JP2020120548A - 圧電駆動装置の制御方法、ロボットの制御方法、およびプリンターの制御方法 - Google Patents

圧電駆動装置の制御方法、ロボットの制御方法、およびプリンターの制御方法 Download PDF

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Abstract

【課題】低速駆動が可能な圧電駆動装置の制御方法、ロボットの制御方法、およびプリンターの制御方法を提供する。【解決手段】本圧電駆動装置としての圧電モーター1の制御方法は、圧電素子6A〜6Eを備えている振動体41と、振動体41の振動により目標速度で移動する被駆動部としてのローター2と、駆動信号V1〜V3を生成して圧電素子6A〜6Eに駆動信号V1〜V3を出力する駆動信号生成部70と、を有する圧電駆動装置としての圧電モーター1の制御方法であって、駆動信号生成部70は、圧電素子6A〜6Eに対して間欠的に駆動信号V1〜V3を出力し、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2が、振動が停止するまでの時間T3より短い。【選択図】図10

Description

本発明は、圧電駆動装置の制御方法、ロボットの制御方法、およびプリンターの制御方法に関する。
超音波振動子と、超音波振動子により駆動される被駆動体と、超音波振動子に駆動電圧を印加する駆動装置と、を有する超音波モーターシステムが特許文献1に記載されている。この超音波モーターシステムの駆動装置は、パルス信号を出力する信号生成回路と、信号生成回路から出力されたパルス信号から正弦波に近い波形の駆動信号を生成するドライブ回路と、を有し、ドライブ回路から出力された駆動信号が超音波振動子に印加される。
また、超音波モーターシステムは、信号生成回路から出力されるパルス信号のDutyを0%〜50%の範囲内で変更することにより駆動信号の振幅を調整し、被駆動体の駆動速度を制御する。具体的には、パルス信号のDutyを0%側に変化させることにより被駆動体が減速し、反対に、Dutyを50%側に変化させることにより被駆動体が加速する。
特開2010−183816号公報
しかしながら、特許文献1に記載されている超音波モーターシステムのような構成の場合、パルス信号から生成した駆動信号により超音波振動子を駆動させるため、低速では超音波振動子の駆動が不安定となるという課題があった。
本願の圧電駆動装置の制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有する圧電駆動装置の制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記目標速度によらず前記出力を停めている時間は、一定であることとしても良い。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記目標速度が小さくなったときに前記駆動信号を出力している時間を短くすることとしても良い。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部は、前記振動体の屈曲振動又は伸縮振動を制御することとしても良い。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、PWM波形であることとしても良い。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、DA変換された後に増幅されていることとしても良い。
本願のロボットの制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有するロボットの制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
本願のプリンターの制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有するプリンターの制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
第1実施形態に係る圧電駆動装置を示す概略平面図。 圧電アクチュエーターを示す概略平面図。 図2中のA−A線断面図。 図2中のB−B線断面図。 図2中のC−C線断面図。 図2中のD−D線断面図。 駆動信号を示す図。 圧電モーターの駆動状態を示す平面図。 圧電モーターの駆動状態を示す平面図。 駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 駆動信号の駆動波形を説明するための図。 駆動信号の駆動波形を説明するための図。 駆動信号の駆動波形を説明するための図。 第2実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 第3実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 第4実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 第5実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 第6実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図。 第7実施形態に係るロボットを示す概略斜視図。 第8実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略斜視図。
以下、本実施形態に係る圧電駆動装置の制御方法、ロボットの制御方法、およびプリンターの制御方法について、添付図面を参照して説明する。
<第1実施形態>
第1実施形態に係る圧電駆動装置として圧電モーターを一例として挙げ、圧電駆動装置の制御方法について、図1〜図13を参照して説明する。
図1は、第1実施形態に係る圧電駆動装置としての圧電モーターを示す概略平面図である。図2は、圧電アクチュエーターを示す概略平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図2中のB−B線断面図である。図5は、図2中のC−C線断面図である。図6は、図2中のD−D線断面図である。図7は、駆動信号を示す図である。図8および図9は、それぞれ、圧電モーターの駆動状態を示す平面図である。図10は、駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。図11〜図13は、駆動信号の駆動波形を説明するための図である。
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3軸をX軸、Y軸、およびZ軸とし、X軸に沿う方向をX方向、Y軸に沿う方向をY方向、Z軸に沿う方向をZ方向とも言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」とも言い、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、X方向プラス側を「上」又は「上側」とも言い、X方向マイナス側を「下」又は「下側」とも言う。
本実施形態に係る圧電駆動装置としての圧電モーター1は、図1に示すように、円盤状をなしその中心軸O回りに回転可能な被駆動部としてのローター2と、ローター2の外周面21に当接し、ローター2を中心軸O回りに回転させる駆動部3と、を有する。また、駆動部3は、圧電アクチュエーター4と、圧電アクチュエーター4をローター2に向けて付勢する付勢部材5と、圧電アクチュエーター4の駆動を制御する制御装置7と、を有する。このような圧電モーター1では、圧電アクチュエーター4が屈曲振動すると、その振動がローター2に伝わり、ローター2が中心軸O回りで、矢印B1で示すように時計回り又は矢印B2で示すように反時計回りに回転する。
なお、圧電モーター1の構成としては、図1の構成に限定されない。例えば、ローター2の周方向に沿って複数の駆動部3を配置し、複数の駆動部3の駆動によってローター2を回転させてもよい。また、駆動部3は、ローター2の外周面21ではなく、ローター2の主面22に当接していてもよい。また、被駆動部は、ローター2のような回転体に限定されず、例えば、直線移動するスライダーであってもよい。
また、本実施形態では、ローター2にエンコーダー9が設けられており、エンコーダー9によって、ローター2の挙動、特に、回転量および角速度が検出できる。エンコーダー9としては、特に限定されず、例えば、ローター2の回転時にその回転量を検出するインクリメンタル型のエンコーダーであってもよいし、ローター2の回転の有無に関わらず、ローター2の原点からの絶対位置を検出するアブソリュート型のエンコーダーであってもよい。
本実施形態のエンコーダー9は、ローター2の上面に固定されたスケール91と、スケール91の上側に設けられた光学素子92と、を有する。また、スケール91は、円板状をなし、その上面に図示しないパターンが設けられている。一方、光学素子92は、スケール91のパターンに向けて光を照射する発光素子921と、スケール91のパターンを撮像する撮像素子922と、を有する。このような構成のエンコーダー9では、撮像素子922により取得されるパターンの画像をテンプレートマッチングすることにより、ローター2の回転量、駆動速度、絶対位置等を検出することができる。ただし、エンコーダー9の構成としては、上記の構成に限定されない。例えば、撮像素子922に代えて、スケール91からの反射光又は透過光を受光する受光素子を備えた構成であってもよい。
圧電アクチュエーター4は、図2に示すように、振動体41と、振動体41を支持する支持部42と、振動体41と支持部42とを接続する接続部43と、振動体41に接続され、振動体41の振動をローター2に伝達する凸部44と、を有する。
振動体41は、X方向を厚さ方向とし、Y軸およびZ軸を含むY−Z平面に広がる板状をなし、Y方向に伸縮しながらZ方向に屈曲することによりS字状に屈曲振動する。また、振動体41は、X方向からの平面視で、伸縮方向であるY方向を長手とする矩形形状となっている。ただし、振動体41の形状としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
また、図2に示すように、振動体41は、振動体41を屈曲振動させるための駆動用の圧電素子6A〜6Eと、振動体41の振動を検出するための検出用の圧電素子6F,6Gと、を有する。
圧電素子6Cは、振動体41の中央部において、振動体41の長手方向であるY方向に沿って配置されている。この圧電素子6Cに対して振動体41のZ方向プラス側には圧電素子6A,6Bが振動体41の長手方向に並んで配置され、Z方向マイナス側には圧電素子6D,6Eが振動体41の長手方向に並んで配置されている。また、これら圧電素子6A〜6Eは、それぞれ、通電によって振動体41の長手方向であるY方向に伸縮する。また、圧電素子6A,6Eが互いに電気的に接続されており、圧電素子6B,6Dが互いに電気的に接続されている。
後述するように、圧電素子6A,6Eと、圧電素子6Cと、圧電素子6B,6Dと、にそれぞれ位相の異なる同周波数の駆動信号V1,V2,V3(交番電圧)を印加し、これらの伸縮タイミングをずらすことにより、振動体41をその面内においてS字状に屈曲振動させることができる。
圧電素子6Fは、圧電素子6CのY方向プラス側に位置し、圧電素子6Gは、圧電素子6CのY方向マイナス側に位置している。また、圧電素子6F,6Gは、互いに電気的に接続されている。これら圧電素子6F,6Gは、圧電素子6A〜6Eの駆動に伴う振動体41の振動に応じた外力を受け、受けた外力に応じた信号を出力する。そのため、圧電素子6F,6Gから出力される信号に基づいて、振動体41の振動状態を検知することができる。
また、接続部43は、振動体41の屈曲振動の節となる部分、具体的にはY方向の中央部と支持部42とを接続している。また、接続部43は、振動体41に対してZ方向マイナス側に位置する第1接続部431と、Z方向プラス側に位置する第2接続部432と、を有する。ただし、接続部43の構成は、特に限定されない。
以上のような振動体41、支持部42および接続部43は、図3から図6に示すように、2つの圧電素子ユニット60を互いに向かい合わせて貼り合せた構成となっている。各圧電素子ユニット60は、基板61と、基板61上に配置された駆動用の圧電素子60A,60B,60C,60D,60Eおよび検出用の圧電素子60F,60Gと、各圧電素子60A〜60Gを覆う保護層63と、を有する。
圧電素子60A〜60Gは、それぞれ、基板61上に配置された第1電極601と、第1電極601上に配置された圧電体602と、圧電体602上に配置された第2電極603と、を有する。第1電極601は、圧電素子60A〜60Gに共通して設けられている。一方、圧電体602および第2電極603は、それぞれ、圧電素子60A〜60Gに個別に設けられている。
2つの圧電素子ユニット60は、圧電素子60A〜60Gが配置されている側の面を対向させた状態で接着剤69を介して接合されている。また、各圧電素子ユニット60の第1電極601同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されている。また、各圧電素子ユニット60の圧電素子60Aが有する第2電極603同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら2つの圧電素子60Aから圧電素子6Aが構成されている。他の圧電素子60B〜60Gについても同様であり、2つの圧電素子60Bから圧電素子6Bが構成され、2つの圧電素子60Cから圧電素子6Cが構成され、2つの圧電素子60Dから圧電素子6Dが構成され、2つの圧電素子60Eから圧電素子6Eが構成され、2つの圧電素子60Fから圧電素子6Fが構成され、2つの圧電素子60Gから圧電素子6Gが構成されている。
圧電体602の構成材料としては、特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム(BST)、タンタル酸ストロンチウムビスマス(SBT)、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。また、圧電体602としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
また、圧電体602の形成方法としては、特に限定されず、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。本実施形態では、圧電体602をゾル−ゲル法を用いて形成している。これにより、例えば、バルク材料から形成する場合と比べて薄い圧電体602が得られ、駆動部3の薄型化を図ることができる。
凸部44は、振動体41の先端部に設けられ、振動体41からY方向プラス側へ突出している。そして、凸部44の先端部は、ローター2の外周面21と接触している。そのため、振動体41の振動は、凸部44を介してローター2に伝達される。
例えば、図7に示す駆動信号V1を圧電素子6A,6Eに印加し、駆動信号V2を圧電素子6Cに印加し、駆動信号V3を圧電素子6B,6Dに印加すると、駆動信号V1と駆動信号V3は、位相が180°ずれているので、圧電素子6A,6Eが振動体41の外側に向って変形すると、圧電素子6B,6Dは、振動体41の内側に向って変形する。逆に、圧電素子6A,6Eが振動体41の内側に向って変形すると、圧電素子6B,6Dは、振動体41の外側に向って変形する。そのため、振動体41がZ方向にS字状に変位する。また、圧電素子6Cは、Y方向に伸縮振動する。そのため、図8に示すように、振動体41がY方向に伸縮振動しつつZ方向にS字状に屈曲振動し、これらの振動が合成されて、凸部44の先端が矢印A1で示すように反時計回りに楕円軌道を描く楕円運動(回転運動)する。このような凸部44の楕円運動によってローター2が送り出され、ローター2が矢印B1で示すように時計回りに回転する。また、このような振動体41の振動に対応して、圧電素子6F,6Gからピックアップ電圧Vpuが出力される。
なお、本実施形態では、振動体41をY−Z平面内で変位する面内振動である屈曲振動と伸縮振動を用いて凸部44の先端を楕円運動させ、ローター2を駆動しているが、これに限定されず、振動体41をY−Z平面外で変位する面外振動によって振動し、凸部44の先端を楕円運動させ、ローター2を駆動しても構わない。
また、駆動信号V1,V3を切り換えると、すなわち駆動信号V1を圧電素子6B,6Dに印加し、駆動信号V2を圧電素子6Cに印加し、駆動信号V3を圧電素子6A,6Eに印加すると、図9に示すように、振動体41がY方向に伸縮振動しつつZ方向にS字状に屈曲振動し、これらの振動が合成されて、凸部44が矢印A2で示すように時計回りに楕円運動する。このような凸部44の楕円運動によってローター2が送り出され、ローター2が矢印B2で示すように反時計回りに回転する。また、このような振動体41の振動に対応して、圧電素子6F,6Gからピックアップ電圧Vpuが出力される。
上述のように、圧電素子6A,6B,6D,6Eの伸縮によって凸部44がZ方向に屈曲振動し、ローター2を矢印B1又は矢印B2の方向に送り出す。そのため、圧電素子6A,6B,6D,6Eに印加する駆動信号V1,V3の振幅を制御し、凸部44のZ方向への振幅を制御することにより、ローター2の駆動速度を制御することができる。具体的には、駆動信号V1,V3の振幅を大きくすれば、凸部44のZ方向の振幅が大きくなってローター2の駆動速度が増加し、反対に、駆動信号V1,V3の振幅を小さくすれば、凸部44のZ方向の振幅が小さくなってローター2の駆動速度が減少する。
なお、本実施形態では、ローター2を少なくとも一方向に回転させることができれば、圧電素子6A〜6Eに印加する駆動信号のパターンは、特に限定されない。
制御装置7は、圧電素子6A〜6Eに交番電圧である駆動信号V1,V2,V3を印加することにより、駆動部3の駆動を制御する。
また、制御装置7は、駆動信号V1,V2,V3を生成し、生成した駆動信号V1,V2,V3を対応する圧電素子6A,6B,6C,6D,6Eに出力し印加する駆動信号生成部70を有する。
なお、制御装置7は、振動体41をZ方向へ屈曲振動させる圧電素子6A,6Eに駆動信号V1を出力する駆動信号生成部70と、振動体41をY方向へ伸縮振動させる圧電素子6Cに駆動信号V2を出力する駆動信号生成部70と、振動体41をZ方向へ屈曲振動させる圧電素子6B,6Dに駆動信号V3を出力する駆動信号生成部70と、3つの駆動信号生成部70を有する。
3つの駆動信号生成部70は、同様の機能を有するので、駆動信号V1を生成し、圧電素子6A,6Eに出力する駆動信号生成部70を一例として説明する。
駆動信号生成部70は、図10に示すように、速度制御部72と、電圧制御部76と、駆動波形生成部78と、を有する。
速度制御部72は、圧電素子6A,6Eの素子速度情報又はローター2の駆動速度情報をフィードバックし、速度を制御するための駆動電圧を電圧制御部76に出力する。
電圧制御部76では、駆動信号V1の電圧情報をフィードバックし、駆動電圧を制御し、駆動波形生成部78に出力する。
駆動波形生成部78では、入力された駆動電圧から圧電素子6A,6Eの共振周波数に基づく周波数となる駆動波形を生成し、駆動信号V1として出力する。
しかしながら、この方法では、ローター2の駆動速度を低速化するためには、駆動信号V1の駆動電圧を小さくする必要があり、駆動信号V1の駆動電圧を小さくし過ぎると、圧電素子6A,6Eの振動が不安定又は振動が止まり、所望の速度で駆動できない又は駆動が停止する場合がある。
そこで、本実施形態では、速度制御部72に断続出力部74を設けて、圧電素子6A〜6Eの振動が安定に振動する駆動電圧を有する駆動信号V1,V2,V3を間欠的に出力し、低速駆動を可能としている。
図11は、駆動信号V1の駆動波形と、圧電素子6A,6Eの素子振動と、圧電素子6A,6Eの素子速度と、を時系列で示したものである。駆動信号V1を出力している時間T1では、圧電素子6A,6Eの素子振動において、その振幅が徐々に大きくなり、駆動信号V1の出力を停めている時間T2では、素子振動の振幅が徐々に減衰している。また、圧電素子6A,6Eの素子速度も素子振動と同様に、駆動信号V1を出力している時間T1では、素子速度が徐々に大きくなり、駆動信号V1の出力を停めている時間T2では、素子速度が徐々に減衰している。
また、圧電素子6A,6Eの素子振動は、駆動信号V1の出力が停止し、駆動信号V1が印加されないと、図12に示すように、振動の振幅が徐々に減衰し、所定の時間に達すると停止してしまう。なお、素子振動が停止するまでの時間T3は、圧電素子6A,6EのQ値に圧電素子6A,6Eの共振周波数の逆数となる共振周期を乗じた値となる。そのため、本実施形態では、駆動信号V1の出力を停めている時間T2は、素子振動が停止するまでの時間T3より短くなるように設定している。つまり、圧電素子6A,6Eの素子振動が停止する前に、再び駆動信号V1を出力し、圧電素子6A,6Eに印加している。従って、圧電素子6A,6Eの素子振動は、停止することなく継続して振動し、ローター2を駆動することができる。
ここで、駆動信号V1の出力を停めている時間T2は、図13に示すように、圧電素子6A,6Eの素子速度又はローター2の駆動速度が低速、中速、高速等の目標速度によらず一定であり、素子振動が停止するまでの時間T3より短い。これは、目標速度に係わらず、駆動信号V1の出力を停めている時間T2を一定とすることで、速度制御部72の断続出力部74における駆動電圧の間欠制御が容易となる。
また、目標速度が小さくなった場合には、図13に示すように、駆動信号V1を出力している時間T1を短くすることで対応している。駆動信号V1を出力している時間T1を短くすることにより、圧電素子6A,6Eを振動させる時間が短くなり、圧電素子6A,6Eの素子速度が小さくなるので、低速でローター2を駆動することができる。
従って、駆動信号V1,V2,V3を生成し、生成した駆動信号V1,V2,V3を対応する圧電素子6A,6B,6C,6D,6Eに間欠的に出力し印加する3つの駆動信号生成部70は、振動体41がY方向に伸縮振動しつつZ方向にS字状に屈曲振動するのを制御し、凸部44の先端を楕円運動させ、ローター2を駆動することができる。
以上、説明したように、本実施形態に係る圧電駆動装置としての圧電モーター1の制御方法は、駆動信号生成部70が、圧電素子6A〜6Eに対して間欠的に駆動信号V1〜V3を出力することで、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。
また、ローター2の駆動速度の目標速度によらず、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を一定とすることで、低速制御が容易となる。
また、ローター2の駆動速度の目標速度が小さくなったときに、駆動信号V1〜V3を出力している時間T1を短くすることで、振動体41を振動させる時間が短くなり、振動速度が小さくなるので、低速でローター2を駆動することができる。
また、駆動信号生成部70が、圧電素子6A〜6Eに対して間欠的に駆動信号V1〜V3を出力し、振動体41の屈曲振動又は伸縮振動を制御することで、振動体41を楕円運動させ、ローター2を駆動することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態に係る圧電駆動装置の駆動信号生成部について、図14を参照して説明する。
図14は、第2実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。
なお、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。また、本実施形態は、速度制御部72Aに断続出力部74が無く、スイッチ80が設けられていること以外は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る駆動信号生成部70Aは、駆動波形生成部78と圧電素子6A,6Eとの間にスイッチ80が設けられている。速度制御部72Aは、圧電素子6A,6Eの素子速度情報のフィードバックに伴い、速度を制御するために、駆動波形生成部78から出力される駆動信号V1を出力している時間T1と停めている時間T2を設定し、スイッチ80を制御してオンオフすることで、間欠的に駆動信号V1を出力することができ、素子速度つまりローター2の駆動速度を制御することができる。
このような構成とすることにより、駆動信号生成部70Aは、駆動信号V1〜V3を間欠的に圧電素子6A〜6Eへ出力し、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定な低速駆動を可能としている。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態に係る圧電駆動装置の駆動信号生成部について、図15を参照して説明する。
図15は、第3実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。
なお、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。また、本実施形態は、速度制御部72Bに断続出力部74が無く、電圧制御部76Bに断続出力部74Bが設けられていること以外は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る駆動信号生成部70Bは、電圧制御部76Bに断続出力部74Bが設けられている。電圧制御部76Bは、駆動信号V1の電圧情報をフィードバックし、断続出力部74Bにおいて、駆動波形生成部78から出力される駆動信号V1を出力している時間T1と停めている時間T2を設定し、電圧制御された駆動電圧を間欠的に駆動波形生成部78へ出力する。そのため、駆動波形生成部78から間欠的に駆動信号V1を出力することができる。
このような構成とすることにより、駆動信号生成部70Bは、駆動信号V1〜V3を間欠的に圧電素子6A〜6Eへ出力し、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定な低速駆動を可能としている。
<第4実施形態>
次に、第4実施形態に係る圧電駆動装置の駆動信号生成部について、図16を参照して説明する。
図16は、第4実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。
なお、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。また、本実施形態は、電圧制御部76が無いこと以外は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る駆動信号生成部70Cは、断続出力部74を有する速度制御部72と、駆動波形生成部78と、で構成されている。速度制御部72は、圧電素子6A,6Eの素子速度情報のフィードバックに伴い、速度を制御するために、断続出力部74で駆動波形生成部78から出力される駆動信号V1を出力している時間T1と停めている時間T2を設定し、駆動電圧を間欠的に駆動波形生成部78へ出力することで、駆動波形生成部78から間欠的に駆動信号V1を出力することができる。
このような構成とすることにより、駆動信号生成部70Cは、駆動信号V1〜V3を間欠的に圧電素子6A〜6Eへ出力し、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定な低速駆動を可能としている。
<第5実施形態>
次に、第5実施形態に係る圧電駆動装置の駆動信号生成部について、図17を参照して説明する。
図17は、第5実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。
なお、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。また、本実施形態は、駆動波形生成部78に代わりPWM(Pulse Width Modulation)波形生成部82が設けられていること以外は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る駆動信号生成部70Dは、断続出力部74を有する速度制御部72と、電圧制御部76と、駆動電圧のパルス幅を変調するPWM波形生成部82と、で構成されている。速度制御部72は、圧電素子6A,6Eの素子速度情報のフィードバックに伴い、速度を制御するために、断続出力部74でPWM波形生成部82から出力される駆動信号V1を出力している時間T1と停めている時間T2を設定し、駆動電圧を間欠的に電圧制御部76へ出力することで、PWM波形生成部82から間欠的にパルス幅を変調した駆動信号V1を出力することができる。
このような構成とすることにより、駆動信号生成部70Dは、駆動信号V1〜V3を間欠的に圧電素子6A〜6Eへ出力し、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2が、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定な低速駆動を可能としている。
<第6実施形態>
次に、第6実施形態に係る圧電駆動装置の駆動信号生成部について、図18を参照して説明する。
図18は、第6実施形態に係る駆動信号生成部の構成を示すブロック図である。
なお、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。また、本実施形態は、電圧制御部76および駆動波形生成部78の代わりに、DA変換部84および波形増幅部86が設けられていること以外は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る駆動信号生成部70Eは、断続出力部74を有する速度制御部72と、速度制御部72から間欠的に出力される駆動電圧をDA変換するDA変換部84と、DA変換部84でDA変換された駆動波形を増幅する波形増幅部86と、で構成されている。速度制御部72は、圧電素子6A,6Eの素子速度情報のフィードバックに伴い、速度を制御するために、断続出力部74で波形増幅部86から出力される駆動信号V1を出力している時間T1と停めている時間T2を設定し、駆動電圧を間欠的にDA変換部84へ出力することで、波形増幅部86から間欠的に駆動波形を増幅した駆動信号V1を出力することができる。
このような構成とすることにより、駆動信号生成部70Eは、駆動信号V1〜V3を間欠的に圧電素子6A〜6Eへ出力し、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定な低速駆動を可能としている。
<第7実施形態>
次に、第7実施形態に係るロボットの制御方法について、図19を参照して説明する。
図19は、第7実施形態に係るロボットを示す概略斜視図である。
本実施形態に係るロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送、および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、図19に示すように、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020,1030,1040,1050,1060,1070の駆動を制御する制御装置1080と、を有する。
また、アーム1070にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090が装着される。また、各関節部のうちの全部又は一部には圧電モーター1が搭載されており、この圧電モーター1の駆動によって各アーム1020,1030,1040,1050,1060,1070が回動する。なお、圧電モーター1は、エンドエフェクター1090に搭載され、エンドエフェクター1090の駆動に用いられてもよい。
制御装置1080は、コンピューターで構成され、例えば、プロセッサー(CPU)、メモリー、I/F(インターフェイス)等を有する。そして、プロセッサーが、メモリーに格納されている所定のプログラム(コード列)を実行することで、ロボット1000の各部の駆動を制御する。なお、前記プログラムは、I/Fを介して外部のサーバーからダウンロードしてもよい。また、制御装置1080の構成の全部又は一部は、ロボット1000の外部に設けられ、LAN(ローカルエリアネットワーク)等の通信網を介して接続された構成となっていてもよい。
このようなロボット1000は、前述したように、圧電モーター1を備えている。すなわち、ロボット1000は、駆動用の圧電素子6A〜6Eを備え、圧電素子6A〜6Eに駆動信号V1〜V3を印加することにより振動する振動体41と、振動体41の振動により移動する被駆動部としてのローター2と、圧電素子6A〜6Eに駆動信号V1〜V3を出力し、印加する駆動信号生成部70と、を有する。
このロボット1000の制御方法は、駆動信号生成部70が、圧電素子6A〜6Eに対して間欠的に駆動信号V1〜V3を出力することで、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定した低速駆動特性を有するロボット1000となる。
<第8実施形態>
次に、第8実施形態に係るプリンターの制御方法について、図20を参照して説明する。
図20は、本発明の第8実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略斜視図である。
本実施形態に係るプリンター3000は、図20に示すように、装置本体3010と、装置本体3010の内部に設けられている印刷機構3020、給紙機構3030および制御装置3040と、を備えている。また、装置本体3010には、記録用紙Pを設置するトレイ3011と、記録用紙Pを排出する排紙口3012と、液晶ディスプレイ等の操作パネル3013と、が設けられている。
印刷機構3020は、ヘッドユニット3021と、キャリッジモーター3022と、キャリッジモーター3022の駆動力によりヘッドユニット3021を往復動させる往復動機構3023と、を備えている。また、ヘッドユニット3021は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド3021aと、ヘッド3021aにインクを供給するインクカートリッジ3021bと、ヘッド3021aおよびインクカートリッジ3021bを搭載したキャリッジ3021cと、を有する。
往復動機構3023は、キャリッジ3021cを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸3023aと、キャリッジモーター3022の駆動力によりキャリッジ3021cをキャリッジガイド軸3023a上で移動させるタイミングベルト3023bと、を有する。また、給紙機構3030は、互いに圧接している従動ローラー3031および駆動ローラー3032と、駆動ローラー3032を駆動する圧電モーター1と、を有する。
このようなプリンター3000では、給紙機構3030が記録用紙Pを一枚ずつヘッドユニット3021の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット3021が記録用紙Pの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Pへの印刷が行なわれる。
制御装置3040は、コンピューターで構成され、例えば、プロセッサー(CPU)、メモリー、I/F(インターフェイス)等を有する。そして、プロセッサーが、メモリーに格納されている所定のプログラム(コード列)を実行することで、プリンター3000の各部の駆動を制御する。このような制御は、例えば、I/Fを介してパーソナルコンピューター等のホストコンピューターから入力された印刷データに基づいて実行される。なお、前記プログラムは、I/Fを介して外部のサーバーからダウンロードしてもよい。また、制御装置3040の構成の全部又は一部は、プリンター3000の外部に設けられ、LAN(ローカルエリアネットワーク)等の通信網を介して接続された構成となっていてもよい。
このようなプリンター3000は、前述したように、圧電モーター1を備えている。すなわち、プリンター3000は、駆動用の圧電素子6A〜6Eを備え、圧電素子6A〜6Eに駆動信号V1〜V3を印加することにより振動する振動体41と、振動体41の振動により移動する被駆動部としてのローター2と、圧電素子6A〜6Eに駆動信号V1〜V3を印加する駆動信号生成部70と、を有する。
このプリンター3000の制御方法は、駆動信号生成部70が、圧電素子6A〜6Eに対して間欠的に駆動信号V1〜V3を出力することで、圧電素子6A〜6Eで構成される振動体41を安定して振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号V1〜V3の出力を停めている時間T2を、振動体41の振動が停止するまでの時間T3より短くすることで、振動体41の振動が停止する前に振動体41を振動させることができ、安定して振動体41を振動させ、低速制御を維持することができる。そのため、安定した低速駆動特性を有するプリンター3000となる。
なお、本実施形態では、圧電モーター1が給紙用の駆動ローラー3032を駆動しているが、この他にも、例えば、キャリッジ3021cを駆動してもよい。
以上、本発明の圧電駆動装置としての圧電モーター1の制御方法、ロボット1000の制御方法、およびプリンター3000の制御方法を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
以下に、上述した実施形態から導き出される内容を記載する。
圧電駆動装置の制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有する圧電駆動装置の制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、駆動信号生成部が、圧電素子に対して間欠的に駆動信号を出力することで、安定して振動体を振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号の出力を停めている時間を、振動体の振動が停止するまでの時間より短くすることで、振動体の振動が停止する前に振動体を振動させることができ、安定して振動体を振動させ、低速制御を維持することができる。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記目標速度によらず前記出力を停めている時間は、一定であることとしても良い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、目標速度によらず駆動信号の出力を停めている時間を一定とすることで、低速制御が容易となる。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記目標速度が小さくなったときに前記駆動信号を出力している時間を短くすることとしても良い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、目標速度が小さくなったときに駆動信号を出力している時間を短くすることで、振動体を振動させる時間が短くなり、振動速度が小さくなるので、低速で被駆動部を駆動することができる。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部は、前記振動体の屈曲振動又は伸縮振動を制御することとしても良い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、駆動信号生成部が、圧電素子に対して間欠的に駆動信号を出力し、振動体の屈曲振動又は伸縮振動を制御することで、振動体を楕円運動させ、被駆動部を駆動することができる。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、PWM波形であることとしても良い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、駆動信号生成部の出力する前記駆動信号が、PWM波形であるので、駆動電圧の振幅をパルス波の振幅として制御し、駆動信号とすることができるので、この駆動信号を間欠的に出力し、振動体を安定して振動させ、低速制御することができる。
上述の圧電駆動装置の制御方法において、前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、DA変換された後に増幅されていることとしても良い。
この圧電駆動装置の制御方法によれば、駆動信号生成部の出力する前記駆動信号が、DA変換された後に増幅されているので、この駆動信号を間欠的に出力し、振動体を安定して振動させ、低速制御することができる。
ロボットの制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有するロボットの制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
このロボットの制御方法によれば、駆動信号生成部が、圧電素子に対して間欠的に駆動信号を出力することで、安定して振動体を振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号の出力を停めている時間を、振動体の振動が停止するまでの時間より短くすることで、振動体の振動が停止する前に振動体を振動させることができ、安定して振動体を振動させ、低速制御を維持することができる。
プリンターの制御方法は、圧電素子を備えている振動体と、前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、を有するプリンターの制御方法であって、前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短い。
このプリンターの制御方法によれば、駆動信号生成部が、圧電素子に対して間欠的に駆動信号を出力することで、安定して振動体を振動させ、低速制御することができる。また、駆動信号の出力を停めている時間を、振動体の振動が停止するまでの時間より短くすることで、振動体の振動が停止する前に振動体を振動させることができ、安定して振動体を振動させ、低速制御を維持することができる。
1…圧電駆動装置としての圧電モーター、2…被駆動部としてのローター、21…外周面、22…主面、3…駆動部、4…圧電アクチュエーター、41…振動体、42…支持部、43…接続部、431…第1接続部、432…第2接続部、44…凸部、5…付勢部材、6A,6B,6C,6D,6E,6F,6G…圧電素子、60…圧電素子ユニット、60A,60B,60C,60D,60E,60F,60G…圧電素子、601…第1電極、602…圧電体、603…第2電極、61…基板、63…保護層、69…接着剤、7…制御装置、70…駆動信号生成部、72…速度制御部、74…断続出力部、76…電圧制御部、78…駆動波形生成部、80…スイッチ、82…PWM波形生成部、84…DA変換部、86…波形増幅部、9…エンコーダー、91…スケール、92…光学素子、921…発光素子、922…撮像素子、1000…ロボット、1010…ベース、1020,1030,1040,1050,1060,1070…アーム、1080…制御装置、1090…エンドエフェクター、3000…プリンター、3010…装置本体、3011…トレイ、3012…排紙口、3013…操作パネル、3020…印刷機構、3021…ヘッドユニット、3021a…ヘッド、3021b…インクカートリッジ、3021c…キャリッジ、3022…キャリッジモーター、3023…往復動機構、3023a…キャリッジガイド軸、3023b…タイミングベルト、3030…給紙機構、3031…従動ローラー、3032…駆動ローラー、3040…制御装置、A1,A2,B1,B2…矢印、O…中心軸、P…記録用紙、T1,T2,T3…時間、V1,V2,V3…駆動信号。

Claims (8)

  1. 圧電素子を備えている振動体と、
    前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、
    駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、
    を有する圧電駆動装置の制御方法であって、
    前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、
    前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短いことを特徴とする圧電駆動装置の制御方法。
  2. 前記目標速度によらず前記出力を停めている時間は、一定である請求項1に記載の圧電駆動装置の制御方法。
  3. 前記目標速度が小さくなったときに前記駆動信号を出力している時間を短くする請求項1又は請求項2に記載の圧電駆動装置の制御方法。
  4. 前記駆動信号生成部は、前記振動体の屈曲振動又は伸縮振動を制御する請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
  5. 前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、PWM波形である請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
  6. 前記駆動信号生成部が出力する前記駆動信号は、DA変換された後に増幅されている請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
  7. 圧電素子を備えている振動体と、
    前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、
    駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、
    を有するロボットの制御方法であって、
    前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、
    前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短いことを特徴とするロボットの制御方法。
  8. 圧電素子を備えている振動体と、
    前記振動体の振動により目標速度で移動する被駆動部と、
    駆動信号を生成して前記圧電素子に前記駆動信号を出力する駆動信号生成部と、
    を有するプリンターの制御方法であって、
    前記駆動信号生成部は、前記圧電素子に対して間欠的に前記駆動信号を出力し、
    前記駆動信号の出力を停めている時間が、前記振動が停止するまでの時間より短いことを特徴とするプリンターの制御方法。
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