JP2021035213A - 圧電駆動装置およびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】ローターの軽量化と振動の抑制とを両立する。【解決手段】圧電駆動装置は、回転力を出力する出力部と、出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、圧電素子を有し、圧電素子の変形によってローターを回転させる振動部と、を備える。伝達部は、出力部から伝達部に向かう径方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、第１部分は、出力部に接続され、第２部分のヤング率は、第１部分のヤング率よりも大きく、第２部分の単位体積当たりの質量は、第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、振動部は、回転軸の軸方向からの平面視において、第２部分に重なる位置で伝達部に接触する。【選択図】図１

Description

本開示は、圧電駆動装置およびロボットに関する。

特許文献１には、圧電素子の変形を用いて楕円運動する振動体と、振動体との接触によって駆動される被駆動体とを備える装置が記載されている。この装置では、被駆動体は、主にステンレス鋼によって形成されている。

特開２０１６−０６３７１２号公報

上述した装置では、消費電力の低減等の観点から、被駆動体の軽量化が望まれる。しかし、被駆動体を軽量化した場合、被駆動体が振動しやすくなって、振動体から被駆動体に対して駆動力を効率良く伝達できなくなる可能性がある。

本開示の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、回転力を出力する出力部と、前記出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、圧電素子を有し、前記圧電素子の変形によって前記ローターを回転させる振動部と、を備える。前記伝達部は、前記出力部から前記伝達部へ向かう径方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、前記第１部分は、前記出力部に接続され、前記第２部分のヤング率は、前記第１部分のヤング率よりも大きく、前記第２部分の単位体積当たりの質量は、前記第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、前記振動部は、前記回転軸の軸方向からの平面視において、前記第２部分に重なる位置で前記伝達部に接触する。

第１実施形態の圧電モーターの概略構成を示す第１の説明図。 第１実施形態の圧電モーターの概略構成を示す第２の説明図。 第１実施形態の圧電アクチュエーターの構成を示す斜視図。 第１実施形態の圧電アクチュエーターの構成を示す平面図。 第１平行ばね部と第２平行ばね部とが変形する様子を示す説明図。 第１実施形態の圧電アクチュエーターのＶＩ−ＶＩ線断面図。 第１実施形態の振動部の構成を示す説明図。 第１実施形態の振動部の動作を示す説明図。 第２実施形態の圧電モーターの概略構成を示す第１の説明図。 第３実施形態のロボットの概略構成を示す説明図。 第４実施形態のプリンターの概略構成を示す説明図。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態における圧電モーター１０の概略構成を示す第１の説明図である。図２は、第１実施形態における圧電モーター１０の概略構成を示す第２の説明図である。本実施形態における圧電モーター１０は、圧電モーター１０の外形を区画するケース２０と、ケース２０の内部に収容された圧電アクチュエーター３０と、圧電アクチュエーター３０によって駆動されるローター４０と、ローター４０を回転可能に支持するベアリング５０とを備えている。圧電アクチュエーター３０は、圧電素子３２を備えており、圧電素子３２の二次元的な変形を用いてローター４０を回転させる。ローター４０の回転は、出力部４１を介して圧電モーター１０の外部に伝達される。圧電モーター１０は、ケース２０に対するローター４０の回転方向や、回転角や、回転速度を検出するエンコーダーを備えてもよい。エンコーダーは、光学式であっても、磁気式であってもよい。尚、圧電モーター１０のことを圧電駆動装置や、超音波モーターと呼ぶことがある。ローター４０のことを被駆動部と呼ぶことがある。

ケース２０は、下ケース２９と蓋部２３とによって構成されている。下ケース２９は、底面部２１と、底面部２１の外周縁から蓋部２３に向かって立設された側面部２２とを備えている。底面部２１の中央には、出力部４１が貫通する開口部２６が設けられている。底面部２１の、開口部２６の外周には、ベアリング５０の外輪が接続される突起部２４が設けられている。底面部２１の外周縁の内側には、圧電アクチュエーター３０が接続される段差部２５が設けられている。ベアリング５０や圧電アクチュエーター３０の接続については後述する。蓋部２３は、ベアリング５０とローター４０と圧電アクチュエーター３０とが下ケース２９に接続された後に、ねじによって下ケース２９の側面部２２の上端部分に接続される。蓋部２３には、配線等が通る貫通孔２７が設けられている。

圧電アクチュエーター３０は、固定部材３６を介してケース２０の段差部２５に固定されている。圧電アクチュエーター３０は、上述した圧電素子３２と、ローター４０の被接触面４９に対向する先端部３３とを備えている。圧電素子３２に交流電流が供給されることによって、圧電素子３２が変形して、先端部３３が楕円軌道を描くように振動する。先端部３３は、この振動によってローター４０の被接触面４９に繰り返し接触して、ローター４０に駆動力を付与する。本実施形態では、圧電アクチュエーター３０は、ねじによって固定部材３６に固定されている。固定部材３６は、ねじと接着剤とのうちの少なくともいずれか一方によって段差部２５に固定されている。尚、圧電アクチュエーター３０の具体的な構成および動作については後述する。

図２には、蓋部２３から底面部２１に向かって視た圧電アクチュエーター３０とローター４０との位置関係が表されている。本実施形態における圧電モーター１０には、４つの圧電アクチュエーター３０が設けられている。４つの圧電アクチュエーター３０は、等間隔に配置されている。尚、圧電モーター１０に設けられる圧電アクチュエーター３０の数は、４つに限られず、１つから３つでもよいし、５つ以上でもよい。圧電アクチュエーター３０は、等間隔に配置されなくてもよい。

ローター４０は、上述した出力部４１と、出力部４１の外周に配置され、出力部４１に接続された伝達部４５とを有している。本実施形態では、ローター４０は、回転軸ＲＸを中心に回転する。ローター４０は、中空の出力部４１を有している。尚、ローター４０は、中実の出力部４１を有してもよい。ローター４０の出力部４１の回転軸ＲＸに沿って下ケース２９から蓋部２３に向かう方向のことを軸方向ＡＤと呼び、出力部４１の回転軸ＲＸに直交し、回転軸ＲＸから外側に向かう方向のことを径方向ＲＤと呼ぶ。また、ローター４０の回転方向のことを周方向ＣＤと呼ぶ。これらの方向ＡＤ，ＲＤ，ＣＤは、各図において適宜図示した。

伝達部４５は、圧電アクチュエーター３０の先端部３３から駆動力を受け、この駆動力を出力部４１に伝達する。伝達部４５は、出力部４１から径方向ＲＤの外側に向かって順に連接された、第１部分４６と第２部分４７とを有している。本実施形態では、第１部分４６は、回転軸ＲＸを中心とする円環状の部分と、回転軸ＲＸを中心とする円筒状の部分とが組み合わされた形状を有している。第１部分４６の円環状の部分は、出力部４１の外周側面に接続されている。第１部分４６の円環状の部分は、出力部４１の外周側面における蓋部２３側の端部から径方向ＲＤにおける外側に向かって延びている。第１部分４６の円筒状の部分は、第１部分４６の円環状の部分からケース２０の底面部２１に向かって延びている。第１部分４６の円筒状の部分の外径は、第１部分４６の円環状の部分の外径と同じである。第１部分４６は、軸方向ＡＤにおいて、ベアリング５０に重なる領域Ｒ１と、径方向ＲＤにおいて、ベアリング５０に重なる領域Ｒ２を有している。第２部分４７は、第１部分４６の円筒状の部分の外周側面に接続されている。第２部分４７は、第１部分４６の外周側面における底面部２１側の端部から、径方向ＲＤにおける外側に向かって延びている。第２部分４７は、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。第２部分４７は、軸方向ＡＤにおいて第１部分４６に重なっていない。そのため、本実施形態では、第２部分４７と出力部４１との間の距離は、第１部分４６と出力部４１との間の距離よりも長い。尚、軸方向ＡＤにおいて重なるとは、軸方向ＡＤに沿って視たときに重なっていることを意味する。径方向ＲＤにおいて重なるとは、径方向ＲＤに沿って視たときに重なっていることを意味する。例えば、第１部分４６の領域Ｒ１は、第１部分４６とベアリング５０とを軸方向ＡＤに沿って視たときに、ベアリング５０に重なっている第１部分４６の領域のことを意味する。

本実施形態では、出力部４１と第１部分４６とは、一体に形成されている。図１および図２には、出力部４１と第１部分４６との境界線が二点鎖線で表されている。尚、出力部４１と第１部分４６とは、別体として形成されてもよい。この場合、別体として形成された出力部４１と第１部分４６とは、ねじや溶接や接着等によって互いに固定される。図１および図２に示した出力部４１と第１部分４６との境界線は、説明上、便宜的に付したものであり、各部の機能に鑑みて適宜設定されてもよい。

第１部分４６と第２部分４７とは、別体として形成されている。本実施形態では、第１部分４６と第２部分４７とは、ねじによって互いに固定されている。尚、第１部分４６に雄ねじ部が設けられ、第２部分４７に雌ねじ部が設けられ、雄ねじ部と雌ねじ部とが嵌め合わされることによって、第１部分４６と第２部分４７とが互いに固定されてもよい。第１部分４６と第２部分４７とは、溶接や接着等によって接続されてもよい。

第１部分４６と第２部分４７とは、異なる材料によって形成されている。第２部分４７のヤング率は、第１部分４６のヤング率よりも大きい。第２部分４７の単位体積当たりの質量は、第１部分４６の単位体積当たりの質量よりも大きい。本実施形態では、第１部分４６との材料は、アルミニウム合金であり、第２部分４７の材料は、ステンレス鋼である。尚、第１部分４６の材料がアルミニウム合金で、かつ、第２部分４７の材料がチタン合金であってもよい。第１部分４６の材料が樹脂材料で、かつ、第２部分４７の材料がステンレス鋼であってもよい。第１部分４６の材料が樹脂材料で、かつ、第２部分４７の材料がチタン合金であってもよい。樹脂材料には、例えば、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、変性ポリフェニレンエーテル（ｍ−ＰＰＥ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のエンジニアリングプラスチックや、非晶ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリスルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルスルホン（ＰＳＥ）、ポリフェニレンスルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のスーパーエンジニアリングプラスチックを用いることができる。尚、本実施形態では、出力部４１の材料は、第１部分４６の材料と同じである。

本実施形態では、伝達部４５は、高硬度部４８を有している。高硬度部４８は、軸方向ＡＤにおいて、圧電アクチュエーター３０の先端部３３と第２部分４７との間に配置されている。高硬度部４８は、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。高硬度部４８の外径は、第２部分４７の外径と同じである。高硬度部４８の内径は、第１部分４６の外径よりも大きい。軸方向ＡＤにおいて、高硬度部４８の全域が第２部分４７に重なっている。つまり、高硬度部４８は、径方向ＲＤに沿って第２部分４７から突き出した部分を有しない。第２部分４７の一部は、径方向ＲＤにおける第１部分４６と高硬度部４８との間に配置されており、第１部分４６と高硬度部４８とに接している。高硬度部４８は、軸方向ＡＤに交差する第２部分４７の面と、径方向ＲＤに交差する第２部分４７の面とに絶縁性の接着剤によって接着されている。高硬度部４８には、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が接触する被接触面４９が設けられている。被接触面４９は、軸方向ＡＤにおいて、第２部分４７に重なっている。高硬度部４８の硬度は、第２部分４７の硬度よりも大きい。高硬度部４８の硬度と第２部分４７の硬度とは、ビッカース硬さ試験（ＪＩＳ Ｚ ２２４４）によって測定された硬度のことを意味する。ビッカース硬さ試験には、組み立てられた状態の圧電モーター１０から採取された試験片が用いられて、高硬度部４８の硬度と第２部分４７の硬度とが測定される。本実施形態では、高硬度部４８は、セラミック材料によって形成されている。より具体的には、高硬度部４８は、アルミナ（酸化アルミニウム）によって形成されている。尚、高硬度部４８を形成するセラミック材料として、アルミナの他に、例えば、ジルコニアや、チタン酸バリウムを用いることができる。高硬度部４８は、金属材料によって形成されてもよい。高硬度部４８を形成する金属材料として、例えば、超硬合金、高速度鋼、合金工具鋼等を用いることができる。高硬度部４８は、ねじや拡散接合等によって第２部分４７に固定されてもよい。第２部分４７に溝が形成され、この溝に高硬度部４８が嵌め込まれてもよい。

ベアリング５０は、ローター４０の出力部４１と、ケース２０の突起部２４との間に設けられている。ベアリング５０は、ケース２０に対して回転可能にローター４０を支持している。本実施形態では、ベアリング５０として、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有するローラーベアリングが用いられている。ベアリング５０は、ローラーベアリングではなく、例えば、ボールベアリングであってもよい。ローター４０がベアリング５０に支持されることによって、ローター４０は、回転軸ＲＸを中心にして円滑に回転できる。

ベアリング５０の外輪は、第１支持部材５６とケース２０の底面部２１とによって挟持されている。第１支持部材５６は、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。周方向ＣＤに垂直な第１支持部材５６の断面は、Ｌ字形状を有している。本実施形態では、第１支持部材５６の外内周側面とケース２０の突起部２４の内周側面とのそれぞれに、ねじ部が設けられており、ねじ部同士が嵌め合わされることによって、第１支持部材５６が突起部２４に固定されている。

ベアリング５０の内輪は、第２支持部材５７とローター４０の出力部４１とによって挟持されている。第２支持部材５７は、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。周方向ＣＤに垂直な第２支持部材５７の断面は、第１支持部材５６の断面を１８０度回転させたＬ字形状を有している。本実施形態では、ローター４０の出力部４１の外周側面と第２支持部材５７の内周側面とのそれぞれに、ねじ部が設けられており、ねじ部同士が嵌め合わされることによって、第２支持部材５７がローター４０に固定されている。

図１に示すように、ベアリング５０と第１支持部材５６と第２支持部材５７とを用いて、下ケース２９に対して、ローター４０が回転可能に接続された後、図２に示すように、圧電アクチュエーター３０が予め接続された固定部材３６が、下ケース２９に接続される。

図３は、圧電アクチュエーター３０の構成を示す斜視図である。図３には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ方向は、図１および図２に示した軸方向ＡＤと平行な方向であり、Ｚ方向は、図１および図２に示した径方向ＲＤと平行な方向である。これらの方向Ｘ，Ｙ，Ｚは、各図において適宜図示した。圧電アクチュエーター３０は、圧電素子３２を有する本体部３９と、本体部３９に接続された先端部３３と、ローター４０に向かって本体部３９を付勢する第１平行ばね部６０と、第１平行ばね部６０とともに、ローター４０に向かって本体部３９を付勢する第２平行ばね部７０とを備えている。

本体部３９は、第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０との間に配置されている。本体部３９は、圧電素子３２と、第１振動板８１と、第２振動板８２と、第１層間部材８５とによって構成されている。圧電素子３２は、第１振動板８１と、第２振動板８２との間に設けられている。第１層間部材８５は、第１振動板８１と第２振動板８２との間の隙間を埋めるように設けられている。

圧電素子３２は、両面に電極が設けられた圧電体によって構成されている。本実施形態では、圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛によって形成されている。圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛ではなく、例えば、チタン酸バリウムや水晶によって形成されてもよい。電極は、図示しない配線によって、スイッチング素子を介して電源に接続されている。

第１振動板８１と第２振動板８２とは、同じ形状を有している。第１振動板８１と第２振動板８２とは、シリコンによって形成されている。圧電素子３２と第１振動板８１との間、および、圧電素子３２と第２振動板８２との間は、絶縁性の接着剤によって接着されている。第１層間部材８５は、シリコンによって形成されている。第１層間部材８５と第１振動板８１との間、および、第１層間部材８５と第２振動板８２との間は、絶縁性の接着剤によって接着されている。

先端部３３は、絶縁性の接着剤によって本体部３９に接着されている。先端部３３は、耐摩耗性に優れる材料によって形成されることが好ましい。本実施形態では、先端部３３は、アルミナによって形成されている。

第１平行ばね部６０は、第１非ばね部６１と、第２非ばね部６２と、第１非ばね部６１と第２非ばね部６２との間を接続する複数の第１板ばね部６３とを有している。本実施形態では、第１非ばね部６１と第２非ばね部６２との間は、６つの第１板ばね部６３によって接続されている。第１非ばね部６１と第２非ばね部６２とは、第１平行ばね部６０において、Ｘ方向に沿って変形しにくい部分である。第１板ばね部６３は、第１平行ばね部６０において、Ｘ方向に沿って変形しやすい部分である。それぞれの第１板ばね部６３は、Ｙ方向に向かって互いに平行に延びている。それぞれの第１板ばね部６３は、Ｚ方向において本体部３９に対向して配置されている。

第２平行ばね部７０は、第３非ばね部７１と、第４非ばね部７２と、第３非ばね部７１と第４非ばね部７２との間を接続する複数の第２板ばね部７３とを有している。第３非ばね部７１と第４非ばね部７２とは、第２平行ばね部７０において、Ｘ方向に沿って変形しにくい部分である。第２板ばね部７３は、第２平行ばね部７０において、Ｘ方向に沿って変形しやすい部分である。それぞれの第２板ばね部７３は、Ｙ方向に向かって互いに平行に延びている。それぞれの第２板ばね部７３は、Ｚ方向において本体部３９に対向して配置されている。本実施形態では、第２平行ばね部７０は、本体部３９を挟んで第１平行ばね部６０と対称形状を有している。

第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０とは、それぞれ、シリコンによって形成されている。第１平行ばね部６０における第１非ばね部６１と第２非ばね部６２と第１板ばね部６３とは、板状のシリコンにドライエッチングを用いて形成できる。第２平行ばね部７０における第３非ばね部７１と第４非ばね部７２と第２板ばね部７３とは、板状のシリコンにドライエッチングを用いて形成できる。

第１平行ばね部６０の第２非ばね部６２と第２平行ばね部７０の第４非ばね部７２との間には、第２非ばね部６２から第４非ばね部７２に向かって、第３振動板８３と、第２層間部材８６と、第４振動板８４とがこの順に設けられている。第３振動板８３と第４振動板８４とは、同じ形状を有している。第３振動板８３と第４振動板８４とは、シリコンによって形成されている。第３振動板８３のＺ方向に沿った厚みは、第１振動板８１のＺ方向に沿った厚みと同じである。第４振動板８４のＺ方向に沿った厚みは、第２振動板８２のＺ方向に沿った厚みと同じである。第２層間部材８６は、シリコンによって形成されている。第２層間部材８６のＺ方向に沿った厚みは、第１層間部材８５のＺ方向に沿った厚みと同じである。

第２非ばね部６２と第４非ばね部７２とには、圧電アクチュエーター３０を固定部材３６に固定するためのねじが挿入される取付穴３８が２つ設けられている。取付穴３８は、第１平行ばね部６０と、第３振動板８３と、第２層間部材８６と、第４振動板８４と、第２平行ばね部７０とを貫通して設けられている。

図４は、圧電アクチュエーター３０の構成を示す平面図である。本体部３９は、振動部３１と、支持部３４と、腕部３５とを有している。振動部３１は、圧電素子３２を有する部分である。第１平行ばね部６０から第２平行ばね部７０に向かって視た振動部３１の形状は、Ｘ方向に沿った長手方向を有する長方形である。振動部３１の一方の短辺の中央には、先端部３３が接続されている。腕部３５は、振動部３１の他方の短辺と振動部３１の両方の長辺とに対向する部分である。支持部３４は、振動部３１の両方の長辺の中央と腕部３５との間を接続する部分である。

第１平行ばね部６０の第１非ばね部６１は、第１厚肉部６５と、第１薄肉部６６とを有している。第１薄肉部６６のＺ方向に沿った厚みは、第１厚肉部６５のＺ方向に沿った厚みよりも小さい。第１厚肉部６５は、第１非ばね部６１における腕部３５に対向する領域に設けられている。図４には、第１厚肉部６５が設けられた領域にハッチングが施されている。第１薄肉部６６は、第１非ばね部６１における振動部３１と支持部３４とに対向する領域に設けられている。第１厚肉部６５は、絶縁性の接着剤によって腕部３５に接着されている。第１薄肉部６６は、振動部３１と支持部３４との間に所定の間隔を有している。

第２平行ばね部７０の第３非ばね部７１は、第２厚肉部７５と、第２薄肉部７６とを有している。第２薄肉部７６のＺ方向に沿った厚みは、第２厚肉部７５のＺ方向に沿った厚みよりも小さい。第２厚肉部７５は、第３非ばね部７１における腕部３５に対向する領域に設けられている。図４には、第２厚肉部７５が設けられた領域にハッチングが施されている。第２薄肉部７６は、第３非ばね部７１における振動部３１と支持部３４とに対向する領域に設けられている。第２厚肉部７５は、絶縁性の接着剤によって腕部３５に接着されている。第２薄肉部７６は、振動部３１と支持部３４との間に所定の間隔を有している。

図５は、第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０とが変形する様子を示す説明図である。第１平行ばね部６０は、Ｘ方向に沿った荷重に対して、平行ばね機構として機能する。第２平行ばね部７０は、第１平行ばね部６０と同様に、Ｘ方向に沿った荷重に対して、平行ばね機構として機能する。例えば、図５に示すように、先端部３３が−Ｘ方向に向かって荷重Ｆｘを受けた場合、第１非ばね部６１と第３非ばね部７１とは、本体部３９を介して、−Ｘ方向に向かって押される。第１非ばね部６１と第３非ばね部７１とが−Ｘ方向に向かって押されることによって、それぞれの第１板ばね部６３は、互いに平行な状態を保ちつつ、−Ｘ方向に向かって撓み、それぞれの第２板ばね部７３は、互いに平行な状態を保ちつつ、−Ｘ方向に向かって撓む。第１非ばね部６１は、第２非ばね部６２に対して回転せずに、第１板ばね部６３の−Ｘ方向への撓み量に応じて−Ｘ方向に向かって並進移動するとともに、第１板ばね部６３の撓みに伴う第１板ばね部６３と第１非ばね部６１との接続部の＋Ｙ方向への移動量に応じて＋Ｙ方向に向かって並進移動する。第３非ばね部７１は、第４非ばね部７２に対して回転せずに、第２板ばね部７３の−Ｘ方向への撓み量に応じて−Ｘ方向に向かって並進移動するとともに、第２板ばね部７３の撓みに伴う第２板ばね部７３と第３非ばね部７１との接続部の＋Ｙ方向への移動量に応じて＋Ｙ方向に向かって並進移動する。尚、図５には、移動前の第１平行ばね部６０と第２平行ばね部７０との位置が二点鎖線で表されている。第１非ばね部６１と第２非ばね部６２と第３非ばね部７１と第４非ばね部７２とは、ほとんど変形しない。第２非ばね部６２と第４非ばね部７２とは、固定部材３６に固定されているため、固定部材３６に対して移動しない。

図６は、図４における圧電アクチュエーター３０のＶＩ−ＶＩ線断面図である。本実施形態では、第１板ばね部６３の断面形状と、第２板ばね部７３の断面形状とは、長方形の断面形状を有している。

図７は、振動部３１の構成を示す説明図である。本実施形態では、振動部３１は、第１圧電素子３２Ａと、第２圧電素子３２Ｂと、第３圧電素子３２Ｃと、第４圧電素子３２Ｄと、第５圧電素子３２Ｅとを有している。各圧電素子３２Ａ〜３２Ｅは、振動部３１の長手方向に沿って配置されている。図７において、第１圧電素子３２Ａは、振動部３１の中央に配置されている。第２圧電素子３２Ｂと第３圧電素子３２Ｃとは、第１圧電素子３２Ａの左側に配置されている。第２圧電素子３２Ｂは、支持部３４よりも下方に配置されている。第３圧電素子３２Ｃは、支持部３４よりも上方に配置されている。第４圧電素子３２Ｄと第５圧電素子３２Ｅとは、第１圧電素子３２Ａの右側に配置されている。第４圧電素子３２Ｄは、支持部３４よりも下方に配置されている。第５圧電素子３２Ｅは、支持部３４よりも上方に配置されている。

図８は、振動部３１の動作を示す説明図である。第２圧電素子３２Ｂと第５圧電素子３２Ｅとに供給される交流電流の位相と、第３圧電素子３２Ｃと第４圧電素子３２Ｄとに供給される交流電流の位相とを１８０度異ならせ、かつ、第１圧電素子３２Ａに供給される交流電流の位相と、第２圧電素子３２Ｂと第５圧電素子３２Ｅとに供給される交流電流の位相とを異ならせることによって、振動部３１を二次元的に変形させて、先端部３３を楕円運動させることができる。この際に、振動部３１は、支持部３４との接続部分を節にして変形する。先端部３３が楕円運動を繰り返すことによって、先端部３３とローター４０の被接触面４９とが繰り返し接触する。先端部３３と被接触面４９とが接触する際に、先端部３３は、周方向ＣＤに沿った駆動力をローター４０に伝達する。そのため、先端部３３が楕円運動を繰り返す間、ローター４０は、回転軸ＲＸを中心にして回転する。本実施形態では、先端部３３と被接触面４９とが接触する際に、先端部３３は、被接触面４９に向かって付勢されるので、先端部３３は、周方向ＣＤに沿った駆動力を効率良くローター４０に伝達できる。尚、上述した各圧電素子３２Ａ〜３２Ｅに供給される交流電流を１８０度反転させることによって、ローター４０を逆向きに回転させることができる。

以上、説明した本実施形態の圧電モーター１０によれば、単位体積当たりの質量の小さな第１部分４６がローター４０に設けられることによって、ローター４０を軽量化でき、かつ、ヤング率および単位体積当たりの質量の大きな第２部分４７がローター４０に設けられることによって、ローター４０の剛性を確保できるので、ローター４０の振動を抑制できる。そのため、ローター４０の軽量化と、圧電アクチュエーター３０からローター４０に対して駆動力を効率良く伝達することとを両立できる。特に、本実施形態では、出力部４１と第１部分４６とが同じ材料で一体に形成されているので、ローター４０を効果的に軽量化できる。

また、本実施形態では、単位体積当たりの質量の大きな第２部分４７が、径方向ＲＤにおいて出力部４１から遠い位置に設けられている。そのため、ローター４０の振動を効果的に抑制できる。

また、本実施形態では、ローター４０の高硬度部４８に設けられた被接触面４９に、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が接触する。そのため、先端部３３との接触によるローター４０の摩耗を抑制できる。

また、本実施形態では、軸方向ＡＤにおける先端部３３と第２部分４７との間に高硬度部４８が配置されているので、径方向ＲＤにおいて圧電モーター１０を小型化できる。

また、本実施形態では、高硬度部４８は、第１部分４６に直接接続されずに、第２部分４７を介して第１部分４６に接続されている。そのため、高硬度部４８から第1部分４６に対して圧電アクチュエーター３０からの駆動力が直接伝わることを抑制できる。そのため、第１部分４６が振動することを抑制できるので、圧電アクチュエーター３０からローター４０の出力部４１に対して駆動力をより効率良く伝達することができる。

また、本実施形態では、被接触面４９は、軸方向ＡＤにおいてローター４０の両端の間に設けられているので、圧電アクチュエーター３０とローター４０とを径方向ＲＤにおいて重なるように配置できる。そのため、軸方向ＡＤにおいて圧電モーター１０を小型化できる。

Ｂ．第２実施形態：
図９は、第２実施形態における圧電モーター１０ｂの構成を示す断面図である。第２実施形態の圧電モーター１０ｂでは、ローター４０ｂの伝達部４５ｂの構成と、圧電アクチュエーター３０の配置とが第１実施形態と異なる。その他の構成は、特に説明しない限り、図１から図８までに示した第１実施形態と同じである。

本実施形態では、伝達部４５ｂの第１部分４６ｂは、出力部４１から径方向ＲＤにおける外側に向かって延びている。第１部分４６ｂは、回転軸ＲＸを中心とする円環形状を有している。伝達部４５ｂの第２部分４７ｂは、第１部分４６ｂからケース２０の底面部２１に向かって延びている。第２部分４７ｂは、回転軸ＲＸを中心とする円筒形状を有している。第２部分４７ｂの外径は、第１部分４６ｂの外径と同じである。第２部分４７ｂの外周側面には、高硬度部４８ｂが設けられている。高硬度部４８ｂは、回転軸ＲＸを中心とする円筒形状を有している。高硬度部４８ｂの外周側面には、圧電アクチュエーター３０の先端部３３が接触する被接触面４９ｂが設けられている。高硬度部４８ｂは、径方向ＲＤにおいて、第２部分４７ｂに重なっており、第２部分４７ｂに接着されている。尚、高硬度部４８ｂは、径方向ＲＤにおいて、第１部分４６ｂと第２部分４７ｂとに重なって、第１部分４６ｂと第２部分４７ｂとに接着されてもよい。

本実施形態では、圧電アクチュエーター３０は、振動部３１から先端部３３に向かう方向が径方向ＲＤに沿い、かつ、第１平行ばね部６０から第２平行ばね部７０に向かう方向が軸方向ＡＤに沿うようにケース２０ｂ内に配置されている。図９では、固定部材３６の図示が省略されているが、圧電アクチュエーター３０は、固定部材３６を介して、下ケース２９ｂの段差部２５ｂに固定されている。尚、本実施形態では、軸方向ＡＤに沿った段差部２５ｂの高さは、第１実施形態の段差部２５の高さよりも低い。軸方向ＡＤに沿った側面部２２ｂの高さは、第１実施形態の側面部２２の高さよりも低い。

以上、説明した本実施形態の圧電モーター１０ｂによれば、第１実施形態の圧電モーター１０に比べて、軸方向ＡＤにおいて圧電モーター１０ｂをさらに小型化できる。

Ｃ．第３実施形態：
図１０は、第３実施形態におけるロボット１００の概略構成を示す斜視図である。本実施形態におけるロボット１００は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１と、ベース１０１に対して回転可能に連結された第１アーム１０２と、第１アーム１０２に対して回転可能に連結された第２アーム１０３と、第２アーム１０３に対して回転可能に連結された第３アーム１０４と、第３アーム１０４に対して回転可能に連結された第４アーム１０５と、第４アーム１０５に対して回転可能に連結された第５アーム１０６と、第５アーム１０６に対して回転可能に連結された第６アーム１０７と、各アーム１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７の駆動を制御するロボット制御部１０８とを備えている。第６アーム１０７にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９が装着される。各関節部のうちの全部または一部には、第１実施形態で説明した圧電モーター１０が搭載されており、この圧電モーター１０の駆動によって、各アーム１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７が回転する。各圧電モーター１０の駆動は、ロボット制御部１０８によって制御される。

ロボット制御部１０８は、１以上のプロセッサーと、主記憶装置と、外部との信号の入出力を行う入出力インターフェースとを備えるコンピューターによって構成されている。本実施形態では、ロボット制御部１０８は、主記憶装置上に読み込んだプログラムや命令をプロセッサーが実行することによって、ロボット１００の動作を制御する。尚、ロボット制御部１０８は、コンピューターではなく、複数の回路の組み合わせによって構成されてもよい。

以上、説明した本実施形態のロボット１００によれば、関節部に第１実施形態で説明した圧電モーター１０が用いられているため、軽量な圧電モーター１０によって、各アーム１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７を駆動させる駆動力を効率良く供給できる。尚、ロボット１００は、第２実施形態で説明した圧電モーター１０ｂを備えてもよい。

Ｄ．第４実施形態：
図１１は、プリンター２００を示す説明図である。本実施形態におけるプリンター２００は、装置本体２１０と、装置本体２１０の内部に設けられている印刷機構２２０、給紙機構２３０および制御部２４０とを備えている。

装置本体２１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ２１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口２１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル２１３とが設けられている。

印刷機構２２０は、ヘッドユニット２２１と、キャリッジモーター２２２と、キャリッジモーター２２２の駆動力によりヘッドユニット２２１を往復動させる往復動機構２２３とを備えている。

ヘッドユニット２２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド２２４と、ヘッド２２４にインクを供給するインクカートリッジ２２５と、ヘッド２２４およびインクカートリッジ２２５を搭載したキャリッジ２２６とを有している。

往復動機構２２３は、キャリッジ２２６を往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸２２７と、キャリッジモーター２２２の駆動力によりキャリッジ２２６をキャリッジガイド軸２２７上で移動させるタイミングベルト２２８とを有している。

給紙機構２３０は、互いに圧接している従動ローラー２３１および駆動ローラー２３２と、第１実施形態で説明した圧電モーター１０と、を有している。圧電モーター１０は、駆動ローラー２３２を駆動させる給紙モーターとして用いられる。尚、上述したキャリッジモーター２２２に、圧電モーター１０が用いられてもよい。

制御部２４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構２２０や給紙機構２３０等を制御する。

プリンター２００は、給紙機構２３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット２２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット２２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。

以上、説明した本実施形態のプリンター２００によれば、駆動ローラー２３２を駆動させる給紙モーターとして第１実施形態で説明した圧電モーター１０が用いられているため、軽量な圧電モーター１０によって、駆動ローラー２３２を駆動させる駆動力を効率良く供給できる。尚、プリンター２００は、第２実施形態で説明した圧電モーター１０ｂを備えてもよい。

Ｅ．他の実施形態：
（Ｅ１）上述した各実施形態における圧電モーター１０，１０ｂでは、伝達部４５，４５ｂの第２部分４７，４７ｂと出力部４１との間の距離は、第１部分４６，４６ｂと出力部４１との間の距離よりも長い。これに対して、第２部分４７，４７ｂと出力部４１との間の距離は、第１部分４６，４６ｂと出力部４１との間の距離以下であってもよい。例えば、伝達部４５，４５ｂは、出力部４１から径方向ＲＤの外側に向かって順に、ヤング率と単位体積当たりの質量とが大きな第２部分と、ヤング率と単位体積当たりの質量とが小さな第１部分とが連接された形態であってもよい。この場合、径方向ＲＤにおいて出力部４１から遠いローター４０，４０ｂの一部を軽量化できるので、ローター４０，４０ｂの慣性モーメントを小さくできる。そのため、ローター４０，４０ｂの回転の開始と停止との応答性を高めることができる。

（Ｅ２）上述した各実施形態における圧電モーター１０，１０ｂでは、伝達部４５，４５ｂは、高硬度部４８，４８ｂを有しており、圧電アクチュエーター３０の先端部３３は、高硬度部４８，４８ｂに設けられた被接触面４９，４９ｂに接触する。これに対して、伝達部４５，４５ｂは、高硬度部４８，４８ｂを有しなくてもよい。この場合、被接触面４９，４９ｂは、第２部分４７，４７ｂに設けられる。

（Ｅ３）上述した第１実施形態における圧電モーター１０では、高硬度部４８は、第１部分４６に直接接続されずに、第２部分４７を介して第１部分４６に接続されている。これに対して、高硬度部４８は、第１部分と第２部分との両方に直接接続されてもよい。例えば、高硬度部４８の内径と第１部分４６の外径とが同じになるように、高硬度部４８が設けられてもよい。この場合、高硬度部４８は、第１部分４６と第２部分４７との両方に接し、高硬度部４８と第２部分４７とは、ねじや接着や拡散接合等によって互いに固定される。尚、高硬度部４８と第１部分４６とは、互いに固定されずに接してもよいし、ねじや接着や拡散接合等によって互いに固定されて接してもよい。

（Ｅ４）上述した各実施形態における圧電モーター１０，１０ｂでは、第１部分４６，４６ｂは、軸方向ＡＤにおいてベアリング５０に重なる領域Ｒ１と、径方向ＲＤにおいてベアリング５０に重なる領域Ｒ２とを有している。これに対して、第１部分４６，４６ｂは、軸方向ＡＤにおいてベアリング５０に重なる領域Ｒ１と、径方向ＲＤにおいてベアリング５０に重なる領域Ｒ２とのうちの少なくともいずれか一方を有しなくてもよい。

（Ｅ５）上述した各実施形態における圧電モーター１０，１０ｂでは、第２部分４７，４７ｂは、第１部分４６，４６ｂに接続されている。これに対して、第１部分４６，４６ｂと第２部分４７，４７ｂとの間に、第１部分４６，４６ｂや第２部分４７，４７ｂとは、ヤング率や単位体積当たりの質量の異なる第３部分が配置され、第２部分４７，４７ｂは、第３部分を介して第１部分４６，４６ｂに接続されてもよい。例えば、出力部４１から径方向ＲＤの外側に向かって順に、第１部分４６，４６ｂと、第３部分と、第２部分４７，４７ｂとが連接されてもよい。第３部分のヤング率は、第１部分４６，４６ｂのヤング率よりも大きく、かつ、第２部分４７，４７ｂのヤング率よりも小さくてもよい。第３部分の単位体積当たりの質量は、第１部分４６，４６ｂの単位体積当たりの質量よりも大きく、かつ、第２部分４７，４７ｂの単位体積当たりの質量よりも小さくてもよい。この場合、ローター４０，４０ｂの重量と剛性とをより細かく調節できる。

（Ｅ６）上述した第１実施形態における圧電モーター１０では、高硬度部４８は、圧電アクチュエーター３０の先端部３３とローター４０の第２部分４７との間に配置されている。これに対して、高硬度部４８は、圧電アクチュエーター３０の先端部３３とローター４０の第２部分４７との間に配置されていなくてもよい。例えば、高硬度部４８は、第１部分４６の外周側面に沿った円筒形状を有し、高硬度部４８の外周側面に被接触面４９が設けられて、圧電アクチュエーター３０は、図９に示した第２実施形態と同じ向きに配置されてもよい。

Ｆ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の第１の形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、回転力を出力する出力部と、前記出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、圧電素子を有し、前記圧電素子の変形によって前記ローターを回転させる振動部と、を備える。前記伝達部は、前記出力部から前記伝達部へ向かう径方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、前記第１部分は、前記出力部に接続され、前記第２部分のヤング率は、前記第１部分のヤング率よりも大きく、前記第２部分の単位体積当たりの質量は、前記第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、前記振動部は、前記回転軸の軸方向からの平面視において、前記第２部分に重なる位置で前記伝達部に接触する。
この形態の圧電駆動装置によれば、第１部分が設けられることによって、ローターを軽量化できるとともに、第２部分が設けられることによって、ローターの剛性を確保できるので、ローターの振動を抑制できる。そのため、ローターの軽量化と、振動部からローターの出力部に対して駆動力を効率良く伝達することとを両立できる。

（２）上記形態の圧電駆動装置において、前記第２部分と前記出力部との間の前記径方向に沿った距離は、前記第１部分と前記出力部との間の前記径方向に沿った距離よりも長くてもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、第２部分が出力部から遠い位置に設けられることによって、ローターの振動を効果的に抑制できる。

（３）上記形態の圧電駆動装置において、前記ローターは、ベアリングに支持されており、前記第１部分は、前記軸方向からの平面視において前記ベアリングに重なる領域と、前記径方向からの平面視において前記ベアリングに重なる領域とを有してもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、軸方向において圧電駆動装置を小型化できる。

（４）上記形態の圧電駆動装置において、前記伝達部は、前記第２部分に固定され、前記第２部分よりも硬度の大きな高硬度部を有し、前記振動部は、前記高硬度部に接触してもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、振動部との接触によるローターの摩耗を抑制できる。

（５）上記形態の圧電駆動装置において、前記高硬度部は、前記軸方向における前記振動部と前記第２部分との間に配置されてもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、径方向において圧電駆動装置を小型化できる。

（６）上記形態の圧電駆動装置において、前記第２部分の一部は、前記第１部分と前記高硬度部との間に配置され、前記第１部分と前記高硬度部に接してもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、高硬度部から第1部分に対して振動部からの駆動力が直接伝わることを抑制できるので、第１部分が振動することを抑制できる。そのため、振動部からローターの出力部に対して駆動力をより効率良く伝達することができる。

（７）上記形態の圧電駆動装置において、前記高硬度部の材料は、セラミック材料であってもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、振動部との接触によるローターの摩耗をより確実に抑制できる。

（８）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１部分の材料は、アルミニウム合金または樹脂材料であり、前記第２部分の材料は、ステンレス鋼またはチタン合金であってもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、ローターの軽量化と、振動部からローターの出力部に対して駆動力を効率良く伝達することとをより確実に両立できる。

（９）本開示の第２の形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、回転力を出力する出力部と、前記出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、圧電素子を有し、前記圧電素子の変形によって前記ローターを回転させる振動部と、を備える。前記伝達部は、前記回転軸の軸方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、前記第１部分は、前記出力部に接続され、前記第２部分のヤング率は、前記第１部分のヤング率よりも大きく、前記第２部分の単位体積当たりの質量は、前記第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、前記振動部は、前記出力部から前記伝達部に向かう径方向からの平面視において、前記第２部分に重なる位置で前記伝達部に接触する。
この形態の圧電駆動装置によれば、ローターの軽量化と、振動部からローターの出力部に対して駆動力を効率良く伝達することとを両立できる。

（１０）上記形態の圧電駆動装置において、前記伝達部は、前記第２部分に固定され、前記第２部分よりも硬度の大きな高硬度部を有し、前記振動部は、前記高硬度部に接触してもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、振動部との接触によるローターの摩耗を抑制できる。

（１１）上記形態の圧電駆動装置において、前記高硬度部の材料は、セラミック材料であってもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、振動部との接触によるローターの摩耗をより確実に抑制できる。

（１２）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１部分の材料は、アルミニウム合金または樹脂材料であり、前記第２部分の材料は、ステンレス鋼またはチタン合金であってもよい。
この形態の圧電駆動装置によれば、ローターの軽量化と、振動部からローターの出力部に対して駆動力を効率良く伝達することとをより確実に両立できる。

本開示は、圧電駆動装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、ロボット、プリンター等の形態で実現することができる。

１０…圧電モーター、２０…ケース、２１…底面部、２２…側面部、２３…蓋部、２４…突起部、２５…段差部、２６…開口部、２７…貫通孔、２９…下ケース、３０…圧電アクチュエーター、３１…振動部、３２…圧電素子、３３…先端部、３４…支持部、３５…腕部、３６…固定部材、３８…取付穴、３９…本体部、４０…ローター、４１…出力部、４５…伝達部、４６…第１部分、４７…第２部分、４８…高硬度部、４９…被接触面、５０…ベアリング、５６…第１支持部材、５７…第２支持部材、６０…第１平行ばね部、６１…第１非ばね部、６２…第２非ばね部、６３…第１板ばね部、６５…第１厚肉部、６６…第１薄肉部、７０…第２平行ばね部、７１…第３非ばね部、７２…第４非ばね部、７３…第２板ばね部、７５…第２厚肉部、７６…第２薄肉部、８１…第１振動板、８２…第２振動板、８３…第３振動板、８４…第４振動板、８５…第１層間部材、８６…第２層間部材、１００…ロボット、１０１…ベース、１０２…第１アーム、１０３…第２アーム、１０４…第３アーム、１０５…第４アーム、１０６…第５アーム、１０７…第６アーム、１０８…ロボット制御部、１０９…エンドエフェクター、２００…プリンター、２１０…装置本体、２１１…トレイ、２１２…排紙口、２１３…操作パネル、２２０…印刷機構、２２１…ヘッドユニット、２２２…キャリッジモーター、２２３…往復動機構、２２４…ヘッド、２２５…インクカートリッジ、２２６…キャリッジ、２２７…キャリッジガイド軸、２２８…タイミングベルト、２３０…給紙機構、２３１…従動ローラー、２３２…駆動ローラー、２４０…制御部

Claims (13)

1. 回転力を出力する出力部と、前記出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、
   圧電素子を有し、前記圧電素子の変形によって前記ローターを回転させる振動部と、
   を備え、
   前記伝達部は、前記出力部から前記伝達部へ向かう径方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、
   前記第１部分は、前記出力部に接続され、
   前記第２部分のヤング率は、前記第１部分のヤング率よりも大きく、
   前記第２部分の単位体積当たりの質量は、前記第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、
   前記振動部は、前記回転軸の軸方向からの平面視において、前記第２部分に重なる位置で前記伝達部に接触する、
   圧電駆動装置。
2. 請求項１に記載の圧電駆動装置であって、
   前記第２部分と前記出力部との間の前記径方向に沿った距離は、前記第１部分と前記出力部との間の前記径方向に沿った距離よりも長い、圧電駆動装置。
3. 請求項２に記載の圧電駆動装置であって、
   前記ローターは、ベアリングに支持されており、
   前記第１部分は、前記軸方向からの平面視において前記ベアリングに重なる領域と、前記径方向からの平面視において前記ベアリングに重なる領域とを有する、圧電駆動装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記伝達部は、前記第２部分に固定され、前記第２部分よりも硬度の大きな高硬度部を有し、
   前記振動部は、前記高硬度部に接触する、圧電駆動装置。
5. 請求項４に記載の圧電駆動装置であって、
   前記高硬度部は、前記軸方向における前記振動部と前記第２部分との間に配置されている、圧電駆動装置。
6. 請求項４または請求項５に記載の圧電駆動装置であって、
   前記第２部分の一部は、前記第１部分と前記高硬度部との間に配置され、前記第１部分と前記高硬度部に接する、圧電駆動装置。
7. 請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記高硬度部の材料は、セラミック材料である、圧電駆動装置。
8. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記第１部分の材料は、アルミニウム合金または樹脂材料であり、
   前記第２部分の材料は、ステンレス鋼またはチタン合金である、圧電駆動装置。
9. 回転力を出力する出力部と、前記出力部の外周に配置された伝達部とを有し、回転軸を中心に回転するローターと、
   圧電素子を有し、前記圧電素子の変形によって前記ローターを回転させる振動部と、
   を備え、
   前記伝達部は、前記回転軸の軸方向における位置が異なる第１部分と第２部分とを有し、
   前記第１部分は、前記出力部に接続され、
   前記第２部分のヤング率は、前記第１部分のヤング率よりも大きく、
   前記第２部分の単位体積当たりの質量は、前記第１部分の単位体積当たりの質量よりも大きく、
   前記振動部は、前記出力部から前記伝達部に向かう径方向からの平面視において、前記第２部分に重なる位置で前記伝達部に接触する、圧電駆動装置。
10. 請求項９に記載の圧電駆動装置であって、
    前記伝達部は、前記第２部分に固定され、前記第２部分よりも硬度の大きな高硬度部を有し、
    前記振動部は、前記高硬度部に接触する、圧電駆動装置。
11. 請求項１０に記載の圧電駆動装置であって、
    前記高硬度部の材料は、セラミック材料である、圧電駆動装置。
12. 請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
    前記第１部分の材料は、アルミニウム合金または樹脂材料であり、
    前記第２部分の材料は、ステンレス鋼またはチタン合金である、圧電駆動装置。
13. 第１アームと、
    前記第１アームに対して回転する第２アームと、
    前記第２アームを駆動する請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
    を備えるロボット。

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