JPS6074982A - 強力音叉を用いたリニアモ−タ - Google Patents
強力音叉を用いたリニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS6074982A JPS6074982A JP58180716A JP18071683A JPS6074982A JP S6074982 A JPS6074982 A JP S6074982A JP 58180716 A JP58180716 A JP 58180716A JP 18071683 A JP18071683 A JP 18071683A JP S6074982 A JPS6074982 A JP S6074982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- piezoelectric
- teeth
- bending
- piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は小型リニアモータの改良に係シ、小型で高精度
のりニブモータを提供することを目的とする０ 最近＠器の小型化に伴い小型高精度のＩＪ ニアモータ
が要求されている。例えばフロッピィディスク用記録再
生装置゛では、高密度記録への要望から自動トラッキン
グ用ブクチュエイターが必須とされているが、小型・小
電力＃迷応件・精度の点から格好なものがなく、技術欠
陥とされ、Ｉ［１発課題どして取シ上けられているのが
現状である。
のりニブモータを提供することを目的とする０ 最近＠器の小型化に伴い小型高精度のＩＪ ニアモータ
が要求されている。例えばフロッピィディスク用記録再
生装置゛では、高密度記録への要望から自動トラッキン
グ用ブクチュエイターが必須とされているが、小型・小
電力＃迷応件・精度の点から格好なものがなく、技術欠
陥とされ、Ｉ［１発課題どして取シ上けられているのが
現状である。
この発明は上述した従来の欠陥技術を補うもので、梁状
屈曲扮動仔の支持部に縦モード圧電振動子を接合し、圧
電振動９に交流電圧を印加することによシ屈曲振動片を
共振させる強力圧電音叉の屈曲振動片に振動面に斜傾す
る歯を設け、振動面と＠交づる移動枠を摺動させること
を特徴とする強力圧電音叉を用いたりニアモータによっ
て目的を達成したものである。以下本発明の実施例を図
面に従って説明づる。
屈曲扮動仔の支持部に縦モード圧電振動子を接合し、圧
電振動９に交流電圧を印加することによシ屈曲振動片を
共振させる強力圧電音叉の屈曲振動片に振動面に斜傾す
る歯を設け、振動面と＠交づる移動枠を摺動させること
を特徴とする強力圧電音叉を用いたりニアモータによっ
て目的を達成したものである。以下本発明の実施例を図
面に従って説明づる。
実施例１
第１図は本発明の強力圧電音叉を用いたリニア（−夕の
一実施例であり、音叉の音片】は几」さ３ｍｍ。
一実施例であり、音叉の音片】は几」さ３ｍｍ。
幅１０ｍｍい長さ１２ｍｍの一対の腕と６ｒｎｍＸ６ｍ
ｍＸ５ｎ１ｍの支持部とから外るステンレス鋼の成形品
でおり、腕の付は枳に幅２．２ｍｒｎ深さ３−５ｒｒ＋
ｍの溝を有する。この溝に厚さ１ ｍｍ ％幅１０ｍｍ
５長さ３ｍｍの電極付き分極法圧電振動子２および３を
分極の向きを互いに通にして対向さぜ、間に端一７−５
が伺いだ端仔板４を挾んで軍ねた状態で嵌合し〆ｒ。
ｍＸ５ｎ１ｍの支持部とから外るステンレス鋼の成形品
でおり、腕の付は枳に幅２．２ｍｒｎ深さ３−５ｒｒ＋
ｍの溝を有する。この溝に厚さ１ ｍｍ ％幅１０ｍｍ
５長さ３ｍｍの電極付き分極法圧電振動子２および３を
分極の向きを互いに通にして対向さぜ、間に端一７−５
が伺いだ端仔板４を挾んで軍ねた状態で嵌合し〆ｒ。
溝を夕ｊ力で広げて１ｊ）（合するので、嵌合後は圧着
されてｋＪいるが払殖剤で固定した。音片１の先端部に
は、厚さｌ ｒｎｍ Ｘ幅３ｒｎｍ、長さ４ｍｒｎの大
きさで先が屈曲した歯７が５枚づつ横に並んで付いてい
る。
されてｋＪいるが払殖剤で固定した。音片１の先端部に
は、厚さｌ ｒｎｍ Ｘ幅３ｒｎｍ、長さ４ｍｒｎの大
きさで先が屈曲した歯７が５枚づつ横に並んで付いてい
る。
２枚の音片１の先☆１ｈ、から向い合った形で５枚づつ
４りいた藷のｌ’ｔｆ’ｌにわ動程８を挿入した。端仔
状４のゾｂｉ：ｆ５と支持部の舅１．：子６との間に約
２０ＫＨｚ、１０７７Ｃルトの父ｂ１［、電比を印加し
たところ、移動枠８が只に向ってゆっくりと移動し始め
、電圧を切ると直ちに停止し、高Ｕ人、ｌ］ると直ちに
始動し、リニアモータとして機能することが判った。
４りいた藷のｌ’ｔｆ’ｌにわ動程８を挿入した。端仔
状４のゾｂｉ：ｆ５と支持部の舅１．：子６との間に約
２０ＫＨｚ、１０７７Ｃルトの父ｂ１［、電比を印加し
たところ、移動枠８が只に向ってゆっくりと移動し始め
、電圧を切ると直ちに停止し、高Ｕ人、ｌ］ると直ちに
始動し、リニアモータとして機能することが判った。
実力゛前例２
本発明の圧電音叉を用いたりニアモータの別の実施例を
第２図に示す。音片１はアルミニウムを素拐としだ口字
形で、腕部は幅ＩＬ５ｍｍｓ長さ２６ｍｎ＋。
第２図に示す。音片１はアルミニウムを素拐としだ口字
形で、腕部は幅ＩＬ５ｍｍｓ長さ２６ｍｎ＋。
厚さ２ｓｎｒｎ、支持部は外寸］、 ３ｍｍｔ 厚さ２
ｒｎｒｎで両腕とも僅かに夕ｌ側に向って座屈変形さね
ている。腕部は屈曲振動をするが、その中心の腹部に幅
３ｍｒｎ。
ｒｎｒｎで両腕とも僅かに夕ｌ側に向って座屈変形さね
ている。腕部は屈曲振動をするが、その中心の腹部に幅
３ｍｒｎ。
↓。
長さ４ｒｎｍ、ｓ厚さ１ｍｍの歯か５枚横に並んで、両
腕から対向して付いている。支持部両端面に電極付き分
イｉ＜ ｉｊ＃の１ｍｒｎＸ １３ｒｎｍＸ １５ｍｒ
ｎの大きさの圧電振動径２および３を０．１ｒｎｒｒ：
の厚さのｆ、Ｗ；１板４を挾んで、分極の向きが互いに
対向するように摺・着しだ。
腕から対向して付いている。支持部両端面に電極付き分
イｉ＜ ｉｊ＃の１ｍｒｎＸ １３ｒｎｍＸ １５ｍｒ
ｎの大きさの圧電振動径２および３を０．１ｒｎｒｒ：
の厚さのｆ、Ｗ；１板４を挾んで、分極の向きが互いに
対向するように摺・着しだ。
別途用意したステンレス金１・（の厚さ５ ｍｍ ％
’７１ 寸２５ｒｎｒｎ×４０ｒｎｍ、内寸１５ｒｎｍ
Ｘ ３０ｍｍの口字型ケ・−ス１０に１１し４Σした両
☆＋ｉｉに圧鴇、振躬Ｊ子２，３のついた音叉１の腕を
広けて嵌合し、腕をもどすと音叉がケース１０に圧着さ
第１る。こわらを接着固定した後、ケース１０と音叉１
とをリード線で短絡し、ケース１０には端子６を伺け、
別のリード線］５で２枚の端子板４を短絡した。音叉１
０腹に５枚づつ向い合って並んだ歯７の間に幅３ｒｎｍ
、厚さ１ｍｍ、長さ６０ｍｒｎの移動枠８を噛ませた状
態で端子５と６との間に約２０に、ＨｚｌＯボルトの交
流電圧を印加したところ、腕が激しく共振すると共に移
動枠８が央に１５０ｍｍ／’Ｓの速さで移動した。
’７１ 寸２５ｒｎｒｎ×４０ｒｎｍ、内寸１５ｒｎｍ
Ｘ ３０ｍｍの口字型ケ・−ス１０に１１し４Σした両
☆＋ｉｉに圧鴇、振躬Ｊ子２，３のついた音叉１の腕を
広けて嵌合し、腕をもどすと音叉がケース１０に圧着さ
第１る。こわらを接着固定した後、ケース１０と音叉１
とをリード線で短絡し、ケース１０には端子６を伺け、
別のリード線］５で２枚の端子板４を短絡した。音叉１
０腹に５枚づつ向い合って並んだ歯７の間に幅３ｒｎｍ
、厚さ１ｍｍ、長さ６０ｍｒｎの移動枠８を噛ませた状
態で端子５と６との間に約２０に、ＨｚｌＯボルトの交
流電圧を印加したところ、腕が激しく共振すると共に移
動枠８が央に１５０ｍｍ／’Ｓの速さで移動した。
電圧を切った状態では移動枠８は歯７に噛まねているの
で殆んど動がず、保持力が強いが、電圧を印加すると一
定速度で速動するので、有用なりニアモータとして機能
することが認められた。しかし、このリニアモータを駆
動するには約２・、０ＫＨｚの交流電源を必要とし不便
である。
で殆んど動がず、保持力が強いが、電圧を印加すると一
定速度で速動するので、有用なりニアモータとして機能
することが認められた。しかし、このリニアモータを駆
動するには約２・、０ＫＨｚの交流電源を必要とし不便
である。
実施例３
この点を解決したのが第３図に示す強力圧電音叉を用い
たリニア千−夕の一実施例である。構造は第２図の実施
例２と殆んど同しだが、音片１の両端に２枚１糾で貼り
付けた圧電振動−ｆ２，３の外側にフルミナｈａ器の０
．５ｒｒ＋ｒｎ厚さのｌｆ−縁板９を貼り付け、ケース
１０に嵌合し接着固定した。音片１の腕の月９部外倶１
に接点１２を設け、ケース１００対向位置にも接点１１
を設けた。ケース１０の端子６に３ボルトの電池１４と
チョーク１３とを直列接続し、これを２枚の端子板４に
接続したリード線１５と接続したところ、音叉が作動し
、移動枠８がｆｉｊｌ＋き出した。このように直流電源
で直接駆動できる強力圧電音叉を用いたリニアモータを
提供した。
たリニア千−夕の一実施例である。構造は第２図の実施
例２と殆んど同しだが、音片１の両端に２枚１糾で貼り
付けた圧電振動−ｆ２，３の外側にフルミナｈａ器の０
．５ｒｒ＋ｒｎ厚さのｌｆ−縁板９を貼り付け、ケース
１０に嵌合し接着固定した。音片１の腕の月９部外倶１
に接点１２を設け、ケース１００対向位置にも接点１１
を設けた。ケース１０の端子６に３ボルトの電池１４と
チョーク１３とを直列接続し、これを２枚の端子板４に
接続したリード線１５と接続したところ、音叉が作動し
、移動枠８がｆｉｊｌ＋き出した。このように直流電源
で直接駆動できる強力圧電音叉を用いたリニアモータを
提供した。
以上説明したように、梁状屈曲振動子の支持部に垂直に
縦モードの圧電振動径を接合し、圧電振動子に交流電圧
を印加することにより、屈曲振動片を共振させる強力圧
電音叉の屈曲振動片に、振動片に斜傾する歯を設け、こ
れらに噛ませた移動枠を振動面と直交する方向に摺動さ
せる構成にしたから、本発明の強力圧電音叉を用いたＩ
Ｊ ニアモータは電源と断続すると連動、速止する等速
運動をするのが特長であシ、小電力、小型でしかも変位
の保持力の大きい効果がある。しかも、音片とケースに
接点を施けることにより、直流電源で直接駆動できると
いう従来の超音波（−夕では不可能とされていた技術課
題を解決したことは実用上の効果が大きい。
縦モードの圧電振動径を接合し、圧電振動子に交流電圧
を印加することにより、屈曲振動片を共振させる強力圧
電音叉の屈曲振動片に、振動片に斜傾する歯を設け、こ
れらに噛ませた移動枠を振動面と直交する方向に摺動さ
せる構成にしたから、本発明の強力圧電音叉を用いたＩ
Ｊ ニアモータは電源と断続すると連動、速止する等速
運動をするのが特長であシ、小電力、小型でしかも変位
の保持力の大きい効果がある。しかも、音片とケースに
接点を施けることにより、直流電源で直接駆動できると
いう従来の超音波（−夕では不可能とされていた技術課
題を解決したことは実用上の効果が大きい。
第１図は本発明の強力圧電音叉を用いたりニアモータの
一実施例を示す斜視図、紀２図は本発明の紀２の実施例
を示す斜視図、第３図は同じく本発明の第３の実Ａｆ＋
ｉ例を示す斜視図である。 ■・・・・・・音片、２．３・・・・・・圧電振動子、
７・・・・・・歯、８・・・・・・移動界、１３・・・
・・・チョーク、１４・・・・・・電池。 ′１′１ 図 才３０
一実施例を示す斜視図、紀２図は本発明の紀２の実施例
を示す斜視図、第３図は同じく本発明の第３の実Ａｆ＋
ｉ例を示す斜視図である。 ■・・・・・・音片、２．３・・・・・・圧電振動子、
７・・・・・・歯、８・・・・・・移動界、１３・・・
・・・チョーク、１４・・・・・・電池。 ′１′１ 図 才３０
Claims (1)
- （１）梁状屈曲振動分の支持端部に垂直に縦モードの圧
電振動−ｆを接合し、圧電振動子に交流電圧を印加する
こと１でよシ、屈曲振動片を共振させる強力圧電音叉の
屈曲振動片に、振動面に斜傾する歯を設け、これらに噛
ませた移動枠を振動面と直交する方向に摺動させたこと
を特徴とする強力圧電音叉を用いたりニアモータ。 （２、特許請求の範囲第（１）項記載の強力圧電、音叉
を用いたりニアモータにおいて、屈曲振動片に電気接点
を設け、振動片の固肩振動によって直流電源とモータ回
路とを断続させることにょシ、高周波電流を生じさせる
結果直流電源で直接駆動できることを特徴とする強力圧
電音叉を用いたりニアモータ０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58180716A JPS6074982A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 強力音叉を用いたリニアモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58180716A JPS6074982A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 強力音叉を用いたリニアモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6074982A true JPS6074982A (ja) | 1985-04-27 |
Family
ID=16088065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58180716A Pending JPS6074982A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 強力音叉を用いたリニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6074982A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62262676A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Murata Mfg Co Ltd | リニア駆動モ−タ |
| EP1109232A1 (en) * | 1999-11-25 | 2001-06-20 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Piezo-electrostatic step actuator |
| WO2006000118A1 (de) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Miniswys Sa | Antriebseinheit |
| JP2012070547A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転駆動装置 |
| CN108809141A (zh) * | 2017-04-28 | 2018-11-13 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及电子部件输送装置 |
| EP3736965A1 (en) * | 2019-05-10 | 2020-11-11 | Miniswys Sa | Drive unit and method for operating a drive unit |
| WO2020229290A1 (en) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | Miniswys Sa | Drive unit and method for operating a drive unit |
| WO2021209559A1 (en) * | 2020-04-16 | 2021-10-21 | Miniswys Sa | Drive unit |
| EP4075661A1 (en) * | 2021-04-15 | 2022-10-19 | Miniswys Sa | Oscillating drive element and drive unit |
| WO2022218989A1 (en) * | 2021-04-15 | 2022-10-20 | Miniswys Sa | Oscillating drive element and drive unit |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58180716A patent/JPS6074982A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62262676A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Murata Mfg Co Ltd | リニア駆動モ−タ |
| EP1109232A1 (en) * | 1999-11-25 | 2001-06-20 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Piezo-electrostatic step actuator |
| KR101175823B1 (ko) | 2004-06-24 | 2012-08-24 | 미니스뷔스 에스에이 | 구동 유닛 |
| JP2008503995A (ja) * | 2004-06-24 | 2008-02-07 | ミニスイス・ソシエテ・アノニム | 駆動装置 |
| JP2008220171A (ja) * | 2004-06-24 | 2008-09-18 | Miniswys Sa | 駆動装置 |
| US7429812B2 (en) | 2004-06-24 | 2008-09-30 | Miniswys Sa | Drive unit |
| EP2200102A1 (de) * | 2004-06-24 | 2010-06-23 | miniswys SA | Antriebseinheit |
| WO2006000118A1 (de) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Miniswys Sa | Antriebseinheit |
| JP2012070547A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転駆動装置 |
| CN108809141A (zh) * | 2017-04-28 | 2018-11-13 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置及其驱动方法、机器人及电子部件输送装置 |
| EP3736965A1 (en) * | 2019-05-10 | 2020-11-11 | Miniswys Sa | Drive unit and method for operating a drive unit |
| WO2020229290A1 (en) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | Miniswys Sa | Drive unit and method for operating a drive unit |
| CN113950794A (zh) * | 2019-05-10 | 2022-01-18 | 米尼斯怀斯股份公司 | 驱动单元和用于操作驱动单元的方法 |
| WO2021209559A1 (en) * | 2020-04-16 | 2021-10-21 | Miniswys Sa | Drive unit |
| EP4075661A1 (en) * | 2021-04-15 | 2022-10-19 | Miniswys Sa | Oscillating drive element and drive unit |
| WO2022218989A1 (en) * | 2021-04-15 | 2022-10-20 | Miniswys Sa | Oscillating drive element and drive unit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6074982A (ja) | 強力音叉を用いたリニアモ−タ | |
| US20110266329A1 (en) | Bonding device, ultrasonic transducer, and bonding method | |
| JPH027057U (ja) | ||
| JPH0421371A (ja) | 振動波モータ | |
| JPH06271361A (ja) | 絶縁体と導電体との接合体並びに接合方法 | |
| JP3088499B2 (ja) | 圧電トランス | |
| JPH09201080A (ja) | 振動装置 | |
| JP2847758B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法および超音波モータ用振動子 | |
| JP3103965B2 (ja) | 直進移動機構 | |
| JPH0732613B2 (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
| JPS6067815A (ja) | 角速度センサ | |
| JPS6412111B2 (ja) | ||
| JPH08251949A (ja) | 振動駆動装置 | |
| JPS59175777A (ja) | バイモルフ振動子の駆動方法 | |
| JP2543163B2 (ja) | 超音波リニアモ―タ | |
| JPS59224500A (ja) | 圧電フアン | |
| JP3326735B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH0447557B2 (ja) | ||
| JPH0787710B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JP2527200B2 (ja) | 超音波モ―タのドライブ方法 | |
| JPH01177880A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JP3769735B2 (ja) | 超音波励振器 | |
| JPH06169582A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPH0532995B2 (ja) | ||
| JP3311490B2 (ja) | 超音波モータの駆動装置 |