JP2011190956A - 搬送装置及びこれを備えた熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特定位置のワークと他のワークとを異なる速度で搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１１は、複数のワークＷを搬送方向に並べて配置可能な支持体１８と、昇降によって支持体１８との間でワークＷを受け渡しし、支持体１８から受け取ったワークＷを搬送する搬送体２０と、搬送体２０を駆動する駆動部２１とを備え、搬送体２０は、プレヒートゾーンＺ１のワークＷを支持体１８から受け取って搬送する第１搬送部３１と、第１搬送部３１より高位置にあり焼成ゾーンＺ２のワークＷを支持体１８から受け取って搬送する第２搬送部３２とを備え、駆動部２１は、プレヒートゾーンＺ１のワークＷを第１搬送部３１と支持体１８との間で受け渡しする第１の昇降ストロークｈ１と、第１の昇降ストロークｈ１よりも小さく、焼成ゾーンＺ２のワークＷを第２搬送部３２と支持体１８との間で受け渡しする第２の昇降ストロークｈ２で搬送体２０を昇降する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、搬送装置及びこれを備えた熱処理装置に関する。

太陽電池基板等の各種基板の製造には、熱処理装置によって基板（又は基板に形成された膜）を焼成する工程が含まれる。この熱処理装置は、入口側のプレヒートゾーン（乾燥ゾーン乃至脱バインダゾーン）と出口側の焼成ゾーンとを有する熱処理炉と、この熱処理炉を通過させるように基板を搬送する搬送装置とを備えている。また、搬送装置として、発塵の少ないウォーキングビーム式の搬送装置を利用する場合がある。

ウォーキングビーム式の搬送装置は、搬送方向に沿って配置された一対の支持ビームと、同じく搬送方向に沿って配置された一対の搬送ビームとを備えている。支持ビームは、複数の基板を搬送方向に一定の間隔をあけて支持する。
搬送ビームは、上下昇降と前後移動が可能である。そして、搬送ビームは、支持ビームの下方から上方へ上昇することによって支持ビームからワークを受け取り、搬送方向に所定のストロークだけ前進することによってワークを搬送し、支持ビームの下方へ下降することによって支持ビームにワークを渡し、さらに、搬送方向に後退することによって元の位置に復帰する動作を１サイクルとして行う。したがって、搬送装置は、搬送ビームの上昇、前進、下降、後進の動作によって基板を所定ストロークずつ一定速度で搬送する。

ところで、太陽電池基板の熱処理においては、良好な焼成状態を得るために、基板を短時間で加熱したあと急冷することが好ましく、また、製品に応じて焼成時間を所望に調整したいという要請もある。しかしながら、前述の搬送装置では、熱処理炉の全体に渡って所定のストロークずつ一定の速度で基板を搬送するため、このような要請に応えることは困難であった。

また、上記のような要請に応えるべく、プレヒートゾーンと焼成ゾーンとで異なる搬送装置を用いることも考えられている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の熱処理装置は、プレヒートゾーンでは第１の搬送装置によって基板を搬送し、プレヒートゾーンと焼成ゾーンとの境界で第２の搬送装置に基板を受け渡すとともに、焼成ゾーンでは第２の搬送装置によって比較的高速で基板を搬送するものとされている。

特開２００６−１３２９２２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の熱処理装置では、異なる形式の２台の搬送装置が必要であるため、装置が大型化し、製造コストも増大する。また、２台の搬送装置の駆動部を同期、連繋させなければならないので制御が複雑化するという問題もある。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、複数の搬送装置を用いなくても特定の箇所における被搬送物の搬送速度を異ならせることができ、大型化やコスト増、制御の複雑化等を抑制することができる搬送装置及びこれを用いた熱処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、複数の被搬送物を搬送方向に並べて配置可能な支持体と、前記支持体に対する相対的な昇降によって前記支持体との間で被搬送物を受け渡しし、当該支持体から受け取った被搬送物を搬送する搬送体と、前記搬送体、又は前記搬送体及び前記支持体を駆動して所定の搬送動作を行わせる駆動部と、を備えている搬送装置であって、
前記搬送体は、前記支持体の特定位置以外に配置された被搬送物を受け取って搬送する第１搬送部と、この第１搬送部よりも高位置にあり、前記支持体の特定位置に配置された被搬送物を受け取って搬送する第２搬送部とを備え、
前記駆動部は、
前記特定位置以外に配置された被搬送物を前記支持体と前記第１搬送部との間で受け渡しする第１の昇降ストロークと、
前記第１の昇降ストロークよりも小さく、前記特定位置に配置された被搬送物のみを前記支持体と前記第２搬送部との間で受け渡しする第２の昇降ストロークとの、２種類の昇降ストロークで前記搬送体と前記支持体とを相対的に昇降駆動することを特徴とする。

この構成によれば、搬送体と支持体とを第１の昇降ストロークで相対的に昇降させることによって、支持体の特定位置以外に配置されている被搬送物を支持体と搬送体との間で受け渡しし、搬送体によって搬送することができる。また、搬送体と支持体とを第２の昇降ストロークで相対的に昇降させることによって、支持体の特定位置に配置されている被搬送物を支持体と搬送体との間で受け渡しし、搬送体によって搬送することができる。したがって、支持体の特定位置以外に配置されている被搬送物と特定位置に配置されている搬送物とを搬送体によってそれぞれ個別に搬送することが可能となり、これらの搬送時期を調整することによってそれぞれの搬送速度を変えることができる。

なお、上記構成において、搬送体と支持体との相対的な昇降には、支持体を上下方向に関して固定し、搬送体を昇降させる場合と、搬送体を上下方向に関して固定し、支持体を昇降させる場合とがある。駆動部は、前者の場合には搬送体のみを駆動し、後者の場合には、昇降に関しては支持体を駆動し、搬送方向への搬送に関しては搬送体を駆動するものとなる。

前記駆動部は、前記搬送体、又は、前記搬送体及び前記支持体に対して、前記第１の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第１の搬送動作を一定の時間間隔で行わせ、前記第２の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第２の搬送動作を、各第１の搬送動作の間に行わせるように構成されていてもよい。

この場合、第１の搬送動作によって特定位置以外の被搬送物を搬送し、この第１の搬送動作で特定位置に搬送された被搬送物を第２の搬送動作によって搬送し、特定位置から取り出すことができる。そして、再び第１の搬送動作によって特定位置以外の搬送物を搬送し、この搬送動作で、再度、特定位置に被搬送物が搬送されると、第２の搬送動作によって特定位置の被搬送物のみを搬送し、特定位置から取り出すことができる。
したがって、特定位置以外の被搬送物は一定の時間間隔で搬送され、その被搬送物が特定位置に配置されると、次の第１の搬送動作が始まる前に第２の搬送動作によって特定位置から取り出される。そのため、特定位置以外の被搬送物よりも特定位置に配置された被搬送物の搬送速度を高めることが可能となる。

また、前記駆動部は、前記搬送体、又は、前記搬送体及び前記支持体に対して、前記特定位置に被搬送物が配置されるまでは前記第１の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第１の搬送動作を一定の時間間隔で行わせ、前記特定位置に被搬送物が配置された後は、前記第２の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第２の搬送動作を、各第１の搬送動作の間に行わせるように構成されていてもよい。

この構成によれば、支持体の特定位置に被搬送物が配置されておらず、特定位置以外に被搬送物が配置されている場合には、第１の搬送動作によって特定位置以外の被搬送物を搬送する。そして、この第１の搬送動作によって特定位置に被搬送物が搬送されると、次に第２の搬送動作によって特定位置の被搬送物のみを搬送し、特定位置から取り出すことができる。そして、再び第１の搬送動作によって特定位置以外の搬送物を搬送する。この搬送動作で、再度、特定位置に被搬送物が搬送されると、第２の搬送動作によって特定位置の被搬送物のみを搬送し、特定位置から取り出すことができる。
したがって、特定位置以外の被搬送物は一定の時間間隔で搬送され、その被搬送物が特定位置に配置されると、次の第１の搬送動作が始まる前に第２の搬送動作によって特定位置から取り出される。そのため、特定位置以外の被搬送物よりも特定位置に配置された被搬送物の搬送速度を高めることが可能となる。

前記第２搬送部は、前記搬送体から上方へ突出する突部により構成されていることが好ましい。
このような構成によって、第１搬送部よりも高位置の第２搬送部を容易に形成することができる。

前記第１搬送部は、前記搬送体の上面に形成された凹部により構成されていることが好ましい。
このような構成によって、第１搬送部を容易に形成することができるとともに、凹部に被搬送物を嵌めることによって安定的に保持することが可能となる。

本発明の熱処理装置は、焼成ゾーンを含む熱処理炉と、この熱処理炉を通過させるように複数の被搬送物を搬送する上述の搬送装置と、を備え、
前記焼成ゾーンが前記支持体の特定位置とされていることを特徴とするものである。

この構成によれば、熱処理装置の焼成ゾーンに配置された被搬送物と、それ以外の他の被搬送物との搬送速度を異ならせることができ、他の被搬送物の搬送速度に依存することなく短時間で適切な焼成処理を行うことができる。

本発明によれば、複数の搬送装置を用いなくても特定位置の被搬送物の搬送速度を変更することができ、コスト増や装置の大型化、制御の複雑化を防止することができる。

本発明の実施の形態に係る熱処理装置を概略的に示す正面図である。 搬送装置（支持体、搬送体）の側面図である。 搬送装置（支持体、搬送体）の平面図である。 （ａ）は図２のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図２のＡ−Ａ位置における支持体と搬送体とのワークの受け渡し状態を示す断面図、（ｃ）は図２のＢ−Ｂ位置における支持体と搬送体とのワークの受け渡し状態を示す断面図である。 熱処理装置の動作手順を示す説明図である。 熱処理装置の動作手順を示す説明図である。 熱処理装置の動作手順を示す説明図である。 熱処理装置の動作手順を示す説明図である。 熱処理装置の動作手順を示す説明図である。 熱処理装置の動作タイミングを示すタイムチャートである。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る熱処理装置１０を概略的に示す正面図である。
この熱処理装置１０は、搬送装置１１により搬送方向Ｘに搬送されているワーク（被搬送物；被処理物）Ｗを熱処理炉１２によって熱処理するものである。ワークＷは、例えば、太陽電池等に使用される半導体基板やその他の基板であり、図示しない供給装置によって、搬送装置１１における搬送方向Ｘの上流側（図１の右側）に供給され、熱処理炉１２で熱処理された後、図示しない取出装置によって同方向Ｘの下流側（図１の左側）から取り出される。なお、本実施形態では、搬送方向Ｘを前後方向ということがあり、この搬送方向Ｘに直交する水平方向を左右方向ということがある。

熱処理炉１２は、ワークＷの供給位置１４と、取出位置１５との間に配置されており、搬送方向上流側（後側）にプレヒートゾーンＺ１が配置され、下流側（前側）に焼成ゾーンＺ２が配置されている。また、本実施形態では、焼成ゾーンＺ２の下流側に冷却ゾーンＺ３が設けられている。

プレヒートゾーンＺ１は、例えば３００℃〜５００℃の雰囲気温度に調整され、ワークＷの乾燥処理や脱バインダ処理及び予熱等が行われる。焼成ゾーンＺ２は、例えば８００℃〜１０００℃の雰囲気温度に調整され、ワークＷの焼成処理が行われる。冷却ゾーンＺ３は、焼成が終了した後のワークＷを強制冷却又は自然冷却が行われる。

搬送装置１１は、供給位置１４と取出位置１５とにわたって搬送方向Ｘに沿って配置され、複数のワークＷを搬送方向Ｘに並べて支持する支持体１８と、この支持体１８上のワークＷを搬送方向Ｘに搬送する搬送機構１９と、を備えている。また、搬送機構１９は、搬送体２０と、この搬送体２０に搬送動作を行わせる駆動部２１とを備えている。

図２は、搬送装置１１の側面図、図３は搬送装置１１の平面図である。支持体１８は、搬送方向Ｘに沿って延び、搬送方向Ｘに直交する水平方向（左右方向）に間隔をあけて配置された互いに平行な一対の支持ビーム（支持部材）２３を備え、この支持ビーム２３によってワークＷの左右両端縁が支持される。この支持ビーム２３は、石英等から形成された断面円形状の長尺棒により構成されている。

図４（ａ）は、搬送装置（支持体１８、搬送体２０）を示す断面図である。一対の支持ビーム２３の対向側面には凹部２５が形成されており、この凹部２５は、支持ビーム２３の上端から中心に向けて形成された起立面２６と、中心から対向方向に向けて斜め下方に形成された傾斜面２７とを有している。そして、ワークＷは、左右両端縁を傾斜面２７上に載せることによって安定的に支持される。

図１に示すように、本実施形態の支持体１８は、合計７枚のワークＷを載置可能に構成されている。そして、支持体１８における搬送方向Ｘの上流端がワークＷの供給位置１４とされ、搬送方向Ｘの下流端がワークＷの取出位置１５とされている。また、搬送方向Ｘの上流端から２〜４番目のワークＷが熱処理炉１２のプレヒートゾーンＺ１に配置され、同５番目のワークＷが焼成ゾーンＺ２に配置され、同６番目（下流端から２番目）のワークＷが冷却ゾーンＺ３に配置される。

図２及び図３に示すように、搬送体２０は、支持体１８の下方に配置されている。搬送体２０は、搬送方向Ｘに沿って延び、搬送方向Ｘに対して直交する左右方向に間隔をあけて配置された一対の搬送ビーム（搬送部材）３０を備えている。各搬送ビーム３０は、石英等から形成された断面円形状の長尺棒により構成され、搬送方向Ｘの複数箇所で連結部材３６によって互いに連結されている。搬送体２０には、支持体１８からワークＷを受け取って搬送するための複数の搬送部３１，３２が搬送方向Ｘに並設されている。本実施形態の搬送体２０には、６個の搬送部３１，３２が設けられている。

さらに、本実施形態の搬送部３１，３２は、５個の第１搬送部３１と、１個の第２搬送部３２とからなっている。第１搬送部３１は、搬送体２０における搬送方向Ｘの下流端と、搬送方向上流側の４箇所に設けられ、第２搬送部３２は、搬送方向Ｘの下流端から２番目の箇所に設けられている。

第１搬送部３１は、各搬送ビーム３０の上面に形成された凹部３４から構成されている。各凹部３４の前後に対向する側面は、下側ほど互いの間隔が狭まるように傾斜する傾斜面３４ａとされている。そして、ワークＷは、この傾斜面３４ａに前後端縁を載せることによって安定的に保持される。

第２搬送部３２は、各搬送ビーム３０から上方に突出する前後一対の支持突部３３から構成されている。そして、２本の搬送ビーム３０から突出される合計４個の支持突部３３の先端部で、ワークＷの前後端縁を支持するように構成されている。したがって、第２搬送部３２は、第１搬送部３１よりも高位置で、支持体１８により近く配置されている。
各搬送ビーム３０において、前後一対の支持突部３３の上端対向面には、下側ほど対向間隔が狭くなるように傾斜する傾斜面３３ａが形成されており、ワークＷは、この傾斜面３３ａに前後端縁を載せることによって安定的に保持される。

図１に示すように、駆動部２１は、搬送体２０の下方に支持アーム３５を介して連結されており、搬送体２０に対して所定の搬送動作を行わせるために、モータやシリンダ等のアクチュエータとこのアクチュエータを制御する制御部（いずれも図示略）とを含む。具体的に、駆動部２１は、図１に（Ｉ）（II）で示すように、搬送体２０に上昇、前進、下降、後退の動作を１サイクルとして行わせる。そして、搬送体２０は、この１サイクルでワークＷを所定のストロークずつ搬送方向Ｘに搬送する。

（Ｉ）（II）のサイクルは、搬送体２０が上昇することによって支持体１８に配置されているワークＷを第１又は第２搬送部３１，３２において受け取り、支持体１８から持ち上げる。そして、ワークＷを受け取った状態で搬送方向Ｘに前進することによりワークＷを搬送し、さらに下降することによってワークＷを支持体１８に戻す。また、ワークＷを支持体１８に戻した後は、搬送方向Ｘとは反対方向に後退することによって元の位置に復帰する。
搬送方向Ｘのストロークは、（Ｉ）（II）の動作とも同じであるが、（Ｉ）のサイクルにおける昇降ストロークｈ１は、（II）のサイクルにおける昇降ストロークｈ２よりも大きくなっている。

（Ｉ）に示すサイクルは、第１搬送部３１によって支持体１８上のワークＷを搬送するためのものであり、（II）に示すサイクルは、第２搬送部３２によって支持体１８上のワークＷを搬送するためのものである。すなわち、図４（ｂ）に示すように、（Ｉ）に示すサイクルにより搬送体２０がより大きい昇降ストロークｈ１で上昇すると、第１搬送部３１によって支持体１８上のワークＷを受け取ることができる。しかし、図４（ｃ）に示すように、（II）に示すサイクルにより搬送体２０がより小さい昇降ストロークｈ２で上昇すると、第２搬送部３２によって支持体１８上のワークＷを受け取ることができるが、第１搬送部３１によってワークＷを受け取ることができない。したがって、（II）に示す動作は、第２搬送部３２のみによる搬送動作となる。ここで、本実施形態では、（Ｉ）のサイクルによる搬送動作を第１の搬送動作といい、（II）のサイクルによる搬送動作を第２の搬送動作という。

以下、本実施形態の搬送装置１１による搬送動作をより詳細に説明する。図５〜図９は、熱処理装置１０の動作手順を示す説明図であり、図１０は熱処理装置１０の動作タイミングを示すタイムチャートである。
まず、図５（ａ）は、熱処理動作を行っていない待機状態である。このとき、搬送体２０の第２搬送部３２は、焼成ゾーンＺ２に対応した位置にあり、第１搬送部３１は、支持体１８の供給位置１４、プレヒートゾーンＺ１、及び冷却ゾーンＺ３に対応する位置にある。この搬送体２０の位置を初期位置とする。

図５（ｂ）に示すように、支持体１８の供給位置１４に図示しない供給装置からワークＷが供給されると、まず、搬送体２０は、駆動部２１によって第１の搬送動作（（Ｉ）に示すサイクル）でワークＷを搬送する。具体的に、搬送体２０は、図５（ｃ）に示すように、所定のストロークｈ１だけ上昇し、搬送方向上流端の第１搬送部３１によって支持体１８からワークＷを受け取る。

次いで、図６（ａ）に示すように、搬送体２０は、搬送方向Ｘに所定のストロークだけ前進し、ワークＷをプレヒートゾーンＺ１内に挿入する。そして、搬送体２０は、図６（ｂ）に示すように、所定のストロークｈ１だけ下降することによってワークＷを支持体１８に渡す。このとき、供給位置１４には新たなワークＷが供給される。
次いで、図６（ｃ）に示すように、搬送体２０は、所定のストロークだけ後退し、初期位置に復帰する。

以上の動作によって１サイクルの第１の搬送動作が行われ、その後、所定時間が経過した後に、同様の動作が繰り返し行われる。図１０に示すように、１サイクルの第１の搬送動作に要する時間とその後の所定時間とを合わせた時間が熱処理工程における１タクトタイム（１工程作業時間）となる。

図７（ａ）は、図５及び図６に示す第１の搬送動作を繰り返し行うことによって、プレヒートゾーンＺ１に３枚のワークＷが搬送され、さらに供給位置１４に新たなワークＷが供給された状態を示す。この状態では、搬送体２０は、上記と同様に第１の搬送動作によりワークＷを搬送する。すなわち、搬送体２０は、図７（ｂ）に示すように、所定のストロークｈ１で上昇することにより、プレヒートゾーンＺ１と供給位置１４にある４枚のワークＷを支持体１８から受け取り、図７（ｃ）に示すように、搬送方向Ｘに所定のストローク前進することによってこれらのワークＷを搬送する。次いで、図８（ａ）に示すように、搬送体２０は、所定のストロークｈ１だけ下降することによって４枚のワークＷを支持体１８に受け渡す。このとき、供給位置１４には新たにワークＷが供給される。そして、図８（ｂ）に示すように、搬送体２０は、所定のストロークだけ後退することによって初期位置に復帰する。

この動作により、プレヒートゾーンＺ１において最も搬送方向下流側に配置されていたワークＷが焼成ゾーンＺ２に搬送される。
本実施形態では、焼成ゾーンＺ２における焼成処理を短時間で終了し、ワークＷを即座に冷却ゾーンＺ３へ搬送するために、１タクトタイムが経過する前に焼成ゾーンＺ２からワークＷを取り出す搬送動作を続けて行う。この搬送動作は、図１に（II）で示すサイクルで行う第２の搬送動作である。

具体的には、図８（ｃ）に示すように、搬送体２０は、所定のストロークｈ２で上昇することにより第２搬送部３２によって焼成ゾーンＺ２にあるワークＷのみを支持体１８から受け取る。そして、搬送体２０は、搬送方向Ｘに所定のストロークだけ前進することによって当該ワークＷを冷却ゾーンＺ３に搬送し（図９（ａ）参照）、さらに所定のストロークｈ２で下降することによって支持体１８に受け渡す（図９（ｂ）参照）。そして、所定のストロークだけ後退することによって初期位置に復帰する（図９（ｃ）参照）。
この第２の搬送動作によって焼成ゾーンＺ２における焼成処理を短時間で終わらせ、冷却ゾーンＺ３においてワークＷを冷却することができる。

以上の動作が終了し、所定のタクトタイムが経過すると、再び、図７〜図９に示す搬送動作が繰り返し行われる。また、以降の搬送動作により、冷却ゾーンＺ３にあるワークＷは搬送体２０の下流端に位置する第１搬送部３１によって支持体１８の取出位置１５に搬送され、図示しない取出装置によって熱処理装置１０から取り出される。

以上説明したように、本実施形態では、搬送体２０が、第１搬送部３１と第２搬送部３２とを備え、第１搬送部３１を使用した第１の搬送動作と第２搬送部３２を使用した第２の搬送動作との２つの搬送動作が可能となっている。そして、第２の搬送動作によって焼成ゾーンＺ２に配置された特定のワークＷを単独で搬送し、焼成ゾーンＺ２から取り出すことが可能となっている。したがって、他のワークＷの搬送速度に依存することなく、焼成ゾーンＺ２における焼成処理を短時間で適切に行うことができる。

また、本実施形態では、１台の搬送装置１１により２種類の搬送動作を実現しているので、装置の大型化や製造コストの増大、制御の複雑化等を抑制することができる。

支持ビーム２３に形成された凹部２５や、搬送ビーム３０に形成された凹部３４は、長尺棒体を削り出すことによって形成されており、安価な構成で安定してワークＷを支持することができる。

本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において適宜変更できるものである。例えば、上記実施形態では、支持体１８を固定とし、搬送体２０のみを上下昇降及び前後移動させているが、支持体１８と搬送体２０とは相対的に上下に昇降するものであればよく、支持体１８を上下昇降可能とし、搬送体２０を前後移動可能に構成してもよい。この場合、支持体１８を駆動するための駆動部を設ければよい。

また、上記実施形態では、焼成ゾーンＺ２にワークＷが搬送されるまでは第１の搬送動作を行い、焼成ゾーンＺ２にワークＷが搬送されたあとは第２の搬送動作と第１の搬送動作とを交互に行っているが、当初から第１、第２の搬送動作を交互に行ってもよい。この場合、ワークＷが焼成ゾーンＺ２に搬送されるまで、第２の搬送動作が実質的に機能することはなく、空回りの状態になってしまうが、動作パターンが１種類となるので、制御が容易になるという利点がある。

また、上記実施形態では、一対の支持ビーム２３の間に一対の搬送ビーム３０を配置しているが、これとは逆に、一対の搬送ビーム３０の間に一対の支持ビーム２３を配置してもよい。

さらに、本発明の搬送装置１１が適用される熱処理装置１０は、上記実施形態に示すようなプレヒートゾーンＺ１、焼成ゾーンＺ１、及び冷却ゾーンＺ３の構成に限定されるものではなく、任意のゾーン構成の熱処理装置であってもよい。すなわち、本発明の熱処理装置１０は、搬送装置１１における支持体１８の特定位置が焼成ゾーンＺ１とされていれば足り、それ以外のゾーン構成について特に限定されるものではない。

１０： 熱処理装置
１１： 搬送装置
１２： 熱処理炉
１８： 支持体
２０： 搬送体
２１： 駆動部
２３： 支持ビーム
３０： 搬送ビーム
３１： 第１搬送部
３２： 第２搬送部
３３： 支持突部

Claims (6)

1. 複数の被搬送物を搬送方向に並べて配置可能な支持体と、前記支持体に対する相対的な昇降によって前記支持体との間で被搬送物を受け渡しし、当該支持体から受け取った被搬送物を搬送する搬送体と、前記搬送体、又は、前記搬送体及び前記支持体を駆動して所定の搬送動作を行わせる駆動部と、を備えている搬送装置であって、
   前記搬送体は、前記支持体の特定位置以外に配置された被搬送物を受け取って搬送する第１搬送部と、この第１搬送部よりも高位置にあり、前記支持体の特定位置に配置された被搬送物を受け取って搬送する第２搬送部とを備え、
   前記駆動部は、
   前記特定位置以外に配置された被搬送物を前記支持体と前記第１搬送部との間で受け渡しする第１の昇降ストロークと、
   前記第１の昇降ストロークよりも小さく、前記特定位置に配置された被搬送物のみを前記支持体と前記第２搬送部との間で受け渡しする第２の昇降ストロークとの、２種類の昇降ストロークで前記搬送体と前記支持体とを相対的に昇降駆動することを特徴とする搬送装置。
2. 前記駆動部は、前記搬送体、又は、前記搬送体及び前記支持体に対して、前記第１の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第１の搬送動作を一定の時間間隔で行わせ、
   前記第２の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第２の搬送動作を、各第１の搬送動作の間に行わせる請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記駆動部は、前記搬送体、又は、前記搬送体及び前記支持体に対して、前記特定位置に被搬送物が配置されるまでは前記第１の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第１の搬送動作を一定の時間間隔で行わせ、
   前記特定位置に被搬送物が配置されると、前記第２の昇降ストロークによる前記搬送体と前記支持体との相対的な昇降を含む第２の搬送動作を、各第１の搬送動作の間に行わせる請求項１に記載の搬送装置。
4. 前記第２搬送部が、前記搬送体から上方へ突出する突部により構成されている請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
5. 前記第１搬送部が、前記搬送体の上面に形成された凹部により構成されている請求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置。
6. 焼成ゾーンを含む熱処理炉と、この熱処理炉を通過させるように複数の被搬送物を搬送する請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置と、を備え、
   前記搬送装置における支持体の特定位置が、前記焼成ゾーンとされていることを特徴とする熱処理装置。

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