CN102195517B - 振动波驱动装置及其振动体的制造方法 - Google Patents

振动波驱动装置及其振动体的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102195517B
CN102195517B CN201110062904.3A CN201110062904A CN102195517B CN 102195517 B CN102195517 B CN 102195517B CN 201110062904 A CN201110062904 A CN 201110062904A CN 102195517 B CN102195517 B CN 102195517B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vibrating body
projection
vibrator
component
width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201110062904.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102195517A (zh
Inventor
荒木康之
关裕之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of CN102195517A publication Critical patent/CN102195517A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102195517B publication Critical patent/CN102195517B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
    • H02N2/004—Rectangular vibrators
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0065—Friction interface
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/22—Methods relating to manufacturing, e.g. assembling, calibration
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49009—Dynamoelectric machine

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

一种振动波驱动装置包括：振动器，其包括：振动体，具有弹簧特性的突起形成于该振动体上，以及机电能量转换元件，其中所述振动器执行椭圆运动以驱动与所述突起相接触的物体，并且其中所述突起经由多个缝隙或切口在振动体相对于纵向和宽度方向的局部区域中由一个构件与振动体一体地形成；以及制造所述装置的振动体的方法，包括：准备用来由其一体地形成所述突起和振动体的一个构件；在所述构件的局部区域中形成用于形成所述突起的多个缝隙或切口；以及通过弯曲所述构件的一部分来形成所述突起，所述部分定位于所述缝隙或切口之间；以及该振动波驱动装置的振动体的制造方法。

Description

振动波驱动装置及其振动体的制造方法
技术领域
本发明涉及一种振动波驱动装置及其振动体的制造方法。
背景技术
用于线性地驱动物体的现有线性超声马达的例子包括美国专利No.7,109,639中所述的振动波驱动装置(线性超声马达)。线性超声马达构成的驱动机构将参照图10A、10B-1和10B-2描述。图10A是线性超声马达510的外部透视图。线性超声马达510包括振动器501、滑动件506以及用于将振动器501压靠滑动件506的施压构件(未示出)。振动器501包括通常为压电元件的机电能量转换元件505、以及结合至机电能量转换元件505的一侧以与机电能量转换元件505成一体的振动体。振动体包括矩形的基部502、以及从基部502的上表面突出的两个突起503和504。
在超声马达中，具有规定频率的电压施加至压电元件以激发多种期望的振动模式，这些振动模式叠加，从而产生驱动振动。在图10A所示马达的情况下，在振动器501中激发两种挠曲振动模式，如图10B-1和10B-2所示。两种挠曲振动模式均是沿着具有板状形状的振动器501的面外方向的挠曲振动模式。振动模式之一是沿着振动器501的纵向的第二级挠曲振动模式(模式A)，并且另一振动模式是沿着振动器501的宽度方向的第一级挠曲振动模式(模式B)。振动器501的形状设计成使得这两种振动模式的共振频率相同或彼此接近。突起503和504均布置于模式A下的振动节点附近。由于模式A下的振动，突起的端面503-1和504-1均执行绕着枢点(其是振动节点)的摆动，并且从而沿X方向执行往复运动。突起503和504均布置于模式B下的振动腹点附近。由于模式B下的振动，突起的端面503-1和504-1均执行沿Z方向的往复运动。
两种振动模式(模式A和模式B)下的振动被激发成使得这两种振动模式之间的相位差为大约±π/2，并叠加，从而突起的端面503-1和504-1均在XZ平面中执行椭圆运动。由于这种椭圆运动，与突起503和504压接触的滑动件506能沿一个方向被驱动。此时，振动器501的突起503和504与滑动件506以振动器501的驱动频率(数十kHZ或更高)间歇地彼此接触。因此，没有获得适合的接触，除非突起503和504具有适合的弹簧特性或者滑动件具有适合的弹簧特性。突起503和504还用来放大如上所述沿X方向的振动。
为了实现这两种作用，国际专利申请公开No.WO2008/056528A1描述了一种振动致动器，其包括图11A至11C所示的振动体。振动体包括具有弹簧特性和适合形状以实现低噪音驱动的突起609和610。在振动致动器中，具有弹簧特性的突起609和610机加工为独立构件，并且突起609和610结合至基部602以形成振动体。
对于国际专利申请公开No.WO2008/056528A1所述的振动致动器，能够在如上述维持接触状态的同时放大振动。另一方面，这种振动致动器可能存在以下问题。在国际专利申请公开No.WO2008/056528A1所述的振动致动器601中，突起609和610以及基部602如上所述独立地机加工，并且然后通过结合等彼此成一体。在成一体时，突起609和610以及基部602要均匀地彼此结合且不会引起相对位移。然而，实际上，由于机加工上的限制，难以稳定地实现这种状况并且难以稳定地制造振动体。而且，将突起形成为独立构件并将它们结合消耗工时，因此制造成本增大。
为了解决这些问题，日本注册实用新型No.02542528描述一种用于一体地形成基部和突起的技术。例如，在图11中，突起609和610以及基部602由一个构件一体地形成。然而，这种技术可能存在以下问题。首先，突起609和610的形状不适合于一体形成。如上所述，为了实现这些作用，突起609和610均具有向下凸出部分，并且凹陷612形成于基部602中以使得向下凸出部分不与基部502相接触。在压电元件中形成凹陷以便通过将压电元件结合至振动体而形成振动器，所述振动体通过一体地形成具有这种形状的突起609和610而形成。然而，为了在后处理中在压电元件中形成凹陷，需要增加成本。而且，可能会由于后处理而产生细小裂纹并且强度可能会降低。另一方面，如果在形成压电元件时形成凹陷，凹陷的尺寸可能会由于烧结期间收缩的偏离而偏离，使得突起(其在凹陷的端部处具有固定端部)的弹簧特性会偏离。其次，可能会存在与机加工相关的问题。通常，突起由具有高硬度(低延展性)的难加工材料，比如不锈钢制成，原因是突起的形状很复杂，突起需要滑动特性(耐磨性)。因此，难以通过使用比如拉伸之类的机加工方法形成如上所述具有复杂形状的突起，板的要成为突起的部分利用所述方法拉伸并且这些部件的厚度减小。于是，采用现有技术难以由一个构件一体地形成突起和基部。
本发明提供了一种振动波驱动装置及其振动体的制造方法，由此，包括突起的振动体能由一个构件以低成本并高度可靠地制成。
发明内容
根据本发明的一个方面，一种装置包括振动器，振动器包括具有弹簧特性的突起形成于其上的振动体以及机电能量转换元件，其中振动器执行椭圆运动以驱动与突起相接触的物体，并且其中突起经由多个缝隙或切口在振动体相对于纵向和宽度方向的局部区域中由一个构件与振动体一体地形成。
根据本发明的另一方面，一种制造振动波驱动装置的振动体的方法，振动波驱动装置包括振动器，振动器包括具有弹簧特性的突起形成于其上的振动体以及机电能量转换元件，振动器执行椭圆运动以驱动与突起接触的物体，所述方法包括：准备一个构件用来由其一体地形成突起和振动体；形成多个缝隙或切口，用来在所述构件的局部区域中形成突起；以及通过弯曲所述构件的一部分来形成突起，所述部分定位于所述缝隙或切口之间。
本发明的其它特征从下面参照附图对示例性实施例的描述中将变得明显。
附图说明
图1是根据本发明第一实施例的线性超声马达的透视图。
图2A和图2B示出根据本发明第一实施例的振动体，其中图2A是振动体的透视图并且图2B是突起的剖视图。
图3A和图3B示出根据本发明第一实施例的突起的作用。
图4是根据本发明第一实施例的振动体的例子的透视图，其具有大的缝隙宽度。
图5A是根据本发明第二实施例的振动体的透视图，并且图5B是根据本发明第三实施例的振动体的透视图。
图6A、6C和6D是剖视图并且图6B是透视图，示出根据本发明第四实施例的振动体的突起。
图7A是根据本发明第五实施例的振动器的透视图，图7B-1是根据本发明第六实施例的振动器的透视图，并且图7B-2是振动器的突起附近区域的剖视图。
图8是根据本发明第七实施例的振动体的透视图。
图9A是根据本发明第八实施例的振动体在形成突起之前的透视图，并且图9B是根据本发明第八实施例的振动体在形成突起之后的透视图。
图10A、10B-1和10B-2出美国专利No.7,109,639所述的现有线性超声马达，其中图10A是线性超声马达的外部透视图并且图10B-1和10B-2出在振动器中激发的振动模式。
图11A是国际专利申请公开No.WO2008/056528A1所述线性超声马达的振动器的透视图，图11B是线性超声马达的突起的放大视图，并且图11C是突起的剖视图。
图12是根据本发明第九实施例的振动器的透视图。
图13A是示出在根据本发明第九实施例的振动器中激发的第一级共振纵向振动的透视图，并且图13B是示出在根据本发明第九实施例的振动器中激发的第二级共振挠曲振动的透视图。
图14是根据本发明第九实施例的振动体的透视图。
具体实施方式
下面将描述本发明的实施例。
第一实施例
参照图1至图3B，将描述根据本发明第一实施例的作为振动波驱动装置的示例的线性超声马达及其振动体的制造方法。如这些图所示，根据本实施例的马达包括振动器111、滑动件108、支撑振动器111的支撑构件112和113、以及使振动器111和滑动件108彼此压接触的施压构件(未示出)。振动器111包括结合至彼此的振动体101和压电元件107。支撑构件112和113与振动体101由同一构件一体地形成。
为了最小化支撑构件112和113对用于驱动的振动的影响，支撑构件112和113如此形成以从相应于第二级挠曲振动模式的节点(振动体101的中心)的位置延伸。用来在形成振动体时定位振动体的通孔103和104形成于支撑构件112和113中。用来借助于螺钉将支撑构件112和113与另一部件紧固的通孔105和106形成于支撑构件112和113中。在振动体101中，与滑动件108相接触的两个突起109和110由同一构件形成。被磁化的滑动件108以及振动体101由于磁吸引力经由突起109和110彼此压接触。
当交流电场从电源(未示出)施加至压电元件107时，在振动器111中激发两种挠曲振动模式，并且在突起109和110中的每个的接触表面处产生椭圆运动。因此，摩擦驱动力施加至与突起109和110压接触的滑动件108，并且沿滑动件108的纵向驱动滑动件108。
参照图2A和图2B，将描述作为本实施例重要方面的振动体的构造。振动体101包括基部102(包括子部102-1，102-2，102-3，这些将在下文适用)以及突起109和110。突起109和110经由邻近于突起109和110形成的多个缝隙114和115相对于振动体101的纵向和宽度方向在振动体101的局部区域中与基部102一体地形成。突起109和110均包括转换部分109-2和109-3以及接触部分109-1。接触部分109-1具有将与滑动件108压接触的接触表面。当接触部分109-1与滑动件108相接触时，接触部分基本上起到刚性体的作用。转换部分109-2和109-3(它们是突起109和110中的每个的除了接触部分109-1以外的部分)将接触部分109-1连接至基部102，并且在接触部分109-1接触滑动件108时弯曲并且变形。转换部分109-2和109-3均包括与接触部分109-1相连续的向下凸出部分以及与向下凸出部分相连续的向上凸出部分。转换部分109-2和109-3形成于振动体101的结合表面102-11(振动体101的与突起109和110形成于其上的表面相反的表面)和接触部分109-1的接触表面109-11(接触部分109-1的接触滑动件108的表面)之间。利用这种结构，即使在突起109变形时，转换部分109-2和109-3也不接触滑动件108的表面或结合至基部102的压电元件的表面，并且转换部分109-2和109-3具有弹簧特性。
转换部分109-2和109-3在基部102由于挠曲振动而变形时与接触部分109-1一起变形。转换部分109-2和109-3设计成具有适合的形状以使得接触部分109-1执行期望的振动。例如，如果突起109具有图3B所示的形状，当压电元件由于振动沿箭头A的方向伸展和收缩时，突起109的转换部分109-2和109-3沿箭头A的方向伸展和收缩。因此，接触部分沿箭头B的方向振动。在实际第二级挠曲振动中，接触部分的表面的中心在Z方向上从点709-13位移至点709-12。因此，如果驱动振动通过将这一振动与另一驱动振动模式(其中突起109在Z方向上振动的模式，未示出)相结合而产生，则接触部分109-1执行倾斜的椭圆振动，从而驱动力就没有有效地传送。另一方面，如果突起109具有图2B所示的形状，在振动器111的纵向上产生第二级挠曲振动。因此，即使在压电元件变形时，接触部分的表面的中心由于变形而在Z方向上的位移如图3A所示被最小化。如图3A所示，在具有根据本实施例的形状的振动器中，当X方向假设为0°并且Z方向假设为90°时，能使得从变形之前接触部分的表面的中心109-13至变形之后接触部分的表面的中心109-12的位移方向(振动角度)等于或小于6°。因而，当与Z方向上的另一振动模式相结合时，能产生具有小倾斜角度的椭圆振动。
在本实施例中，振动体101由耐磨损的不锈钢材料比如SUS420J2或SUS440C制成。在本实施例中，为了在将振动体101结合或接合至另一构件(比如机电能量转换元件)时提供足够的结合强度，接合(结合)区域的尺寸通过使振动体101中的缝隙部分或切口部分的尺寸最小化来增大。如果振动体足够大以及提供大的结合区域且没有减小缝隙尺寸，振动体101可具有图4所示的形状。根据本实施例的振动体可通过使用包括以下步骤的方法制成。首先，准备用作基部的构件，其中突起和振动体彼此一体地形成，并且缝隙或切口形成于该构件的局部区域中。接着，弯曲基部的由缝隙或切口包围的一部分以形成突起。通过这样弯曲基部的一部分，形成包括接触部分和转换部分的突起。
第二实施例
参照图5A，将描述本发明的第二实施例。在本实施例中，振动体201中的缝隙是弯曲的。如果缝隙如图1所示沿横向延伸，缝隙与挠曲模式的腹点部分或节点部分平行，从而可能降低挠曲刚性。为了降低这种影响，缝隙如图5A所示是弯曲的。
第三实施例
参照图5B，将描述本发明的第三实施例。在本实施例中，振动体301的基部302的厚度(基部的厚度)不均匀。这里，使用通过挤出、拉拔、压制等提供具有不均匀厚度的预变形构件。在此情况下，突起可形成于基部302的具有较小厚度(基部的厚度)的一部分中。例如，通过增大振动体301的体积同时将突起309的弹簧刚度维持于期望值并且通过减小基部302和滑动件(未示出)之间的距离，能增大振动体301和被磁化的滑动件之间的磁吸引力。而且，能调节挠曲模式下沿厚度方向的张应力分布，从而有效地利用压电元件的输出能量。在本实施例中，使用具有不均匀厚度的预变形构件。替代地，可通过蚀刻等调节期望部分的厚度。
第四实施例
参照图6A，将描述本发明的第四实施例。在本实施例中，转换部分409-2和409-3的一些部分的厚度，尤其是向下凸出部分409-4和409-5的厚度较小。利用这种构造，转换部分的一些部分的挠曲刚性能调节至低于振动体的基部的挠曲刚性，或能调节振动模式下突起的接触表面的振动角度。注意到，如图6B所示当在转换部分509-2和509-3的一些部分中形成多个孔(比如孔509-4和509-5)时产生相同的效果。孔的直径、数量以及布置可在考虑到振动角度或弹簧刚度的情况下调节。图6C是沿着穿过图6B的孔509-4的平面截取的截面图。在此情况下，孔509-4和509-5形成于转换部分509-2和509-3的向上凸出部分中。在图6D中，孔609-4和609-5形成于转换部分609-2和609-3的向下凸出部分中。
第五实施例
参照图7A，将描述本发明的第五实施例。在本实施例中，振动器包括布置于振动体101和压电元件107(其为机电能量转换元件)之间的板状构件121。利用这种结构，振动体101和滑动件之间的磁吸引力增大，并且能调节由于上述挠曲振动导致的(张)应力的分布。板的材料没有特别限制。然而，为了减少振动器的振动损失，可使用金属材料，比如钢合金或铜合金。
第六实施例
参照图7B-1和图7B-2，将描述本发明的第六实施例。在本实施例中，当具有国际公开No.WO2008/056528A1所述的突起的形状时，突起的转换部分延伸至振动板和压电元件之间的结合表面下方的水平。因此，在本实施例中，在压电元件中形成凹陷以使得压电元件不接触转换部分。如果板元件121如在第五实施例中那样布置于振动体和压电元件之间，则可在板元件121中形成所述凹陷。
第七实施例
参照图8，将描述本发明的第七实施例。在本实施例中，缝隙815、816和817沿振动板801的纵向延伸。缝隙816和817的端部与振动板801在宽度方向上的端面齐平。因而，突起在滑动件被驱动的方向(X方向)上的刚性能独立地设置以使之高于突起在与滑动件被驱动的方向垂直的方向(Z方向)上的刚性。
第八实施例
参照图9A和图9B，将描述本发明的第八实施例。在本实施例中，振动体由耐磨损的不锈钢材料，比如SUS420J2或SUS440C制成。准备具有长度L4的板，长度L4大于振动体101(在纵向上)的长度L5。如图9A所示，切口部分151至154形成于突起109和110将形成于其中的区域的两侧上。切口部分151至154通过蚀刻或通过冲压形成，并且然后突起109和110通过弯曲形成。图9B示出振动体在这种机加工完成之后的形状。切口部分151至154的一些部分变成每个具有较小宽度的缝隙114至117。通过这样弯曲形成突起，突起109和110在机加工之前和之后的厚度基本上不会改变。因此，突起的形状与在使用了要求板具有高拉伸性能的机加工方法(比如拉拔或锻造)的情况相比更少地受限。
第九实施例
参照图12至图13B，将描述本发明的第九实施例。第九实施例与其它实施例的不同之处在于，振动器制成为执行竖向振动(伸展-收缩振动)和弯曲振动(挠曲振动)并且椭圆运动通过组合这些振动而产生。将描述产生这种模式的方法。压电元件7如图12所示布置于振动体上。当左侧压电元件的相位(相位A)和右侧压电元件的相位(相位B)相同并且交流电压施加至这些压电元件时，激发图13A示出的第一级共振。另一方面，当相位A和相位B彼此相反时，激发图13B示出的第二级共振挠曲振动。当相位A和相位B彼此相移90度时，在振动体的表面上的几个位置处激发椭圆振动。通过在产生椭圆运动的位置处形成突起，能沿一个方向驱动与这些突起压接触的滑动件。对于上述振动模式，通过提供具有第一至第八实施例中所述形状的振动体，例如，包括如图14所示的突起的振动体101能由一个构件一体地形成。弹性主体可布置于集成有突起的振动体和压电元件之间。利用这种结构，振动体能由于弹性主体而位移较大距离，即使位移距离由于振动体中的缝隙部分的存在而减小至一定程度。通过由热膨胀系数大于压电元件和振动体的热膨胀系数的材料制成弹性主体，能降低压电元件和振动体之间的应力-应变。
虽然已经参照示例性实施例描述了本发明，将理解到本发明不限于所公开的示例性实施例。以下权利要求的范围将遵循最宽泛的解释以包含所有这类变型和等同结构以及功能。

Claims (9)

1.一种振动波驱动装置，包括：
振动器，其包括：
振动体，具有弹簧特性的突起形成于该振动体上，以及
机电能量转换元件，
其中所述振动器执行椭圆运动以驱动与所述突起相接触的物体，
其中所述突起在振动体相对于纵向和宽度方向的局部区域中与振动体一体地由一个构件形成；
其中多个缝隙从所述突起延伸到振动体的端部；
其中所述突起通过弯曲所述构件的一部分形成，所述一部分位于所述缝隙之间；
其中在弯曲之后所述多个缝隙的宽度小于在弯曲之前所述多个缝隙的宽度；
其中所述突起包括接触部分和转换部分，所述接触部分具有接触所述物体的接触表面，并且
其中所述转换部分布置于振动体的表面与接触部分的接触所述物体的所述接触表面之间，振动体的所述表面与振动体的上面形成有突起的表面相反。
2.一种振动波驱动装置，包括：
振动器，其包括：
振动体，具有弹簧特性的突起形成于该振动体上，以及
机电能量转换元件，
其中所述振动器执行椭圆运动以驱动与所述突起相接触的物体，
其中所述突起在振动体相对于纵向和宽度方向的局部区域中与振动体一体地由一个构件形成；
其中多个缝隙从所述突起延伸到振动体的端部；
其中所述突起通过弯曲所述构件的一部分形成，所述一部分位于所述缝隙之间；
其中在弯曲之后所述多个缝隙的宽度小于在弯曲之前所述多个缝隙的宽度；
其中所述突起包括接触部分和转换部分，所述接触部分具有接触所述物体的接触表面，并且
其中所述转换部分包括与所述接触部分相连续的向下凸出部分以及与该向下凸出部分相连续的向上凸出部分。
3.根据权利要求2的装置，
其中所述转换部分的一部分的挠曲刚性低于形成振动体的所述构件的基部的挠曲刚性。
4.根据权利要求3的装置，
其中所述转换部分的一部分具有较小厚度或较小宽度，或者在转换部分的一部分中形成孔。
5.根据权利要求1至4中的任何一个的装置，
其中形成振动体的所述构件的基部的厚度是不均匀的。
6.根据权利要求5的装置，
其中所述突起形成于所述基部的具有较小厚度的一部分中。
7.根据权利要求1至4中的任何一个的装置，
其中振动器包括布置于所述振动体和机电能量转换元件之间的板构件。
8.根据权利要求5的装置，
其中振动器包括布置于所述振动体和机电能量转换元件之间的板构件。
9.根据权利要求6的装置，
其中振动器包括布置于所述振动体和机电能量转换元件之间的板构件。
CN201110062904.3A 2010-03-16 2011-03-16 振动波驱动装置及其振动体的制造方法 Expired - Fee Related CN102195517B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010058779 2010-03-16
JP2010-058779 2010-03-16
JP2011007695A JP5979817B2 (ja) 2010-03-16 2011-01-18 振動波駆動装置
JP2011-007695 2011-01-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102195517A CN102195517A (zh) 2011-09-21
CN102195517B true CN102195517B (zh) 2016-01-13

Family

ID=44603039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110062904.3A Expired - Fee Related CN102195517B (zh) 2010-03-16 2011-03-16 振动波驱动装置及其振动体的制造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20110227453A1 (zh)
JP (1) JP5979817B2 (zh)
CN (1) CN102195517B (zh)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5627258B2 (ja) * 2010-03-23 2014-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよびその製造方法
JP5930595B2 (ja) * 2010-04-06 2016-06-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、振動子及び振動子の製造方法
JP5909624B2 (ja) * 2010-08-04 2016-04-27 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 駆動装置
JP5791339B2 (ja) * 2011-04-13 2015-10-07 キヤノン株式会社 円環型振動波アクチュエータ
JP5818500B2 (ja) * 2011-04-26 2015-11-18 キヤノン株式会社 振動波駆動装置とその振動体の製造方法
JP6128868B2 (ja) * 2012-02-23 2017-05-17 キヤノン株式会社 振動型駆動装置及び撮像装置
EP3386091B1 (en) * 2017-04-03 2019-07-10 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. Kg Piezoelectric vibrator device and piezoelectric motor
EP3676947A4 (en) * 2017-09-01 2021-06-02 Piezomotor Uppsala AB ELECTROMECHANICAL STATOR, MOTOR AND METHOD OF DRIVING AN ELECTROMECHANICAL MOTOR
JP6393383B2 (ja) * 2017-09-28 2018-09-19 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP6852033B2 (ja) * 2018-10-03 2021-03-31 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及び装置
JP7110060B2 (ja) * 2018-10-24 2022-08-01 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、接触体及びその製造方法
JP7313909B2 (ja) * 2019-05-30 2023-07-25 キヤノン株式会社 振動波モータおよび電子機器。

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5049775A (en) * 1988-09-30 1991-09-17 Boston University Integrated micromechanical piezoelectric motor
US5463265A (en) * 1991-05-08 1995-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven motor
JP3450524B2 (ja) * 1994-08-04 2003-09-29 キヤノン株式会社 振動アクチュエータ
CN1534857A (zh) * 2003-03-28 2004-10-06 ������������ʽ���� 振动式驱动装置，其控制设备以及具有上述二者的电子设备
CN1943101A (zh) * 2004-06-09 2007-04-04 佳能株式会社 振动波驱动设备和振动器
CN101449454A (zh) * 2006-11-08 2009-06-03 佳能株式会社 振动型致动器
CN101490945A (zh) * 2006-07-14 2009-07-22 阿尔卑斯电气株式会社 压电促动器的驱动限制构造及具有该构造的透镜驱动装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63220777A (ja) * 1987-03-09 1988-09-14 Marcon Electronics Co Ltd 超音波モ−タ
JPH1141957A (ja) * 1997-07-24 1999-02-12 Asmo Co Ltd 超音波モータのステータ及び振動板
KR100817470B1 (ko) * 2006-10-24 2008-03-31 한국과학기술연구원 압전 선형 모터
JP5153184B2 (ja) * 2007-03-30 2013-02-27 キヤノン株式会社 振動波駆動装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5049775A (en) * 1988-09-30 1991-09-17 Boston University Integrated micromechanical piezoelectric motor
US5463265A (en) * 1991-05-08 1995-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven motor
JP3450524B2 (ja) * 1994-08-04 2003-09-29 キヤノン株式会社 振動アクチュエータ
CN1534857A (zh) * 2003-03-28 2004-10-06 ������������ʽ���� 振动式驱动装置，其控制设备以及具有上述二者的电子设备
CN1943101A (zh) * 2004-06-09 2007-04-04 佳能株式会社 振动波驱动设备和振动器
CN101490945A (zh) * 2006-07-14 2009-07-22 阿尔卑斯电气株式会社 压电促动器的驱动限制构造及具有该构造的透镜驱动装置
CN101449454A (zh) * 2006-11-08 2009-06-03 佳能株式会社 振动型致动器

Also Published As

Publication number Publication date
US20110227453A1 (en) 2011-09-22
JP2011217595A (ja) 2011-10-27
JP5979817B2 (ja) 2016-08-31
CN102195517A (zh) 2011-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102195517B (zh) 振动波驱动装置及其振动体的制造方法
US7183690B2 (en) Resonance shifting
US7952258B2 (en) Vibration-type actuator
CN101019301B (zh) 驱动单元
US6690101B2 (en) Vibratory motors and methods of making and using same
US8013496B2 (en) Piezo electric linear motor
US8434659B2 (en) Bonding device, ultrasonic transducer, and bonding method
CN100492693C (zh) 振动马达及其制造和使用方法
CN103095172A (zh) 压电电机
EP1620939B1 (en) Near-resonance wide-range operating electromechanical motor
CN102195515B (zh) 振动型驱动设备中的振动器及其制造方法
CN111373649A (zh) 超声谐振马达
CN1238961C (zh) 采用复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达
US8525388B2 (en) Vibration wave driving apparatus and manufacturing method of vibration body
JP2574577B2 (ja) リニア型アクチュエータ
CN101162875B (zh) 细直径活塞式压电直线电机
JP5740397B2 (ja) 電気機械式モーター
JP2007325366A (ja) 圧電アクチュエータ
KR101264259B1 (ko) 메탈 세라믹 진동자의 접합치구 정렬장치 및 방법
JP2012115038A (ja) 振動型駆動装置における振動体とその製造方法
Liu et al. P3M-2 Dynamic Analysis and Optimal Design of a Novel Small 2-D Planar Ultrasonic Motor
JPH02151283A (ja) 超音波リニアモータ
JPH11215862A (ja) 振動アクチュエータ及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160113

Termination date: 20200316

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee