JP5818500B2 - 振動波駆動装置とその振動体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、振動波駆動装置とその振動体の製造方法に関し、特に、リニア型超音波モータの構成品である振動体と振動体の製造方法に関する。

被駆動物を直線状に駆動するリニア型超音波モータとして、従来において特許文献１のような振動波駆動装置（リニア型超音波モータ）が提案されている。
このようなリニア型超音波モータの駆動原理について、図７を用いて説明する。図７（ａ）のリニア型超音波モータの外観斜視図に示されるように、リニア型超音波モータ５１０は、振動子５０１とスライダ５０６および振動子をスライダに加圧するための加圧部材（不図示）から構成されている。
振動子５０１は、圧電素子等に代表される電気−機械エネルギー変換素子５０５と、前記電気−機械エネルギー変換素子５０５の片面に接合されて一体化される振動体から構成される。
振動体は、矩形状に形成された基部５０２と、この基部の上面に対して凸状に形成された２つの突起部５０３、５０４とを有している。

超音波モータにおいては、圧電素子に特定の周波数の電圧を印加することで、所望の振動モードを複数励振し、これら振動モードを重ね合わせることにより、駆動するための振動を形成する。
図７（ａ）のモータでは、図７（ｂ−１）、（ｂ−２）に示す２つの曲げ振動モードを振動子５０１に励振させる。
この２つの曲げ振動モードはどちらも、板状の振動子５０１の面外方向の曲げ振動モードである。一方の振動モードは、振動子５０１の長手方向に２次の曲げ振動モード（Ｍｏｄｅ−Ａ）であり、他方の振動モードは、振動子５０１の幅方向に１次の曲げ振動モード（Ｍｏｄｅ−Ｂ）である。
振動子５０１の形状は、２つの振動モードの共振周波数が一致するか、近くなるように設計される。
突起部５０３、５０４は、Ｍｏｄｅ−Ａの振動において振動の節となる位置の近傍に配置されており、Ｍｏｄｅ−Ａの振動によって、突起部先端面５０３−１、５０４−１は振動の節を支点として振り子運動をするため、Ｘ方向に往復運動する。
また、突起部５０３、５０４は、Ｍｏｄｅ−Ｂの振動において振動の腹となる位置の近傍に配置されており、Ｍｏｄｅ−Ｂの振動によって、突起部先端面５０３−１、５０４−１はＺ方向に往復運動する。

これら２つの振動モード（Ｍｏｄｅ−ＡとＭｏｄｅ−Ｂ）の振動位相差が±π／２近傍となるように同時に励振し、重ね合わせることで、突起部先端面５０３−１、５０４−１には、ＸＺ面内の楕円運動が生成される。
この楕円運動により、加圧接触されたスライダ５０６を一方向に駆動することが出来る。
このとき、振動子５０１の突起部５０３、５０４とスライダ５０６とは、振動子５０１の駆動周波数（数十ｋＨｚ以上）で断続接触を繰返すことになるため、一方が適切なばね特性を有していないと、良好な接触状態が得られない。
一方、突起部５０３、５０４には前述したように、Ｘ方向の振動を増幅する機能も有している。

このようなことから、これら２つの機能を満足させるため、特許文献１の振動子の構成にする場合は、文献には示されていないがスライダ側にバネ性を持たせることで静寂な駆動をさせる。
また、特許文献２では、図８に示されるように、突起部５０３、５０４にばね性を持たせ、かつ突起部５０３、５０４を適切な形状にすることで、静寂な駆動を実現する振動アクチュエータが提案されている。

特開２００４−３０４８８７号公報 特開２００８−１２５１４７号公報

しかしながら、特許文献２の振動アクチュエータの構成では以下に述べるようにモータの高速化に限界がある。
送り方向（Ｘ方向）の振動振幅を拡大させる方法の１つとして突起部の高さを高くすることが挙げられる。
しかし、特許文献２の振動子６０１において突起部の高さを高くすると送り方向の突起部の剛性が低くなり駆動効率が落ちると共に、上記Ｍｏｄｅ−Ｂである突上げモードにおいて突起部先端の振動角度を所望の値にする上で、必ずしも満足の得られないこととなる。その結果、Ｚ方向の不要振幅が生じスライダとの接触が不安定になる。
一方、特許文献１の振動子では、突起高さを高くすると高速化を実現することが出来るものの、製造上におけるコストの点で課題を有している。

本発明は、上記課題に鑑み、低コストで製造することができ、高速化を図ることが可能となる振動波駆動装置とその振動体の製造方法の提供を目的とするものである。

本発明の振動波駆動装置は、少なくとも、振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、
前記振動体が、基部と、バネ性を有する突起部を備え、前記突起部の運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成され、
前記突起部は、
前記基部に対して面外方向に伸びる、前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された２つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された２つの壁部と、
前記それぞれの各壁部の間を連結して形成された前記被駆動体との接触面を備えた接触部と、
によって構成され、
前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された２つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された２つの壁部のうち、隣接している壁部同士の間には隙間があることを特徴とする。
また、本発明の振動波駆動装置における振動体の製造方法は、少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置における振動体の製造方法であって、
前記突起部と前記振動体とを一体的に形成するための一つの部材を用意し、前記部材の一部の領域に複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、
前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部で、前記駆動方向と直交した方向に平行な２つの壁部と前記駆動方向と平行に２つの壁部を有した前記突起部を、曲げ加工又は絞り加工を用いて形成する工程と、
を有することを特徴とする。

本発明によれば、低コストで製造することができ、高速化を図ることが可能となる振動波駆動装置とその振動体の製造方法を実現することができる。

本発明の実施例１におけるリニア型超音波モータを説明する斜視図である。 本発明の実施例２における振動体を説明する図である。 本発明の実施例３における（ａ）振動体と（ｂ）突起部成形前の振動体の図である。 本発明の実施例３における（ａ）振動体と（ｂ）突起部成形前の振動体の図である。 本発明の実施例３における支持部を有する振動体を説明する図である。 （ａ）は本発明の実施例１における振動体の突上げモード図である。（ｂ）は突起接触部と突起接触部下の圧電素子の位相が反対となる振動体の突上げモード図である。 従来例であるリニア型超音波モータを説明する図であり、（ａ）は特許文献１のリニア型超音波モータの外観斜視図、（ｂ−１）、（ｂ−２）はその振動子に励振される振動モードを示す図である。 従来例である特許文献２に記載のリニア型超音波モータの（ａ）振動子の斜視図、（ｂ）突起部拡大図と（ｃ）突起部の断面図である。

本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。

［実施例１］
実施例１として、本発明の振動波駆動装置の構成について説明する。
本実施例の振動波駆動装置は、少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成される。
具体的には図１に示されるように、本実施例の振動子１１１は、矩形の薄板状に形成された圧電素子１０７と、この圧電素子１０７の一端面に接合されて一体化される振動体１０１とにより構成されている。
振動体１０１には、スライダ（不図示）と接触する２つの突起部１０９、１１０が設けられており、この突起部１０９、１１０を介してスライダと振動体１０１とが加圧接触している。圧電素子１０７に交流電界を印加すると、振動子１１１に２つの曲げ振動モードが励振され、突起部１０９、１１０の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部１０９、１１０と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、Ｘ方向（送り方向）に駆動される。

ここで、振動体の構成について説明する。
振動体は、基部と突起部とによって形成される。そして、この突起部は基部に対して面外方向に伸びる上記被駆動体の駆動方向と直交した平行な方向に形成された２つの壁部及び上記被駆動体の駆動方向と平行な方向に形成された２つの壁部とを備える。
また、これらそれぞれの各壁部の間を連結して形成された上記被駆動体との接触面を有する接触部を備える。
具体的には、振動体１０１は、基部１０２と突起部１０９、１１０からなる。
これらの突起部１０９、１１０は、従来の技術で示した図７（ｂ−１）と同様の２次の曲げモード（送りモード）の節部近傍に形成されている。
突起部１０９、１１０は、４つの壁部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄと接触部１６と固定部１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄからなる。
接触部１６は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。壁部１４ａ、１４ｂは同一のＺＹ面内にある。つまり突起部１０９、１１０は送り方向（Ｘ方向）と直交した方向（Ｙ方向）に平行な２つの付け根を有する。
接触部１６を高い位置に形成すればするほど、Ｘ方向の剛性が低下し、駆動力を十分に伝えることができない。そこで、Ｘ方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部１４ａ、１４ｂのＸ方向の幅の大きさを決定する。

壁部１４ｃ、１４ｄは壁部１４ａ、１４ｂと直交した方向に形成している。図６（ｂ）は本実施例の形態から壁部１４ｃ、１４ｄを除いた振動体と圧電素子が接着された状態でＦＥＭ解析を行った結果であるが、壁部１４ａ、１４ｂのみでは、突上げモード（図７に示すＭｏｄｅ−Ｂ）を励振した際、接触部１６下の圧電素子のＺ方向の変位方向と反対方向に接触部１６が変位し、安定した駆動をさせることが出来ない。

図６（ａ）は本実施例の形態の振動体１０１と圧電素子１０７が接着された状態でＦＥＭ解析を行った結果の突上げモード図であるが、壁部１４ｃ、１４ｄを設け、接触部１６を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部１６下の圧電素子１０７のＺ方向の変位方向と同じ方向に接触部１６が変位し安定した駆動をさせることが出来る。
また、壁部１４ｃ、１４ｄを設けることで、Ｘ方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。

図１に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子１１１とスライダは良好な接触状態を実現できる。
また、高速化のために突起部１０９、１１０の高さを高くしても突起部１０９、１１０は壁部１４ａ、１４ｂによりスライダの駆動方向であるＸ方向の剛性が確保されているため、振動子１１１の駆動力を効率良くスライダに伝達することが出来る。
また、図７に示す剛体の突起部５０３−１、５０４−１が設けられている振動体５０１と比較し、本実施例の振動体１０１では突起部１０９、１１０がバネ性を有する構造に構成される。
更に、突起部１０９、１１０は、上記それぞれの各壁部を含む接触部１６と基部１０２の間に空間を有する構造に構成される。
一般に、振動体１０１の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。

つぎに、本実施例の振動波駆動装置における振動体１０１の製造方法の例を以下に説明する。
本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いＳＵＳ４２０Ｊ２やＳＵＳ４４０Ｃなどを用いている。
突起部１０９、１１０は板材からプレス加工等により別体で成形する。基部１０２は平板を用いる。
突起部１０９、１１０を基部１０２に位置決めした後、突起部１０９、１１０と基部１０２の接触している固定部１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄをレーザー溶接や接着等で接合することにより、振動体１０１を製作する。
以上の本実施例の構成によれば、突起部が送り方向と平行な方向に２つの壁部を有し、また送り方向と垂直な方向に２つの壁部を有することで、突起部を高くしても突上げモードの際、突起部の接触部を圧電素子と同じ方向に変位させることができる。
これにより、スライダと安定接触することができ、モータの高速化が可能となる。

［実施例２］
図２を用いて、本発明における実施例２の構成例について説明する。振動体２０１には、スライダ（不図示）と接触する２つの突起部２０９、２１０が設けられており、この突起部２０９、２１０を介してスライダと振動体２０１とが加圧接触している。圧電素子（不図示）は、実施例１と同様に振動体２０１の突起部２０９、２１０とは反対側の面に接着されている。
圧電素子に交流電界を印加すると、振動子に２つの曲げ振動モードが励振され、突起部２０９、２１０の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部２０９、２１０と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、Ｘ方向（送り方向）に駆動される。

本実施例においては、突起部と電気−機械エネルギ変換素子に挟まれた基部の一部の領域には貫通穴が設けられている。
そして振動体２０１は、このような貫通穴２１が設けられた平板状の基部２０２と、突起部２０９、２１０とからなる。
これらの突起部２０９、２１０は、従来の技術で示した図７（ｂ−１）と同様の２次の曲げモード（送りモード）の節部近傍に形成されている。
ここで、突起部２０９、２１０は、４つの壁部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄと接触部２６とからなる。接触部２６は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。壁部２４ａ、２４ｂは同一のＺＹ面内にある。つまり突起部２０９、２１０は送り方向（Ｘ方向）と直交した方向（Ｙ方向）に平行な２つの付け根を有する。本実施例においても実施例１と同様に、Ｘ方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部２４ａ、２４ｂのＸ方向の幅の大きさを決定する。

壁部２４ｃ、２４ｄは壁部２４ ａ、２４ｂと直交した方向に形成している。実施例１と同様に、壁部２４ａ、２４ｂのみでは、上記突上げモードを励振した際、接触部２６下の圧電素子のＺ方向の変位方向と反対方向に接触部２６が変位し安定した駆動をさせることが出来ない。
壁部２４ｃ、２４ｄを設け接触部２６を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部２６下の圧電素子のＺ方向の変位方向と同じ方向に接触部２６が変位し安定した駆動をさせることが出来る。
壁部２４ｃ、２４ｄを設けることで、Ｘ方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。

図２に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子とスライダは良好な接触状態を実現できる。
また、図７に示す剛体の突起部５０３−１、５０４−１が設けられている振動体５０１と比較し、本実施例の振動体２０１では突起部２０９、２１０がバネ性を有する構造に構成される。
更に、突起部２０９、２１０は、上記それぞれの各壁部を含む接触部２６と圧電素子の間に空間を有する構造に構成される。
一般に、振動体の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。

つぎに、本実施例の振動波駆動装置における振動体２０１の製造方法の例を以下に説明する。
本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いＳＵＳ４２０Ｊ２やＳＵＳ４４０Ｃなどを用いている。
突起部２０９、２１０と基部２０２は平板部材から一体的に成形する。突起部２０９、２１０は、平板から絞り加工により成形する。

［実施例３］
図３、図４を用いて、本発明における実施例３の構成例について説明する。
振動体３０１には、スライダ（不図示）と接触する２つの突起部３０９、３１０が設けられており、この突起部３０９、３１０を介してスライダと振動体３０１とが加圧接触している。圧電素子（不図示）は、実施例１と同様に振動体３０１の突起部３０９、３１０とは反対側の面に接着されている。
圧電素子に交流電界を印加すると、振動子に２つの曲げ振動モードが励振され、突起部３０９、３１０の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部３０９、３１０と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、Ｘ方向（送り方向）に駆動される。
振動体３０１は、複数に分断された平板状の基部３０２と突起部３０９、３１０からなる。つまり、振動体３０１の接触部３６下には貫通穴３１があり、突起部３０９、３１０を取り除いた時に基部３０２が複数に分かれるように複数の切り欠き部３２が設けられている。切り欠き部３２によりＸ方向と平行な基部の端部が分離し、Ｙ方向と平行な基部の端部に切り欠き部は存在しない。
これらの突起部３０９、３１０は、従来の技術で示した図７（ｂ−１）と同様の２次の曲げモード（送りモード）の節部近傍に形成されている。突起部３０９、３１０は、４つの壁部３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄと接触部３６とからなる。接触部３６は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。

壁部３４ａ、３４ｂは同一のＺＹ面内にある。つまり突起部３０９、３１０は送り方向（Ｘ方向）と直交した方向（Ｙ方向）に平行な２つの付け根を有する。本実施例においても実施例１と同様に、Ｘ方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部３４ ａ、３４ｂのＸ方向の幅の大きさを決定する。
壁部３４ｃ、３４ｄは壁部３４ａ、３４ｂと直交した方向に形成している。実施例１と同様に、壁部３４ａ、３４ｂのみでは、上記した突上げモードを励振した際、接触部３６下の圧電素子のＺ方向の変位方向と反対方向に接触部３６が変位し安定した駆動をさせることが出来ない。
壁部３４ｃ、３４ｄを設け接触部３６を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部３６下の圧電素子のＺ方向の変位方向と同じ方向に接触部３６が変位し安定した駆動をさせることが出来る。壁部３４ｃ、３４ｄを設けることで、Ｘ方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。

また、図７に示す剛体の突起部５０３−１、５０４−１が設けられている振動体５０１と比較し、本実施例の振動体３０１では突起部３０９、３１０がバネ性を有する構造に構成される。
更に、突起部３０９、３１０は、上記それぞれの各壁部を含む接触部３６と圧電素子の間に空間を有する構造に構成される。
一般に、振動体の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。図２に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子とスライダは良好な接触状態を実現できる。

つぎに、本実施例の振動波駆動装置における図３（ａ）に示す振動体３０１の製造方法の例を以下に説明する。
本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いＳＵＳ４２０Ｊ２やＳＵＳ４４０Ｃなどを用いている。
作製する振動体３０１の全長よりも寸法が大きな平板を用意し、図３（ｂ）に示すように、切り欠き部やスリットを設け、同一の突起部の各壁部に隣接する基部がお互いに接しないようにする。
前記切り欠き部の加工は、エッチングやプレス加工による打抜き等により行い、その後、突起曲げ部３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを曲げ加工することにより突起部３０９、３１０を平板から一体で成型する。加工後の形状は図３（ａ）となり、切欠き部の一部は幅の狭いスリットとなる。
このように、スリット又は切り欠きに挟まれた部分である基部の一部を曲げ加工で突起部３０９、３１０を成形することで、加工前と加工後の突起部３０９、３１０の板厚をほぼ変えることなく加工が可能となる。
その結果、板の高い伸び率が求められる絞出し加工や鍛造等と違い、作製できる突起部３０９、３１０の高さや形状の制約が少なくなる。また絞り加工と比べ突起部の板厚の減少が少なく剛性の大きい壁部３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄを成型することが出来る。
振動子を支持するために振動体に支持部を一体で設ける場合は、振動体の振動を抑制しないように支持部を振動の節近傍に設ける。従来例の図７のモード図に示されるように、送りモードの振動の節は振動体のＸＺ面に平行な各端部に３か所、突上げモードの振動の節は振動体のＹＺ面に平行な各端部に２か所ある。振動体から支持部の腕部を延出する位置は送りモードの振動の節でも突上げモードの振動の節でもよい。振動体と支持部の固定部をつなぐ腕部は１つでも２つでもよい。

図３（ａ）に示す形状で、支持部３０３の腕部３９を振動体３０１の相対する２つの端部から各２本延出させる場合は、ＹＺ面に平行な振動体３０１の端部にある突上モードにおける振動の節近傍から支持部３０３の腕部３９を図５（ａ）に示すように延出する。これにより、支持部３０３の２つの腕部３９間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部３０３の一部が湾曲することを回避出来る。この時、Ｙ方向に関して振動子の小型化が実現でき、Ｙ方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。
支持部３０３の腕部３９を振動体３０１の各端部から１本延出させる場合は、送りモードにおいて振動の節近傍に位置する、ＸＺ面に平行な振動体３０１の端部の中央から支持部３０３の腕部３９を延出することができる。これにより、支持部３０３の２つの腕部３９間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部３０３の一部が湾曲することを回避出来る。この時、Ｘ方向に関して振動子の小型化が実現でき、Ｘ方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。

次に本実施例の別の形態を説明する。
図４（ａ）に示す振動体形状は、本実施例で示した図３（ａ）とは、基部３０２に設けられる複数の切り欠き部３２の位置が異なり、切り欠き部３２によりＹＺ面に平行な基部３０２の端部が分離し、ＸＺ面に平行な基部３０２の端部に切り欠き部はない。図４（ａ）に示す振動体形状は、図４（ｂ）に示す形状から、前述した方法と同様に加工出来る。

図４（ａ）に示す形状で、支持部３０３の腕部３９を振動体３０１の各端部から２本延出させる場合は、ＸＺ面に平行な振動体３０１の端部に位置する送りモードにおける３つの振動の節のうち、中央を除いた２つの節近傍から図５（ｂ）に示すように支持部３０３の腕部３９を延出する。これにより、支持部３０３の２つの腕部３９間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部３０３の一部が湾曲することを回避出来る。この時、Ｘ方向に関して振動子の小型化が実現でき、Ｘ方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。
支持部３０３の腕部３９を振動体３０１の各端部から１本延出させる場合は、送りモードにおいて振動の節近傍に位置する、ＸＺ面に平行な振動体３０１の端部の中央から支持部の腕部３９を延出する。この時、Ｘ方向に関して振動子の小型化が実現でき、Ｘ方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。

１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ：固定部
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ：壁部
１６：接触部
１０１：振動体
１０２：基部
１０７：圧電素子
１０９、１１０：突起部
１１１：振動子

Claims (9)

1. 少なくとも、振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、
   前記振動体が、基部と、バネ性を有する突起部を備え、
   前記突起部の運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成され、
   前記突起部は、
   前記基部に対して面外方向に伸びる、前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された２つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された２つの壁部と、
   前記それぞれの各壁部の間を連結して形成された前記被駆動体との接触面を備えた接触部と、
   によって構成され、
   前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された２つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された２つの壁部のうち、隣接している壁部同士の間には隙間があることを特徴とする振動波駆動装置。
2. 前記突起部は、前記壁部、及び前記接触部に囲まれた空間を有する中空構造に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
3. 前記突起部と前記電気−機械エネルギ変換素子に挟まれた前記基部の一部の領域に、貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
4. 前記突起部が、該基部を構成する一つの部材から一体的に形成され、
   前記基部は、複数のスリット又は切り欠きを有し、
   前記それぞれの各壁部に隣接する前記基部がお互いに接することなく構成されていることを特徴とする請求項１または３に記載の振動波駆動装置。
5. 前記突起部の運動は、楕円運動であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
6. 前記突起部の運動は、前記振動体に励起される２つの曲げ振動によるものであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
7. 前記２つの曲げ振動は、前記電気−機械エネルギ変換素子に電圧が印加されることで励起されることを特徴とする請求項６に記載の振動型駆動装置。
8. 少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置における振動体の製造方法であって、
   前記突起部と前記振動体とを一体的に形成するための一つの部材を用意し、前記部材の一部の領域に複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、
   前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部で、前記駆動方向と直交した方向に平行な２つの壁部と前記駆動方向と平行に２つの壁部を有した前記突起部を、曲げ加工又は絞り加工を用いて形成する工程と、
   を有することを特徴とする振動体の製造方法。
9. 前記被駆動体は、前記振動子の突起部の楕円運動によって駆動されることを特徴とする請求項８に記載の振動体の製造方法。

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