JP3015090B2 - 振動波駆動装置 - Google Patents
振動波駆動装置Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は略棒状の振動体に生じさせた振動によって、
振動体と接触体とを相対回転運動させる振動波駆動装置
に関し、特にカメラ等の光学機器，プリンタ等の事務機
器に好適な振動波駆動装置を提供するものである。
振動体と接触体とを相対回転運動させる振動波駆動装置
に関し、特にカメラ等の光学機器，プリンタ等の事務機
器に好適な振動波駆動装置を提供するものである。
従来超音波モータとしては、円環状の振動体としての
弾性体に曲げ振動を起こし、摩擦力によりレンズ駆動用
移動体を駆動させるタイプのものが、カメラ用AF機構な
どで実用化されている。しかし、この従来のタイプのも
のはリング形状であるため、加圧機構を含めたユニツト
としては、比較的コスト高であり、中空を要求されてい
ないモータ用途としてはコスト上不利である。そこで、
中実型で加圧系などの構成が容易なタイプのモータが、
近年特願平１−173528号として本出願人より提案され
た。
弾性体に曲げ振動を起こし、摩擦力によりレンズ駆動用
移動体を駆動させるタイプのものが、カメラ用AF機構な
どで実用化されている。しかし、この従来のタイプのも
のはリング形状であるため、加圧機構を含めたユニツト
としては、比較的コスト高であり、中空を要求されてい
ないモータ用途としてはコスト上不利である。そこで、
中実型で加圧系などの構成が容易なタイプのモータが、
近年特願平１−173528号として本出願人より提案され
た。
第５図、第６図は該提案にかかる超音波モータを示す
もので、該提案にかかる棒状の超音波モータの振動子１
の支持は、電気−機械エネルギー変換素子としての２枚
の圧電素子（たとえばPZT）４と、振動子１とともに振
動体を構成する挟持部材２との間に支持用電極板22を挟
み込み、該電極板22をビス26等により固定部材25に固定
する構造により行われていた。なお、３は圧電素子４、
電極板22を挟んで振動子１と挟持部材２とを係合させる
ボルト、24はワツシヤ23を電極板22に押しつけるバネで
ある。また支持用電極板22の形状は第５図示の様に端部
につば部を有する形状で、ビス26が嵌入される孔はビス
26の外径より大きな径となっている。
もので、該提案にかかる棒状の超音波モータの振動子１
の支持は、電気−機械エネルギー変換素子としての２枚
の圧電素子（たとえばPZT）４と、振動子１とともに振
動体を構成する挟持部材２との間に支持用電極板22を挟
み込み、該電極板22をビス26等により固定部材25に固定
する構造により行われていた。なお、３は圧電素子４、
電極板22を挟んで振動子１と挟持部材２とを係合させる
ボルト、24はワツシヤ23を電極板22に押しつけるバネで
ある。また支持用電極板22の形状は第５図示の様に端部
につば部を有する形状で、ビス26が嵌入される孔はビス
26の外径より大きな径となっている。
ところで上述の様な構成の超音波モータの場合には、
振動体１、２の振動特性の維持の為に振動の方向、主と
して振動体１、２の軸と直角の方向に自由度を持たせる
必要があるために、前述の振動体固定用ビス26は完全に
締め付けることができない。
振動体１、２の振動特性の維持の為に振動の方向、主と
して振動体１、２の軸と直角の方向に自由度を持たせる
必要があるために、前述の振動体固定用ビス26は完全に
締め付けることができない。
その結果、モータ駆動時に支持用電極板22が左右（す
なわち振動体１、２の軸に直角な方向）にずれて、その
ずれる際に電極22とワツシヤ23との間に発生する摩擦に
よってモータの効率が上がらないという問題があった。
なわち振動体１、２の軸に直角な方向）にずれて、その
ずれる際に電極22とワツシヤ23との間に発生する摩擦に
よってモータの効率が上がらないという問題があった。
［課題を解決する為の手段］ 本発明はかかる課題を解決するためになされたもので
あり、略棒状の振動体に生じさせた振動によって、前記
振動体に圧接させた接触体と前記振動体とを相対回転運
動させる振動波駆動装置において、 前記接触体を被固定部材に対して軸受を介して支持す
ると共に中空状に形成し、一方側が前記振動体に結合さ
れた軸状部材を設け、前記軸状部材の他方側は前記接触
体の中空部を貫通して前記振動体とは軸方向における反
射側に延出し、前記振動体を前記接触体に対して圧接す
るように、前記軸状部材の前記他方側と前記被固定部材
とをばね部材によって引っ張ることによりばね付勢する
と同時に、前記振動体と前記被固定部材とを係合した振
動波駆動装置を特徴とする。
あり、略棒状の振動体に生じさせた振動によって、前記
振動体に圧接させた接触体と前記振動体とを相対回転運
動させる振動波駆動装置において、 前記接触体を被固定部材に対して軸受を介して支持す
ると共に中空状に形成し、一方側が前記振動体に結合さ
れた軸状部材を設け、前記軸状部材の他方側は前記接触
体の中空部を貫通して前記振動体とは軸方向における反
射側に延出し、前記振動体を前記接触体に対して圧接す
るように、前記軸状部材の前記他方側と前記被固定部材
とをばね部材によって引っ張ることによりばね付勢する
と同時に、前記振動体と前記被固定部材とを係合した振
動波駆動装置を特徴とする。
第１図は本発明の前提となる一例としてのカメラ用超
音波モータの平面図、第２図は第１図示モータの要部構
成図である。
音波モータの平面図、第２図は第１図示モータの要部構
成図である。
次に該モータについて説明するが、以下の前提となる
一例に於て第５図、第６図示モータと同一機能について
は同一符号を付してその説明を省略する。
一例に於て第５図、第６図示モータと同一機能について
は同一符号を付してその説明を省略する。
１は第６図示振動子と同一機能を有する金属性の円筒
状の振動子で、駆動力を回転体９の傾斜部9aに伝達する
傾斜部1a、ボルト３が螺合されるネジ部1bを有してい
る。２は第６図示挟持部材と同一機能を有する金属性の
円筒状の挟持部材で、該部材２もボルト３が螺合される
ネジ部2aを有している。ボルト３は２枚の圧電素子４を
振動子１と挟持部材２とで挟持可能とする為のボルト
で、該ボルト３の頭部3aには所定の深さの孔が設けら
れ、その孔の先端にボルト固定用ピン６の先端が固定さ
れる。該ピン６は、カメラの所定の部材に固定された回
り止め12と共に振動体１、２の回転を所定範囲内に規制
するものである。
状の振動子で、駆動力を回転体９の傾斜部9aに伝達する
傾斜部1a、ボルト３が螺合されるネジ部1bを有してい
る。２は第６図示挟持部材と同一機能を有する金属性の
円筒状の挟持部材で、該部材２もボルト３が螺合される
ネジ部2aを有している。ボルト３は２枚の圧電素子４を
振動子１と挟持部材２とで挟持可能とする為のボルト
で、該ボルト３の頭部3aには所定の深さの孔が設けら
れ、その孔の先端にボルト固定用ピン６の先端が固定さ
れる。該ピン６は、カメラの所定の部材に固定された回
り止め12と共に振動体１、２の回転を所定範囲内に規制
するものである。
なお、振動体１、２の直径が10〔mm〕の場合、ピン６
の直径は１〔mm〕、ピン６の先端部3bの直径は1.4〜2.0
〔mm〕程度のごく小径のものであって、この部分の構造
が振動体１、２の振動特性に悪影響を与えない様に設計
されている。前述の２枚の圧電素子４の構成は第３図に
示す通りである。すなわち、圧電素子４は２枚の圧電素
子4A,4B（尚２枚でなく、４枚であっても良い）で構成
され、圧電素子4A,4Bの夫々は片面側に分極方向が互い
に異なり、且つ厚み方向に分極された２つの電極（＋電
極ａ、−電極ｂ）が中心軸線位置に形成された絶縁部ｄ
の両側に対称に形成されると共に、他面側に＋電極ａ、
−電極ｂの共通電極ｃが形成されていて、振動体１、２
の軸線に対して互いに位置的位相が90゜の角度ずれて配
置されている。
の直径は１〔mm〕、ピン６の先端部3bの直径は1.4〜2.0
〔mm〕程度のごく小径のものであって、この部分の構造
が振動体１、２の振動特性に悪影響を与えない様に設計
されている。前述の２枚の圧電素子４の構成は第３図に
示す通りである。すなわち、圧電素子４は２枚の圧電素
子4A,4B（尚２枚でなく、４枚であっても良い）で構成
され、圧電素子4A,4Bの夫々は片面側に分極方向が互い
に異なり、且つ厚み方向に分極された２つの電極（＋電
極ａ、−電極ｂ）が中心軸線位置に形成された絶縁部ｄ
の両側に対称に形成されると共に、他面側に＋電極ａ、
−電極ｂの共通電極ｃが形成されていて、振動体１、２
の軸線に対して互いに位置的位相が90゜の角度ずれて配
置されている。
５は一端がボルト３の先端に固定され、他端が固定フ
ランジ７に固定された加圧部材としてのスプリングで、
該スプリング５の付勢力により移動体としての回転体９
と振動体１、２とが傾斜部1a、9aを接触点として回転可
能に摩擦接触する。８はカメラの一部分である固定部材
13に支持部材としての固定フランジ７を締付けるビス、
10は回転体９の回転力をカメラのスプールに伝達する為
のギヤ、11は回転体９と固定フランジ７との間の伝達を
遮断する為のベアリングで、固定フランジ７、ビス８、
固定部材13によるモータの固定による影響が振動体１、
２に及ばない様にするためのものである。
ランジ７に固定された加圧部材としてのスプリングで、
該スプリング５の付勢力により移動体としての回転体９
と振動体１、２とが傾斜部1a、9aを接触点として回転可
能に摩擦接触する。８はカメラの一部分である固定部材
13に支持部材としての固定フランジ７を締付けるビス、
10は回転体９の回転力をカメラのスプールに伝達する為
のギヤ、11は回転体９と固定フランジ７との間の伝達を
遮断する為のベアリングで、固定フランジ７、ビス８、
固定部材13によるモータの固定による影響が振動体１、
２に及ばない様にするためのものである。
次に上記構成にかかるモータの動作について説明す
る。
る。
電極板4Dと電極板4Cとの間に交流電源V1から電圧V
1を、また電極板4Dと電極板4Eとの間に交流電源V2から
電圧V2を印加することにより、圧電素子4Aの厚み方向に
おける伸縮変位による振動と、圧電素子4Bの厚み方向に
おける伸縮変位による振動とが生じ、それらが振動体で
合成され、振動体１、２が振動させられる。
1を、また電極板4Dと電極板4Eとの間に交流電源V2から
電圧V2を印加することにより、圧電素子4Aの厚み方向に
おける伸縮変位による振動と、圧電素子4Bの厚み方向に
おける伸縮変位による振動とが生じ、それらが振動体で
合成され、振動体１、２が振動させられる。
交流電圧V1と、流電圧V2・とは、第４図に示すよう
に、振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相
が90゜のずれを有している。
に、振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相
が90゜のずれを有している。
したがって、振動体は、軸心を中心とし、屈伸する縄
飛びの縄のような円運動（以下縄飛び振動と称す）を行
うことになる。なお、この円運動が生じる原理について
は、公知であるので説明は省略する。
飛びの縄のような円運動（以下縄飛び振動と称す）を行
うことになる。なお、この円運動が生じる原理について
は、公知であるので説明は省略する。
この実施例の場合、振動体は間接的に所定位置へ固定
されるので、モータをビス８によりしっかりと固定して
もモータの損失は少ない、換言すれば効率の良いモータ
が得られる。
されるので、モータをビス８によりしっかりと固定して
もモータの損失は少ない、換言すれば効率の良いモータ
が得られる。
第７図、第８図は本発明の前提となる他の例としての
カメラ用超音波モータの平面図並びに要部構成図にし
て、スプリング５の先端側フックに平行ピン14を用いる
ことによりフツクを掛ける部分の強度を大きくした実施
例である。
カメラ用超音波モータの平面図並びに要部構成図にし
て、スプリング５の先端側フックに平行ピン14を用いる
ことによりフツクを掛ける部分の強度を大きくした実施
例である。
該実施例における固定フランジ７は第１図示固定フラ
ンジ７に設けられた穴7a,7bと同様な穴7a、7bと、スプ
リング５が通される穴7cを有し、穴7a,7bに平行ピン14
が掛け渡される。また固定フランジ７は振動の減衰特性
上、樹脂で作られておりフツクが掛けられる部分の摩
耗、損傷を防止している。
ンジ７に設けられた穴7a,7bと同様な穴7a、7bと、スプ
リング５が通される穴7cを有し、穴7a,7bに平行ピン14
が掛け渡される。また固定フランジ７は振動の減衰特性
上、樹脂で作られておりフツクが掛けられる部分の摩
耗、損傷を防止している。
また振動体１、２の回り止めとしては、挟持部材２と
圧電素子４の間に挟持された回り止め用電極15が用いら
れている。なおその他の構成及び動作は第１実施例のモ
ータと同様であるので省略する。
圧電素子４の間に挟持された回り止め用電極15が用いら
れている。なおその他の構成及び動作は第１実施例のモ
ータと同様であるので省略する。
第９図、第10図は本発明の第１実施例にかかる振動波
駆動装置としての超音波モータの平面図、要部構成図で
ある。尚、該実施例以後の実施例については、主として
前述の前提となる一例もしくは他の例との差異について
のみ説明する。
駆動装置としての超音波モータの平面図、要部構成図で
ある。尚、該実施例以後の実施例については、主として
前述の前提となる一例もしくは他の例との差異について
のみ説明する。
該第１実施例は回転体加圧用のスプリングを引張りコ
イルスプリングから圧縮コイルスプリング5Aに変更した
ものである。これによりモータの組立てが格段に容易と
なる。
イルスプリングから圧縮コイルスプリング5Aに変更した
ものである。これによりモータの組立てが格段に容易と
なる。
なお、スプリング5Aを用いたために、被固定部材とし
ての固定用フランジ７は図示の様な、一部にスプリング
5Aが当接する段差部7aを有する構造となっている。17は
スプリング5Aの一端が当接するワツシヤ、18はＥ形リン
グ、3Aは前述のボルト３の機能と固定用フランジ７を介
してスプリング5Aのバネ力を回転体９に伝え、回転体９
と振動体１、２とを摩擦係合させる機能とを有するボル
トである。ボルト3Aは図において明らかなように軸状に
形成され、振動体としての振動子１及び挟持部材２と一
方側（第10図において下方側）で結合され、他方側（第
10図において上方側）は、中空な接触体としての回転体
９の中空部を通して延出されている。そして、振動子１
が実質的に固定用フランジ７に支持された回転体９に対
して圧接するように、ボルト3Aの他方側は被固定部材と
しての固定用フランジ７と圧縮スプリング5Aによってバ
ネ付勢されている。
ての固定用フランジ７は図示の様な、一部にスプリング
5Aが当接する段差部7aを有する構造となっている。17は
スプリング5Aの一端が当接するワツシヤ、18はＥ形リン
グ、3Aは前述のボルト３の機能と固定用フランジ７を介
してスプリング5Aのバネ力を回転体９に伝え、回転体９
と振動体１、２とを摩擦係合させる機能とを有するボル
トである。ボルト3Aは図において明らかなように軸状に
形成され、振動体としての振動子１及び挟持部材２と一
方側（第10図において下方側）で結合され、他方側（第
10図において上方側）は、中空な接触体としての回転体
９の中空部を通して延出されている。そして、振動子１
が実質的に固定用フランジ７に支持された回転体９に対
して圧接するように、ボルト3Aの他方側は被固定部材と
しての固定用フランジ７と圧縮スプリング5Aによってバ
ネ付勢されている。
第11図、第12図は本発明の他の実施例にかかる超音波
モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は第
９図、第10図示実施例の圧縮スプリング5Aによって加圧
力を発生する方式と、第７図、第８図に示した電極板15
により回り止め方式とを組み合わせたものである。
モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は第
９図、第10図示実施例の圧縮スプリング5Aによって加圧
力を発生する方式と、第７図、第８図に示した電極板15
により回り止め方式とを組み合わせたものである。
第13図、第14図は本発明の更に他の実施例にかかる超
音波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例
は振動体の振動に最も影響が少ないと思われる節位置に
円環状の軟質ゴムリング19を巻き付けて、所定位置に設
けられた固定部材20がゴムリング19を抱く様に固定され
た例である。
音波モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例
は振動体の振動に最も影響が少ないと思われる節位置に
円環状の軟質ゴムリング19を巻き付けて、所定位置に設
けられた固定部材20がゴムリング19を抱く様に固定され
た例である。
軟質ゴムリング19を用いることにより振動体の回転方
向以外は自由度を持たせている。
向以外は自由度を持たせている。
第15図、第16図は本発明の他の実施例にかかる超音波
モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は第
９図、第10図示実施例とほぼ同様で、第10図示圧縮コイ
ルスプリング5Aに代えて皿バネ21を用いてコストダウン
を図った例である。
モータの平面図並びに要部構成図にして、該実施例は第
９図、第10図示実施例とほぼ同様で、第10図示圧縮コイ
ルスプリング5Aに代えて皿バネ21を用いてコストダウン
を図った例である。
第17図〜第19図は本発明の他の実施例にかかる超音波
モータの平面図、要部構成図、並びに第18図示ピンの斜
視図の一部である。該実施例は第10図示実施例のボルト
3Aを、ボルト３（第18図参照）と、該ボルト３のネジ部
に螺合したピン27により構成した例である。ピン27は第
19図に示す様に中間に径方向に突き出た突起28を有し、
該突起28は固定フランジ７の突起7bと噛み合う構造とな
っている。そしてこの噛み合いにより振動体１、２の回
転は規制されている。
モータの平面図、要部構成図、並びに第18図示ピンの斜
視図の一部である。該実施例は第10図示実施例のボルト
3Aを、ボルト３（第18図参照）と、該ボルト３のネジ部
に螺合したピン27により構成した例である。ピン27は第
19図に示す様に中間に径方向に突き出た突起28を有し、
該突起28は固定フランジ７の突起7bと噛み合う構造とな
っている。そしてこの噛み合いにより振動体１、２の回
転は規制されている。
第20図は本発明の他の実施例にかかるカメラ用超音波
モータの要部構成図である。
モータの要部構成図である。
第20図において、７はネジ８によってカメラの地板40
にネジ止めされた固定フランジ、９は振動子９の駆動力
によって回転する回転体で、該回転体９の回転力は該回
転体９と一体的に回転するギヤ10、該ギヤ10に噛合する
ギヤ30、該ギヤ30に噛合するギヤ31、該ギヤ31に嵌合し
たギヤ32を介して、カメラの回転筒33に伝達される。36
はギヤ31に噛合したギヤで、該ギヤ36には前記回転筒の
位置、速度を検出するためのパルス板35が固着される。
37はパルス板35の位置、速度を検出する公知のフオトカ
プラである。38はフオトカプラ37に接続されたリード線
で、該リード線38はカメラのレンズ制御回路（不図示）
に接続されている。
にネジ止めされた固定フランジ、９は振動子９の駆動力
によって回転する回転体で、該回転体９の回転力は該回
転体９と一体的に回転するギヤ10、該ギヤ10に噛合する
ギヤ30、該ギヤ30に噛合するギヤ31、該ギヤ31に嵌合し
たギヤ32を介して、カメラの回転筒33に伝達される。36
はギヤ31に噛合したギヤで、該ギヤ36には前記回転筒の
位置、速度を検出するためのパルス板35が固着される。
37はパルス板35の位置、速度を検出する公知のフオトカ
プラである。38はフオトカプラ37に接続されたリード線
で、該リード線38はカメラのレンズ制御回路（不図示）
に接続されている。
次に上記構成にかかるモータの動作について説明す
る。
る。
４枚の圧電素子４に不図示の公知の駆動回路から交流
電圧が印加されると、振動体としての振動子，挟持部材
１、２は圧電素子４の分極状態に応じた複数の平面内で
あって、かつ印加される交流電圧の電気的位相差に応じ
た振動を圧電素子４から与えられるので、振動体として
の振動子，挟持部材１、２の表面粒子には回転運動が生
じ、この結果、回転体９は振動子１の傾斜部から駆動力
を受けて回転する。このためギヤ10、30、31を介してギ
ヤ32は回転させられ、ギヤ32に噛合した回転筒33も回転
して、該回転筒33の回転に伴って不図示のカメラの撮影
レンズの光学系（不図示）がピント調整の為に移動す
る。
電圧が印加されると、振動体としての振動子，挟持部材
１、２は圧電素子４の分極状態に応じた複数の平面内で
あって、かつ印加される交流電圧の電気的位相差に応じ
た振動を圧電素子４から与えられるので、振動体として
の振動子，挟持部材１、２の表面粒子には回転運動が生
じ、この結果、回転体９は振動子１の傾斜部から駆動力
を受けて回転する。このためギヤ10、30、31を介してギ
ヤ32は回転させられ、ギヤ32に噛合した回転筒33も回転
して、該回転筒33の回転に伴って不図示のカメラの撮影
レンズの光学系（不図示）がピント調整の為に移動す
る。
第21図は本発明の超音波モータを適用したカメラの撮
影レンズ部分の要部構成図である。
影レンズ部分の要部構成図である。
該実施例は第20図に示した実施例のカメラとほとんど
同じで、回転体９の回転に連動するギヤ32に前述の回転
筒33が噛合していて、そのヘリコイド部33aと固定筒34
のヘリコイド部34aとがヘリコイド結合する様構成され
ている。そして回転筒33が回転体９の回転に連動して回
転することによって、撮影レンズの合焦用光学系Ｌが光
軸に沿って移動する実施例である。
同じで、回転体９の回転に連動するギヤ32に前述の回転
筒33が噛合していて、そのヘリコイド部33aと固定筒34
のヘリコイド部34aとがヘリコイド結合する様構成され
ている。そして回転筒33が回転体９の回転に連動して回
転することによって、撮影レンズの合焦用光学系Ｌが光
軸に沿って移動する実施例である。
以上、説明したように、振動体を被固定部材に支持さ
れた接触体に対して、バネによって圧接することにより
支持するようにしたので、振動体の支持による効率の低
下が少なくなり、効率の良い振動波駆動装置を提供でき
る。又、振動体の接触体に対する圧接は、一方側が振動
体と結合し、他方側が中空な接触体の中空部を通った軸
状部材を用いるものであり、この軸状部材の他方側と被
固定部材とをバネ部材によってバネ付勢して行ったこと
により、バネ部材のバネ長を短くでき、例えば圧縮スプ
リングや皿バネの使用も可能とし、更には組立構造も簡
易とした振動波駆動装置を提供することができる。
れた接触体に対して、バネによって圧接することにより
支持するようにしたので、振動体の支持による効率の低
下が少なくなり、効率の良い振動波駆動装置を提供でき
る。又、振動体の接触体に対する圧接は、一方側が振動
体と結合し、他方側が中空な接触体の中空部を通った軸
状部材を用いるものであり、この軸状部材の他方側と被
固定部材とをバネ部材によってバネ付勢して行ったこと
により、バネ部材のバネ長を短くでき、例えば圧縮スプ
リングや皿バネの使用も可能とし、更には組立構造も簡
易とした振動波駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の前提となる、一例としての超音波モー
タの平面図、 第２図は第１図示モータの要部構成図、 第３図は第１図示モータの圧電素子及び電極の配置図、 第４図は第３図示圧電素子に印加される交流電圧の波形
図、 第５図、第６図は従来の超音波モータの平面図及び要部
構成図、 第７図、第８図は本発明の前提となる他の例の超音波モ
ータの平面図及び要部構成図、 第９図、第10図は本発明の第１実施例にかかる超音波モ
ータの平面図及び要部構成図、 第11図〜第19図は本発明の更に他の実施例にかかる超音
波モータの平面図及び要部構成図、 第20図、第21図は本発明の棒状超音波モータを適用した
カメラの要部構成図を夫々示すものである。 ７……固定フランジ ８……ビス 13、40……固定部材
タの平面図、 第２図は第１図示モータの要部構成図、 第３図は第１図示モータの圧電素子及び電極の配置図、 第４図は第３図示圧電素子に印加される交流電圧の波形
図、 第５図、第６図は従来の超音波モータの平面図及び要部
構成図、 第７図、第８図は本発明の前提となる他の例の超音波モ
ータの平面図及び要部構成図、 第９図、第10図は本発明の第１実施例にかかる超音波モ
ータの平面図及び要部構成図、 第11図〜第19図は本発明の更に他の実施例にかかる超音
波モータの平面図及び要部構成図、 第20図、第21図は本発明の棒状超音波モータを適用した
カメラの要部構成図を夫々示すものである。 ７……固定フランジ ８……ビス 13、40……固定部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−122385（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−206882（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/10 - 2/16
Claims (2)
- 【請求項１】略棒状の振動体に生じさせた振動によっ
て、前記振動体に圧接させた接触体と前記振動体とを相
対回転運動させる振動波駆動装置において、 前記接触体を被固定部材に対して軸受を介して支持する
と共に中空状に形成し、一方側が前記振動体に結合され
た軸状部材を設け、前記軸状部材の他方側は前記接触体
の中空部を貫通して前記振動体とは軸方向における反対
側に延出し、前記振動体を前記接触体に対して圧接する
ように、前記軸状部材の前記他方側と前記被固定部材と
をばね部材によって引っ張ることによりばね付勢すると
同時に、前記振動体と前記被固定部材とを係合したこと
を特徴とする振動波駆動装置。 - 【請求項２】前記振動体を固定として前記接触体を回転
させるように、前記振動体は回り止め手段によって回転
不能にしたことを特徴とする請求項１記載の振動波駆動
装置。
Priority Applications (4)
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| JP3825890B2 (ja) * | 1997-07-28 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 振動アクチュエータ |
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| JP4596610B2 (ja) | 2000-05-31 | 2010-12-08 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
| JP3805242B2 (ja) * | 2001-12-07 | 2006-08-02 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
| US7129618B2 (en) * | 2003-03-31 | 2006-10-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus capable of low-speed driving of vibration type driving apparatus, actuating apparatus using the control apparatus, control method capable of low-speed driving of vibration type driving apparatus, and storage medium storing program including program codes capable of realizing the control method |
| JP6548697B2 (ja) * | 2017-06-15 | 2019-07-24 | キヤノン株式会社 | リニア駆動機構、撮像装置、レンズ鏡筒及びステージ移動装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US4663556A (en) * | 1984-01-11 | 1987-05-05 | Hitachi Maxell, Ltd. | Torsional mode ultrasonic vibrator |
| US4831305A (en) * | 1984-04-02 | 1989-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
| JPS60210172A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-22 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| US4728843A (en) * | 1985-11-11 | 1988-03-01 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and drive control method thereof |
| US4697117A (en) * | 1985-11-27 | 1987-09-29 | Taga Electric Co., Ltd. | Rotary ultrasonic motor |
| US4742260A (en) * | 1986-02-06 | 1988-05-03 | Hiroshi Shimizu | Piezoelectrically driving device |
| US4812697A (en) * | 1986-04-09 | 1989-03-14 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and a method of controllingly driving same |
| JP2632811B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1997-07-23 | キヤノン株式会社 | 振動駆動モータ |
| EP0289734B1 (en) * | 1987-03-18 | 1994-06-01 | Honda Electric Co., Ltd. | An ultrasonic driving device |
| DE3852224T2 (de) * | 1987-07-14 | 1995-04-06 | Honda Electric Co | Ultraschalltreiberanordnung. |
| US4945275A (en) * | 1987-07-26 | 1990-07-31 | Honda Electric Co., Ltd. | Ultrasonic driving device |
| JPH01173528A (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-10 | Omron Tateisi Electron Co | シーソー形スイツチ |
| JPH01234067A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | Nec Corp | 超音波モータ |
| US5055732A (en) * | 1988-04-05 | 1991-10-08 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
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| US5039899A (en) * | 1989-02-28 | 1991-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric transducer |
| US5043956A (en) * | 1989-06-26 | 1991-08-27 | Seiko Instruments Inc. | Wristwatch with oscillation alarm |
| JP2935504B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-08-16 | キヤノン株式会社 | モータ |
| JPH0389875A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Brother Ind Ltd | リニア超音波モータ |
| JPH03117384A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-20 | Canon Inc | 超音波モータの摩擦材 |
| US5115161A (en) * | 1989-12-04 | 1992-05-19 | Nec Corporation | Ultrasonic motor |
| US5428260A (en) * | 1990-08-03 | 1995-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
| JP2879955B2 (ja) * | 1990-08-03 | 1999-04-05 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
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| JP2714261B2 (ja) * | 1990-12-14 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 振動子および振動装置 |
-
1990
- 1990-10-05 JP JP2267641A patent/JP3015090B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-10-04 EP EP91309134A patent/EP0479614B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-04 DE DE69126086T patent/DE69126086T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-09-30 US US08/129,579 patent/US5684353A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| EP0479614B1 (en) | 1997-05-14 |
| EP0479614A3 (en) | 1992-07-15 |
| US5684353A (en) | 1997-11-04 |
| DE69126086D1 (de) | 1997-06-19 |
| JPH04145881A (ja) | 1992-05-19 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |