JP3420256B2 - 振動波駆動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動を用いた振動波駆動
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、振動波駆動装置としてのペンシル
型の振動波モータ（超音波モータと呼ばれる）は図２に
示すように構成されていた。すなわち、加振体１、電極
板２、圧電素子３、押え体４、ボルト５からなる振動子
は、固定部材１０にボルト５の回り止め部５−ｂで接着
固定されている。

【０００３】固定部材１０の軸部１０−ａには、バネケ
ース６が嵌合されており、バネケース６にはベアリング
９を介して出力歯車８が軸支され、出力歯車８にはロー
タ７が嵌合している。

【０００４】加圧バネ１１は図に示すようにバネケース
６内に配置してあるために、バネケース６、ベアリング
９、歯車８を介して、ロータ７を加振体１に加圧してい
る。そして、ロータ７の回転は摩擦により出力ギヤに伝
えられる。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】振動波モータの出
力を大きくし、効率良く駆動するためにはロータを加振
体１に対して正しい方向に正しい圧力で加圧することが
最も重要である。

【０００６】しかし、上記従来例では、上記の構成をと
るために、出力ギヤの側圧による影響があった。出力ギ
ヤ８は不図示の伝達ギヤに出力を伝達する際にラジアル
方向の力（側圧）を必ず受ける。すなわち、従来例の構
成の場合、側圧は歯車８、ベアリング９、バネケース６
を介して固定部材１０に伝えられる。この時、バネケー
ス６と固定部材１０の間の摩擦力は、加圧バネ１１の力
に抗する力となり、加圧バネの力がロータ７と加振体１
の間に正しく加えられなくなる。また、ギヤ出力が大き
くすなわち側圧が大きい場合には、バネケース６とベー
ス部材１０の間の摩擦力は無視できなくなり、モータの
出力及び効率の低下を招く。

【０００７】

【０００８】

【０００９】

【００１０】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する振動波駆動装置の第１の構成は、電気−機械
エネルギー変換素子が加振体と押え体との間に挟持固定
され、該電気−機械エネルギー変換素子に信号が印加さ
れることによって加振体の端面に円または楕円運動を形
成する振動子と、該振動子に形成された軸の先端部を固
定する固定部材と、該加振体の端面に接触するロータ
と、該軸に軸支され、該ロータの回転が伝達される出力
歯車とを有し、該ロータが加圧バネを内装したバネケー
スと一体に構成され、該バネケースは該振動子に形成さ
れた軸に対して自由に傾き、該加圧バネが該出力歯車に
押圧されることにより該加振体の端面に接触する該ロー
タを加圧するものである。

【００１１】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第２の構成は、電気−機械エネルギー変換素
子が加振体と押え体との間に挟持固定され、該電気−機
械エネルギー変換素子に信号が印加されることによって
加振体の端面に円または楕円運動を形成する振動子と、
該振動子に形成された軸の先端部を固定する固定部材
と、該加振体の端面に接触するロータと、該固定部材に
軸支され、該ロータの回転が伝達される出力歯車とを有
し、該ロータが加圧バネを内装したバネケースと一体に
構成され、該加圧バネが該出力歯車に押圧されることに
より該加振体の端面に接触する該ロータを加圧するもの
である。本出願に係る発明の目的を実現する振動波駆動
装置の第３の構成は、電気−機械エネルギー変換素子が
加振体と押え体との間に挟持固定され、該電気−機械エ
ネルギー変換素子に信号が印加されることによって加振
体の端面に円または楕円運動を形成する振動子と、該振
動子に形成された軸の先端部よりも該加振体側の位置
で、該軸に対して回転不能で軸方向に移動可能に嵌合す
る固定部材と、該加振体の端面に接触するロータと、該
固定部材に軸支され、該ロータの回転が伝達される出力
歯車とを有し、該固定部材が加圧バネを内装したバネケ
ースと一体に構成され、該加圧バネが該軸の先端部に固
定されたバネ押えを押圧することにより該ロータの端面
に接触する該加振体を加圧するものである。

【００１２】

【作用】上記した第１の構成の振動波駆動装置は、電気
−機械エネルギー変換素子が加振体と押え体との間に挟
持固定された振動子を有し、ロータの回転が伝達される
出力歯車は、振動子に形成された軸によって軸支されて
いる。出力歯車が側圧を受けると、出力歯車と軸との間
には摩擦力が生じるが、この摩擦力はロータと一体に構
成されたバネケース内の加圧バネには作用しない。した
がって加圧バネの加圧力は出力歯車にかかる側圧の影響
を受けずに済む。また、上記した第２の構成の振動波駆
動装置は、電気−機械エネルギー変換素子が加振体と押
え体との間に挟持固定された振動子を有し、ロータの回
転が伝達される出力歯車は、振動子に形成された軸の先
端部を固定する固定部材によって軸支されている。出力
歯車が側圧を受けると、出力歯車と固定部材との間には
摩擦力が生じるが、この摩擦力はロータと一体に構成さ
れたバネケース内の加圧バネには作用しない。したがっ
て加圧バネの加圧力は出力歯車にかかる側圧の影響を受
けずに済む。また、上記した第３の構成の振動波駆動装
置は、電気−機械エネルギー変換素子が加振体と押え体
との間に挟持固定された振動子を有し、ロータの回転が
伝達される出力歯車は、振動子に形成された軸の先端部
よりも加振体側の位置で、軸に対して回転不能で軸方向
に移動可能に嵌合する固定部材によって軸支されてい
る。出力歯車が側圧を受けると、出力歯車と固定部材と
の間には摩擦力が生じるが、この摩擦力は固定部材と一
体に構成されたバネケース内の加圧バネには作用しな
い。したがって加圧バネの加圧力は出力歯車にかかる側
圧の影響を受けずに済む。

【００１３】

【実施例】図１は本発明による振動波駆動装置の第１の
実施例を示す振動波モータの縦断面図である。

【００１４】本実施例による振動子は、図２に示す従来
例と同様に、加振体１と押え体４との間に、Ａ相圧電素
子３Ａ，３Ａ、Ｂ相圧電素子３Ｂ，３Ｂ、および電極板
２Ａ，２Ｇ，２Ｂを介挿し、締結用のボルト５により挟
持固定して形成している。ボルト５は、その有効ネジ部
から軸部が同軸を有して形成されており、第１の軸部５
ｃと第２の軸部５ｄとの間にピン部５ａが形成され、ま
た第２の軸部５ｄからは２面幅の先端固定軸部５ｂが形
成されている。

【００１５】振動子は、図４に示すように構成されてお
り、圧電素子３Ａ，３Ｂは直径軸線を非導電部とする境
界線３Ａ−ａ，３Ｂ−ａとして一枚の圧電素子の中で分
極方向を逆転させている。２枚のＡ相圧電素子３Ａは図
のように、分極方向の同一部分を向い合わせ、電極板２
Ａをはさみ込んでいる。同様に、２枚のＢ相用圧電素子
３Ｂも図のように分極方向の同一部分を向い合わせ、電
極板２Ｂをはさみ込んでいる。一方、２枚のＡ相用圧電
素子と２枚のＢ相用圧電素子は電極板２Ｇをはさんで互
いに９０°位相をずらして配置している。

【００１６】以上のように構成した振動子の電極板２
Ａ，２Ｂに図５に示すように位相が９０°ずれた電圧Ｖ
Ａ ，ＶＢ をそれぞれ印加すると、Ａ相用圧電素子によ
る振動とＢ相用圧電素子による振動の合成により、振動
子に首振りのような振動である進行性の屈曲モードを与
える。

【００１７】加振体１の端面１ａは後記のロータ７の接
触部７ａと当接する摩擦摺動部をなしており、この摩擦
摺動部の１点は円又は楕円運動をしており、その円又は
楕円運動の方向は図中矢印Ｙで示す方向、すなわち摺動
面に対して略４５°の方向に振動し、この振動は振動子
の軸心方向から見ると円運動をなしており、この摩擦接
触部１ａに対して接触部７ａで接するロータ７に回転運
動を与える。

【００１８】なお、加振体１に周方向の溝部により形成
されたくびれ部１ｂは、駆動時における摩擦摺動部１ａ
の変位を拡大させる作用を有すると共に、摩擦摺動部１
ａの振動方向を４５°にする作用を有している。

【００１９】また、ロータ７の下部７ｂの形状は、加振
体１からロータ接触部７ａが加振力を受けた時の変形方
向が、矢印Ｙで示す加振体１の振動方向と一致し、摩擦
損失が少なくなるように形成している。

【００２０】１０は、固定部材で、ボルト５の先端固定
軸部５ｂに嵌合し、例えば接着剤により固定されてい
る。したがって、この固定部材１０を不図示の被固体部
材にネジ止め等により取り付けることで、振動子の支持
が行える。

【００２１】６は加圧バネ１１を内装した樹脂製のバネ
ケースで、外周に嵌合するロータ７が接着固定されて一
体化されている。バネケース６の下端部６ａは、図示の
ように、小径孔を有しており、この小径孔の内縁部に形
成されたエッヂ部が第１の軸部５ｃに線接触状態で接触
している。したがって、ロータ７は第１の軸部５ｃと接
線接触するバネケース６の下端部６ａを支点に、第１の
軸部５ｃに対して自由に傾くことができる。

【００２２】８は外周の上部に歯車部が形成された回転
出力部材をなす出力歯車で、第２の軸部５ｄに取り付け
られているベアリング９に、該歯車部に対応する部分が
嵌合して軸支されている。また、出力歯車８は、その下
端部がロータ７の下端部まで延びており、図中Ａで示す
箇所においてロータ７とラジアル方向にはガタを許容す
るが、周方向には回転不能とする、連結方式により係合
し、ロータ７の回転力が直接伝達されるようになってい
る。したがって、ロータ７が傾いても、出力歯車８は図
の姿勢が保持されることになる。なお、出力歯車８を所
定位置に取り付けた状態において、出力歯車８はバネケ
ース６内の加圧バネ１１を押圧し、ロータ７を加振体１
に加圧するバネ力を付与する。

【００２３】このように構成した本実施例の振動波モー
タは、出力歯車８がベアリング９を介してボルト５の第
２の軸部５ｄに軸支されているので、出力歯車８が不図
示の伝達歯車に出力を伝達する際に受ける、ラジアル方
向の力（側圧）はベアリング９を介して第２の軸部５ｄ
に伝えられ、加圧バネ１１の加圧力に何ら影響を与えな
い。

【００２４】したがって、出力歯車８の側圧の影響を受
けることなく、ロータ７は加振体１に対し、正しく加圧
される。

【００２５】次に、ロータ７はバネケース６の下端部６
ａで第１の軸部５ｃに軸支されている。この軸支されて
いる場所はボルト５のピン部５ａの根元にあり、ロータ
７と加振体１の接触面と略同一面にある。またバネケー
ス６の下端部６ａにボルトの軸部に対し自由に傾けるよ
うになっているため、ピン部５ａに曲りが発生しても、
ロータ７は加振体１に対し傾き、中心のずれがなく正し
く接触することができる。

【００２６】したがって、ロータの傾き、中心のずれに
よる面圧ムラを生じる事がない。

【００２７】次に、ロータ７の回転力は、Ａ部により出
力歯車８に伝えられる。Ａ部は図に示すように、ロータ
７と加振体１の接触面と略同一面にある。

【００２８】ギヤ出力の反力による面圧分布は、前述し
た式（１），（２）で与えられる。本実施例では、Ａ部
がロータ７と加振体１の接触面と略同一面にあるため
に、前述の式（１），（２）でＬが極めて小さい値とな
り、ギヤ出力の反力による面圧ムラは極めて小さくな
る。

【００２９】以上述べたように本実施例の構成による
と、ロータを加振体１に対して、正しい方向に、正しい
圧力で面圧ムラなく加圧できる構成になっており、出力
の大きく、効率の高い振動波モータが実現できる。

【００３０】なお、本実施例では回転出力部材として歯
車を用いているが、プーリー等の他のものでも同様の効
果が得られる。

【００３１】図６は本発明の第２の実施例を示す振動波
モータの断面図である。

【００３２】本実施例において、振動子の構成は、図１
に示す第１の実施例と同様であるが、ボルト５の先端固
定軸部５ｂに接着固定される固定部材１０は、先端固定
軸部５ｂの廻りに軸部１０ａが形成され、この軸部１０
ａにベアリング９が取り付けられている。

【００３３】また、加圧バネ１１を内装しているバネケ
ース６は、第１の実施例においてはロータ７と接着固定
されていたが、本実施例ではゴムスペーサ１２を介し
て、加圧バネ１１のバネ力により一体的に回転可能とし
ている。

【００３４】一方、出力歯車８の軸部８ａに、ロータ７
の内筒部７ｃが嵌合している。出力歯車８の係合部８ｂ
とバネケース６の係合部６ｂは、互いに係合して軸回り
の回り止めを行っており、バネケース６と一体に回転す
るロータ７の回転を出力歯車８に伝達する。なお、この
回り止め部はスラスト方向には自由に動くことができる
ようにしている。

【００３５】加圧バネ１１は、出力歯車８とバネケース
６の間に弾装され、ロータ７を振動体１に加圧してい
る。この加圧力はバネケース６とロータ７の間にあるゴ
ムスペーサ１２にも加わり、バネケース６とゴムスペー
サ１２との間、及びゴムスペーサ１２とロータ７との間
の摩擦力により、バネケース６とロータ７は一体に回転
するとともに、出力歯車８にこの摩擦力より大きな力が
加わった場合には、ゴムスペーサ部で滑りを発生させて
ロータ７へ過負荷が加わるのを防止する。

【００３６】一方、出力歯車８はベアリング９を介し
て、固定部材１０の軸部１０ａに軸支されている。よっ
て、出力歯車８が不図示の伝達歯車に出力を伝達する際
に受けるラジアル方向の力（側圧）は、ベアリング９を
介して固定部材１０の軸部１０ａに伝えられ、加圧バネ
１１の加圧力に何ら影響を与えない。

【００３７】図７は振動波モータをカメラのフィルム巻
上機構の駆動源に実施した例である。

【００３８】図において２００はカメラ、２０１は振動
波モータの駆動装置、２０２は伝達装置、２０３はフィ
ルム巻上スプール、１１０は振動波モータである。振動
波モータは既知の方法で駆動装置２０１により制御さ
れ、出力は伝達装置２０２によりフィルム巻上スプール
２０３に伝えられ、その回転により不図示のフィルムが
巻上げられる。

【００３９】この場合、本発明の振動波モータは大出
力、高効率であるため、高性能なフィルム巻上が可能と
なる。そして、振動波モータの特徴である低回転、高ト
ルク、低騒音を生かし、従来の電磁モータを用いたもの
に比べ、格段の静粛性を実現できる。

【００４０】図８は本発明の第３の実施例を示す振動波
モータの断面図である。

【００４１】本実施例による振動波モータは、振動子を
支持固定する固定部材６０を、バネケース６１と一体に
形成すると共に、出力歯車８と噛合等する伝達ギヤ７
２，７３の支軸６２，６３も固定部材６０に一体に形成
している。

【００４２】固定部材６０と一体に形成されるバネケー
ス６１の外周部に出力歯車８が回転自在に軸支され、ま
た同軸的にベアリング９が取り付けられている。そし
て、このベアリング９にロータ７が装着され、上記の各
実施例と同様の構成の振動子の加振体１にロータ７が当
接している。

【００４３】ロータ７と出力歯車８とは、図１に示す第
１の実施例と同様の方法で連結され、出力歯車８はロー
タ７と一体となって回転する。

【００４４】ボルト５のピン部５ａの根元部には、二方
取り部からなる中間固定軸部５ｅが形成されており、バ
ネケース６１の端部に形成されたストッパー部６４がこ
の中間固定軸部５ｅに回転不能に嵌合している。したが
って、振動子は、ボルト５の中間固定軸部５ｅとストッ
パー部６４との嵌合によって回転方向が規制され、固定
部材に軸方向移動可能に支持されることになる。また、
ボルト５の先端部には先端ネジ部５ｆが形成され、バネ
ケース６１内に挿通された該先端ネジ部５ｆにバネ押え
６５が螺着されて加圧バネ１１を加圧する。なお、バネ
押え６５はバネケース６１にガタなく装着され、加圧バ
ネ１１の加圧力がバネ押え６５を介して振動子に加わる
ようにしている。なお、図８は加圧バネ１１のばね力に
より、バネ押え６５を介してピン部５ａと一体に振動子
が下方に押し下げられ、中間固定軸部５ｅがストッパー
部６４の図中下端に形成されたストッパーをなすフラン
ジに突き当たり、該振動子に対してそれ以上の下方への
移動が規制された状態を示す。

【００４５】一方、固定部材６０と一体に形成された支
軸６２，６３に軸支されるギヤ７２，７３は、夫々抜け
止め７４により抜けが防止されている。このように、伝
達ギヤ７２，７３の支軸と、出力歯車８の支軸をなすバ
ネケース６１が固定部材に一体的に形成されているた
め、それぞれの軸間を正しく保つことができ、出力歯車
８の回転を効率よく伝達ギヤ７２に伝えることができ
る。

【００４６】また、出力歯車８、ベアリング９を軸支す
ると共に、ボルト５のピン部５ａが挿通されるバネケー
ス６１が固定部材６０と一体に形成されているため、振
動子の軸心に対して、出力歯車８、ロータ７を同軸に軸
支することができる。

【００４７】したがって、ロータ７の接触部と振動子の
摺動部１ａの接触を正しく保ち、振動子の加振力をロー
タの回転に効率よく変換することができる。

【００４８】なお、出力歯車８の側圧に対しても、上記
の実施例と同様の効果が得られる。

【００４９】なお、本実施例において、ロータと出力歯
車とは別体としているが、一体であってもよい。

【００５０】図９は図８に示す振動波モータをカメラの
フィルム巻上げ巻戻し機構に応用した例である。

【００５１】図中、Ｍは振動波モータ、１０１は不図示
のカメラ本体に取り付けられる底板、１０２は太陽ギ
ヤ、１０３は遊星ギヤであり、これらギヤ１０２，１０
３で遊星クラッチを形成し、振動波モータＭの回転方向
により出力をフィルム巻上げ、巻戻しのいづれかに切り
換える。１０４はスプール駆動ギヤ、１０５はスプー
ル、１０６は伝達ギヤ、１０７，１０９はウォームギ
ヤ、１０８は伝達軸、１１１はフォークギヤ、１１２は
巻戻しフォークである。

【００５２】スプール１０５は固定部材６０に回転自在
に保持されている。スプール１０５の内部には振動波モ
ータＭが配置される。

【００５３】固定部材６０は振動波モータＭ及びギヤ１
０２，１０６，１０４を支持し、底板１０１に固定され
る。振動波モータＭの出力歯車８は太陽ギヤ１０２と噛
み合い、太陽ギヤ１０２は矢印の方向に回転する。遊星
ギヤ１０３は図の位置にあり、伝達ギヤ１０６ａと噛み
合い、はすば歯車１０６ｂ、ウォームギヤ１０７、伝達
軸１０８、ウォームギヤ１０９、フォークギヤ１１１と
回転が伝達され、巻戻しフォーク１１２は矢印の方向に
回転し不図示のフィルムパトローネにフィルムは巻戻さ
れる。なお、伝達軸１０８、及びフォークギヤ１１１は
底板１０１に回転自在に保持され、また、フォークギヤ
１１１と巻戻しフォーク１１２、伝達軸１０２とウォー
ムギヤ１０７，１０９はそれぞれ一体に回転する。

【００５４】次に振動波モータＭが反対に回転すると、
太陽ギヤ１０２は矢印と反対方向に回転し、遊星ギヤ１
０３は一点鎖線の位置にあり、スプール駆動ギヤ１０４
ａと噛み合い、スプール駆動ギヤ１０４ｂはスプール１
０５のギヤ部１０５ａと噛み合い、スプール１０５を矢
印の方向に回転させ、フィルムを巻上げる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明は、電気−機械エネルギー変換素子が加振体と押え体
との間に挟持固定された振動子を有し、ロータの回転が
伝達される出力歯車が、振動子に形成された軸に軸支さ
れている振動波駆動装置であって、ロータが加圧バネを
内装したバネケースと一体に構成され、該バネケースは
該振動子に形成された軸に対して自由に傾き、加圧バネ
が出力歯車に押圧されることにより加振体の端面に接触
するロータを加圧する構成であるため、出力歯車が側圧
を受けることで生じる摩擦力はバネケース内の加圧バネ
には作用せず、加圧バネの加圧力は出力歯車にかかる側
圧の影響を受けずに済む。また、請求項２に係る発明
は、電気−機械エネルギー変換素子が加振体と押え体と
の間に挟持固定された振動子を有し、ロータの回転が伝
達される出力歯車が、該振動子に形成された軸の先端部
を固定する固定部材によって軸支されている振動波駆動
装置であって、ロータが加圧バネを内装したバネケース
と一体に構成され、加圧バネが出力歯車に押圧されるこ
とにより加振体の端面に接触するロータを加圧する構成
であるため、出力歯車が側圧を受けることで生じる摩擦
力はバネケース内の加圧バネには作用せず、加圧バネの
加圧力は出力歯車にかかる側圧の影響を受けずに済む。
さらに、請求項３に係る発明は、電気−機械エネルギー
変換素子が加振体と押え体との間に挟持固定された振動
子を有し、ロータの回転が伝達される出力歯車が、振動
子に形成された軸の先端部よりも加振体側の位置で、軸
に対して回転不能で軸方向に移動可能に嵌合する固定部
材に軸支されている振動波駆動装置であって、固定部材
が加圧バネを内装したバネケースと一体に構成され、加
圧バネが軸の先端部に固定されたバネ押えを押圧するこ
とによりロータの端面に接触する加振体を加圧する構成
であるため、出力歯車が側圧を受けることで生じる摩擦
力はバネケース内の加圧バネには作用せず、加圧バネの
加圧力は出力歯車にかかる側圧の影響を受けずに済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す振動波モータの断
面図。

【図２】従来の振動波モータを示す断面図。

【図３】ギヤ出力の反力による面圧ムラを説明する図。

【図４】振動子の分解斜視図。

【図５】振動子の駆動波形を示す図。

【図６】本発明の第２の実施例を示す断面図。

【図７】振動波モータを用いたカメラのフィルムの給送
機構の概略図。

【図８】本発明の第３の実施例を示す振動波モータの断
面図。

【図９】図８の振動波モータを用いたカメラのフィルム
の給送機構の概略図。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−211075（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−228273（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−119580（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−51376（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−146174（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−255477（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−244280（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−19982（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−36969（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−241429（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−49390（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−75995（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−119478（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気−機械エネルギー変換素子が加振体
   と押え体との間に挟持固定され、該電気−機械エネルギ
   ー変換素子に信号が印加されることによって加振体の端
   面に円または楕円運動を形成する振動子と、 該振動子に形成された軸の先端部を固定する固定部材
   と、 該加振体の端面に接触するロータと、 該軸に軸支され、該ロータの回転が伝達される出力歯車
   とを有し、 該ロータが加圧バネを内装したバネケースと一体に構成
   され、該バネケースは該振動子に形成された軸に対して
   自由に傾き、該加圧バネが該出力歯車に押圧されること
   により該加振体の端面に接触する該ロータを加圧するこ
   とを特徴とする振動波駆動装置。
2. 【請求項２】 電気−機械エネルギー変換素子が加振体
   と押え体との間に挟持固定され、該電気−機械エネルギ
   ー変換素子に信号が印加されることによって加振体の端
   面に円または楕円運動を形成する振動子と、 該振動子に形成された軸の先端部を固定する固定部材
   と、 該加振体の端面に接触するロータと、 該固定部材に軸支され、該ロータの回転が伝達される出
   力歯車とを有し、該ロータが加圧バネを内装したバネケースと一体に構成
   され、該加圧バネが該出力歯車に押圧されることにより
   該加振体の端面に接触する該ロータを加圧 することを特
   徴とする振動波駆動装置。
3. 【請求項３】 電気−機械エネルギー変換素子が加振体
   と押え体との間に挟持固定され、該電気−機械エネルギ
   ー変換素子に信号が印加されることによって加振体の端
   面に円または楕円運動を形成する振動子と、 該振動子に形成された軸の先端部よりも該加振体側の位
   置で、該軸に対して回転不能で軸方向に移動可能に嵌合
   する固定部材と、 該加振体の端面に接触するロータと、 該固定部材に軸支され、該ロータの回転が伝達される出
   力歯車とを有し、該固定部材が加圧バネを内装したバネケースと一体に構
   成され、該加圧バネが該軸の先端部に固定されたバネ押
   えを押圧することにより該ロータの端面に接触 する該加
   振体を加圧 することを特徴とする振動波駆動装置。