CN108809141A - 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及电子部件输送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种压电驱动装置及其驱动方法、机器人及电子部件输送装置，其不使驱动力过度增大，而能够提高保持力。压电驱动装置具有：压电振动模块，具备振动部和与被驱动部抵接且将所述振动部的振动传递到所述被驱动部的传递部；以及控制部。所述振动部具有沿第二方向层叠的第一振动部及第二振动部，所述第二方向与作为所述振动部和所述被驱动部并列的方向的第一方向交叉，所述控制部使所述第一振动部沿与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向振动，并且使所述第二振动部沿所述第一方向振动。

Description

压电驱动装置及其驱动方法、机器人及电子部件输送装置

技术领域

本发明涉及一种压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机及投影机。

背景技术

专利文献1所记载的压电驱动装置具有用于使转子(被驱动部)旋转的压电驱动部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016－152705号公报

在此，作为压电驱动装置的重要的参数，有驱动力(使转子旋转的力)和保持力(保持转子的力)。在增大保持力的情况下，只要增多压电驱动部的数量即可，但是如果仅增多压电驱动部的数量，则驱动力变得过大，导致装置的大型化。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种不使驱动力过大而能够提高保持力的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机及投影机。

通过下述本发明达到上述目的。

本发明的压电驱动装置的特征在于，具有压电振动模块，所述压电振动模块具备振动部和与被驱动部抵接且将所述振动部的振动传递到所述被驱动部的传递部，

所述振动部具有沿与第一方向交叉的第二方向层叠(stack)配置的第一振动部及第二振动部，所述第一方向是所述振动部和所述被驱动部的排列方向，

所述第一振动部能够进行向与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向振动的横向振动，

所述第二振动部进行向所述第一方向振动的纵向振动，

通过所述第一振动部的横向振动与所述第二振动部的纵向振动的合成，所述传递部进行旋转振动。

由此，获得不使被驱动部的驱动力过度增大，而能够提高驱动部的保持力的压电驱动装置。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一振动部进行所述横向振动与向所述第一方向的纵向振动的复合振动。

由此，能够进一步增大振动部的纵向振动的振幅。因此，能够利用更强的按压力向被驱动部按压振动部，能够进一步提高被驱动部的保持力。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，在所述传递部不与所述被驱动部接触的状态下，在分别单独地驱动所述第一振动部及所述第二振动部的情况下，

因所述第二振动部的所述纵向振动而产生的所述传递部在所述第一方向的振幅大于因所述第一振动部的所述纵向振动而产生的所述传递部在所述第一方向的振幅。

由此，能够进一步增大传递部的纵向振动的振幅。因此，能够利用更强的按压力向被驱动部按压振动部，并且能够进一步提高被驱动部的保持力。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一振动部及所述第二振动部是彼此不同的结构。

由此，能够将第一振动部及第二振动部设为各自适合的结构，是能够进行更有效的驱动的压电驱动装置。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第二振动部的产生所述纵向振动的振动区域的面积大于所述第一振动部的产生所述纵向振动的振动区域的面积。

由此，能够更可靠地使第二振动部的纵向振动的振幅大于第一振动部的纵向振动的振幅。由此，能够进一步增大传递部的纵向振动的振幅。因此，能够利用更强的按压力向将振动部向被驱动部按压，并且能够进一步提高被驱动部的保持力。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一振动部及所述第二振动部是彼此相同的结构。

由此，能够利用第一振动部及第二振动部实现部件的共通化，并且能够实现压电振动模块的低成本化。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一振动部及所述第二振动部分别具有沿所述第三方向排列配置的至少一对振动区域，

在所述第一振动部中，通过使所述一对振动区域以不同的相位进行伸缩，从而进行所述横向振动，

在所述第二振动部中，通过使所述一对振动区域以相同的相位进行伸缩，从而进行所述纵向振动。

由此，能够利用简单的结构，使第一振动部横向振动，并且使第二振动部纵向振动。

在本发明的压电驱动装置中，优选的是，所述第一振动部及所述第二振动部沿所述第二方向对称地配置。

由此，能够抑制振动部的振动时向第二方向(厚度方向)的挠曲，并且能够更高效地使传递部振动。

本发明的压电驱动装置的驱动方法的特征在于，所述压电驱动装置具有压电振动模块，所述压电振动模块具备振动部和与被驱动部抵接且将所述振动部的振动传递到所述被驱动部的传递部，

将所述振动部构成为具备沿与第一方向交叉的第二方向排列配置的第一振动部及第二振动部，所述第一方向是所述振动部和所述被驱动部的排列方向，

通过使所述第一振动部向与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向振动的同时，使所述第二振动部向所述第一方向振动，从而使所述传递部旋转振动。

由此，不使被驱动部的驱动力过度增大，而能够提高被驱动部的保持力。

本发明的机器人的特征在于，具备本发明的压电驱动装置。

由此，获得能够享受本发明的压电驱动装置的效果的可靠性高的机器人。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，具备本发明的压电驱动装置。

由此，获得能够享受本发明的压电驱动装置的效果的可靠性高的机器人。

本发明的打印机的特征在于，具备本发明的压电驱动装置。

由此，获得能够享受本发明的压电驱动装置的效果的可靠性高的机器人。

本发明的投影机的特征在于，具备本发明的压电驱动装置。

由此，获得能够享受本发明的压电驱动装置的效果的可靠性高的机器人。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的压电驱动装置的立体图。

图2是表示图1所示的压电驱动装置具有的压电振动模块的侧视图。

图3是具有图2所示的压电振动模块的第一压电振动模块的俯视图。

图4是图3中的A－A线剖视图。

图5是图3中的B－B线剖视图。

图6是表示图3所示的第一压电振动模块的振动状态的图。

图7是表示施加于第一压电振动模块的电压的波形的图。

图8是图2所示的压电振动模块具有的第二压电振动模块的俯视图。

图9是图8中的C－C线剖视图。

图10是表示图8所示的第二压电振动模块的振动状态的图。

图11是表示施加于第二压电振动模块的电压的波形的图。

图12是用于说明图2所示的压电振动模块的电连接方法的侧视图。

图13是用于说明图2所示的压电振动模块的电连接方法的侧视图。

图14是用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。

图15是用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。

图16是表示现有结构的压电振动模块的侧视图。

图17是表示能够以现有结构实现的驱动力及保持力的一个例子的表。

图18是表示本发明的压电振动模块的侧视图。

图19是表示能够以本发明的结构实现的驱动力及保持力的一个例子的表。

图20是表示图2所示的压电振动模块的变形例的侧视图。

图21是表示图2所示的压电振动模块的变形例的侧视图。

图22是表示图2所示的压电振动模块的变形例的侧视图。

图23是本发明的第二实施方式的压电驱动装置具有的第一压电振动模块的俯视图。

图24是表示图23所示的第一压电振动模块的振动状态的图。

图25是表示施加于第一压电振动模块的电压的波形的图。

图26是本发明的第三实施方式的压电驱动装置具有的第二压电振动模块的俯视图。

图27是表示图26所示的第二压电振动模块的振动状态的图。

图28是表示施加于第二压电振动模块的电压的波形的图。

图29是表示本发明的第四实施方式的压电驱动装置的立体图。

图30是表示本发明的第五实施方式的机器人的立体图。

图31是表示本发明的第六实施方式的电子部件输送装置的立体图。

图32是表示具有图31所示的电子部件输送装置的电子部件保持部的立体图。

图33是表示本发明的第七实施方式的打印机的整体结构的概要图。

图34是表示本发明的第八实施方式的投影机的整体结构的概要图。

附图标记说明

1、1x、1y、1θ…压电驱动装置、2…转子、21…上表面、3、3’…压电振动模块、31…振动部、32…支承部、321…基端面、33…连接部、34…传递部、4…第一压电振动模块、41…振动部、42…支承部、421…基端面、43…连接部、45…第一基板、46…第二基板、47、47A、47B、47C、47D、47E…压电元件、470…振动区域、471…第一电极、472…压电体、473…第二电极、48…衬垫、491、492、493、494、495、496…端子、5…第二压电振动模块、51…振动部、52…支承部、521…基端面、53…连接部、55…第一基板、56…第二基板、57、57A、57B、57C、57D、57E…压电元件、570…振动区域、571…第一电极、572…压电体、573…第二电极、58…衬垫、591、595…端子、6…工作台、7…施力部、8…控制部、9…布线基板、90…基体、91、92、93、94、95、96…布线、10…滑块、101…上表面、1000…机器人、1010…基座、1020、1030、1040、1050、1060、1070…臂、1080…机器人控制部、1090…末端执行器、2000…电子部件输送装置、2100…基座、2110…上游侧工作台、2120…下游侧工作台、2130…检查台、2200…支承台、2210…Y工作台、2220…X工作台、2230…电子部件保持部、2231…微调整板、2232…转动部、2233…保持部、3000…打印机、3010…装置主体、3011…托盘、3012…排纸口、3013…操作面板、3020…印刷机构、3021…喷墨头单元、3021a…喷墨头、3021b…墨盒、3021c…滑架、3022…滑架电机、3023…往复运动机构、3023a…滑架引导轴、3023b…正时带、3030…供纸机构、3031…从动辊、3032…驱动辊、3040…控制部、4000…投影机、4010…光源、4021、4022、4023…反射镜、4031、4032…分色镜、4040B、4040G、4040R…液晶显示元件、4050…分色棱镜、4060…投影透镜系统、LL…影像光、O…旋转轴、P…记录纸张、Q…电子部件、S…接合部件、V1、V1’、V2、V3、V3’、V4、V4’…电压、X…第一方向、Y…第二方向、Z…第三方向。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选实施方式，对本发明的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机及投影机进行详细说明。

＜第一实施方式＞

首先，对本发明的第一实施方式的压电驱动装置进行说明。

图1是表示本发明的第一实施方式的压电驱动装置的立体图。图2是表示图1所示的压电驱动装置具有的压电振动模块的侧视图。图3是图2所示的压电振动模块具有的第一压电振动模块的俯视图。图4是图3中的A－A线剖视图。图5是图3中的B－B线剖视图。图6是表示图3所示的第一压电振动模块的振动状态的图。图7是表示施加于第一压电振动模块的电压的波形的图。图8是图2所示的压电振动模块具有的第二压电振动模块的俯视图。图9是图8中的C－C线剖视图。图10是表示图8所示的第二压电振动模块的振动状态的图。图11是表示施加于第二压电振动模块的电压的波形的图。图12是用于说明图2所示的压电振动模块的电连接方法的侧视图。图13是用于说明图2所示的压电振动模块的电连接方法的侧视图。图14及图15分别是用于说明图1所示的压电驱动装置的驱动方法的图。图16是表示现有结构的压电振动模块的侧视图。图17是表示能够以现有结构实现的驱动力及保持力的一个例子的表。图18是表示本发明的压电振动模块的侧视图。图19是表示能够以本发明的结构实现的驱动力及保持力的一个例子的表。图20、图21及图22分别是表示图2所示的压电振动模块的变形例的侧视图。需要说明的是，以下，为了便于说明，也将图4、图5及图9中的上侧也称为“上”，将下侧也称为“下”。

图1所示的压电驱动装置1具有：用作旋转电机(超声波电机)且能够绕旋转轴O旋转的转子2(被驱动部)；与转子2的上表面21抵接的压电振动模块3；支承压电振动模块3的工作台6；经由工作台6朝向转子2对压电振动模块3施力的施力部7；控制压电振动模块3的驱动的控制部8。需要说明的是，作为压电振动模块3的数量，不特别限定，可以是两个以上。

如图1所示，转子2为圆板状，以能够绕旋转轴O旋转的方式被支承。并且，与转子2的上表面21抵接地配置压电振动模块3。但是，作为转子2的结构，不特别限定，例如，俯视形状可以不是圆形。另外，只要能够使转子2旋转，不特别限定压电振动模块3的配置，例如，也可以以与转子2的侧面抵接的方式进行配置。

如图1所示，压电振动模块3具有能够振动的振动部31、支承振动部31的支承部32、连接振动部31和支承部32的一对连接部33、设置于振动部31的传递部34。振动部31呈大致长方形状的板状，在其前端部设置有传递部34。另外，支承部32为包围振动部31的基端侧的U字形状。

这样的结构的压电振动模块3在传递部34的前端部抵接于转子2的上表面21，在支承部32固定于工作台6。需要说明的是，工作台6被弹簧部件(板簧、螺旋弹簧)等施力部7朝向转子2侧(图1中下方侧)施力，由此，传递部34以足够的摩擦力与转子2的上表面21接触。因此，能够抑制打滑，从而经由传递部34向转子2有效地传递振动部31的振动。

但是，作为压电振动模块3的结构，不特别限定，例如，也可以省略支承部32及连接部33。需要说明的是，以下，为了便于说明，也将振动部31和转子2的并列方向(振动部31的长边方向)也称为“第一方向X”，将与第一方向X正交(交叉)的压电振动模块3的厚度方向(振动面的法线方向)也称为“第二方向Y”，将与第一方向及第二方向正交(交叉)的振动部31的宽度方向也称为“第三方向Z”。而且，还将由第一方向X和第三方向Z规定的面也称为“XZ面”。

如图2所示，压电振动模块3具有沿第二方向Y层叠地配置的第一压电振动模块4及第二压电振动模块5。另外，第一压电振动模块4以将第二压电振动模块5夹在中间的方式配置一对。即，第一压电振动模块4及第二压电振动模块5沿第二方向Y对称地配置。另外，各第一压电振动模块4和第二压电振动模块5分别通过粘接剂等接合部件S接合。需要说明的是，作为压电振动模块3的结构，只要第一压电振动模块4及第二压电振动模块5至少各具有一个即可，不特别限定。

另外，在本实施方式中，一体的传递部34横跨第一压电振动模块4、第二压电振动模块5及第一压电振动模块4而配置，但是不限于此，例如，传递部34也可以分别相对于第一压电振动模块4、第二压电振动模块5及第一压电振动模块4分体设置，并且利用粘接剂将它们进行固定。另外，在如此分体地形成传递部34的情况下，也可以省略其中的一些。

第一压电振动模块4同时具有作为使转子2绕旋转轴O旋转(移动)的驱动部的功能、作为以该状态保持转子2的保持部的功能。另一方面，第二压电振动模块5实质上不具有作为使转子2绕旋转轴O旋转的驱动部的功能，而具有作为以该状态保持转子2的保持部的功能。即，压电振动模块3构成为利用第一压电振动模块4使转子2旋转，并且利用第一压电振动模块4及第二压电振动模块5保持转子2。

由此，实质上仅利用第一压电振动模块4的驱动力使转子2旋转，从而能够抑制转子2的驱动力过大(必要以上)。另外，利用第一压电振动模块4及第二压电振动模块5两者保持转子2，从而能够进一步提高转子2的保持力。因此，获得不使驱动力过大而能够提高保持力的压电驱动装置1。

如图3所示，第一压电振动模块4具有能够在XZ面内振动的振动部41(第一振动部)、支承振动部41的支承部42、连接振动部41及支承部42的一对连接部43。振动部41呈沿第一方向X延伸的大致长方形的板状，在其前端部设置有传递部34。另外，支承部42为包围振动部41的基端侧的U字形状。但是，不特别限定这些各部分的形状和/或配置。

另外，如图2所示，第一压电振动模块4具有沿第二方向Y对置配置的第一基板45及第二基板46。另外，振动部41具有设置在第一基板45与第二基板46之间的压电元件47，支承部42具有设置在第一基板45与第二基板46之间的衬垫48。需要说明的是，衬垫48作为用于将支承部42的厚度与振动部41的厚度一致的垫片而起作用。需要说明的是，作为第一压电振动模块4，不特别限定，例如，也可以省略第一基板45及第二基板46中的一者。

如图3所示，压电元件47包含五个压电元件47A、47B、47C、47D、47E。并且，压电元件47A、47B位于振动部41的宽度方向的一侧(图3中的右侧)，沿振动部41的长边方向排列配置。另外，压电元件47D、47E位于振动部41的宽度方向的另一侧(图3中的左侧)，沿振动部41的长边方向排列配置。另外，压电元件47C位于振动部41的宽度方向的中央部，沿振动部41的长边方向配置。需要说明的是，作为压电元件47的结构，只要不能够产生后述的横向振动即可，不特别限定，例如，也可以省略压电元件47C。

另外，如图4及图5所示，五个压电元件47A、47B、47C、47D、47E分别具有压电体472、设置于压电体472的上表面的第一电极471、设置于压电体472的下表面的第二电极473。并且，被压电体472的第一电极471和第二电极473夹持的区域为振动区域470。

第一电极471是在压电元件47A、47B、47C、47D、47E中共通设置的共通电极。另一方面，第二电极473是针对压电元件47A、47B、47C、47D、47E分别设置的单独电极。在此，压电元件47A、47B、47C、47D、47E的第二电极473的宽度(沿着第三方向Z的长度)分别大致相等。另外，压电元件47A、47B、47D、47E的第二电极473的长度(沿着第一方向X的长度)是压电元件47C的第二电极473的长度的大致1/2。但是，不限定压电元件47A、47B、47C、47D、47E的第二电极473的尺寸。

另外，压电体472在压电元件47A、47B、47C、47D、47E中共通地一体设置。需要说明的是，压电体472也可以针对压电元件47A、47B、47C、47D、47E分别设置。

压电体472通过施加沿着振动部41的厚度方向(第二方向Y)的方向的电场，沿振动部41的长边方向(第一方向X)伸缩。作为压电体472的结构材料，能够使用例如锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、钛酸铅、铌酸钾、铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸锶钡(BST)、钽酸锶铋(SBT)、偏铌酸铅、钪铌酸铅等压电陶瓷。由压电陶瓷构成的压电体472可以由例如块体(bulk)材料形成，也可以利用溶胶凝胶法、溅射法而形成。需要说明的是，作为压电体472的构成材料，除了上述压电陶瓷以外，也可以使用聚偏二氟乙烯、水晶等。

如图6所示，以上结构的第一压电振动模块4能够以使传递部34绕图中的逆时针方向旋转振动(椭圆振动)的方式进行振动。为了进行这样的振动，例如，将图7所示的电压V1施加于压电元件47A、47E，将电压V2施加于压电元件47C，并将电压V3施加于压电元件47B、47D。由此，振动部41沿第一方向X进行伸缩的纵向振动，并且沿第三方向Z进行二次弯曲的横向振动。这样的纵向振动和横向振动进行合成，振动部41弯曲振动为S形，伴随于此，传递部34进行作为纵向振动与横向振动的复合振动的旋转振动(椭圆振动)。由此，通过使压电元件47A、47E、压电元件47B、47D、压电元件47C以不同的相位伸缩，能够使传递部34旋转振动。但是，只要能够使传递部34旋转振动即可，不特别限定施加于第一压电振动模块4的电压图案。

接着，对第二压电振动模块5进行说明。第二压电振动模块5除了压电元件57的结构不同以外，都是与上述第一压电振动模块4大致相同的结构。即，如图8所示，第二压电振动模块5具有能够在XZ面内振动的振动部51(第二振动部)、支承振动部51的支承部52、将振动部51及支承部52连接的一对连接部53。振动部51成为沿第一方向X延伸的大致长方形状的板状，在其前端部设置有传递部34。另外，支承部52为包围振动部51的基端侧的U字形状。但是，不特别限定这些各部分的形状和/或配置。

另外，如图2所示，第二压电振动模块5具有沿第二方向Y对置配置的第一基板55及第二基板56。另外，振动部51具有设置在第一基板55与第二基板56之间的压电元件57，支承部52具有设置在第一基板55与第二基板56之间的衬垫58。需要说明的是，衬垫58作为用于将支承部52的厚度与振动部51的厚度一致的垫片而起作用。需要说明的是，作为第二压电振动模块5，不特别限定，例如，也可以省略第一基板55及第二基板56中的一者。

如图9所示，压电元件57具有遍布振动部51的大致整个区域而配置的一个压电元件57A。另外，压电元件57A具有压电体572、设置于压电体572的上表面的第一电极571、设置于压电体572的下表面的第二电极573。并且，被压电体572的第一电极571和第二电极573夹持的区域成为振动区域570。

如图10所示，以上结构的第二压电振动模块5能够使传递部34沿第一方向X振动。为了进行这样的振动，例如，将图11所示的电压V4施加于压电元件57A。由此，振动部51沿第一方向X进行伸缩的纵向振动，伴随于此，传递部34沿第一方向X进行纵向振动。并且，这样的第二压电振动模块5的纵向振动与第一压电振动模块4的旋转振动一起被激励。具体而言，也通过将施加于第一压电振动模块4的压电元件47C的电压V2施加于第二压电振动模块5的压电元件57A，从而使压电元件57A与压电元件47C以相同相位进行伸缩。由此，因为振动部41、51以相同相位进行纵向振动，所以能够使传递部34以平滑的轨迹顺畅地旋转振动，并且能够对传递部34的纵向振动的振幅进行增幅。

如上所述，通过第二压电振动模块5所具有的压电元件57A的伸缩、和第一压电振动模块4所具有的压电元件47C的伸缩，在传递部34产生纵向振动。在此，因为压电元件57A的振动区域570比压电元件47C的振动区域470大，所以能够利用第二压电振动模块5的纵向振动，进一步增大传递部34的纵向振动的振幅。即，对于压电振动模块3而言，与例如压电振动模块3是层叠三层第一压电振动模块4而得的结构(将第二压电振动模块5置换为第一压电振动模块4而得的结构)的情况相比，传递部34的纵向振动的振幅变大。只要传递部34的纵向振动的振幅变大，纵向振动的力就变大，对应于此，能够增大压电振动模块3向转子2的按压力。因此，能够进一步提高转子2的保持力。需要说明的是，在本实施方式中，压电元件57A的振动区域570的面积是压电元件47C的振动区域470的面积的大约3倍。因此，利用压电元件57A的纵向振动产生的传递部34的纵向振动的振幅是利用压电元件47A的纵向振动产生的传递部34的纵向振动的振幅的大约3倍。

需要说明的是，所述“纵向振动的振幅”是指，将第一压电振动模块4及第二压电振动模块5分别认定为单体，而且，第一压电振动模块4及第二压电振动模块5没有与转子2接触的状态(没有与其他部件接触的状态。以下，也也称为“自然状态”。)下的传递部34的振幅。换言之，在以一个第一压电振动模块4构成压电振动模块3，将使传递部34在不与转子2抵接的自由的状态下使其旋转振动时的传递部34的纵向振动的振幅设为G1，并且以一个第二压电振动模块5构成压电振动模块3，将使传递部34在不与转子2抵接的自由的状态下使其纵向振动时的传递部34的纵向振动的振幅设为G2时，意味着满足G2＞G1的关系。

在此，作为G1、G2的关系，优选为2≤G2/G1≤10，更优选为3≤G2/G1≤5。由此，能够充分增大振幅G2，并且能够发挥更高的保持力。

以上，对压电振动模块3进行了说明。在这样的压电振动模块3，利用振动部41、51、41的层叠体构成振动部31，利用支承部42、52、42的层叠体构成支承部32，利用连接部43、53、43的层叠体构成连接部33。

在此，对包含于压电振动模块3的两个第一压电振动模块4和一个第二压电振动模块5的电连接方法的一个例子进行说明。但是，它们的电连接方法不限于以下的方法。

如图12所示，第一压电振动模块4在支承部42的基端面421具有从基端面421突出的六个端子491、492、493、494、495、496。其中，端子491设置在衬垫48的第一基板45侧，其余的端子492、493、494、495、496分别设置在衬垫48的第二基板46侧。另外，这些端子491、492、493、494、495、496没有沿第二方向Y(压电振动模块3的厚度方向)层叠，而隔开间隔地沿第三方向Z(压电振动模块3的宽度方向)配置。

另外，端子491经由设置于第一基板45的内表面的未图示的布线，与压电元件47的第一电极471电连接。另外，端子492经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件47D的第二电极473电连接。另外，端子493经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件47E的第二电极473电连接。另外，端子494经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件47B的第二电极473电连接。另外，端子495经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件47C的第二电极473电连接。另外，端子496经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件47A的第二电极473电连接。

另一方面，第二压电振动模块5在支承部52的基端面521具有从基端面521突出的两个端子591、595。另外，端子591设置在衬垫58的第一基板55侧，端子595设置在衬垫58的第二基板56侧。另外，端子591、595不沿第二方向Y(压电振动模块3的厚度方向)层叠，而隔开间隔地沿第三方向Z(压电振动模块3的宽度方向)配置。另外，端子591被配置为，沿第二方向Y与第一压电振动模块4的端子491并列，端子595被配置为，沿第二方向Y与第一压电振动模块4的端子495并列。

另外，端子591经由设置于第一基板55的内表面的未图示的布线，与压电元件57的第一电极571电连接。另外，端子595经由设置于第二基板46的内表面的未图示的布线，与压电元件57的第二电极573电连接。

针对这样的结构的压电振动模块3，准备图13所示的布线基板9。该布线基板9具有薄片状的基体90、和配置于基体90的6条布线91、92、93、94、94、96。布线91、92、93、94、94、96分别沿第二方向Y延伸，并沿第三方向Z排列配置。作为这样的布线基板9，不特别限定，但是例如，能够使用印刷布线基板(柔性布线基板、刚性基板等)。

布线基板9经由未图示的粘接剂与压电振动模块3的支承部32的基端面321接合。由此，利用布线91电连接各第一压电振动模块4的端子491与第二压电振动模块5的端子591，利用布线92电连接各第一压电振动模块4的端子492，利用布线93电连接各第一压电振动模块4的端子493，利用布线94电连接各第一压电振动模块4的端子494，利用布线95电连接各第一压电振动模块4的端子495与第二压电振动模块5的端子595，利用布线96电连接各第一压电振动模块4的端子496。

由此，如果将电连接的端子彼此沿第二方向Y(压电振动模块3的厚度方向)排列配置，并且将未电连接的端子彼此沿第三方向Z(压电振动模块3的宽度方向)错位地配置，则通过使用沿第二方向Y延伸的布线，能够容易地进行电连接。

接着，对压电驱动装置1的驱动方法进行说明。压电驱动装置1具有保持转子2的保持模式和使转子2旋转的驱动模式，能够选择任一模式。利用控制部8进行保持模式、驱动模式的选择。

首先，对驱动模式进行说明。驱动模式是使压电振动模块3驱动(振动)而使转子2旋转的模式。在该模式下，如图14所示，驱动压电振动模块3而使传递部34旋转振动。由此，利用压电振动模块3的驱动力推动转子2，使转子2绕旋转轴O旋转(从动)。需要说明的是，如果使传递部34向与图14相反的方向旋转振动，则能够使转子2逆旋转。

在该驱动模式下，由第二压电振动模块5产生的纵向振动实质上没有产生使转子2旋转的驱动力。由此，没有将第二压电振动模块5用作使转子2移动的驱动部，从而能够抑制转子2的驱动力过大(必要以上)。

接着，对保持模式进行说明。保持模式是限制转子2的移动的模式。在该模式下，如图15所示，压电振动模块3停止驱动(振动)。如上所述，压电振动模块3被施力部7向转子2侧施力，传递部34以足够的摩擦力与转子2的上表面21接触。因此，在该状态下，利用压电振动模块3保持转子2，阻止转子2的旋转(移动)。通过具有这样的保持模式，能够将转子2保持在规定的位置(旋转角度)。另外，能够抑制转子2的无意识的移动，提高压电驱动装置1的安全性和易用性(便利性)。

在此，如上所述，压电振动模块3能够通过第一压电振动模块4的纵向振动和第二压电振动模块5的纵向振动，进一步增大传递部34的纵向振动的振幅，相应地，能够增大压电振动模块3向转子2的按压力。因此，在保持模式下，能够发挥更高的转子2的保持力。

以上，对压电驱动装置1进行了说明。如上所述，压电驱动装置1具有压电振动模块3，所述压电振动模块3具备振动部31、与转子2(被驱动部)抵接且将振动部31的振动传递到转子2的传递部34。另外，振动部31具有沿第二方向Y层叠地配置的振动部41(第一振动部)及振动部51(第二振动部)，所述第二方向Y与作为与转子2并列的方向的第一方向X交叉。并且，振动部41能够进行向与第一方向X及第二方向Y交叉的第三方向Z振动的横向振动，振动部51进行向第一方向X振动的纵向振动。并且，构成为通过振动部41的横向振动与振动部51的纵向振动的合成，从而传递部34进行旋转振动。根据这样的结构，因为实质上仅利用振动部41的振动使转子2移动，所以能够抑制转子2的驱动力过度增大。另外，因为利用振动部41及振动部51两者保持转子2，所以能够进一步提高转子2的保持力。即，获得能够在不使驱动力过度增大的情况下提高保持力的压电驱动装置1。

基于图16、图17、图18及图19，更容易理解地对上述效果进行说明。在图16中表示利用五个第一压电振动模块4的层叠体构成的压电振动模块3’作为现有结构，在图18中表示本实施方式的压电振动模块3。需要说明的是，对于两个结构，压电振动模块3与转子2之间的摩擦系数都为0.3，求出3(N)作为转子2的保持力，求出1.2(N)作为转子2的驱动力。另外，第一压电振动模块4向转子2的按压力的允许值为2(N)，第二压电振动模块5向转子2的按压力的允许值是第一压电振动模块4向转子2的按压力的允许值的3倍的6(N)。需要说明的是，所述允许值是指，如果超过该值，则导致按压力过强，很难使转子2旋转的值。

在图16所示的现有结构中，通过以10(N)的按压力将压电振动模块3按压于转子2，如图17的表所示，不超过各第一压电振动模块4的所述允许值，而确保作为转子2的保持力的目标值的3(N)。另一方面，转子2的驱动力超过作为目标值的1.2(N)，成为3(N)。这样，成为导致转子2的驱动力过度增大(导致超标)且难以使用的压电驱动装置1。另外，因为使用五个第一压电振动模块4，所以相对于图18所示的本发明的结构，导致压电振动模块3的大型化(厚壁化)和成本增加。

相对于此，在图18所示的本发明的结构中，同样地，通过以10(N)的按压力将压电振动模块3按压于转子2，如图19的表所示，没有超过第一压电振动模块4及第二压电振动模块5各自的所述允许值，而确保作为转子2的保持力的目标值的3(N)。另一方面，转子2的驱动力也确保作为目标值的1.2(N)。由此，保持力及驱动力都是目标值，成为极易使用的压电驱动装置1。另外，因为压电振动模块3由两个第一压电振动模块4和一个第二压电振动模块5构成，所以针对图16所示的现有结构，能够实现压电振动模块3的小型化(薄壁化)和低成本化。由此，根据压电驱动装置1，驱动力不会过度增大，能够提高保持力。

另外，如上所述，压电驱动装置1的驱动方法具有压电振动模块3，所述压电振动模块3具备振动部31、和与转子2(被驱动部)抵接且将振动部31的振动传递到转子2的传递部34，振动部31被构成为具备沿第二方向Y排列配置的振动部41(第一振动部)及振动部51(第二振动部)，所述第二方向Y与作为与转子2并列的方向的第一方向X交叉，通过使振动部41向与第一方向X及第二方向Y交叉的第三方向Z(横向)振动的同时，使振动部51向第一方向X(纵向)振动，使传递部34旋转振动。根据这样的驱动方法，因为实质上仅利用振动部41使转子2旋转，所以能够抑制转子2的驱动力过度增大。另外，因为利用振动部41及振动部51两者保持转子2，所以能够进一步提高转子2的保持力。即，不使驱动力过度增大，而能够提高保持力。

另外，如上所述，振动部41进行向第三方向Z的横向振动与向第一方向X的纵向振动的复合振动。由此，通过使振动部41纵向振动，利用与振动部51的协同效应，进一步增大振动部31的纵向振动的振幅。因此，能够利用更强的按压力将振动部31按压于转子2，并且能够进一步提高转子2的保持力。

另外，如上所述，在传递部34不与转子2接触的状态下，在分别地单独驱动振动部41及振动部51的情况下，因振动部51的纵向振动产生的传递部34的第一方向X的振幅大于因振动部41的纵向振动产生的传递部34的第一方向X的振幅。由此，能够进一步增大传递部34的纵向振动的振幅。因此，能够利用更强的按压力将振动部31按压于转子2，并且能够进一步提高转子2的保持力。

另外，如上所述，振动部41及振动部51是彼此不同的结构。由此，能够构成为分别适于振动部41及振动部51，成为能够更有效地进行驱动的压电驱动装置1。需要说明的是，“彼此不同的结构”是指，振动部41实质上作为横向振动专用的振动部而起作用，振动部51实质上作为纵向振动专用的振动部而起作用。特别是，在本实施方式中，在振动部41实质上不进行纵向振动，而振动部51进行纵向振动这一点上，意味着“彼此不同的结构”。

另外，如上所述，振动部51的产生纵向振动的振动区域570(压电元件57A的振动区域570)的面积大于振动部41的产生纵向振动的振动区域470(压电元件47C的振动区域470)的面积。因此，能够更可靠地使振动部51的纵向振动的振幅大于振动部41的纵向振动的振幅。由此，能够进一步增大传递部34的纵向振动的振幅。因此，能够以更强的按压力将振动部31按压于转子2，并且能够进一步提高转子2的保持力。

另外，如上所述，振动部41及振动部51沿第二方向Y对称地配置。由此，能够抑制振动部31的振动时向厚度方向的挠曲，能够使传递部34在XZ面内更高效地振动。因此，传递部34的振动经由传递部34有效地传递到转子2，能够使转子2有效地旋转。

需要说明的是，作为压电振动模块3的结构，不特别限定，例如，列举图20、图21及图22所示的变形例。需要说明的是，对于图20、图21及图22所示的各变形例而言，振动部41(第一压电振动模块4)及振动部51(第二压电振动模块5)沿第二方向Y对称地配置，但不限于此，可以将振动部41(第一压电振动模块4)及振动部51(第二压电振动模块5)沿第二方向Y非对称地配置。

另外，在上述实施方式中，记载了压电驱动装置包括控制压电振动模块的控制部，但是本发明不限于这样的实施方式，相对于压电驱动装置而另行设置控制压电振动模块的控制装置的结构也能够同样适用于本发明。

＜第二实施方式＞

接着，对本发明的第二实施方式的压电驱动装置进行说明。

图23是本发明的第二实施方式的压电驱动装置所具有的第一压电振动模块的俯视图。图24是表示图23所示的第一压电振动模块的振动状态的图。图25是表示施加于第一压电振动模块的电压的波形的图。

以下，以与上述实施方式的不同点为中心对第二实施方式的压电驱动装置1进行说明，针对相同的事项，省略其说明。

本发明的第二实施方式的压电驱动装置1除了第一压电振动模块4的结构不同以外，都与上述第一实施方式大致相同。需要说明的是，对与上述实施方式相同的结构标注相同的附图标记。

如图23所示，在本实施方式的压电驱动装置1中，第一压电振动模块4的压电元件47包含压电元件47A、47B、47D、47E。即，压电元件47构成为从上述第一实施方式的结构中省略压电元件47C。由此，例如，与上述第一实施方式的压电振动模块3相比，能够实现小型化。

在这样的结构的第一压电振动模块4中，如图24所示，以使传递部34沿第三方向Z(图中的横向)横向振动的方式使振动部41振动。为了进行这样的振动，例如，将图25所示的电压V1’施加于压电元件47A、47E，将电压V3’施加于压电元件47B、47D。由此，振动部41沿第三方向Z进行二次弯曲的横向振动，伴随于此，传递部34进行横向振动。由此，通过使压电元件47A、47E、压电元件47B、47D以不同的相位伸缩，从而能够使传递部34横向振动。但是，只要能够使传递部34横向振动，就不特别限定施加于第一压电振动模块4的电压图案。

由此，在本实施方式的压电振动模块3中，因为振动部41不进行纵向振动，所以通过合成振动部41的横向振动与振动部51的纵向振动，能够使振动部31旋转振动，伴随于此使传递部34旋转振动。

利用这样的第二实施方式，也能够发挥与上述第一实施方式相同的效果。

＜第三实施方式＞

接着，对本发明的第三实施方式的压电驱动装置进行说明。

图26是本发明的第三实施方式的压电驱动装置所具有的第二压电振动模块的俯视图。图27是表示图26所示的第二压电振动模块的振动状态的图。图28是表示施加于第二压电振动模块的电压的波形的图。

以下，以与上述实施方式的不同点为中心对第三实施方式的压电驱动装置1进行说明，对于相同的事项，省略其说明。

本发明的第三实施方式的压电驱动装置1除了第二压电振动模块5的结构不同以外，都与上述第一实施方式大致相同。需要说明的是，对与上述实施方式相同的结构标注相同的附图标记。

如图26所示，在本实施方式的压电驱动装置1中，第二压电振动模块5的振动部51(压电元件57)构成为与第一压电振动模块4的振动部41(压电元件47)相同。具体而言，压电元件57包含五个压电元件57A、57B、57C、57D、57E。并且，压电元件57A、57B位于振动部51的宽度方向的一侧(图26中的右侧)，沿振动部51的长边方向排列配置。另外，压电元件57D、57E位于振动部51的宽度方向的另一侧(图26中的左侧)，沿振动部51的长边方向排列配置。另外，压电元件57C位于振动部51的宽度方向的中央部，沿振动部51的长边方向配置。

在这样的结构的第二压电振动模块5中，如图27所示，以使传递部34沿第一方向X(图中的纵向)纵向振动的方式使振动部51振动。为了进行这样的振动，例如，将图28所示的电压V4’施加于各压电元件57A、57B、57C、57D、57E。由此，振动部41进行沿第一方向X伸缩的纵向振动，伴随于此，传递部34进行纵向振动。由此，通过使全部的压电元件57A、57B、57C、57D、57E以相同相位进行伸缩，从而能够容易且可靠地使传递部34纵向振动。但是，只要使传递部34纵向振动，就不特别限定施加于压电元件57的电压图案。

需要说明的是，压电元件57A、57B、57C、57D、57E分别经由配置于第二基板56的内表面的布线而连接于端子595，彼此成为相同的电位。因此，容易将上述电压V4’施加于压电元件57A、57B、57C、57D、57E。

以上，对本实施方式的压电驱动装置1进行了说明。在这样的压电驱动装置1中，如上所述，振动部41(第一振动部)及振动部51(第二振动部)为彼此相同的结构。由此，能够利用振动部41及振动部51，实现部件的共通化，能够实现压电振动模块3的低成本化。需要说明的是，“彼此相同的结构”是指，振动部41及振动部51能够一起进行横向振动及纵向振动。

另外，如上所述，振动部41及振动部51分别具有沿第三方向Z排列配置的至少一对振动区域。例如，在振动部41中，具有压电元件47A的振动区域470和压电元件47D的振动区域470，在振动部51中，具有压电元件57A的振动区域570和压电元件57D的振动区域570。并且，在振动部41中，通过使一对振动区域470以不同的相位进行伸缩而进行横向振动，在振动部51中，通过使一对振动区域570以相同的相位进行伸缩而进行纵向振动。由此，能够利用简单的结构，使振动部41横向振动，并且使振动部51纵向振动。

＜第四实施方式＞

接着，对本发明的第四实施方式的压电驱动装置进行说明。

图29是表示本发明的第四实施方式的压电驱动装置的立体图。

以下，以与上述实施方式的不同点为中心对第四实施方式的压电驱动装置1进行说明，针对相同事项，省略其说明。

本发明的第四实施方式的压电驱动装置除了被驱动部的结构不同以外，都与上述第一实施方式大致相同。需要说明的是，对与上述实施方式相同的结构标注相同的附图标记。

如图29所示，本实施方式的压电驱动装置1被用作直线电机，具有：能够直线移动的滑块10(被驱动部)、与滑块10的上表面101抵接的压电振动模块3、支承压电振动模块3的工作台6、经由工作台6朝向滑块10对压电振动模块3进行施力的施力部7、控制压电振动模块3的驱动的控制部8。对这样的结构的压电驱动装置1而言，也与上述第一实施方式相同地，在驱动模式下，通过使传递部34旋转振动，能够移动滑块10，在保持模式下，通过将传递部34按压于滑块10，能够保持滑块10。

利用这样的第四实施方式，也能够发挥与上述第一实施方式相同的效果。

＜第五实施方式＞

接着，对本发明的第五实施方式的机器人进行说明。

图30是表示本发明的第五实施方式的机器人的立体图。

图30所示的机器人1000能够进行精密设备、构成精密设备的部件的部件供给、部件移除、输送及组装等作业。机器人1000是6轴机器人，具有：固定于地板或顶棚的基座1010、旋转自如地连结于基座1010的臂1020、旋转自如地连结于臂1020的臂1030、旋转自如地连结于臂1030的臂1040、旋转自如地连结于臂1040的臂1050、旋转自如地连结于臂1050的臂1060、旋转自如地连结于臂1060的臂1070、控制这些臂1020、1030、1040、1050、1060、1070的驱动的机器人控制部1080。另外，在臂1070设置有手连接部，在手连接部安装有与机器人1000所执行的作业对应的末端执行器1090。另外，在各关节部中的全部或者一部分搭载有压电驱动装置1，利用该压电驱动装置1的驱动，转动各臂1020、1030、1040、1050、1060、1070。需要说明的是，利用机器人控制部1080对各压电驱动装置1的驱动进行控制。另外，压电驱动装置1可以搭载于末端执行器1090，用于末端执行器1090的驱动。

这样的机器人1000具有压电驱动装置1。因此，能够享受上述压电驱动装置1的效果，能够发挥高可靠性。

＜第六实施方式＞

接着，对本发明的第六实施方式的电子部件输送装置进行说明。

图31是表示本发明的第六实施方式的电子部件输送装置的立体图。图32是表示图31所示的电子部件输送装置所具有的电子部件保持部的立体图。需要说明的是，以下，为了便于说明，将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴。

图31所示的电子部件输送装置2000适用于电子部件检查装置，具有基座2100和配置于基座2100的侧方的支承台2200。另外，在基座2100设置有：载置有检查对象的电子部件Q而将其沿Y轴方向输送的上游侧工作台2110、载置有已检查的电子部件Q而将其沿Y轴方向输送的下游侧工作台2120、位于上游侧工作台2110与下游侧工作台2120之间且检测电子部件Q的电气特性的检查台2130。需要说明的是，作为电子部件Q的例子，列举例如半导体、半导体晶片、CLD或OLED等显示器、水晶设备、各种传感器、喷墨头、各种MEMS设备等等。

另外，在支承台2200设置有能够相对于支承台2200沿Y轴方向移动的Y工作台2210，在Y工作台2210设置有能够相对于Y工作台2210沿X轴方向移动的X工作台2220，在X工作台2220设置有能够相对于X工作台2220沿Z轴方向移动的电子部件保持部2230。

另外，如图32所示，电子部件保持部2230具有：能够沿X轴方向及Y轴方向移动的微调整板2231、能够相对于微调整板2231绕Z轴转动的转动部2232、设置于转动部2232且保持电子部件Q的保持部2233。另外，在电子部件保持部2230内置有用于使微调整板2231沿X轴方向移动的压电驱动装置1(1x)、用于使微调整板2231沿Y轴方向移动的压电驱动装置1(1y)、用于使转动部2232绕Z轴转动的压电驱动装置1(1θ)。需要说明的是，作为压电驱动装置1x、1y，能够使用上述第四实施方式，作为压电驱动装置1θ，能够使用上述第一实施方式、第二实施方式、第三实施方式。

这样的电子部件输送装置2000具备压电驱动装置1。因此，能够享受上述压电驱动装置1的效果，能够发挥高可靠性。

＜第七实施方式＞

接着，对本发明的第七实施方式的打印机进行说明。

图33是表示本发明的第七实施方式的打印机的整体结构的概要图。

图33所示的打印机3000具备装置主体3010、设置于装置主体3010的内部的印刷机构3020、供纸机构3030及控制部3040。另外，在装置主体3010设置有：设置记录纸张P的托盘3011、排出记录纸张P的排纸口3012、液晶显示器等操作面板3013。

印刷机构3020具备：喷墨头单元3021、滑架电机3022、利用滑架电机3022的驱动力使喷墨头单元3021往复运动的往复运动机构3023。另外，喷墨头单元3021具有作为喷墨式记录喷墨头的喷墨头3021a、向喷墨头3021a供给墨水的墨盒3021b、搭载喷墨头3021a及墨盒3021b的滑架3021c。

往复运动机构3023具有：将滑架3021c支承为能够往复移动的滑架引导轴3023a、利用滑架电机3022的驱动力使滑架3021c在滑架引导轴3023a上移动的正时带3023b。

供纸机构3030具有彼此压接的从动辊3031及驱动辊3032、和作为驱动驱动辊3032的供纸电机的压电驱动装置1。

控制部3040基于从例如个人计算机等主计算机输入的印刷数据，控制印刷机构3020、供纸机构3030等。

在这样的打印机3000中，供纸机构3030将记录纸张P逐张间歇地向喷墨头单元3021的下部附近输送。此时，喷墨头单元3021沿与记录纸张P的输送方向大致垂直的方向往复移动，进行像记录纸张P的印刷。

这样的打印机3000具有压电驱动装置1。因此，能够享受上述压电驱动装置1的效果，能够发挥高可靠性。需要说明的是，在本实施方式中，压电驱动装置1驱动供纸用的驱动辊3032，但是除此以外，也可以驱动例如滑架3021c。

＜第八实施方式＞

接着，对本发明的第八实施方式的投影机进行说明。

图34是表示本发明的第八实施方式的投影机的整体结构的概要图。

图34所示的投影机4000是LCD方式的投影机，具备光源4010、反射镜4021、4022、4023、分色镜4031、4032、液晶显示元件4040R、4040G、4040B、分色棱镜4050、投影透镜系统4060、和压电驱动装置1。

作为光源4010，列举例如卤素灯、水银灯、发光二极管(LED)等。另外，作为该光源4010，使用射出白色光的光源。并且，从光源4010射出的光首先被分色镜4031分为红色光(R)和其他光。红色光在被反射镜4021反射后，入射到液晶显示元件4040R，其他光被分色镜4032进一步分为绿色光(G)和蓝色光(B)。并且，绿色光入射到液晶显示元件4040G，蓝色光被反射镜4022、4023反射后，入射到液晶显示元件4040B。

液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别用作空间光调制器。这些液晶显示元件4040R、4040G、4040B是分别与R、G、B的原色对应的透射型的空间光调制器，具备排列为例如纵1080行、横1920列的矩阵状的像素。在各像素中，调整针对入射光的透射光的光量，在各液晶显示元件4040R、4040G、4040B中，对全像素的光量分布进行协调控制。被这样的液晶显示元件4040R、4040G、4040B分别空间地调制的光利用分色棱镜4050合成，从分色棱镜4050射出全彩色的影像光LL。并且，射出的影像光LL被投影透镜系统4060放大，被投射到例如屏幕等。压电驱动装置1能够使包含于投影透镜系统4060的至少一个透镜沿光轴方向移动而改变焦点距离。

这样的投影机4000具备压电驱动装置1。因此，能够享受上述压电驱动装置1的效果，并且能够发挥高可靠性。

以上，基于图示的实施方式，对本发明的压电驱动装置、压电驱动装置的驱动方法、机器人、电子部件输送装置、打印机及投影机进行了说明，但是本发明不限于此，各部分的结构能够置换为具有相同功能的任意的结构。另外，本发明也可以追加其他任意的结构件。另外，可以适当地组合各实施方式。

另外，在上述实施方式中，对将压电驱动装置应用于机器人、电子部件输送装置、打印机及投影机的结构进行了说明，但压电驱动装置能够应用于除此以外的各种电子设备。

Claims (12)

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具有压电振动模块和控制部，

所述压电振动模块具备振动部和与被驱动部抵接且将所述振动部的振动传递到所述被驱动部的传递部，

所述振动部具有沿与第一方向交叉的第二方向层叠的第一振动部及第二振动部，所述第一方向是所述振动部和所述被驱动部的排列方向，

所述控制部使所述第一振动部沿与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向振动，

所述控制部使所述第二振动部沿所述第一方向振动。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述控制部使所述第一振动部进行向所述第三方向进行振动与向所述第一方向进行振动的复合振动。

3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，

在所述控制部于所述传递部不与所述被驱动部接触的状态下分别单独地驱动所述第一振动部及所述第二振动部的情况下，

因所述第二振动部向所述第一方向振动而产生的所述传递部在所述第一方向的振幅大于因所述第一振动部向所述第一方向振动而产生的所述传递部在所述第一方向的振幅。

4.根据权利要求2或3所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一振动部及所述第二振动部是彼此不同的结构。

5.根据权利要求4所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第二振动部的产生向所述第一方向振动的振动区域的面积大于所述第一振动部的产生向所述第一方向振动的振动区域的面积。

6.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一振动部及所述第二振动部是彼此相同的结构，

所述第一振动部及所述第二振动部分别具有沿所述第三方向排列配置的一对振动区域，

所述控制部通过使所述第一振动部的所述一对振动区域以不同的相位进行伸缩，从而使所述第一振动部沿所述第三方向振动，

所述控制部通过使所述第二振动部的所述一对振动区域以相同的相位进行伸缩，从而使所述第二振动部沿所述第一方向振动。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述第一振动部及所述第二振动部沿所述第二方向对称地配置。

8.一种压电驱动装置的驱动方法，其特征在于，

所述压电驱动装置具有压电振动模块，所述压电振动模块具备振动部和与被驱动部抵接且将所述振动部的振动传递到所述被驱动部的传递部，

在所述驱动方法中，将所述振动部构成为具备沿与第一方向交叉的第二方向排列配置的第一振动部及第二振动部，所述第一方向是所述振动部和所述被驱动部的排列方向，

通过使所述第一振动部向与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向振动的同时，使所述第二振动部向所述第一方向振动，从而使所述传递部旋转振动。

9.一种机器人，其特征在于，

所述机器人具备权利要求1至7中任一项所述的压电驱动装置。

10.一种电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备权利要求1至7中任一项所述的压电驱动装置。

11.一种打印机，其特征在于，

所述打印机具备权利要求1至7中任一项所述的压电驱动装置。

12.一种投影机，其特征在于，

所述投影机具备权利要求1至7中任一项所述的压电驱动装置。