JP3205026B2 - 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 - Google Patents
振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置Info
- Publication number
- JP3205026B2 JP3205026B2 JP01514792A JP1514792A JP3205026B2 JP 3205026 B2 JP3205026 B2 JP 3205026B2 JP 01514792 A JP01514792 A JP 01514792A JP 1514792 A JP1514792 A JP 1514792A JP 3205026 B2 JP3205026 B2 JP 3205026B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- vibrator
- vibration wave
- wave driving
- driving device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、振動発生用素子と、該
素子からの振動を受けて振動する振動子に発生させた振
動によって、該振動子に圧接した接触体を相対的に移動
させる振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装
置に係り、特に摺動面近傍の構造に関するものである。
素子からの振動を受けて振動する振動子に発生させた振
動によって、該振動子に圧接した接触体を相対的に移動
させる振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装
置に係り、特に摺動面近傍の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】振動波駆動装置としての超音波モータ、
特に棒形状に形成された超音波モータは、棒又はペンシ
ル形状に形成された振動子と、該振動子の駆動面に加圧
接触する接触体(移動体)とが同軸的に配置され、振動
子の圧電素子に交流電圧を印加することにより励起され
る屈曲振動の合成により、振動子の駆動面における表面
粒子に、円又は楕円運動を生じさせ、これにより接触体
を摩擦駆動する。
特に棒形状に形成された超音波モータは、棒又はペンシ
ル形状に形成された振動子と、該振動子の駆動面に加圧
接触する接触体(移動体)とが同軸的に配置され、振動
子の圧電素子に交流電圧を印加することにより励起され
る屈曲振動の合成により、振動子の駆動面における表面
粒子に、円又は楕円運動を生じさせ、これにより接触体
を摩擦駆動する。
【0003】図6は従来の棒状超音波モータの概略断面
図を示し、1は駆動用の圧電素子8,8等を振動子構造
体1a,1b間に挟持固定した振動子、2は不図示のバ
ネ手段により振動子構造体1aの駆動面に加圧接触して
いる移動体である。
図を示し、1は駆動用の圧電素子8,8等を振動子構造
体1a,1b間に挟持固定した振動子、2は不図示のバ
ネ手段により振動子構造体1aの駆動面に加圧接触して
いる移動体である。
【0004】移動体側の摩擦摺動材としてアルマイトを
使用していながら、その摩擦摺動面の全面が振動子側の
摩擦摺動面に接触する。
使用していながら、その摩擦摺動面の全面が振動子側の
摩擦摺動面に接触する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例ではモータが駆動することによって、移動体側の接
触摺動面の少なくとも1つの稜線が、振動子側の摩擦摺
動面に強く当たる様になる。これは次の理由による。移
動体側の接触摺動部は、振動子側の接触摺動部の変位に
よって力を受けるわけであるが、この振動子の変位の方
向は、接触面に対して垂直ではなく、傾いている。又、
移動体側接触部のフランジ状ばね構造も接触面が傾くよ
うに変形する。従って、移動体の摩擦摺動面は振動子側
の摩擦摺動面とある角度をもって接触する様になる。
来例ではモータが駆動することによって、移動体側の接
触摺動面の少なくとも1つの稜線が、振動子側の摩擦摺
動面に強く当たる様になる。これは次の理由による。移
動体側の接触摺動部は、振動子側の接触摺動部の変位に
よって力を受けるわけであるが、この振動子の変位の方
向は、接触面に対して垂直ではなく、傾いている。又、
移動体側接触部のフランジ状ばね構造も接触面が傾くよ
うに変形する。従って、移動体の摩擦摺動面は振動子側
の摩擦摺動面とある角度をもって接触する様になる。
【0006】つまり、無機物であるアルマイトで形成し
た移動体側の摩擦摺動面のぜい弱な稜線が、強く振動子
側の摩擦摺動面に当たる様になるのである。
た移動体側の摩擦摺動面のぜい弱な稜線が、強く振動子
側の摩擦摺動面に当たる様になるのである。
【0007】それにより、アルマイトの稜線に欠けが入
り、そして、一度欠けが入いると次々にその欠けが進行
するため、振動子側の変位をなめらかに移動体側に伝え
られなくなる。その結果起動トルクが大巾に低減した
り、欠けたアルマイト粉が研磨材のごとく作用し該移動
体の摩擦材が急激に摩耗してしまったり、あるいはセン
サー相の出力が不安定になりフィードバック制御が不能
になったりした。
り、そして、一度欠けが入いると次々にその欠けが進行
するため、振動子側の変位をなめらかに移動体側に伝え
られなくなる。その結果起動トルクが大巾に低減した
り、欠けたアルマイト粉が研磨材のごとく作用し該移動
体の摩擦材が急激に摩耗してしまったり、あるいはセン
サー相の出力が不安定になりフィードバック制御が不能
になったりした。
【0008】本出願に係る発明の目的は、上記した従来
の問題点を解決し、脆弱な摺動面の稜線が欠けることの
ない振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置
を提供しようとするものである。
の問題点を解決し、脆弱な摺動面の稜線が欠けることの
ない振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置
を提供しようとするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、電気−機
械エネルギー変換素子へ交番信号を印加することにより
振動を発生させる振動子と、前記振動子の摺動面に加圧
接触し、摩擦駆動される接触体とから構成される振動波
駆動装置において、前記振動子の摺動面には環状のアル
ミナ板が接合され、前記接触体の接触部は接触体本体部
からバネ性を有するように該本体部より幅狭く突出形成
されると共に、前記アルミナ板の内径側及び外径側の稜
線とは非接触となるように、前記アルミナ板より幅狭く
したことを特徴とする。
械エネルギー変換素子へ交番信号を印加することにより
振動を発生させる振動子と、前記振動子の摺動面に加圧
接触し、摩擦駆動される接触体とから構成される振動波
駆動装置において、前記振動子の摺動面には環状のアル
ミナ板が接合され、前記接触体の接触部は接触体本体部
からバネ性を有するように該本体部より幅狭く突出形成
されると共に、前記アルミナ板の内径側及び外径側の稜
線とは非接触となるように、前記アルミナ板より幅狭く
したことを特徴とする。
【0010】第2の発明は、上記の振動波駆動装置を駆
動源として有し、該振動波駆動装置の前記接触体により
駆動される出力部材を有することを特徴とする振動波駆
動装置を有する装置とするものである。
動源として有し、該振動波駆動装置の前記接触体により
駆動される出力部材を有することを特徴とする振動波駆
動装置を有する装置とするものである。
【0011】
【実施例】第1の前提例 図1は本発明の実施例ではないが前提となる振動波駆動
装置の第1の前提例を示し、図1の(a)は縦断面図、
(b)は摩擦接触部の拡大断面図を示している。
装置の第1の前提例を示し、図1の(a)は縦断面図、
(b)は摩擦接触部の拡大断面図を示している。
【0012】振動子1は、駆動用およびセンサ用圧電素
子8と電極板9を挟持する振動子構造体1aと1bとを
ボルト10により締結して構成されており、また振動子
構造体1bとボルト10とを電気的に絶縁するために、
絶縁シート11が介装されている。
子8と電極板9を挟持する振動子構造体1aと1bとを
ボルト10により締結して構成されており、また振動子
構造体1bとボルト10とを電気的に絶縁するために、
絶縁シート11が介装されている。
【0013】本前提例の振動子1は、振動子構造体1a
の頂面を駆動面とし、台形状に突設された環状の突起部
からなる摺動部30が形成されている。
の頂面を駆動面とし、台形状に突設された環状の突起部
からなる摺動部30が形成されている。
【0014】接触体としての移動体(ロータ)2は、円
環形状のロータ本環20から下方にバネ性を有する構造
体の接触部21が一体的に形成され、この接触部21の
図中下端面である摺動面が振動子1の摺動部30の図中
上面である摺動面に当接する。
環形状のロータ本環20から下方にバネ性を有する構造
体の接触部21が一体的に形成され、この接触部21の
図中下端面である摺動面が振動子1の摺動部30の図中
上面である摺動面に当接する。
【0015】6は加圧バネで、バネケース4を介してロ
ータ2に加圧力を付与する。3は外周部に歯車部が形成
されたギアで、ベアリング7により支承されると共に、
バネケース4と係合し、ロータ2と共に回転する。5は
ボルト10の先端部に軸方向にのみ移動可能に取付けら
れたフランジで、ベアリング7を固定しており、ギア3
と共に軸方向上方へ移動すると、ギア3とバネケース4
との係合を解除することができる。
ータ2に加圧力を付与する。3は外周部に歯車部が形成
されたギアで、ベアリング7により支承されると共に、
バネケース4と係合し、ロータ2と共に回転する。5は
ボルト10の先端部に軸方向にのみ移動可能に取付けら
れたフランジで、ベアリング7を固定しており、ギア3
と共に軸方向上方へ移動すると、ギア3とバネケース4
との係合を解除することができる。
【0016】移動体2は、表面に摩擦材からなる摩擦層
2aが形成されており、本実施例では厚さ30μmのア
ルマイトにより摩擦層2aを構成している。
2aが形成されており、本実施例では厚さ30μmのア
ルマイトにより摩擦層2aを構成している。
【0017】振動子1の振動子構造体の表面には、摩擦
材からなる摩擦層31が形成されており、本実施例では
厚さ35μmのKN−SiCメッキにより摩擦層31を
構成している。
材からなる摩擦層31が形成されており、本実施例では
厚さ35μmのKN−SiCメッキにより摩擦層31を
構成している。
【0018】以上のように構成した振動波駆動装置にお
いて、図中Bで示す領域が実際の接触摺動部であり、ロ
ータ2の接触部21の下端面(摺動面)における幅は、
該Bの幅よりも大きく形成され、接触部21の中央と摺
動部30の中央部とが略一致するように当接する。
いて、図中Bで示す領域が実際の接触摺動部であり、ロ
ータ2の接触部21の下端面(摺動面)における幅は、
該Bの幅よりも大きく形成され、接触部21の中央と摺
動部30の中央部とが略一致するように当接する。
【0019】したがって、ロータ2の摺動部21の摺動
面の外周側稜線(角部)2bは、振動子1の接触摺動面
の外周側稜線より直径が大きく、逆にロータ2の内周側
の稜線2cは、振動子1の接触摺動面の内周側稜線より
直径が小さい。
面の外周側稜線(角部)2bは、振動子1の接触摺動面
の外周側稜線より直径が大きく、逆にロータ2の内周側
の稜線2cは、振動子1の接触摺動面の内周側稜線より
直径が小さい。
【0020】すなわち、ロータ側の両稜線2b,2c
は、振動子側の接触摺動面30と接触することがない。
は、振動子側の接触摺動面30と接触することがない。
【0021】なお、本前提例の振動波駆動装置の全体の
外形寸法は、直径11mm、長さ25mmである。
外形寸法は、直径11mm、長さ25mmである。
【0022】第2の前提例 図2は本発明の実施例を示すものではないが前提となる
ロータ2の構成の一例を示す摩擦摺動部の拡大断面図で
ある。なお、図2(以下の図3、図4、図5も同じ)に
おいて、図中右側が外周側、左側が内周側とする。
ロータ2の構成の一例を示す摩擦摺動部の拡大断面図で
ある。なお、図2(以下の図3、図4、図5も同じ)に
おいて、図中右側が外周側、左側が内周側とする。
【0023】図2のロータ2の摺動部21の摺動面の外
周側稜線2bのみが、振動子1側の接触摺動面の外径よ
りも大きく、該摺動部21の摺動面の内周側稜線2cは
振動子の接触摺動面上に位置する。しかし、内周側稜線
2cは丸みを持たせた摩擦層2dを摺動部21の端面に
形成しているので、この稜線2cが直接、振動子の摺動
面上に接触することはない。
周側稜線2bのみが、振動子1側の接触摺動面の外径よ
りも大きく、該摺動部21の摺動面の内周側稜線2cは
振動子の接触摺動面上に位置する。しかし、内周側稜線
2cは丸みを持たせた摩擦層2dを摺動部21の端面に
形成しているので、この稜線2cが直接、振動子の摺動
面上に接触することはない。
【0024】なお、ロータ2の摺動部21の端面(摺動
面)に形成した摩擦層2dはカーボンの板材により構成
しており、その厚みは0.5mmとし、接着剤により接
着されている。
面)に形成した摩擦層2dはカーボンの板材により構成
しており、その厚みは0.5mmとし、接着剤により接
着されている。
【0025】また、振動子1の摺動面には、放射状に多
数本の溝、例えば平目のローレット溝で、溝の深さを
0.05mmとし、外径8mmの摺動面上に例えば30
本の溝を形成している。
数本の溝、例えば平目のローレット溝で、溝の深さを
0.05mmとし、外径8mmの摺動面上に例えば30
本の溝を形成している。
【0026】これらの溝には、摩擦摺動によって生じた
摩耗粉を堆積させることができ、摩耗の促進をおさえる
役割を果す。
摩耗粉を堆積させることができ、摩耗の促進をおさえる
役割を果す。
【0027】第3の前提例 図3は本発明の第3の前提例を示す摩擦摺動部の拡大断
面図である。
面図である。
【0028】本前提例は、振動子1の駆動面に、段部で
あるガイド32を形成すると共に、該ガイド32の内周
側に2条の突部33,34を同心状に形成し、さらに、
これら突部33,34間に摩耗粉排除用の溝35を形成
している。そして、ロータ2の摺動部21の端面(摺動
面)を突部33,34上に当接させる一方、その内外周
の稜線2b,2cを、突部33,34の内外周に形成さ
れる溝部33a,34b上に位置させている。
あるガイド32を形成すると共に、該ガイド32の内周
側に2条の突部33,34を同心状に形成し、さらに、
これら突部33,34間に摩耗粉排除用の溝35を形成
している。そして、ロータ2の摺動部21の端面(摺動
面)を突部33,34上に当接させる一方、その内外周
の稜線2b,2cを、突部33,34の内外周に形成さ
れる溝部33a,34b上に位置させている。
【0029】なお、ガイド32の内側にロータの摺動部
21が位置することにより、ロータ2の偏心、公転が防
止される。
21が位置することにより、ロータ2の偏心、公転が防
止される。
【0030】実施例 図4は本発明の実施例を示す摩擦摺動部の拡大断面図で
ある。
ある。
【0031】本実施例は、振動子1の摺動面の範囲内
に、ロータ2の接触部21の端面(摺動面)の稜線が位
置する形式で、振動子摺動面に厚さ0.2mmのアルミ
ナ板からなる摩擦層36を接着している。
に、ロータ2の接触部21の端面(摺動面)の稜線が位
置する形式で、振動子摺動面に厚さ0.2mmのアルミ
ナ板からなる摩擦層36を接着している。
【0032】2eはポリイミドアミド樹脂をアルミ合金
(A5056製)のロータ2にスプレーコーティングし
て形成された摩擦層で角部には丸みを付けている。
(A5056製)のロータ2にスプレーコーティングし
て形成された摩擦層で角部には丸みを付けている。
【0033】この実施例の場合、アルミナ板35の稜線
1e及び1fが欠けることがなく、その稜線でポリイミ
ドアミド樹脂を傷つけることもない。
1e及び1fが欠けることがなく、その稜線でポリイミ
ドアミド樹脂を傷つけることもない。
【0034】第4の前提例 図5は第4の前提例を示す摩擦摺動部の拡大断面図であ
る。
る。
【0035】本前提例は、ロータ2の接触部21の外周
側に段差を有するガイド部22を形成すると共に、振動
子1の駆動面には、外周側に摺動部30を形成し、ロー
タ2の稜線2cが摺動部30の摺動面の稜線よりも内周
側に位置させている。
側に段差を有するガイド部22を形成すると共に、振動
子1の駆動面には、外周側に摺動部30を形成し、ロー
タ2の稜線2cが摺動部30の摺動面の稜線よりも内周
側に位置させている。
【0036】この場合も移動体側の摩擦摺動面の稜線2
cは振動体側の摺動面に当たらないようになっている。
cは振動体側の摺動面に当たらないようになっている。
【0037】図7は本発明による振動波駆動装置を駆動
源とする装置の概略図を示す。54は大歯車部54aと
小歯車部54bとを同軸的に有するギアで、大歯車部5
4aがモータのギア3と噛合し、また小歯車部54bは
被駆動体、例えばレンズ鏡筒55の歯車部55aに噛合
しており、モータの回転をレンズ鏡筒55に伝達する。
一方、ギア54にはエンコーダスリット板56が取り付
けられ、フォトカップラー57により回転を検出する。
源とする装置の概略図を示す。54は大歯車部54aと
小歯車部54bとを同軸的に有するギアで、大歯車部5
4aがモータのギア3と噛合し、また小歯車部54bは
被駆動体、例えばレンズ鏡筒55の歯車部55aに噛合
しており、モータの回転をレンズ鏡筒55に伝達する。
一方、ギア54にはエンコーダスリット板56が取り付
けられ、フォトカップラー57により回転を検出する。
【0038】
【発明の効果】請求項1に係る発明によれば、振動子の
摺動面にアルミナ板を使用することができ、しかも接触
する相手側の接触部はアルミナ板の内径側及び外径側の
稜線と非接触となるように幅狭くしているので、アルミ
ナ板が欠けることがなく、また、接触体についても接触
部を幅狭く突出形成させることでバネ性を与え、振動子
に対して安定した接触が保たれるので、モータ性能の安
定と長寿命化が図れた。
摺動面にアルミナ板を使用することができ、しかも接触
する相手側の接触部はアルミナ板の内径側及び外径側の
稜線と非接触となるように幅狭くしているので、アルミ
ナ板が欠けることがなく、また、接触体についても接触
部を幅狭く突出形成させることでバネ性を与え、振動子
に対して安定した接触が保たれるので、モータ性能の安
定と長寿命化が図れた。
【図1】本発明の実施例ではないが前提となる振動波駆
動装置の第1の前提例を示す図。
動装置の第1の前提例を示す図。
【図2】本発明の実施例ではないが前提となる振動波駆
動装置の第2の前提例となるロータの摩擦摺動部の拡大
断面図。
動装置の第2の前提例となるロータの摩擦摺動部の拡大
断面図。
【図3】本発明の実施例ではないが前提となる振動波駆
動装置の第3の前提例を示す摩擦摺動部の断面図。
動装置の第3の前提例を示す摩擦摺動部の断面図。
【図4】本発明による振動波駆動装置の実施例を示す摩
擦摺動部の断面図。
擦摺動部の断面図。
【図5】本発明の実施例ではないが前提となる振動波駆
動装置の第4の前提例を示す摩擦摺動部の断面図。
動装置の第4の前提例を示す摩擦摺動部の断面図。
【図6】従来の振動波駆動装置の断面図。
【図7】本発明の振動波駆動装置を駆動源として用いた
装置の概略図。
装置の概略図。
1…振動子 31,36…摩擦
層 32…ガイド 33,34…突部 35…溝 2…ロータ 20…ロータ本環 21…接触部 2a,2d,2e…摩擦層 3…ギア 4…バネケース 5…フランジ 6…バネ 7…ベアリング 8…圧電素子 9…電極板 10…ボルト
層 32…ガイド 33,34…突部 35…溝 2…ロータ 20…ロータ本環 21…接触部 2a,2d,2e…摩擦層 3…ギア 4…バネケース 5…フランジ 6…バネ 7…ベアリング 8…圧電素子 9…電極板 10…ボルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/00
Claims (2)
- 【請求項1】 電気−機械エネルギー変換素子へ交番信
号を印加することにより振動を発生させる振動子と、前
記振動子の摺動面に加圧接触し、摩擦駆動される接触体
とから構成される振動波駆動装置において、 前記振動子の摺動面には環状のアルミナ板が接合され、
前記接触体の接触部は接触体本体部からバネ性を有する
ように該本体部より幅狭く突出形成されると共に、前記
アルミナ板の内径側及び外径側の稜線とは非接触となる
ように、前記アルミナ板より幅狭くしたことを特徴とす
る振動波駆動装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の振動波駆動装置を駆動
源として有し、該振動波駆動装置の前記接触体により駆
動される出力部材を有することを特徴とする振動波駆動
装置を有する装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01514792A JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
EP93101337A EP0553829B1 (en) | 1992-01-30 | 1993-01-28 | A vibration driven actuator |
DE69333691T DE69333691T2 (de) | 1992-01-30 | 1993-01-28 | Vibrationsgetriebener Antrieb |
US08/340,469 US6150749A (en) | 1992-01-30 | 1994-11-14 | Vibration driven actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01514792A JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05211785A JPH05211785A (ja) | 1993-08-20 |
JP3205026B2 true JP3205026B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=11880694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01514792A Expired - Fee Related JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6150749A (ja) |
EP (1) | EP0553829B1 (ja) |
JP (1) | JP3205026B2 (ja) |
DE (1) | DE69333691T2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1084682A (ja) * | 1996-09-09 | 1998-03-31 | Canon Inc | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する機器 |
JP3397627B2 (ja) * | 1997-04-08 | 2003-04-21 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置およびこれを用いた装置 |
JP4596610B2 (ja) | 2000-05-31 | 2010-12-08 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP4731723B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-07-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置の製造方法 |
DE10146703A1 (de) * | 2001-09-21 | 2003-04-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Führung |
KR101636909B1 (ko) * | 2009-02-03 | 2016-07-06 | 삼성전자주식회사 | 압전 초음파 모터 및 이의 제조방법 |
JP5631018B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2014-11-26 | キヤノン株式会社 | 回転型振動波駆動装置 |
JP5486212B2 (ja) | 2009-05-08 | 2014-05-07 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置用振動体、及び振動波駆動装置用振動体の製造方法 |
JP5736646B2 (ja) * | 2010-02-08 | 2015-06-17 | 株式会社ニコン | 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP2011166907A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒およびカメラ |
WO2011147467A1 (en) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | Piezomotor Uppsala Ab | Rotating load bearer |
JP5701032B2 (ja) * | 2010-12-09 | 2015-04-15 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
JP5791339B2 (ja) * | 2011-04-13 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 円環型振動波アクチュエータ |
JP5818500B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2015-11-18 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置とその振動体の製造方法 |
JP2017055554A (ja) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニットおよび撮像装置 |
US10530277B2 (en) | 2016-06-10 | 2020-01-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Friction member to contact opposite member, method for manufacturing friction member, vibration-type actuator, and electronic device |
US10833610B2 (en) | 2016-10-05 | 2020-11-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibration-type actuator, control method for vibration-type actuator, vibration-type driving apparatus, and electronic apparatus that improve acceleration performance and deceleration performance in driving vibration-type actuator |
JP6995495B2 (ja) | 2017-05-11 | 2022-01-14 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御装置、駆動装置、撮像装置及び振動型アクチュエータの制御方法 |
DE102019126702B3 (de) * | 2019-10-02 | 2021-02-18 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Rotationsstellvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer solchen Rotationsstellvorrichtung |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59201684A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS61224882A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPH072024B2 (ja) * | 1985-10-24 | 1995-01-11 | キヤノン株式会社 | 振動波モ−タ |
US4728843A (en) * | 1985-11-11 | 1988-03-01 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and drive control method thereof |
JPS63154075A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-27 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JP2568564B2 (ja) * | 1987-07-21 | 1997-01-08 | 松下電器産業株式会社 | ライニング材及びそのライニング材を用いた超音波駆動モ−タ |
CN1035213A (zh) * | 1987-12-29 | 1989-08-30 | 精工电子工业株式会社 | 行波电机 |
US5055732A (en) * | 1988-04-05 | 1991-10-08 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
JP2578903B2 (ja) * | 1988-05-06 | 1997-02-05 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
US4965482A (en) * | 1988-06-17 | 1990-10-23 | Nec Corporation | Ultrasonic motor and method of adjusting the same |
DE3920726A1 (de) * | 1988-06-29 | 1990-01-04 | Olympus Optical Co | Ultraschalloszillator |
DE3854692T2 (de) * | 1988-09-02 | 1996-04-18 | Honda Electronic Co | Ultraschall-Antriebsvorrichtung. |
US5204577A (en) * | 1989-05-15 | 1993-04-20 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor improved in driving efficiency |
JP3030050B2 (ja) * | 1989-05-30 | 2000-04-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波モータ |
DE3919376C2 (de) * | 1989-06-14 | 1993-11-04 | Daimler Benz Ag | Zuendeinrichtung fuer eine insassen-schutzvorrichtung in einem fahrzeug |
JP2935504B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-08-16 | キヤノン株式会社 | モータ |
US5051647A (en) * | 1989-07-06 | 1991-09-24 | Nec Corporation | Ultrasonic motor |
US5140214A (en) * | 1989-09-06 | 1992-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven apparatus |
JPH0393481A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-18 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH03117384A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-20 | Canon Inc | 超音波モータの摩擦材 |
US5053670A (en) * | 1989-11-20 | 1991-10-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Precision actuator |
US5115161A (en) * | 1989-12-04 | 1992-05-19 | Nec Corporation | Ultrasonic motor |
JP2996483B2 (ja) * | 1990-04-05 | 1999-12-27 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ |
US5428260A (en) * | 1990-08-03 | 1995-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
JP2879955B2 (ja) * | 1990-08-03 | 1999-04-05 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
DE69130751T2 (de) * | 1990-08-03 | 1999-07-01 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Vibrationsangetriebener Motor |
JP2925272B2 (ja) * | 1990-08-31 | 1999-07-28 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP3015090B2 (ja) * | 1990-10-05 | 2000-02-28 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP3093481B2 (ja) | 1992-09-11 | 2000-10-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 基板の保持手段 |
-
1992
- 1992-01-30 JP JP01514792A patent/JP3205026B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-28 EP EP93101337A patent/EP0553829B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-01-28 DE DE69333691T patent/DE69333691T2/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-11-14 US US08/340,469 patent/US6150749A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69333691T2 (de) | 2005-12-01 |
US6150749A (en) | 2000-11-21 |
DE69333691D1 (de) | 2004-12-23 |
EP0553829A1 (en) | 1993-08-04 |
EP0553829B1 (en) | 2004-11-17 |
JPH05211785A (ja) | 1993-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3205026B2 (ja) | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 | |
US5548175A (en) | Vibration driven motor | |
US6888288B2 (en) | Vibration member and vibration wave driving apparatus using the vibration member | |
JPS5937672B2 (ja) | 超音波振動を利用した回転駆動装置 | |
JPH0241677A (ja) | 超音波モータ | |
US5436522A (en) | Vibration drive actuator | |
US5949178A (en) | Vibration wave driving apparatus and a vibration member, and manufacturing method of the apparatus and the member | |
JP3015090B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
JPH099656A (ja) | 超音波振動子および超音波モータ | |
JP3016577B2 (ja) | 振動波装置 | |
JP3107946B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
US5821669A (en) | Vibration wave motor having piezoelectric pressure member | |
US5973439A (en) | Vibration driven motor | |
JPH02123974A (ja) | 超音波モータ | |
JPS62213585A (ja) | 振動波モ−タ | |
JPS62135279A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH05284762A (ja) | 超音波モータ | |
JP3207549B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH012830A (ja) | 放電加工装置 | |
JPH05211783A (ja) | 超音波モータ | |
JP3164857B2 (ja) | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた機器 | |
JP3137194B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
JPH0721115Y2 (ja) | 超音波駆動装置 | |
JPH0780793A (ja) | 多自由度アクチュエータ | |
JP2986277B2 (ja) | 振動波モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080629 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090629 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090629 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |