JP2018050435A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 圧電素子を有している振動部と、前記振動部に配置されており、被駆動部に駆動力を伝達する伝達部と、を備えている振動子と、
   前記振動子を前記被駆動部に向けて付勢する付勢部と、を有し、
   前記付勢部は、前記振動子に接続されている基部と、前記基部と一体である一対のバネ部と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエーター。
2. 前記付勢部は、シリコンを含んでいる請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
3. 前記付勢部は、エッチング面を有している請求項１または２に記載の圧電アクチュエーター。
4. 前記振動子は、前記基部と接続して前記振動部を支持している支持部を有している請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
5. 前記振動子は、複数の前記付勢部の間に配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
6. 前記付勢部は、前記振動子と前記付勢部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動部と重なる領域を有し、前記重なる領域において前記付勢部と前記振動部との間には空隙が設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
7. 前記付勢部は、一対のバネ部を介して前記基部と接続されている接続部を有し、
   前記接続部は、前記振動子の付勢方向と交差する方向に前記基部と並んで配置されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
8. 複数の前記振動子を有し、
   複数の前記振動子は、積層されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする圧電モーター。
10. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とするロボット。
11. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする電子部品搬送装置。
12. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とするプリンター。
13. 複数の振動子を有している振動子基板と、複数の付勢部を有している付勢部基板とを接合する工程と、
    前記接合する工程で得られた接合基板を個片化する工程と、を含むことを特徴とする圧電アクチュエーターの製造方法。