JP2013207918A - アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置および搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】屈曲振動モードで振動する圧電素子と、前記圧電素子の接触部の振動によって駆動される被駆動体と、前記圧電素子を保持する第1,2保持部と、前記接触部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台とを備え、前記第1保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置される第1,2支持部と、前記第1,2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第3,4支持部とを有し、前記第2保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置される第5,6支持部、前記第5,6支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第7,8支持部とを有するアクチュエーター。
【選択図】図1
Description
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
であることを特徴とする。
前記距離DW1,DW2,DW3,DW4が、
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならないことを特徴とする。
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、を備える印刷装置であって、前記駆動部は、上述のアクチュエーターを備えることを特徴とする。
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
であることを特徴とする。
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならないことを特徴とする。
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
であることを特徴とする。
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならないアクチュエーターを備えることを特徴とする。
図1は、第1実施形態のアクチュエーターを示し、(a)は平面図、(b)は(a)に示すA−A´部の断面図、(c)は(a)に示すB−B´部の断面図、(d)は(a)に示すC−C´部の断面図、である。図1(a)に示すように、アクチュエーター100は、保持部材としての保持ケース21と、保持ケース21にねじ23によって装着される押え板22aとによって構成される第1保持部20aと、保持ケース21にねじ23によって装着される押え板22bとによって構成される第2保持部20bと、が構成されている。第1保持部20aおよび第2保持部20bには圧電素子10が保持され、保持ケース21の付勢手段としてのばね60が装着されるばね固定部50aを備える基台50と、被駆動体71もしくは被駆動体72と、を備えている。
LP1≒0.13L
LP2≒0.13L
であることが得られた。
0≦δ21≦LP1
として、圧電素子10の外形からはみ出さず、尚且つ節P1の位置を越えないように配置される。また、圧電素子10のL方向の突起部10a側の端部に最も離れた第1支持領域F1の外形までの距離LF1は、
LP1≦LF1<L/2
となるように配置される。すなわち、第1支持領域F1の領域内に節P1のL方向位置であるLP1が含まれるように配置されている。
0≦δ22≦LP1
として、圧電素子10の外形からはみ出さず、尚且つ節P1の位置を越えないように配置される。また、圧電素子10のL方向の突起部10a側の端部に最も離れた第2支持領域F2の外形までの距離LF2は、
LP1≦LF2<L/2
となるように配置される。すなわち、第2支持領域F2の領域内に節P1のL方向位置であるLP1が含まれるように配置されている。
0≦δ23≦LP2
として、圧電素子10の外形からはみ出さず、尚且つ節P2の位置を越えないように配置される。また、圧電素子10のL方向の突起部10aと反対側の端部に最も離れた第3支持領域F3の外形までの距離LF3は、
LP2≦LF3<L/2
となるように配置される。すなわち、第3支持領域F3の領域内に節P2のL方向位置であるLP2が含まれるように配置されている。
0≦δ24≦LP2
として、圧電素子10の外形からはみ出さず、尚且つ節P2の位置を越えないように配置される。また、圧電素子10のL方向の突起部10aと反対側の端部に最も離れた第4支持領域F4の外形までの距離LF4は、
LP2≦LF4<L/2
となるように配置される。すなわち、第4支持領域F4の領域内に節P2のL方向位置であるLP2が含まれるように配置されている。
LP1≒0.13L
LP2≒0.13L
の条件から、図6(a)に示す支持領域F1,F2,F3,F4の図心Q1,Q2,Q3,Q4の圧電素子10のL方向端部からの位置DL1,DL2,DL3,DL4は、
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
となるように設定することが好ましい。なお好ましくは、
DL1≒0.13L
DL2≒0.13L
DL3≒0.13L
DL4≒0.13L
として、支持領域F1,F2,F3,F4の図心Q1,Q2,Q3,Q4位置を節P1,P2の位置に近づける。
δ11≧0
として、圧電素子10の外形からはみ出さずに配置される。また、圧電素子10のW方向の一方の端部に最も離れた第1支持領域F1の外形までの距離WF1は、
WF1<W/2
となるように配置される。すなわち、第1支持領域F1の領域内にW方向位置で節P1が含まれないように配置されている。
δ12≧0
として、圧電素子10の外形からはみ出さずに配置される。また、圧電素子10のW方向の他方の端部に最も離れた第2支持領域F2の外形までの距離WF2は、
WF2<W/2
となるように配置される。すなわち、第2支持領域F2の領域内にW方向位置で節P1が含まれないように配置されている。
δ13≧0
として、圧電素子10の外形からはみ出さずに配置される。また、圧電素子10のW方向の一方の端部に最も離れた第3支持領域F3の外形までの距離WF3は、
WF3<W/2
となるように配置される。すなわち、第3支持領域F3の領域内にW方向位置で節P2が含まれないように配置されている。
δ14≧0
として、圧電素子10の外形からはみ出さずに配置される。また、圧電素子10のW方向の他方の端部に最も離れた第4支持領域F4の外形までの距離WF4は、
WF4<W/2
となるように配置される。すなわち、第4支持領域F4の領域内にW方向位置で節P2が含まれないように配置されている。
1/60≦S1/S≦1/8
1/60≦S2/S≦1/8
1/60≦S3/S≦1/8
1/60≦S4/S≦1/8
とすることが好ましい。支持領域の領域面積S1,S2,S3,S4がS/60より狭くなると、圧電素子10を保持する保持力が小さくなり意図しない振動、例えばあおり振動の抑制が困難となる。また支持領域の領域面積S1,S2,S3,S4がS/8より広くなると、圧電素子10の保持力が強くなり、突起部10aが描く楕円軌道が小さくなり、アクチュエーター100の出力および効率などが低下し、アクチュエーター100の性能低下となってしまう。
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であることが好ましい。
図9に第2実施形態に係るアクチュエーターの支持部である、図1(a)に指示するB−B´部、およびC−C´部の概略断面図を示す。なお、第2実施形態に係るアクチュエーターは第1実施形態に係るアクチュエーター100に対して支持部31,32,33,34,41,42,43,44に弾性部材を含む点が異なり、その他の構成は同じであるため、第1実施形態に係るアクチュエーター100と同じ構成には同じ符号を付し、説明は省略する。
図10は、第1実施形態に係るアクチュエーター100(図1参照)を備えたロボットハンド1000を示す外観図である。図10に示すロボットハンド1000に備えるアクチュエーター100は、第1実施形態に係るアクチュエーター100であって、回転駆動される被駆動体71を備えている(図1参照)形態をとり、後述するロボットハンド1000の関節部の回転駆動モーターとして用いられる。ロボットハンド1000は、基部1100に接続された指部1200を備えている。基部1100と指部1200との接続部1300と、指部1200の関節部1400とには、回転駆動モーターとしてのアクチュエーター100が組み込まれている。またロボットハンド1000には制御部1500を備え、制御部1500によってアクチュエーター100の駆動により接続部1300および関節部1400を回動させ指部1200を人間の指のように所望の形態に変形させることができる。なお、本実施形態に係るロボットハンド1000は、第2実施形態に係るアクチュエーター300を備えることもできる。
図11は、第3実施形態に係るロボットハンド1000備えるロボット2000の構成を示す外観図である。ロボット2000は、本体部2100、アーム部2200およびロボットハンド1000を備え、図示するロボット2000は、いわゆる多関節型ロボットに分類される。本体部2100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部2200は、本体部2100に対して可動に設けられており、本体部2100にはアーム部2200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。
図12は、第1実施形態に係るアクチュエーター100(図1参照)を備える、直交ロボットの一実施形態としての電子部品搬送装置としての電子部品搬送ロボットを備える電子部品検査装置を示す外観図である。図12に示す電子部品検査装置5000(以下、検査装置5000という)は、電子部品の電気的特性を検査する機能を有する部分3000(以下、検査部3000という)と、電子部品を所定の位置間を搬送する電子部品搬送装置である電子部品搬送ロボットとしての搬送装置部分4000(以下、搬送装置部4000という)と、を備える装置である。
図13は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を組み込んで構成された第6実施形態に係る送液ポンプ6000を例示した説明図である。図13(a)には送液ポンプ6000を上面視した平面図が示されており、図13(b)には送液ポンプ6000を側面視した断面図が示されている。図13に示すように送液ポンプ6000は、矩形形状のケース6100内に円板形状のローター6200(移動部)が回転可能に設けられており、ケース6100とローター6200との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ6300(液体チューブ)が挟持されている。また、チューブ6300の一部は、ローター6200に設けられたボール6400(閉塞部)によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター6200が回転すると、ボール6400がチューブ6300を押しつぶす位置が移動するので、チューブ6300の内部に存在している液体が送液される。そして、アクチュエーター100の突起部10aをローター6200の側面に押し付けた状態で設けることにより、ローター6200を駆動する駆動部として用いることができる。このように圧電素子10の突起部10aの微小な楕円軌道を描く動作によって被駆動部を駆動するアクチュエーター100を駆動部として用いることにより、わずかな液体量であっても高い精度で送液可能となり、しかも小型な送液ポンプ6000を実現することができる。なお、本実施形態に係る送液ポンプ6000は、第2実施形態に係るアクチュエーター300を備えることもできる。
図14は第1実施形態に係るアクチュエーター100を組み込んだ第7実施形態に係るプリンターを示し、(a)はプリンターを示す斜視図、(b)は(a)に示すプリンターが備えるカッティングヘッドを示す平面図、である。
図15は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を組み込んだ第8実施形態に係る電子時計8000の内部構造を例示した説明図である。図15では、電子時計8000の時刻表示側とは反対側(裏蓋側)から見た平面図が示されている。図15に例示した電子時計8000の内部には、円板形状の回転円板8100と、回転円板8100の回転を、時刻を表示する指針(図示省略)に伝達する歯車列8200と、回転円板8100を駆動する駆動部としてのアクチュエーター100と、電力供給部8300と、水晶チップ8400と、IC8500とを備えている。また、電力供給部8300や、水晶チップ8400、IC8500は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列8200は、複数の歯車や図示しないラチェットを含んで構成されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図15では、歯車の歯先を結んだ線を実線で表し、歯車の歯元を結んだ線を一点鎖線で表している。
図16は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を組み込んだ第9実施形態に係る投影装置9000を例示した説明図である。図示されるように投影装置9000は、光学レンズを含んだ投影部9100を備えており、内蔵する光源(図示は省略)からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部9100に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機構9200(調整部)を、駆動部としてアクチュエーター100を用いて駆動するようにしても良い。アクチュエーター100は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー9300で投影部9100の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー9300を開閉させる駆動部として、アクチュエーター100を用いることもできる。なお、本実施形態に係る投影装置9000は、第2実施形態に係るアクチュエーター300を備えることもできる。
Claims (21)
- 屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、
前記圧電素子に備えられる接触部が当接し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、
前記圧電素子を保持する第1保持部および第2保持部と、
前記第1保持部および前記第2保持部を介して前記圧電素子の前記接触部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、
前記第1保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有し、
前記第2保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第5支持部および第6支持部と、前記第5支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第7支持部と、前記第6支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第8支持部と、を有する、
ことを特徴とするアクチュエーター。 - 前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、
前記圧電素子は、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、前記第5支持部と前記第7支持部と、が前記圧電素子を支持する第3支持領域と、前記第6支持部と前記第8支持部と、が前記圧電素子を支持する第4支持領域と、を有し、
前記第1支持領域の第1図心Q1および前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL1およびDL2とし、
前記第3支持領域の第3図心Q3および前記第4支持領域の第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL3およびDL4とした場合の、
前記距離DL1,DL2,DL3,DL4が、
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、
前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
である、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエーター。 - 前記第1図心Q1および前記第3図心Q3と、前記圧電素子の前記長さW方向の一方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW1およびDW3とし、
前記第2図心Q2および前記第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さW方向の他方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW2およびDW4とした場合の、
前記距離DW1,DW2,DW3,DW4が、
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならない、
ことを特徴とする請求項2に記載のアクチュエーター。 - 前記第1、第2、第3および第4支持領域の外縁部は、前記圧電素子の前記振動面の外縁部の内側である、
ことを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエーター。 - 前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、前記第5支持部と前記第7支持部の少なくとも一方、および前記第6支持部と前記第8支持部の少なくとも一方、には緩衝部を含む、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーター。 - 前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、前記第5支持部と前記第7支持部の少なくとも一方、および前記第6支持部と前記第8支持部の少なくとも一方、には弾性部を含む、
ことを特徴とする請求項5に記載のアクチュエーター。 - 複数本の指部を用いて対象物を把持するロボットハンドであって、
前記複数本の指部が移動可能に立設された基台と、
前記基台に設けられて前記指部の基端を駆動することによって、前記複数本の指部の間隔を変更する駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とするロボットハンド。 - 回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とするロボット。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を駆動する駆動部と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を駆動する駆動部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする電子部品検査装置。 - 液体が流れる液体チューブと、
前記液体チューブの一部に側方から当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする送液ポンプ。 - 被記録媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする印刷装置。 - 同軸状に歯車が設けられた回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
前記駆動部に電力を供給する電力供給部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする電子時計。 - 光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする投影装置。 - 対象物を搬送する搬送装置であって、
請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーターを有する駆動部を備える、
ことを特徴とする搬送装置。 - 回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、
前記圧電素子に備えられる接触部が当接し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、
前記圧電素子を保持する第1保持部および第2保持部と、
前記第1保持部および前記第2保持部を介して前記圧電素子の前期接触部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、
前記第1保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有し、
前記第2保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第5支持部および第6支持部と、前記第5支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第7支持部と、前記第6支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第8支持部と、を有するアクチュエーターを備える、
ことを特徴とするロボット。 - 前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、
前記圧電素子は、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、前記第5支持部と前記第7支持部と、が前記圧電素子を支持する第3支持領域と、前記第6支持部と前記第8支持部と、が前記圧電素子を支持する第4支持領域と、を有し、
前記第1支持領域の第1図心Q1および前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL1およびDL2とし、
前記第3支持領域の第3図心Q3および前記第4支持領域の第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL3およびDL4とした場合の、
前記距離DL1,DL2,DL3,DL4が、
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、
前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
である、
ことを特徴とする請求項16に記載のロボット。 - 前記第1図心Q1および前記第3図心Q3と、前記圧電素子の前記長さW方向の一方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW1およびDW3とし、
前記第2図心Q2および前記第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さW方向の他方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW2およびDW4とした場合の、
前記距離DW1,DW2,DW3,DW4が、
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならない、
ことを特徴とする請求項17に記載のロボット。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部を駆動する駆動部と、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記駆動部は、
屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、
前記圧電素子に備えられる接触部が当接し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、
前記圧電素子を保持する第1保持部および第2保持部と、
前記第1保持部および前記第2保持部を介して前記圧電素子の前記接触部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、
前記第1保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有し、
前記第2保持部は、前記圧電素子の前記振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第5支持部および第6支持部と、前記第5支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の他方に配置される第7支持部と、前記第6支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第8支持部と、を有するアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、
前記圧電素子は、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、前記第5支持部と前記第7支持部と、が前記圧電素子を支持する第3支持領域と、前記第6支持部と前記第8支持部と、が前記圧電素子を支持する第4支持領域と、を有し、
前記第1支持領域の第1図心Q1および前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL1およびDL2とし、
前記第3支持領域の第3図心Q3および前記第4支持領域の第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部からの前記長さL方向の距離を距離DL3およびDL4とした場合の、
前記距離DL1,DL2,DL3,DL4が、
0.065L≦DL1≦0.315L
0.065L≦DL2≦0.315L
0.065L≦DL3≦0.315L
0.065L≦DL4≦0.315L
であり、
前記圧電素子の前記第1〜第4支持領域が形成される面の投影面積を面積S、前記第1支持領域の面積を面積S1、前記第2支持領域の面積を面積S2、前記第3支持領域の面積を面積S3、前記第4支持領域の面積を面積S4、とした場合、
1/60<S1/S<1/8
1/60<S2/S<1/8
1/60<S3/S<1/8
1/60<S4/S<1/8
である、
ことを特徴とする請求項19に記載の電子部品搬送装置。 - 前記第1図心Q1および前記第3図心Q3と、前記圧電素子の前記長さW方向の一方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW1およびDW3とし、
前記第2図心Q2および前記第4図心Q4と、前記圧電素子の前記長さW方向の他方の端部からの前記長さW方向の距離を距離DW2およびDW4とした場合の、
前記距離DW1,DW2,DW3,DW4が、
0.07W≦DW1≦0.43W
0.07W≦DW2≦0.43W
0.07W≦DW3≦0.43W
0.07W≦DW4≦0.43W
であり、且つ前記第1支持領域と前記第2支持領域とは重ならず、前記第3支持領域と前記第4支持領域とは重ならないアクチュエーターを備える、
ことを特徴とする請求項20に記載の電子部品搬送装置。
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