、この第２冷却室77は、左右方向
に長い連通孔78により前記第１冷却室77と連通し、その
連通孔78に対向して、左右方向に長い受渡し孔79が設け
られている。また、第２冷却室77内の上部には、常温以
下に冷却可能な冷却手段80が設けられている。そして、
前記第１及び第２冷却室74，77により前記冷却部４を構
成している。

【００２１】前記ウエハ排出装置７は、作動が前記ウエ
ハ供給装置と相違する以外は、同一構成であり、そのロ
ボットハンド13は、図示しない駆動制御手段により、図
３に図示された位置で待機し、ウエハ５が固定杆22，22
Ａの受渡し位置102に置かれた後、先端の載置板15が前
記受渡し孔79から侵入して下からウエハ５を拾い上げ、
拾い上げたウエハ５をカセット12に収納し、図３に図示
の位置で待機し、同様の行程を繰り返し、一方のカセッ
ト12が満杯になったら、他方のカセット12にウエハ５を
収納する。したがって、一方のカセット12が満杯にな
り、他方のカセット12にウエハ５を収納している間に、
満杯になった一方のカセット12を交換或いはカセット12
からウエハ５を取り出すことができる。

【００２２】また、前記横搬送駆動手段31と昇降駆動手
段41は、コンピュータなどの制御手段81に電気的に接続
され、この制御手段81に入力したプログラムに基いて駆
動すし、制御手段81は、前記駆動手段41をそれぞれ独立
して駆動制御できる。

【００２３】次に、前記搬送装置２及び制御手段81によ
る搬送を主体として本加熱処理装置１について説明す
る。尚、図１０は可動杆24，24Ａの動作説明図である。
先ず、ウエハ供給装置６のロボットハンド13の載置板15
は、受渡し位置101において、固定杆22，22Ａの固定側
コマ61Ｋ，61Ｋ，61と同一高さでウエハ５を支持して待
機している。動作図中111は、可動杆24，24Ａの搬入側
降下位置であり、この搬入側降下位置111から、昇降駆
動手段41により可動杆24，24Ａが上昇し、可動側コマ6
2，62Ａ，62Ａがロボットハンド13に支持されたウエハ
５に近接する位置までは、例えば０．７ミリ/秒の速度
で上昇し、近接した位置から０．１ミリ/秒の速度に減
速し、可動側コマ62，62Ａ，62Ａにウエハ５を受取り、
少なくともウエハ５がロボットハンド13の載置板15から
離れた位置から、再び０．７ミリ/秒の速度で上昇し、
搬入側上昇位置112まで上昇する。この搬入側上昇位置1
12で昇降駆動手段41は停止し、同時に横搬送駆動手段31
が作動し、１２０ミリ/秒程度の一定速度で可動杆24，2
4Ａが前記搬送距離だけ移動して停止し、この位置は搬
入側上昇位置113である。これにより、前記ウエハ５は
搬入側位置103まで搬送される。横搬送駆動手段31が停
止すると同時に、昇降駆動手段41が作動し、可動杆24，
24Ａが例えば０．７ミリ/秒の速度で降下し、ウエハ５
が固定側コマ61Ｋ，61Ｋ，61に近接した位置から０．１
ミリ/秒に減速し、固定側コマコマ61Ｋ，61Ｋ，61がウ
エハ５を受取り、少なくともウエハ５が可動側コマ62，
62Ａ，62Ａから離れた程度の位置で、再び０．７ミリ/
秒の速度で降下し、搬出側降下位置114まで降下し、昇
降駆動手段41が停止すると同時に横搬送駆動手段31が作
動して前記搬入側降下位置103まで、１２０ミリ/秒程度
の一定速度で移動し停止する。このように搬入側降下位
置から可動杆24，24Ａが上昇することにより、搬入位置
103，載置部105及び搬出位置104の固定側コマコマ61
Ｋ，61Ｋ，61に支持されていたウエハ５を可動杆24，24
Ａが受取り、前記搬送距離だけ移動して次ぎの載置部10
5，搬出位置104及び受渡し位置102に搬送され、受渡し
位置102においては、ウエハ収納装置７のロボットハン
ド13の載置板15は、図３に図示された位置で待機してお
り、可動杆24，24Ａの降下によりウエハ５が固定杆22，
22Ａの受渡し位置102に置かれた後、先端の載置板15が
前記受渡し孔79から侵入して下からウエハ５を拾い上
げ、この後後退して拾い上げたウエハ５をカセット12に
収納し、図３に図示の位置で待機し、同様の行程を繰り
返す。特に、加熱炉３内は７００〜９００℃に加熱され
ており、搬入位置103のウエハ５はほぼ常温であり、こ
の常温のウエハ５が高温の載置部105に受渡される際、
上述したように昇降駆動手段41によって、載置部105の
近接した位置から、その可動杆24，24Ａの降下速度が減
速して載置部105の固定側コマ61Ｋ，61Ｋ，61の傾斜面
Ｍに載置するため、ヒートショックの発生が防止される
と共に、その受渡し時における微細な機械的衝突が発生
することがない。このことは、降下の際、固定側コマ61
Ｋ，61Ｋ，61に無音でウエハ５が受渡されることからも
確認された。また、同様に、加熱炉３内で加熱されたウ
エハ５を、ほぼ常温雰囲気である第１冷却室74の固定杆
22，22Ａに受渡す場合、温度差における影響及び微細な
機械的衝撃の発生を防止できる。また、上述した搬送装
置２の作動においては、連続する動作中、搬入側降下位
置111において、可動杆22，22Ａは停止する。すなわ
ち、可動杆24，24Ａが降下により載置部105にウエハ５
を受渡し、このウエハ５を可動杆24，24Ａが上昇して受
取るまでの間をウエハ５の加熱時間とすれば、前記搬入
側降下位置111において停止する時間を変更することに
より、所望の加熱時間を設定することができ、このこと
は横搬送と昇降の駆動手段31，41が独立することによる
利点であり、また、昇降においても、昇降駆動手段41を
制御することにより、その速度を任意に設定できる。

【００２４】このように本実施例では、請求項１に対応
して、加熱炉３内の載置部105に降下によりウエハ５を
載置する搬送装置２を備えたウエハの加熱処理装置にお
いて、搬送装置２は、ウエハ５の降下速度を載置部15に
近接した位置で減速するように構成されているから、載
置部15に近づくと、降下速度が減速することにより、載
置部15にウエハ５がゆっくりと受渡され、ヒートショッ
ク及び機械的な微細な衝撃の発生を防止することができ
る。

【００２５】また、このように本実施例では、請求項２
に対応して、ウエハ５を支持する支持体たる可動杆24，
24Ａの横移動により加熱炉２内の載置部105の上方にウ
エハ５を搬送し、この上方位置から可動杆24，24Ａの降
下により載置部105にウエハ５を載置し、載置部105の下
方位置から可動杆24，24Ａの上昇により載置部105のウ
エハ５を受取ると共に上方に搬送し、この上方に搬送し
たウエハ５を可動杆24，24Ａの横移動により搬送する搬
送装置２を備えたウエハの加熱処理装置において、搬送
装置２は、可動杆24，24Ａを横移動する横搬送駆動手段
31と可動杆24，24Ａを昇降する昇降搬送駆動手段41とを
有し、この昇降搬送駆動手段41は、昇降時に可動杆24，
24Ａに近接した位置で可動杆24，24Ａの昇降速度を減速
するように構成されているから、ウエハ５が降下して載
置部105に近づくと、降下速度が減速することにより、
載置部105にウエハ５がゆっくりと受渡され、また、載
置部105で加熱されたウエハ５に対して、下方から可動
杆24，24Ａが上昇して載置部105に近づくと、上昇速度
が減速することにより、可動杆24，24Ａにウエハ５がゆ
っくると受取られ、受渡し及び受取り時における機械的
な微細な衝突及びヒートショックが防止される。しか
も、横搬送と昇降搬送とがそれぞれ別の駆動手段により
駆動するため、ウエハ５の加熱時間を自由に設定するこ
とができる。

【００２６】さらに、このように本実施例では、請求項
３に対応して、載置部105が平行な一対の固定杆22，22
Ａに設けられ、これら固定杆22，22Ａの両側は、加熱炉
３外の搬入位置103及び搬出位置104にそれぞれ延設さ
れ、前記支持体が、一対の固定杆22，22Ａと平行に配置
された一対の可動杆24，24Ａであるから、可動杆24，24
Ａの上昇により搬入位置103及び載置部105のウエハ５を
受取り、固定杆22，22Ａの長さ方向に横移動し、搬入位
置103に有ったウエハ５を載置部105上に搬送すると共
に、載置部105上にあったウエハ５を搬出位置104上まで
それぞれ搬送し、この後、降下して載置部105及び搬出
位置104にウエハ５を受渡すことができ、上昇・横移動
・降下・横移動の１サイクルにより複数のウエハ５，５
を同時に次の位置に移送できる。

【００２７】また、実施例上の効果として、可動杆24，
24Ａは、少なくとも搬入位置103と搬出位置104との間隔
に対応した長さを有するから、搬入位置103より前側で
待機するウエハ５を受取り、搬出位置104より後方に連
続的にウエハ５を搬送することができる。また、ロボッ
トハンド13の載置板15には、支持突起16を設け、この支
持突起16は中央に案内部16Ａを有すると共に、案内部16
Ａの周囲に、少なくともウエハ５を載置する位置に対応
して周縁部16Ｂを設けたから、案内部16Ａによりウエハ
５の外周部が案内され、周縁部16Ｂに正しくウエハ５の
周縁下面が載置される。尚、載置板15に前記支持突起16
を位置調整可能に取り付ければ、大きさの異なるウエハ
に対応できる。さらに、固定杆22，22Ａ及び可動杆24，
24Ａには、ウエハ５を支持する箇所にそれぞれ３つで一
組の固定側コマ61Ｋ，61Ｋ，61及び可動側コマ62，62
Ｋ，62Ｋを対象に設けたから、それぞれウエハ５を３点
で安定して支持することができる。また、受取り位置10
1及び受渡し位置102においても、ロボットハンド13の載
置板15に対して、ウエハ５に近接した位置で昇降速度を
減速して受取り及び受渡しをするから、機械的な微細な
衝突を起こすことがない。

【００２８】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨の範囲内において、種々の変形
実施が可能である。例えば、請求項１及び２において
は、支持体の形状は適宜選定可能である。また、横搬送
駆動手段及び昇降駆動手段は、実施例のものに限定され
るものではなく、各種のものを用いることができる。さ
らに、一対の固定杆に間に一対の可動杆を配置したり、
一対の可動杆の間に一対の固定杆を配置したりしてもよ
い。また、横移動はほぼ水平に限定されるものではな
く、斜めに横移動するようにしてもよい。

【００２９】

【発明の効果】請求項１の発明は、加熱炉内の載置部に
降下によりウエハを載置する搬送装置を備えたウエハの
加熱処理装置において、前記搬送装置は、前記ウエハの
降下速度を前記載置部に近接した位置で減速するように
構成されているものであり、ヒートショックを防止する
ことができるウエハの熱処理装置を提供することができ
る。

【００３０】請求項２の発明は、ウエハを支持する支持
体の横移動により加熱炉内の載置部の上方にウエハを搬
送し、この上方位置から前記支持体の降下により前記載
置部にウエハを載置し、前記載置部の下方位置から前記
支持体の上昇により前記載置部のウエハを受取ると共に
上方に搬送し、この上方に搬送したウエハを前記支持体
の横移動により搬送する搬送装置を備えたウエハの加熱
処理装置において、前記搬送装置は、前記支持体を横移
動する横搬送駆動手段と前記支持体を昇降する昇降搬送
駆動手段とを有し、この昇降搬送駆動手段は、昇降時に
前記支持体に近接した位置で前記支持体の昇降速度を減
速するように構成されているものであり、ヒートショッ
クを防止することができ、さらに、搬送工程の設定を容
易で、連続熱処理において、加熱時間を変更設定するこ
とができるウエハの熱処理装置を提供することができ
る。

【００３１】また、請求項３の発明は、前記載置部が平
行な一対の固定杆に設けられ、これら固定杆の両側は、
前記加熱炉外の搬入位置及び搬出位置にそれぞれ延設さ
れ、前記支持体が、前記一対の固定杆と平行に配置され
た一対の可動杆であり、ヒートショックを防止すること
ができ、さらに、搬送工程の設定を容易で、連続熱処理
において、加熱時間を変更設定することができるウエハ
の熱処理装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す加熱処理装置の長さ方
向の断面図である。

【図２】本発明の一実施例を示す加熱処理装置の平面図
である。

【図３】本発明の一実施例を示す全体平面図である。

【図４】本発明の一実施例を示す装置の一部を断面にし
た搬出位置下部側の側面図である。

【図５】本発明の一実施例を示す昇降駆動手段の要部の
平面図である。

【図６】本発明の一実施例を示す横搬送駆動手段と昇降
駆動手段の要部の断面図である。

【図７】本発明の一実施例を示す装置の一部を断面にし
た搬入側の側面図である。

【図８】本発明の一実施例を示すコマの側面図であり、
図８（Ａ）は、杆に直交して設けたコマ、図８（Ｂ）
は、杆に斜めに設けたコマを示す。

【図９】本発明の一実施例を示す加熱炉の幅方向の断面
図である。

【図１０】本発明の一実施例を示す可動杆の動作説明図
である。

【図１１】本発明の一実施例を示すウエハ供給装置又は
ウエハ収納装置の正面図である。

【図１２】本発明の一実施例を示すロボットハンドの平
面図であり、図１２（Ａ）は伸びた状態、図１２（Ｂ）
は伸びる前の状態を示す。

【図１３】本発明の一実施例を示すロボットハンドの支
持突起の正面図である。

【図１４】本発明の一実施例を示すブロック図である。

【符号の説明】

２搬送装置３加熱炉５ウエハ 22，22Ａ固定杆 24，24Ａ可動杆 31 横搬送駆動手段 41 昇降搬送駆動手段 103 搬入位置 104 搬出位置 105 載置部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加熱炉内の載置部に降下によりウエハを
載置する搬送装置を備えたウエハの加熱処理装置におい
て、前記搬送装置は、前記ウエハの降下速度を前記載置
部に近接した位置で減速するように構成されていること
を特徴とするウエハの加熱処理装置。
【請求項２】ウエハを支持する支持体の横移動により
加熱炉内の載置部の上方にウエハを搬送し、この上方位
置から前記支持体の降下により前記載置部にウエハを載
置し、前記載置部の下方位置から前記支持体の上昇によ
り前記載置部のウエハを受取ると共に上方に搬送し、こ
の上方に搬送したウエハを前記支持体の横移動により搬
送する搬送装置を備えたウエハの加熱処理装置におい
て、前記搬送装置は、前記支持体を横移動する横搬送駆
動手段と前記支持体を昇降する昇降搬送駆動手段とを有
し、この昇降搬送駆動手段は、昇降時に前記支持体に近
接した位置で前記支持体の昇降速度を減速するように構
成されていることを特徴とするウエハの加熱処理装置。
【請求項３】前記載置部が平行な一対の固定杆に設け
られ、これら固定杆の両側は、前記加熱炉外の搬入位置
及び搬出位置にそれぞれ延設され、前記支持体が、前記
一対の固定杆と平行に配置された一対の可動杆であるこ
とを特徴とする請求項２記載のウエハの加熱処理装置。