JP5701032B2 - 振動型駆動装置 - Google Patents

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Description

本発明は、いわゆる振動波モータと称される振動体に移動体を加圧接触させ摩擦駆動する振動型駆動装置に関する。
一般に、振動型駆動装置(振動波モータ)は、進行性振動波が形成される振動体と、振動体に加圧接触する移動体とを有し、振動体と移動体とを進行性振動波により摩擦駆動させることにより駆動力を得る。
この種の振動型駆動装置の従来例を図6(a)に示す(例えば、特許文献1参照)。
図6(a)において、ハウジング41に固定された振動体42は円環状をしており、弾性体42bの上部には複数の突起42cが全周にわたって設けられている。
圧電セラミックス42aは、弾性体42bの底面に接着剤にて接着され、モータ駆動時に不図示の駆動回路により位相差を有する2つの交流電圧が印加され、進行性振動波を発生させる。
移動体43は、弾性部材で形成された円環状の本体部43a、支持部43b、及び振動体42の突起42cに摩擦接触する摩擦面を有する接触部43cから構成されている。
支持部43b及び接触部43cは、ばね性を有する厚みで形成されており、振動体42に対して安定した接触が可能となっている。
移動体43の上面にはばね受け部材44、ゴム板45を介して加圧ばね46が取付けられている。加圧ばね46の内周部は出力軸48に焼嵌めされたディスク47に取付けられており、移動体43の駆動力を出力軸48に伝達している。
ばね受け部材44は、制振ゴム44aと円環状の錘部材44bから構成されている。これにより、移動体43に発生する不要な振動を防止し、騒音の発生や効率の低下を抑えている。
特開平3−253272号公報
しかしながら、従来の構成のように、制振ゴム44aと錘部材44bによって不要な振動を防止しても、長期の駆動により振動型駆動装置の性能が劣化する場合があった。
これらについて、更に説明すると、移動体43の接触部43cは図6(b)に示すように、振動体42と接触する。
図6(b)において、振動体42に進行性振動波が発生すると、振動体42の突起42cの上面は、図中の矢印で示した方向に振動し、接触部43cを介して移動体43を駆動する。その際、移動体43の接触部43cが受ける振動体42からの加振力の方向は、移動体43の図心43fを通らない。
そのため、振動体42からの加振力は、移動体43の本体部43aにねじりモーメントとして作用する。該ねじりモーメントにより、本体部43aには、図6(c)に示すような図心付近を軸にして交互にねじれるねじり振動が生じる。
このねじり振動は、駆動周波数で強制加振される強制振動として発生しているため、いわゆる鳴きのような騒音を発生することはない。
しかしながら、振動体42の進行性振動波の振動にねじり振動が重畳されると、合成振動の振動振幅は不均一となる。そのため、振動型駆動装置を長期間駆動すると、移動体43の接触部43cの摩耗は、周方向に不均一に促進され、偏摩耗の原因となる。
偏摩耗が発生すると、振動体42と移動体43の安定した接触が保てず、振動型駆動装置の性能が劣化したり、鳴きが発生したりする恐れがある。
本発明は、上記課題に鑑み、振動型駆動装置の駆動に伴って発生する不要な振動を抑制し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる振動型駆動装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、つぎのように構成した振動型駆動装置を提供するものである。
本発明の振動型駆動装置は、電気−機械エネルギー変換素子が固定され、前記電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体に接触し、前記振動により前記振動体と相対的に回転する移動体と、を有する振動型駆動装置であって、
前記移動体は、本体部と、前記振動体に摩擦接触する摩擦面を有し弾性変形可能な接触部と、を備え、
前記移動体の回転軸から外壁までの径方向断面において、前記回転の回転軸方向と径方向とから定められる前記移動体の断面形状における図心と、前記移動体の接触部の任意の点とを結ぶ直線が、前記振動体の振動の軌跡方向と平行となることを特徴とする。
本発明によれば、振動型駆動装置の駆動に伴って発生する不要な振動を抑制し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる振動型駆動装置を実現することができる。
本発明の実施例1における振動型駆動装置の構成例を説明する断面図。 本発明の実施例1の図1に示す振動型駆動装置における移動体の一部を拡大した断面図。 本発明の実施例1の図1に示す振動型駆動装置における振動体と移動体の接触する様子を示す図。 本発明の実施例1に係る振動型駆動装置の第1の変形例に係る移動体の一部を拡大した断面図。 本発明の実施例2における振動型駆動装置の構成例を説明する断面図。(a)は振動型駆動装置における移動体の一部を拡大した断面図。(b)はその変形例における移動体の一部を拡大した断面図。 図6(a)は、従来例における振動型駆動装置の構成を説明する断面図。(b)はその振動体と移動体の接触する様子を示す図。(c)はその移動体に発生するねじり振動の様子を示す図。
本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用した振動型駆動装置の構成例を、図1を用いて説明する。
本実施例の振動型駆動装置は、図1に示すように、円環状に形成されており、振動体2と、この振動体と摩擦接触する移動体3を備えている。
振動体2は、電気量を機械量に変換する電気−機械エネルギー変換素子による圧電素子2aと、この圧電素子2aと結合された弾性体2bとによって形成されている。
そして、圧電素子2aに駆動電圧(交流電圧)を印加し、公知の技術により、振動体2に進行性の振動波により楕円運動を生じさせ、これによって移動体2を振動体と相対的に回転させる。
弾性体2bは、金属製の弾性部材であり、基部2c、突起部2d、及び基部2cから延出し、弾性体2bをハウジング1に固定するためのフランジ部2eから構成されている。
突起部2dは、基部2cの外径側に沿って、弾性体2bの中心軸に対して同心円状に配置されている。
突起部2dの移動体3側の面が移動体との接触面となっている。
移動体3は、弾性部材で形成された円環状の本体部3a、支持部3b、及び振動体2の突起2dに摩擦接触する摩擦面を有する接触部3cから構成されている。
移動体3の上面にはばね受け部材4、ゴム板5を介して加圧ばね6が取付けられている。
加圧ばね6の内周部は出力軸8に焼嵌めされたディスク7に取付けられており、移動体3の駆動力を出力軸8に伝達している。
ばね受け部材4は、制振ゴム4aと円環状の錘部材4bからなり、移動体3の不要な振動の発生を抑え、振動型駆動装置の騒音や出力の低下を防止している。
出力軸8は、ハウジング1に固定された外輪と、出力軸8の外周に嵌合した内輪とを有する一対の転がり軸受9a、9bによって回転自在に支持される。
転がり軸受9aの内輪は、移動体3を振動体2に適切な力で加圧接触させるための加圧ばね6の変位量分だけ予圧がかけられている。
これにより、転がり軸受9aの径方向のがたが排除され、出力軸8の径方向の振れを抑えることができる。
図2に、図1に示す振動型駆動装置における移動体の一部を拡大した断面図を示す。
図2において、支持部3bは、第1の支持部3dと第2の支持部3eから構成されている。
第1の支持部3dは、本体部3aから振動体2の接触面と平行に延出されている。
第2の支持部3eは、第1の支持部3dの端部から鉛直に延出している。接触部3cは、第2の支持部3eの端部から振動体2の接触面と平行に延出されている。
支持部3b及び接触部3cは、ばね性を有する厚みで形成されており、それぞれが片持ち梁断面構造を有する。そのため、支持部3b及び接触部3cは、移動体3の回転軸方向及び径方向にそれぞれ弾性変形可能となっている。本発明において、回転軸とは、移動体が相対的に回転する際に回転の中心となる軸を示す。
また、支持部3bは本体部3aから内径側に延出しており、接触部3cは支持部端部から外径側に延出している。
さらに、接触部3cの摩擦面の回転軸方向及び径方向の変位が周方向で一様になるように、支持部3b及び接触部3cの厚みは周方向で均一に形成されている。本発明において径方向とは回転軸方向と垂直な方向を示す。
図3に、図1に示す振動型駆動装置における振動体と移動体の接触する様子を示す。
図3において、振動体2に発生する振動の振幅は、内径側よりも外形側の方が大きくなっている。
振動体2の突起2dの上面は、図中の矢印で示した方向に振動し、接触部3cを介して移動体3を駆動する。
移動体3の支持部3b及び接触部3cはそれぞれ弾性変形可能となっており、図3に示すように、接触部3cの変位は内径側よりも外形側が大きくなっている。これにより、振動体2の接触面の傾斜と接触部3cの摩擦面の傾斜は、平行を保ったまま接触を繰り返す。そのため、接触部3cの摩擦面は全面にわたって振動体2との接触が可能となる。
移動体3の本体部3aは、接触部3cよりも内径側に延出し、周方向に均一な形状で形成されている。
さらに、本体部3aは、移動体3の径方向と回転軸方向とから定められる移動体3の断面形状における図心3fと、接触部3cの中央部付近の点とを結ぶ直線lが、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように形成されている。そのため、接触部3cを介して移動体3が受ける振動体2からの加振力の方向は、移動体3の図心3fを通る。
これにより、振動体2からの加振力によって移動体3の本体部3aに発生するねじりモーメントの大きさを低減することができる。
そのため、従来構造では課題となっていた、駆動振動に伴って発生していた本体部3aのねじり振動の発生を抑えることが可能となる。
よって、振動型駆動装置を長期間駆動しても、移動体3の接触部3cは周方向に不均一に摩耗が促進するような偏摩耗を発生することなく、安定した摩耗が得られ、長期の駆動による振動型駆動装置の性能の劣化を低減することができる。
なお、本実施例において、本体部3aは、図心3fと接触部3cの中央部付近の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように形成され、図心3fが接触部の最外周部よりも内側に位置するように形成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではない。
例えば、接触部3cの最外周部から最内周部までの任意の点と図心3fを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように本体部3aを設けても、ねじりモーメントが低減され同様の効果が得られる。本発明において、「図心3fと接触部3cの任意の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と、平行」とは、図心3fと接触部3cの任意の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と、完全に平行な場合だけでなく、実質的に平行とみなされる範囲を含む。つまり、ねじり振動が実質的に発生しない角度の範囲内であれば、図心3fと接触部3cの任意の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と「平行」であるとする。
また、本実施例においては、支持部3bは、第1の支持部3dと第2の支持部3eから構成され、第1の支持部3dは、本体部3aから振動体2の接触面と平行に延出し、第2の支持部3eは、第1の支持部3dの端部から鉛直に延出している。
また、接触部3cは、第2の支持部3eの端部から振動体2の接触面と平行に延出されている。
しかし、本発明は、このような構成に限定されるものではない。
例えば、図4に示すように、本体部13aから支持部13bが延出し、支持部13bから接触部13cが延出してもよい。
移動体13においても、接触部13cの最外周部から最内周部までの任意の点と図心13fを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように本体部13aを設けることで、ねじりモーメントを低減することができる。
特に、振動体2との接触時に強圧になる接触部13cの最外周部と図心13fを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように本体部13aを設けることで、さらにねじりモーメントを小さくすることができる。
これにより、長期の駆動による振動型駆動装置の性能の劣化を低減することができる。
[実施例2]
実施例2として、上記した実施例1とは異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図5を用いて説明する。
本実施例の振動型駆動装置は、移動体の支持部や接触部、本体部を図5(a)に示す構造とした点において、実施例1のものと構成が相違する。
本実施例のその他の要素(振動体、出力軸等)は、上述した実施例1の対応するものと同一なので、説明を省略する。
なお、本実施例の図5(a)に示す構成は、図2、図4に対応している。
図5(a)において、移動体23の本体部23aと支持部23bは別部材で形成されており、支持部23b及び接触部23cは板金プレスにより一体的に形成されている。
支持部23b及び接触部23cはステンレス鋼板からなり、耐久性を高めるための硬化処理として焼入れ、焼戻し処理をした。
また、支持部23b及び接触部23cは、ばね性を有する厚みで形成されており、支持部23bおよび接触部23cは、移動体23の回転軸方向及び径方向にそれぞれ弾性変形可能となっている。
そのため、接触部23cの摩擦面は全面にわたって振動体2との接触が可能となる。
本体部23aは接触部23cよりも内径側に延出し、円環状に形成されている。
本体部23aと支持部23bは、接着剤による接着や、はんだ付け等の金属ろう付け、レーザーや電気抵抗熱などによる溶接等の方法で接合している。
本体部23aは、移動体23の径方向と回転軸方向とから定められる移動体23の断面形状における図心23fと、接触部23cの任意の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように形成されている。
そのため、接触部23cを介して移動体23が受ける振動体2からの加振力の方向は、移動体23の図心23fを通る。
これにより、振動体2からの加振力によって移動体23の本体部23aに発生するねじりモーメントの大きさを低減することができる。
よって、駆動中に発生していた本体部23aのねじり振動を抑えることができ、偏摩耗の促進を防止し、長期の駆動による振動型駆動装置の性能の劣化を低減することができる。
また、支持部23b及び接触部23cをプレス加工で一体的に形成し、本体部23aもプレス加工や焼結、ダイカスト等で形成することができるため、従来の切削加工に比べて大幅なコスト削減や製作時間の短縮を図ることができる。
さらに、板金プレス加工に用いる素材の板厚精度は極めて高いため、支持部23b及び接触部23cの剛性のバラツキを小さくすることができ、振動体2と安定した接触が可能となる。
図5(b)に、本実施例の変形例における移動体の一部を拡大した断面図を示す。この図5(b)は、図2、図4、図5(a)に対応している。
図5(b)に示すように、移動体33の本体部33aと接触部33cは別部材となっており、接着剤による接着等で結合している。
接触部33cは、フッ素樹脂粉末(PTFE:ポリテトラフルオロエチレン)を主材として、添加材としてカーボンファイバ、ポリイミド、二硫化モリブデンを用いて、焼成して製作した樹脂で形成されている。
そのため、接触部33cは振動体2との接触時に弾性変形が可能となり、振動体2と安定した接触が可能となる。
さらに、接触部33cは、円環状の平板で形成されているため、支持部及び接触部を一体的に形成する場合に比べ、さらに加工が容易で、コスト削減や製作時間の短縮を図ることができる。
本体部33aは、移動体33の径方向と回転軸方向とから定められる移動体33の断面形状における図心33fと、接触部33cの任意の点とを結ぶ直線が、振動体2の振動の軌跡方向と平行となるように形成されている。
そのため、接触部33cを介して移動体33が受ける振動体2からの加振力の方向は、移動体33の図心33fを通る。
これにより、駆動中に発生していた本体部33aのねじり振動を抑えることができ、偏摩耗の促進を防止し、長期の駆動による振動型駆動装置の性能の劣化を低減することができる。
なお、本実施例において、耐摩耗性を向上させるための表面処理として、焼入れ、焼戻し処理を行ったが、本発明はこれらに限定されるものではなく、窒化処理や溶射等で接触部の摩擦面を硬化してもよい。
以上に説明したように、本発明の上記各実施例の構成によれば、振動型駆動装置の駆動に伴って発生する不要な振動を抑制し、長期の駆動による性能の劣化を低減することが可能となる。
2:振動体
2a:圧電素子
3:移動体
3a:本体部
3c:接触部
3f:図心

Claims (9)

  1. 電気−機械エネルギー変換素子が固定され、前記電気−機械エネルギー変換素子に駆動電圧が印加されることにより振動する振動体と、
    前記振動体に接触し、前記振動により前記振動体と相対的に回転する移動体と、を有する振動型駆動装置であって、
    前記移動体は、本体部と、前記振動体に摩擦接触する摩擦面を有し弾性変形可能な接触部と、を備え、
    前記移動体の回転軸から外壁までの径方向断面において、前記回転の回転軸方向と径方向とから定められる前記移動体の断面形状における図心と、前記移動体の接触部の任意の点とを結ぶ直線が、前記振動体の振動の軌跡方向と平行となることを特徴とする振動型駆動装置。
  2. 前記移動体は、前記移動体の前記図心が該移動体における前記接触部の最外周部よりも内側に位置するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置。
  3. 前記本体部は、前記接触部とは別部材で形成され、該接触部と結合されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動型駆動装置。
  4. 前記移動体は、前記本体部から延出した支持部と、該支持部から延出した接触部とによって形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
  5. 前記支持部は、前記本体部から延出する第1の支持部と、前記第1の支持部の端部から延出する第2の支持部とによって形成されていることを特徴とする請求項4に記載の振動型駆動装置。
  6. 前記本体部は、前記支持部および前記接触部とは別部材で形成され、該支持部に結合されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の振動型駆動装置。
  7. 前記支持部および前記接触部は、プレス加工により形成されていることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
  8. 前記移動体の前記断面形状は、周方向に均一な形状で形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
  9. 前記移動体は、前記接触部が前記本体部より内径側にあることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載の振動型駆動装置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011166901A (ja) * 2010-02-08 2011-08-25 Nikon Corp 振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラ
JP6305077B2 (ja) 2013-12-16 2018-04-04 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP6652289B2 (ja) 2014-11-07 2020-02-19 キヤノン株式会社 振動型駆動装置、ロボット、画像形成装置及び撮像装置
JP6961383B2 (ja) * 2017-04-26 2021-11-05 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ
US11515811B2 (en) * 2020-02-03 2022-11-29 Canon Kabushiki Kaisha Vibration-type actuator, pan head, and electronic apparatus
JP7512103B2 (ja) 2020-07-13 2024-07-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及び機器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61295880A (ja) * 1985-06-21 1986-12-26 Canon Inc 振動波モ−タ−
JPS62247770A (ja) * 1986-04-18 1987-10-28 Olympus Optical Co Ltd 超音波モ−タ
JP2525592Y2 (ja) * 1988-01-22 1997-02-12 オリンパス光学工業株式会社 超音波モータ
JPH03111189U (ja) * 1990-02-28 1991-11-14
JPH03253272A (ja) 1990-03-01 1991-11-12 Canon Inc 振動波モータ
JP3049931B2 (ja) * 1991-04-02 2000-06-05 松下電器産業株式会社 超音波モータ
DE69211880T2 (de) * 1991-04-02 1996-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultraschallmotor mit schwingendem Körper und dadurch angetriebener bewegender Körper
JP3205026B2 (ja) * 1992-01-30 2001-09-04 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置
JPH07255188A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Olympus Optical Co Ltd 超音波アクチュエータ
JP4529889B2 (ja) 2005-02-10 2010-08-25 セイコーエプソン株式会社 圧電振動体、圧電振動体の調整方法、圧電アクチュエータ、時計、電子機器
KR101531268B1 (ko) * 2008-08-05 2015-06-26 삼성전자주식회사 경량진동체를 구비한 초음파 모터
KR101636909B1 (ko) * 2009-02-03 2016-07-06 삼성전자주식회사 압전 초음파 모터 및 이의 제조방법
JP5631018B2 (ja) * 2009-04-07 2014-11-26 キヤノン株式会社 回転型振動波駆動装置

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