JP2008259410A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 弾性体上に、溝状の境界部分によって複数の領域に区切られた状態で電気機械変換素子を設ける第１の工程と、
   前記弾性体と前記電気機械変換素子とを焼結させる第２の工程と、
   を備える振動子の製造方法。
2. 請求項１に記載の振動子の製造方法において、
   前記第１の工程は、前記電気機械変換素子を、前記溝状の境界部分によって独立した複数の領域に分離して設ける振動子の製造方法。
3. 請求項１または２に記載の振動子の製造方法において、
   前記第２の工程の後に、前記電気機械変換素子の前記複数の領域の表面に電極を形成する第３の工程を備える振動子の製造方法。
4. 請求項３に記載の振動子の製造方法において、
   前記第３の工程の後に、前記電気機械変換素子を前記複数の領域毎に分極する第４の工程を備える振動子の製造方法。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の振動子の製造方法において、
   前記第１の工程は、射出成形によって前記電気機械変換素子を設ける振動子の製造方法。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の振動子の製造方法において、
   前記第１の工程において、隣接する前記複数の領域の、前記電気機械変換素子の表面における間隔が、０．１ｍｍ以下となるように前記電気機械変換素子を設ける振動子の製造方法。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の振動子の製造方法において、
   前記弾性体の前記電気機械変換素子が設けられた面と反対側の面に加圧接触された移動体を設ける振動アクチュエータの製造方法。
8. 請求項７に記載の振動アクチュエータの製造方法において、
   前記弾性体の前記電気機械変換素子が設けられた面側に、前記弾性体と前記移動体を加圧接触させる加圧力を発生する加圧部を設ける振動アクチュエータの製造方法。