JP2014087169A - 駆動装置、駆動回路、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】共振によって振動体を大きく振動させながら対象物の位置決めも容易な駆動装置を提供する。
【解決手段】第1電圧と第2電圧とを一定周期で繰り返すパルス状の電圧波形を、LC回路部を介して圧電モーターの振動体に印加する。そして、電圧波形は、振動体の共振周期よりも短い周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返し、且つ、振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調されている。こうすれば、共振周波数の成分については共振によって電圧が増幅され、それ以外の周波数成分については電圧の変動が抑制される。その結果、環境温度が変化した場合でも、共振周波数以外の成分の影響で電圧が変動し難くなるので、電圧管理が容易となり、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
【選択図】図10
【解決手段】第1電圧と第2電圧とを一定周期で繰り返すパルス状の電圧波形を、LC回路部を介して圧電モーターの振動体に印加する。そして、電圧波形は、振動体の共振周期よりも短い周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返し、且つ、振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調されている。こうすれば、共振周波数の成分については共振によって電圧が増幅され、それ以外の周波数成分については電圧の変動が抑制される。その結果、環境温度が変化した場合でも、共振周波数以外の成分の影響で電圧が変動し難くなるので、電圧管理が容易となり、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
【選択図】図10
Description
本発明は、駆動装置、駆動回路、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置に関する。
圧電材料を含んで形成された振動体を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターでは、振動体に一定周期の駆動電圧を印加することによって振動体を振動させ、振動体の端面に設けた凸部で対象物を駆動する。
ここで、圧電材料の変位は印加する電圧に比例するので、振動体を大きく振動させるためには駆動電圧の振幅も大きくしなければならないが、そのためには高電圧を発生する電源が必要となる。そこで、振動体の共振周期の駆動電圧を印加することで、共振によって振動体を大きく振動させ、より速い速度で対象物を駆動可能とする方法が用いられている。
また、共振を利用して振動体を大きく振動させながら、対象物の駆動速度を変更可能とするために、振動体の共振周期でパルス状の駆動電圧を印加することとして、駆動電圧のパルス幅を変更可能とした技術も提案されている(特許文献1)。
しかし、上記の提案されている技術では、対象物を細かく位置決めすることが困難であるという問題があった。すなわち、対象物を少しだけ動かそうとしたときに、動かしすぎたり逆に動かしたりなかったりして、所望の位置に位置決めすることが難しいという問題があった。
この発明は、従来の技術が有する上述した課題を解決するためになされたものであり、共振を利用することによって圧電モーターの振動体を大きく振動させ、対象物を精度良く位置決めする技術の提供を目的とする。
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の駆動装置は次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備える駆動装置であって、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを要旨とする。
圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備える駆動装置であって、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを要旨とする。
かかる本発明の駆動装置においては、第1電圧と第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を、LC回路部を介して振動体に印加する。そして、電圧波形は、振動体の共振周期よりも短い周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返し、且つ、振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形となっている。尚、変調成分は、振動体の共振周波数の成分のみである必要はなく、振動体の共振周波数の成分の他に、多くの周波数成分が含まれていても構わない。
こうすれば、パルス変調された電圧波形のうち、振動体の共振周波数の成分については共振によって電圧が増幅されて振動体に印加されるので、高い電圧を発生させる電源などを用いなくても、振動体を大きく振動させて対象物を駆動することが可能となる。その一方で、共振周波数以外の周波数成分(第1電圧と第2電圧とを共振周波数よりも短い周期で繰り返す成分など)については、電圧の変動が抑制された状態で振動体に印加される。詳細なメカニズムについては後述するが、振動体の共振周波数以外の周波数で大きな変動成分が存在すると、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧が大きく変動する場合と、あまり変動しない場合が発生して電圧の管理が困難となる。この点で本発明の駆動装置では、共振周波数以外の周波数成分が抑制された電圧波形を振動体に印加することができるので、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、上述した本発明の駆動装置においては、電圧波形出力部は、パルス信号を第1電圧と第2電圧との間で電圧増幅することによって電圧波形を生成して、LC回路部に出力することとしてもよい。
パルス信号を電圧増幅するのであれば、第1電圧と第2電圧との間で電圧が切り換わる電圧波形を、簡単な回路を用いて、しかも大きな電力損失を伴うことなく(従って、大きな放熱機構を必要とせずに)発生させることができる。その結果、駆動装置を小型化することが可能となる。
また、上述した本発明の駆動装置においては、電圧波形出力部からLC回路部に出力される電圧波形として、振動体の共振周波数の正弦波が変調成分としてパルス変調された電圧波形を用いても良い。
正弦波には1つの周波数のみが含まれている。従って、振動体の共振周波数の正弦波を変調成分として用いれば、LC回路部に出力される電圧波形の中の共振周波数以外の成分を抑制することができる。このため、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態を抑制することができるので、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、上述した本発明の駆動装置においては、LC回路部に印加される電圧波形を、共振周期の7分の1以下の周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返す電圧波形としてもよい。
こうすれば、電圧波形が第1電圧と第2電圧とを繰り返すことによる周波数成分を十分に抑制することができる。このため、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態が抑制され、その結果、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、本発明は圧電モーターの駆動回路としての態様で把握することも可能である。このような態様で把握された本発明の駆動回路は、
圧電材料を含んで形成された振動体を備える圧電モーターの駆動回路であって、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを要旨とする。
圧電材料を含んで形成された振動体を備える圧電モーターの駆動回路であって、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを要旨とする。
このような本発明の駆動回路においても、パルス変調された電圧波形のうち、振動体の共振周波数の成分については共振によって電圧が増幅されて振動体に印加されるので、圧電モーターの振動体に高い電圧の駆動電圧を印加することが可能となる。その一方で、共振周波数以外の周波数成分(第1電圧と第2電圧とを共振周波数よりも短い周期で繰り返す成分など)については、電圧の変動が抑制された状態で振動体に印加される。詳細なメカニズムについては後述するが、こうすれば、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧が大きく変動する場合と、あまり変動しない場合が発生して電圧の管理が困難となる事態を抑制できる。その結果、圧電モーターを用いて対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、上述した本発明の駆動回路においては、電圧波形出力部は、パルス信号を第1電圧と第2電圧との間で電圧増幅することによって電圧波形を生成して、LC回路部に出力することとしてもよい。
こうすれば、第1電圧と第2電圧との間で電圧が切り換わる電圧波形を、簡単な回路を用いて、しかも大きな電力損失を伴うことなく(従って、大きな放熱機構を必要とせずに)発生させることが可能となる。
また、上述した本発明の駆動回路においては、電圧波形出力部からLC回路部に出力される電圧波形として、振動体の共振周波数の正弦波が変調成分としてパルス変調された電圧波形を用いても良い。
こうすれば、LC回路部に入力される電圧波形の中の共振周波数以外の成分を抑制することができるので、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態を抑制することができる。その結果、圧電モーターを用いて、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、上述した本発明の駆動回路においては、LC回路部に印加される電圧波形を、共振周期の7分の1以下の周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返す電圧波形としてもよい。
こうすれば、電圧波形が第1電圧と第2電圧とを繰り返すことによる周波数成分を十分に抑制することができるので、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態が抑制され、その結果、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また本発明は以下のようなロボットハンドの態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動装置と、
を備え、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動装置と、
を備え、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。
このような本発明によれば、精度良く位置決めが可能なロボットハンドを実現することが可能となる。
また、上述した本発明のロボットハンドにおいては、電圧波形出力部は、パルス信号を第1電圧と第2電圧との間で電圧増幅することによって電圧波形を生成して、LC回路部に出力することとしてもよい。
こうすれば、第1電圧と第2電圧との間で電圧が切り換わる電圧波形を、簡単な回路を用いて、しかも大きな電力損失を伴うことなく(従って、大きな放熱機構を必要とせずに)発生させることが可能となる。
また、上述した本発明のロボットハンドにおいては、電圧波形出力部からLC回路部に出力される電圧波形として、振動体の共振周波数の正弦波が変調成分としてパルス変調された電圧波形を用いても良い。
こうすれば、LC回路部に入力される電圧波形の中の共振周波数以外の成分を抑制することができるので、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態を抑制することができる。その結果、圧電モーターを用いて、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、上述した本発明のロボットハンドにおいては、LC回路部に印加される電圧波形を、共振周期の7分の1以下の周期で第1電圧と第2電圧とを繰り返す電圧波形としてもよい。
こうすれば、電圧波形が第1電圧と第2電圧とを繰り返すことによる周波数成分を十分に抑制することができるので、環境温度が変動したときに振動体に印加される電圧の変動がばらつく事態が抑制され、その結果、対象物を所望の位置に精度良く位置決めすることが可能となる。
また、本発明は、以下のようなロボットの態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動する駆動装置を有しており、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボットとして把握することもできる。
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動する駆動装置を有しており、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボットとして把握することもできる。
このような本発明によれば、精度良く位置決めが可能なロボットを実現することが可能となる。
また、上述した本発明のロボットにおいては、電圧波形出力部は、パルス信号を第1電圧と第2電圧との間で電圧増幅することによって電圧波形を生成して、LC回路部に出力することとしてもよい。
こうすれば、第1電圧と第2電圧との間で電圧が切り換わる電圧波形を、簡単な回路を用いて、しかも大きな電力損失を伴うことなく(従って、大きな放熱機構を必要とせずに)発生させることが可能となる。
また、本発明は、以下のような電子部品搬送装置の態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
このような本発明によれば、電子部品を精度良く位置決めが可能な電子部品搬送装置ドを実現することが可能となる。
また、本発明は、以下のような電子部品検査装置の態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
このような本発明によれば、電子部品を精度良く位置決めが可能な電子部品検査装置を実現することが可能となる。
また、本発明は、以下のような送液ポンプの態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動装置と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記移動部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動装置と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記移動部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。
このような本発明によれば、移動部を精度良く位置決めすることによって、精度良く送液が可能な送液ポンプを実現することが可能となる。
また、本発明は、以下のような印刷装置の態様で把握することもできる。すなわち、
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動装置と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記印刷ヘッドに押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする印刷装置として把握することもできる。
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動装置と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記印刷ヘッドに押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする印刷装置として把握することもできる。
このような本発明によれば、印刷ヘッドを精度良く位置決めすることによって、高画質な画像を印刷可能な印刷装置を実現することが可能となる。
また、本発明は、以下のような電子時計の態様で把握することもできる。すなわち、
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動装置と、
を備える電子時計であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記回転円板に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子時計として把握することもできる。
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動装置と、
を備える電子時計であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記回転円板に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子時計として把握することもできる。
このような本発明によれば、回転円板を精度良く位置決めすることにより、精度の高い電子時計を実現することが可能となる。
また、本発明は、以下のような投影装置の態様で把握することもできる。すなわち、
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動装置と
を備える投影装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記調整部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする投影装置として把握することもできる。
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動装置と
を備える投影装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記調整部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする投影装置として把握することもできる。
このような本発明によれば、調整部を精度良く位置決めし、投影状態を細かく調整可能な投影装置を実現することが可能となる。
A.圧電モーターの構成 :
図1は、本実施例の圧電モーター1の構成を示した説明図である。図1(a)には、本実施例の圧電モーター1の全体図が示されている。本実施例の圧電モーター1は、大まかには、図中に斜線を付して示した本体部10と、外側ケース20などから構成される。本体部10は、図示しないバネにより一方向に押しつけられた状態で外側ケース20内に組み込まれている。また、図1(b)に示すように、本体部10は、図中に斜線を付して示した振動部30と、振動部30を収容する振動体ケース40などから構成される。振動部30は、振動が許容された状態で振動体ケース40内に保持されている。
図1は、本実施例の圧電モーター1の構成を示した説明図である。図1(a)には、本実施例の圧電モーター1の全体図が示されている。本実施例の圧電モーター1は、大まかには、図中に斜線を付して示した本体部10と、外側ケース20などから構成される。本体部10は、図示しないバネにより一方向に押しつけられた状態で外側ケース20内に組み込まれている。また、図1(b)に示すように、本体部10は、図中に斜線を付して示した振動部30と、振動部30を収容する振動体ケース40などから構成される。振動部30は、振動が許容された状態で振動体ケース40内に保持されている。
図1(c)には、振動部30の外観形状が示されている。振動部30は、圧電材料を含んで直方体形状に形成された振動体32と、振動体32の長手方向の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部34と、振動体32の一方の側面を4分割して設けられた4枚の表電極36(36a,36b,36c,36d)などから構成されている。また、表電極36が設けられた側に対して反対側の側面には、図示しない裏電極が設けられている。尚、本明細書中では、振動体32の長手方向をX方向と称し、X方向と直交する方向をY方向と称するものとする(図1(c)参照)。
B.圧電モーターの動作原理 :
図2は、圧電モーター1の動作原理を示す説明図である。圧電モーター1は、振動部30の表電極36に、正負の電圧を交互に印加することによって動作する。例えば、図2(a)の左側の図に示すように、振動体32の表電極36aおよび表電極36dに正電圧を印加すると正電圧を印加された部分が伸張して、図示されるように振動体32が屈曲する。このとき、振動体32では屈曲と伸張とが同時に起きるため、振動体32の長手方向(X方向)の先端部(駆動凸部34が取り付けられた部分)は、図面上で右上方向に楕円の弧を描くように移動する。
図2は、圧電モーター1の動作原理を示す説明図である。圧電モーター1は、振動部30の表電極36に、正負の電圧を交互に印加することによって動作する。例えば、図2(a)の左側の図に示すように、振動体32の表電極36aおよび表電極36dに正電圧を印加すると正電圧を印加された部分が伸張して、図示されるように振動体32が屈曲する。このとき、振動体32では屈曲と伸張とが同時に起きるため、振動体32の長手方向(X方向)の先端部(駆動凸部34が取り付けられた部分)は、図面上で右上方向に楕円の弧を描くように移動する。
一方、図2(a)の右側の図に示すように、表電極36aおよび表電極36dに負電圧を印加すると、負電圧を印加された部分が収縮して、図示されるように振動体32が屈曲する。このとき、振動体32では屈曲と収縮とが同時に起きるため、振動体32の先端部は、図面上で左下方向に楕円の弧を描くように移動する。従って、表電極36aおよび表電極36dに正負の電圧を交互に印加すると、振動体32の先端部(駆動凸部34)が時計回りに楕円運動を開始する。このため、振動体32の先端部(駆動凸部34)を対象物に押しつけた状態で、表電極36aおよび表電極36dに正負の電圧を交互に印加すると、振動体32の駆動凸部34が、図2(a)に示した態様で楕円運動を行って、対象物は駆動凸部34から受ける摩擦力によってY(+)方向に駆動される。
また、図2(b)に示すように、表電極36bおよび表電極36cに正電圧あるいは負電圧を印加すると、図2(a)の場合に対して図面上で逆方向に振動体32が屈曲する。従って、振動体32の先端部は、図2(a)の場合に対して図面上で逆方向の楕円を描くように移動する。このため、振動体32の先端部(駆動凸部34)を対象物に押しつけた状態で表電極36bおよび表電極36cに正負の電圧を交互に印加すると、振動体32の駆動凸部34が、図2(b)に示した態様で楕円運動を行って、対象物は駆動凸部34から受ける摩擦力によってY(−)方向に駆動される。また、このように対象物を駆動する際に振動体32に印加される電圧(駆動電圧)は、次のような回路を用いて生成される。
C.圧電モーターの駆動電圧生成回路 :
図3は、駆動電圧を生成するために用いられる回路(駆動電圧生成回路110)を示す説明図である。尚、駆動電圧生成回路110と、駆動電圧生成回路110からの駆動電圧が印加される圧電モーター1(図3では振動体32)とが、本発明における「駆動装置」に対応する。駆動電圧生成回路110は、パルス信号を電力増幅するフルブリッジ回路部120と、フルブリッジ回路部120の出力側に接続されたLC回路部140などから構成される。フルブリッジ回路部120は4つのトランジスタ(TR1,TR2,TR3,TR4)を備えており、トランジスタのスイッチングを利用して、電源電圧PVDD、PVSSのレベルに増幅されたパルス状の電圧波形を生成する。生成された電圧波形は、LC回路部140を介して振動体32に印加される。また、LC回路部140と、振動体32との間には、スイッチSW1およびスイッチSW2が介在されており、いずれかのスイッチをONにすることにより、対象物の駆動方向を切り換えることができる。本実施例では、スイッチSW1をONにするとY(+)方向に駆動され、スイッチSW2をONにするとY(−)方向に駆動されるものとする。
図3は、駆動電圧を生成するために用いられる回路(駆動電圧生成回路110)を示す説明図である。尚、駆動電圧生成回路110と、駆動電圧生成回路110からの駆動電圧が印加される圧電モーター1(図3では振動体32)とが、本発明における「駆動装置」に対応する。駆動電圧生成回路110は、パルス信号を電力増幅するフルブリッジ回路部120と、フルブリッジ回路部120の出力側に接続されたLC回路部140などから構成される。フルブリッジ回路部120は4つのトランジスタ(TR1,TR2,TR3,TR4)を備えており、トランジスタのスイッチングを利用して、電源電圧PVDD、PVSSのレベルに増幅されたパルス状の電圧波形を生成する。生成された電圧波形は、LC回路部140を介して振動体32に印加される。また、LC回路部140と、振動体32との間には、スイッチSW1およびスイッチSW2が介在されており、いずれかのスイッチをONにすることにより、対象物の駆動方向を切り換えることができる。本実施例では、スイッチSW1をONにするとY(+)方向に駆動され、スイッチSW2をONにするとY(−)方向に駆動されるものとする。
尚、本実施例では、電源電圧PVSSが本発明における「第1電圧」に対応し、電源電圧PVDDが本発明における「第2電圧」に対応する。また、フルブリッジ回路部120が、本発明における「電圧波形出力部」に対応する。
図4は、フルブリッジ回路部120の動作を示す説明図である。図4(a)には、フルブリッジ回路部120に、Highレベルのパルス信号が入力された場合の動作が示されている。パルス信号は、トランジスタTR1およびトランジスタTR2のそれぞれのゲート(G)端子に入力される。トランジスタTR1とトランジスタTR2とは、互いのドレイン(D)端子で接続されている。また、トランジスタTR1のソース(S)端子は高電位側の電源電圧PVDDに接続され、トランジスタTR2のソース(S)端子は低電位側の電源電圧PVSSに接続されている。従って、Highレベルの信号をゲート(G)端子に入力すると、トランジスタTR1がONとなり、トランジスタTR2がOFFとなって、出力側の位置TP3には、高電位側の電源電圧PVDDの電位が現れる。
トランジスタTR3とトランジスタTR4とについても同様に、互いのドレイン(D)端子で接続されており、トランジスタTR3のソース(S)端子は電源電圧PVDDに接続され、トランジスタTR4のソース(S)端子は電源電圧PVSSに接続されている。また、パルス信号は、NOTゲートによってLowレベルに反転されて、トランジスタTR3およびトランジスタTR4のゲート(G)端子に入力される。このため、トランジスタTR3がOFFとなり、トランジスタTR4がONとなって、出力側の位置TP2には、低電位側の電源電圧PVSSの電位が現れる。
以上では、フルブリッジ回路部120にHighレベルのパルス信号が入力された場合の動作を説明した。これに対して、Lowレベルのパルス信号が入力されると、フルブリッジ回路部120は次の様に動作する。
図4(b)には、フルブリッジ回路部120に、Lowレベルのパルス信号が入力された場合の動作が示されている。この場合、トランジスタTR1およびトランジスタTR2のゲート(G)端子には、Lowレベルの信号が入力される。従って、トランジスタTR1がOFFとなり、トランジスタTR2がONとなって、出力側の位置TP3には、低電位側の電源電圧PVSSの電位が現れる。また、トランジスタTR3およびトランジスタTR4のゲート(G)端子には、NOTゲートを介してHighレベルの信号が入力される。このため、トランジスタTR3がONとなり、トランジスタTR4がOFFとなって、出力側の位置TP2には、高電位側の電源電圧PVDDの電位が現れる。このように、フルブリッジ回路部120に入力されるパルス信号のレベルに応じて、上述の図4(a)および図4(b)の動作が繰り返される。
図5は、フルブリッジ回路部120にパルス信号を入力した時に、出力側(位置TP2と位置TP3との間)に現れる電圧の変化を示した説明図である。図4を用いて前述したように、フルブリッジ回路部120にHighレベルのパルス信号が入力されると、位置TP2の電位がPVSSとなり、位置TP3の電位がPVDDとなる。また、フルブリッジ回路部120にLowレベルのパルス信号が入力されると、位置TP2の電位がPVDDとなり、位置TP3の電位がPVSSとなる。この結果、パルス信号の入力がHighレベルとLowレベルとに切り換わると、フルブリッジ回路部120の出力側(位置TP2と位置TP3との間)に現れる電圧は、絶対値は(PVDD−PVSS)のまま、正負が切り換わるパルス状の電圧波形となる(図5参照)。この電圧波形の周期Toは、フルブリッジ回路部120に入力されたパルス信号が、HighレベルおよびLowレベルを繰り返す周期に相当する。このような電圧波形がLC回路部140に入力されて、LC回路部140の出力側から駆動電圧が振動体32に印加される。
また、フルブリッジ回路部120に入力するパルス信号の周期(HighレベルおよびLowレベルを繰り返す周期)を変化させると、LC回路部140から出力される電圧の大きさが変化する。従って、LC回路部140に入力されるパルス状の電圧波形の周波数(=1/To)に対して、LC回路部140への入力電圧(位置TP2と位置TP3との間の電圧)と出力電圧(位置TP4と位置TP5との間の電圧)との比(ゲイン)を取ると、図6に示したゲイン特性を得ることができる。図示のように、LC回路部140に入力されるパルス状の電圧波形の周波数(=1/To)が、LC回路部140の共振周波数foに一致すると、ゲインが急に大きくなって、大きく増幅された電圧波形が出力される。
従って、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期To(=1/fo)のパルス信号をフルブリッジ回路部120に入力すれば、フルブリッジ回路部120からは周期Toで繰り返す電圧波形が出力され、LC回路部140で大きく増幅することができる。このため、フルブリッジ回路部120の電源電圧を高くしなくても、高い電圧を振動体32に印加することができる。
更に、振動体32自体も共振周波数を有している。LC回路部140の共振周波数foはコイルのインダクタンスLや、コンデンサーのキャパシタンスCを選択することによって比較的自由に設定することができるから、LC回路部140の共振周波数foを振動体32の共振周波数に一致させておけば、振動体32をより一層大きな振幅で振動させることができる。このため、LC回路部140の共振周波数foは、振動体32の共振周波数と一致するように設定されている。
しかし、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期のパルス信号を用いる方法(従来から用いられてきた方法)では、圧電モーター1の駆動量の管理が難しいという問題がある。以下では、この点について説明する。
周知のようにパルス波形は、パルス波形の周期に相当する周波数の基本波と、基本波の整数倍の周波数を有する高調波とから形成される。従って、LC回路部140にパルス状の電圧波形が入力されると、基本波だけでなく、高調波も増幅される。図7に示したゲイン特性(周波数に対するゲインの値を示す特性)には、基本波に対応するゲインが白丸で表され、高調波に対応するゲインが黒丸で表されている。尚、図7では、4次より高次の高調波については表示が省略されている。
また、LC回路部140を構成するコイルのインダクタンスLやコンデンサーのキャパシタンスCは、温度によって変化する。このため、図7に示したゲイン特性の共振周波数foも温度によって変化する。そして、従来のように、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期のパルス信号を用いる方法では、温度変化によってLC回路部140の共振周波数foが変化した時に、ゲイン(従って振動体32が振動する振幅)が大きくばらつくことになる。
例えば、図8(a)に示したように、温度変化によってゲイン特性が図面上で左方向にずれたとする。この場合、パルス状の電圧波形の基本波の周波数foに対応するゲインは、丸印で示したゲインから星印で示したゲインに減少する。また、高調波の周波数2foに対応するゲインも同様に、丸印で示したゲインから星印で示したゲインに減少する。すなわち、基本波のゲインも高調波のゲインもどちらも減少する。尚、図8(a)では、3次より高次の高調波については図示が省略されているが、これら高次の高調波についても同様にゲインは減少する。
また、図8(b)に示したように、ゲイン特性が図面上で右方向にずれた場合、基本波の周波数foに対応するゲインは、丸印で示したゲインから星印で示したゲインに減少する。これに対して、高調波の周波数2foに対応するゲインは、丸印で示したゲインから星印で示したゲインに増加する。すわなち、高調波のゲインは、基本波のゲインの変化を弱める方向に変化するので、全体としてのゲインの変化は、図8(a)で示した場合よりも小さくなる。尚、図8(b)では、3次より高次の高調波については表示が省略されているが、これらの高調波についても同様に、基本波のゲインの変化を弱める方向に変化する。
このように、LC回路部140の共振周波数foのパルス信号を用いる従来の方法では、温度の変化量が同じであっても、全体としてのゲイン(振動体32の振幅)が大きく低下する場合(図8(a)参照)と、全体としてのゲインがあまり低下しない場合(図8(b)参照)とが発生する。このため、圧電モーター1の駆動量を管理することが困難となる。こうした点に鑑みて本実施例では、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期のパルス信号ではなく、次のようなパルス信号を使用する。
先ず、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期Toよりも短い周期Tp(望ましくは、Tp≦(To/7))のパルス信号Aを用意し、このパルス信号Aに、共振周波数foに相当する周期Toの正弦波BをPWM変調して、変調されたパルス信号(変調パルス信号C)を生成する。図9(a)には、このような方法で変調パルス信号Cが生成される様子が示されている。尚、図9(b)には、参考として、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期Toのパルス信号も示されている。本実施例では、このようにして生成された変調パルス信号Cを、フルブリッジ回路部120に入力した後、LC回路部140を介して振動体32に電圧を印加する。このようにすれば、LC回路部140で大きく増幅された電圧を生成することが可能でありながら、温度変化によってLC回路部140の共振周波数foが変化しても、全体としてのゲイン(振動体32の振幅)が大きくばらつくことはない。これは以下のような理由による。
変調パルス信号Cの周波数成分(従って、LC回路部140に入力される電圧波形の周波数成分)には、パルス信号Aの周波数成分と、正弦波Bの周波数成分とが含まれている。そのため、変調パルス信号Cに含まれる各周波数成分に対応するゲインは、図10のように表される。先ず、変調成分である正弦波Bの周波数成分は、LC回路部140の共振周波数foに対応するゲインで大きく増幅されて出力される。従って、従来(LC回路部140の共振周波数foに相当する周期のパルス信号を用いる方法)の場合と同様に、フルブリッジ回路部120の電源電圧を高くしなくても、高い電圧を振動体32に印加することができる。
また、図9に示したように、パルス信号Aの周期Tpは、LC回路部140の共振周波数foに相当する周期Toよりも短いから、パルス信号Aの周波数成分(fp、2fp、3fp・・・)は、LC回路部140の共振周波数foよりも高くなる。特に周期Tpを周期Toの1/7よりも短くすると、パルス信号Aの周波数成分(fp、2fp、3fp・・・)は、LC回路部140の共振周波数foよりも十分に高くなる。このため、これらの周波数に対応するゲインは、十分に小さな値となる。
従って、例えば図11(a)に示したように、温度変化によってゲイン特性が図面上で左方向にずれた場合、変調成分である正弦波Bの周波数foのゲインは、丸印のゲインから星印のゲインに減少するが、パルス信号Aの周波数(fp、2fp、3fp・・・)のゲインはほとんど変化しない。また、図11(b)に示したように、ゲイン特性が図面上で右方向にずれた場合も、正弦波Bの周波数foのゲインは丸印のゲインから星印のゲインに減少するが、パルス信号Aの周波数(fp、2fp、3fp・・・)のゲインはほとんど変化しない。
このように、温度変化によってLC回路部140の共振周波数foが変化しても、パルス信号Aの周波数(fp、2fp、3fp・・・)のゲインはほとんど変化しないため、全体としてのゲインの変化を強めたり弱めたりすることがない。従って、図8を用いて前述した従来(LC回路部140の共振周波数foに相当する周期のパルス信号を用いる方法)の場合と異なり、温度の変化量が同じであれば、全体としてのゲインの低下量が大きくばらつくことはない。
図12は、温度変化に対して、全体としてのゲインが変化する様子を示す説明図である。図12(a)には、参考として、従来のように、LC回路部140の共振周波数foのパルス信号を用いた場合が示されている。基準温度Tから温度T+ΔTに変化した時、全体としてのゲインが大きく低下する場合(ゲインG1の場合)と、あまり低下しない場合(ゲインG2の場合)とがあり、ばらつきが発生している。それに対して、図12(b)に示すように、本実施例で生成した変調パルス信号Cを用いた場合には、温度T+ΔTに変化した時のゲインG3となり、温度の変化量ΔTに対するゲインの変化量の関係が、ほぼ同じとなる。そのため、温度の変化量に応じてゲインを補正することが可能となり、圧電モーター1の駆動量を管理して対象物を精度良く位置決めすることが可能となる。
D.変形例 :
上述した本実施例では、周期Tpのパルス信号に、周期Toの正弦波をPWM変調することによって変調パルス信号Cを生成するものとして説明した。しかし、パルス信号にPWM変調する変調成分は、正弦波に限られるものではない。すなわち、周期がToであり、且つ、周期Toで電圧が切り換わるパルス信号よりも高調波成分が小さな波形であれば、どのような波形であってもよい。このような波形の例としては、最小値から最大値に単調増加し、且つ、最大値から最小値に単調減少する変化を周期Toで繰り返す波形(たとえば、図13(a)に例示した三角波Dや、図13(b)に例示したノコギリ波Eなど)が挙げられる。また、図13(c)に例示したように、最小値から最大値に達したら最大値を一定時間保持した後、最小値に向けて単調減少して、最小値を一定時間保持するような波形とすることもできる。
上述した本実施例では、周期Tpのパルス信号に、周期Toの正弦波をPWM変調することによって変調パルス信号Cを生成するものとして説明した。しかし、パルス信号にPWM変調する変調成分は、正弦波に限られるものではない。すなわち、周期がToであり、且つ、周期Toで電圧が切り換わるパルス信号よりも高調波成分が小さな波形であれば、どのような波形であってもよい。このような波形の例としては、最小値から最大値に単調増加し、且つ、最大値から最小値に単調減少する変化を周期Toで繰り返す波形(たとえば、図13(a)に例示した三角波Dや、図13(b)に例示したノコギリ波Eなど)が挙げられる。また、図13(c)に例示したように、最小値から最大値に達したら最大値を一定時間保持した後、最小値に向けて単調減少して、最小値を一定時間保持するような波形とすることもできる。
E.適用例 :
上述した本実施例の駆動電圧生成回路110によって駆動される圧電モーター1は、以下のような装置に好適に組み込むことができる。
上述した本実施例の駆動電圧生成回路110によって駆動される圧電モーター1は、以下のような装置に好適に組み込むことができる。
図14は、本実施例の圧電モーター1を組み込んだロボットハンド600を例示した説明図である。図示したロボットハンド600は、基台602から複数本の指部603が立設されており、手首604を介してアーム610に接続されている。ここで、指部603の根元の部分は基台602内で移動可能となっており、この指部603の根元の部分に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター1が搭載されている。このため、圧電モーター1を動作させることで、指部603を移動させて対象物を把持することができる。また、手首604の部分にも、手首604の端面に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター1が搭載されている。このため、圧電モーター1を動作させることで、基台602全体を回転させることが可能である。
図15は、ロボットハンド600(ハンド部)を備えた単腕のロボット650を例示した説明図である。図示されるようにロボット650は、複数本のリンク部612(リンク部材)と、それらリンク部612の間を屈曲可能な状態で接続する関節部620とを備えたアーム610(腕部)を有している。また、ロボットハンド600はアーム610の先端に接続されている。そして、関節部620には圧電モーター1が内蔵されている。このため、圧電モーター1を動作させることにより、それぞれの関節部620を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
図16は、ロボットハンド600を備えた複腕のロボット660を例示した説明図である。図示されるようにロボット660は、複数本のリンク部612と、それらリンク部612の間を屈曲可能な状態で接続する関節部620とを備えたアーム610を複数本(図示した例では2本)有している。アーム610の先端には、ロボットハンド600や、工具601(ハンド部)が接続されている。また、頭部662には複数台のカメラ663が搭載され、本体部664の内部には全体の動作を制御する制御部666が搭載されている。更に、本体部664の底面に設けられたキャスター668によって搬送可能である。このロボット660にも、関節部620に圧電モーター1が内蔵されている。このため、圧電モーター1を動作させることにより、それぞれの関節部620を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
図17は、本実施例の圧電モーター1を組み込んで構成された電子部品検査装置700を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置700は、大まかには基台710と、基台710の側面に立設された支持台730とを備えている。基台710の上面には、検査対象の電子部品3が載置されて搬送される上流側ステージ712uと、検査済みの電子部品3が載置されて搬送される下流側ステージ712dとが設けられている。また、上流側ステージ712uと下流側ステージ712dとの間には、電子部品3の姿勢を確認するための撮像装置714と、電気的な特性を検査するために電子部品3がセットされる検査台716(検査部)とが設けられている。尚、電子部品3の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「CLDやOLEDなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種MEMSデバイス」などが挙げられる。
また、支持台730には、基台710の上流側ステージ712uおよび下流側ステージ712dと平行な方向(Y方向)に移動可能にYステージ732が設けられており、Yステージ732からは、基台710に向かう方向(X方向)に腕部734が延設されている。また、腕部734の側面には、X方向に移動可能にXステージ736が設けられている。そして、Xステージ736には、撮像カメラ738と、上下方向(Z方向)に移動可能なZステージを内蔵した把持装置750が設けられている。また、把持装置750の先端には、電子部品3を把持する把持部752が設けられている。更に、基台710の前面側には、電子部品検査装置700の全体の動作を制御する制御装置718も設けられている。尚、本実施例では、支持台730に設けられたYステージ732や、腕部734や、Xステージ736や、把持装置750が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
以上のような構成を有する電子部品検査装置700は、次のようにして電子部品3の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品3は、上流側ステージ712uに載せられて、検査台716の近くまで移動する。次に、Yステージ732およびXステージ736を動かして、上流側ステージ712uに載置された電子部品3の真上の位置まで把持装置750を移動させる。このとき、撮像カメラ738を用いて電子部品3の位置を確認することができる。そして、把持装置750内に内蔵されたZステージを用いて把持装置750を降下させて、把持部752で電子部品3を把持すると、そのまま把持装置750を撮像装置714の上に移動させて、撮像装置714を用いて電子部品3の姿勢を確認する。続いて、把持装置750に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品3の姿勢を調整する。そして、把持装置750を検査台716の上まで移動させた後、把持装置750に内蔵されたZステージを動かして電子部品3を検査台716の上にセットする。把持装置750内の微調整機構を用いて電子部品3の姿勢が調整されているので、検査台716の正しい位置に電子部品3をセットすることができる。そして、検査台716を用いて電子部品3の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台716から電子部品3を取り上げた後、Yステージ732およびXステージ736を動かして、下流側ステージ712dの上まで把持装置750を移動させ、下流側ステージ712dに電子部品3を置く。その後、下流側ステージ712dを動かして、検査が終了した電子部品3を所定位置まで搬送する。
図18は、把持装置750に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置750内には、把持部752に接続された回転軸754や、回転軸754が回転可能に取り付けられた微調整プレート756などが設けられている。また、微調整プレート756は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、X方向およびY方向に移動可能である。
ここで、図18に斜線を付して示されるように、回転軸754の端面に向けて回転方向用の圧電モーター1θが搭載されており、圧電モーター1θの駆動凸部(図示は省略)が回転軸754の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター1θを動作させることによって、回転軸754(および把持部752)をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート756に向けてX方向用の圧電モーター1xと、Y方向用の圧電モーター1yとが設けられており、それぞれの駆動凸部(図示は省略)が微調整プレート756の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター1xを動作させることによって、微調整プレート756(および把持部752)をX方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター1yを動作させることによって、微調整プレート756(および把持部752)をY方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図17の電子部品検査装置700は、圧電モーター1θ、圧電モーター1x、圧電モーター1yを動作させることにより、把持部752で把持した電子部品3の姿勢を微調整することが可能である。
図19は、本実施例の圧電モーター1を組み込んで構成された送液ポンプ800を例示した説明図である。図19(a)には送液ポンプ800を上面視した平面図が示されており、図19(b)には送液ポンプ800を側面視した断面図が示されている。図示されるように送液ポンプ800は、矩形形状のケース802内に円板形状のローター804(移動部)が回転可能に設けられており、ケース802とローター804との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ806(液体チューブ)が挟持されている。また、チューブ806の一部は、ローター804に設けられたボール808(閉塞部)によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター804が回転すると、ボール808がチューブ806を押しつぶす位置が移動するので、チューブ806の液体が送液される。そして、本実施例の圧電モーター1の駆動凸部114をローター804の側面に押し付けた状態で設ければ、ローター804を駆動することができる。こうすれば、極僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ800を実現することができる。
図20は、本実施例の圧電モーター1を組み込んだ印刷装置850を例示した斜視図である。図示した印刷装置850は、印刷媒体2の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置850は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ851や、排出口852や、複数の操作ボタン855が設けられている。また、背面側には、ロール状に巻いた印刷媒体2(ロール紙854)をセットする用紙ホルダー853が設けられている。用紙ホルダー853にロール紙854をセットして操作ボタン855を操作すると、用紙ホルダー853にセットされたロール紙854が吸い込まれて、印刷装置850の内部で印刷媒体2の表面に画像が印刷される。また、ロール紙854は、印刷装置850の内部に搭載された後述の切断機構880で切断された後、排出口852から排出される。
印刷装置850の内部には、印刷媒体2上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド870と、印刷ヘッド870の主走査方向への動きをガイドするガイドレール860が設けられている。また、図示した印刷ヘッド870は、印刷媒体2上にインクを噴射する印字部872や、印刷ヘッド870を主走査方向に走査するための走査部874などから構成されている。印字部872の底面側(印刷媒体2に向いた側)には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体2に向かってインクを噴射することができる。また、走査部874には、圧電モーター1m,1sが搭載されている。圧電モーター1mの凸部(図示は省略)はガイドレール860に押しつけられている。このため、圧電モーター1mを動作させることで、印刷ヘッド870を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター1sの駆動凸部114は、印字部872に対して押しつけられている。このため、圧電モーター1sを動作させることで、印字部872の底面側を印刷媒体2に近付けたり、印刷媒体2から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷装置850には、ロール紙854を切断するための切断機構880も搭載されている。切断機構880は、用紙カッター886を先端に搭載したカッターホルダー884と、カッターホルダー884を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸882とを備えている。カッターホルダー884内には圧電モーター1cが搭載されており、圧電モーター1cの図示しない凸部はガイド軸882に押し付けられている。このため、圧電モーター1cを動作させるとカッターホルダー884がガイド軸882に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター886がロール紙854を切断する。また、印刷媒体2を紙送りするために圧電モーター1を用いることも可能である。
図21は、本実施例の圧電モーター1を組み込んだ電子時計900の内部構造を例示した説明図である。図21では、電子時計900の時刻表示側とは反対側(裏蓋側)から見た平面図が示されている。図21に例示した電子時計900の内部には、円板形状の回転円板902と、回転円板902の回転を、時刻を表示する指針(図示省略)に伝達する歯車列904と、回転円板902を駆動するための圧電モーター1と、電力供給部906と、水晶チップ908と、IC910とを備えている。また、電力供給部906や、水晶チップ908、IC910は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列904は、複数の歯車や図示しないラチェットを含んで構成されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図21では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。
回転円板902には、同軸に小さな歯車902gが設けられており、この歯車902gが歯車列904と噛み合わされている。このため回転円板902の回転は、所定の比率で減速されながら歯車列904を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達されて時刻を表示する。そして、本実施例の圧電モーター1の駆動凸部114を回転円板902の側面に押し付けた状態で設ければ、回転円板902を回転させることができる。
図22は、本実施例の圧電モーター1を組み込んだ投影装置950を例示した説明図である。図示されるように投影装置950は、光学レンズを含んだ投影部952を備えており、内蔵する光源(図示は省略)からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部952に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機構954(調整部)を、本実施例の圧電モーター1を用いて駆動するようにしても良い。圧電モーター1は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー956で投影部952の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー956を開閉するための避けるために、本実施例の圧電モーター1を用いることもできる。
以上、本発明の駆動電圧生成回路によって駆動される圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
1…圧電モーター、 2…印刷媒体、 3…電子部品、 10…本体部、 20…外側ケース、 30…振動部、 32…振動体、 34…駆動凸部、 36…表電極、 40…振動体ケース、 110…駆動電圧生成回路、 114…駆動凸部、 120…フルブリッジ回路部、 600…ロボットハンド、 601…工具、 602…基台、 603…指部、 604…手首、 610…アーム、 612…リンク部、 620…関節部、 650…ロボット、 660…ロボット、 662…頭部、 663…カメラ、 664…本体部、 666…制御部、 668…キャスター、 700…電子部品検査装置、 710…基台、 712d…下流側ステージ、 712u…上流側ステージ、 714…撮像装置、 716…検査台、 718…制御装置、 730…支持台、 734…腕部、 738…撮像カメラ、 750…把持装置、 752…把持部、 754…回転軸、 756…微調整プレート、 800…送液ポンプ、 802…ケース、 804…ローター、 806…チューブ、 808…ボール、 850…印刷装置、 851…排紙トレイ、 852…排出口、 853…用紙ホルダー、 854…ロール紙、 855…操作ボタン、 860…ガイドレール、 870…印刷ヘッド、 872…印字部、 874…走査部、 880…切断機構、 882…ガイド軸、 884…カッターホルダー、 886…用紙カッター、 900…電子時計、 902…回転円板、 902g…歯車、 904…歯車列、 906…電力供給部、 908…水晶チップ、 910…IC、 950…投影装置、 952…投影部、 954…調整機構、 956…レンズカバー、 TR1…トランジスタ、 TR2…トランジスタ、 TR3…トランジスタ、 TR4…トランジスタ、 SW1…スイッチ、 SW2…スイッチ
Claims (20)
- 圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備える駆動装置であって、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする駆動装置。 - 請求項1に記載の駆動装置であって、
前記電圧波形出力部は、前記電圧波形よりも小さな電圧振幅のパルス信号を受け取って、前記パルス信号を前記第1電圧と前記第2電圧との間で電圧増幅することによって生成した前記電圧波形を出力する
ことを特徴とする駆動装置。 - 請求項1または請求項2に記載の駆動装置であって、
前記変調成分は、前記振動体の前記共振周波数の正弦波である駆動装置。 - 請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の駆動装置であって、
前記電圧波形は、前記共振周期の7分の1以下の周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返す波形である
ことを特徴とする駆動装置。 - 圧電材料を含んで形成された振動体を備える圧電モーターの駆動回路であって、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする駆動回路。 - 請求項5に記載の駆動回路であって、
前記電圧波形出力部は、前記電圧波形よりも小さな電圧振幅のパルス信号を受け取って、前記パルス信号を前記第1電圧と前記第2電圧との間で電圧増幅することによって生成した前記電圧波形を出力する
ことを特徴とする駆動回路。 - 請求項5または請求項6に記載の駆動回路であって、
前記変調成分は、前記振動体の前記共振周波数の正弦波である駆動回路。 - 請求項5ないし請求項7の何れか一項に記載の駆動回路であって、
前記電圧波形は、前記共振周期の7分の1以下の周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返す波形である
ことを特徴とする駆動回路。 - 複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動装置と、
を備え、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボットハンド。 - 請求項9に記載のロボットハンドであって、
前記電圧波形出力部は、前記電圧波形よりも小さな電圧振幅のパルス信号を受け取って、前記パルス信号を前記第1電圧と前記第2電圧との間で電圧増幅することによって生成した前記電圧波形を出力する
ことを特徴とするロボットハンド。 - 請求項9または請求項10に記載のロボットハンドであって、
前記変調成分は、前記振動体の前記共振周波数の正弦波であるロボットハンド。 - 請求項9ないし請求項11の何れか一項に記載のロボットハンドであって、
前記電圧波形は、前記共振周期の7分の1以下の周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返す波形である
ことを特徴とするロボットハンド。 - 回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動する駆動装置を有しており、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、対象物に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とするロボット。 - 請求項13に記載のロボットであって、
前記電圧波形出力部は、前記電圧波形よりも小さな電圧振幅のパルス信号を受け取って、前記パルス信号を前記第1電圧と前記第2電圧との間で電圧増幅することによって生成した前記電圧波形を出力する
ことを特徴とするロボット。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する駆動装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記把持部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子部品検査装置。 - 液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動装置と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記移動部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする送液ポンプ。 - 媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動装置と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記印刷ヘッドに押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする印刷装置。 - 同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動装置と、
を備える電子時計であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記回転円板に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする電子時計。 - 光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動装置と
を備える投影装置であって、
前記駆動装置は、
圧電材料を含んで形成され、前記調整部に押し付けられる凸部を有する振動体と、
第1電圧と前記第1電圧よりも高い第2電圧とを一定周期で繰り返す電圧波形を出力する電圧波形出力部と、
前記電圧波形出力部と前記振動体との間に介在し、コイルおよびコンデンサーを含むLC回路部と
を備え、
前記電圧波形は、前記振動体の共振周期よりも短い周期で、前記第1電圧と前記第2電圧とを繰り返し、且つ、前記振動体の共振周波数の変調成分がパルス幅変調された電圧波形である
ことを特徴とする投影装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016040987A (ja) * | 2014-08-13 | 2016-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
WO2016147539A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子の製造方法、圧電素子、圧電駆動装置、ロボット、およびポンプ |
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JP2016174024A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波モーター用圧電素子およびその製造方法、超音波モーター、ロボット、ならびにポンプ |
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