JP3103965B2 - 直進移動機構 - Google Patents
直進移動機構Info
- Publication number
- JP3103965B2 JP3103965B2 JP08058158A JP5815896A JP3103965B2 JP 3103965 B2 JP3103965 B2 JP 3103965B2 JP 08058158 A JP08058158 A JP 08058158A JP 5815896 A JP5815896 A JP 5815896A JP 3103965 B2 JP3103965 B2 JP 3103965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- connecting member
- trough
- moving mechanism
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000011206 ternary composite Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の技術分野】本発明は圧電素子を駆動源とする
電子部品、機械部品などの各種部品を移動供給する直進
移動機構に関し、特に、その低背化および安定性の向上
を目的とした直進移動機構に関する。
電子部品、機械部品などの各種部品を移動供給する直進
移動機構に関し、特に、その低背化および安定性の向上
を目的とした直進移動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の直進移動機構の一つとして図３に
示す構成のもの、即ち、圧電素子貼着基板１の両面に圧
電素子２を貼着したいわゆるバイモルフ構造でなる加振
体３の一端を基台４に傾斜立設させて固定し、他端を連
結部材の一端に固定し、連結部材の他端を被移動部品６
を載置するいわゆるトラフ７の下面に直接又はトラフ取
付けテーブル８（図示せず）を介して固定してなるもの
である。前記それぞれの固定は銀ろう付け、スポット溶
接、ねじ止め等の適宜の手段によって行なわれている。
示す構成のもの、即ち、圧電素子貼着基板１の両面に圧
電素子２を貼着したいわゆるバイモルフ構造でなる加振
体３の一端を基台４に傾斜立設させて固定し、他端を連
結部材の一端に固定し、連結部材の他端を被移動部品６
を載置するいわゆるトラフ７の下面に直接又はトラフ取
付けテーブル８（図示せず）を介して固定してなるもの
である。前記それぞれの固定は銀ろう付け、スポット溶
接、ねじ止め等の適宜の手段によって行なわれている。
【０００３】前記加振体３は給電線を介して駆動電源か
らの交流電圧印加によって基台４と加振体３との固定部
所を支点としてたわみ振動を発生し、当該たわみ振動は
連結部材５を介してトラフ７へ伝達され、トラフ７上に
載置される被移動部品６を一方向へ移動させるものであ
る。
らの交流電圧印加によって基台４と加振体３との固定部
所を支点としてたわみ振動を発生し、当該たわみ振動は
連結部材５を介してトラフ７へ伝達され、トラフ７上に
載置される被移動部品６を一方向へ移動させるものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来の直進移
動機構にあっては、加振体３の基台４への固定および加
振体３の連結部材５への固定は圧電素子２を貼着する圧
電素子貼着基盤１の長手方向外方を固定部所としている
ために直進移動機構の低背化および安定性向上を図る上
で支障となっている。更に、連結部材５を別個の平行に
配設してなるものにあっては、単一部材ででないことに
よる連結部材５の加振体３及びトラフ７又はトラフ取付
けテーブル８への取付け、固定の容易性を害するばかり
でなく、個々の連結部材５の曲げ剛性の差異に起因して
生じるトラフ７へのひねり振動付加によって被移動部品
６の円滑なる直進移動に少なからぬ支障をもたらしてい
る。
動機構にあっては、加振体３の基台４への固定および加
振体３の連結部材５への固定は圧電素子２を貼着する圧
電素子貼着基盤１の長手方向外方を固定部所としている
ために直進移動機構の低背化および安定性向上を図る上
で支障となっている。更に、連結部材５を別個の平行に
配設してなるものにあっては、単一部材ででないことに
よる連結部材５の加振体３及びトラフ７又はトラフ取付
けテーブル８への取付け、固定の容易性を害するばかり
でなく、個々の連結部材５の曲げ剛性の差異に起因して
生じるトラフ７へのひねり振動付加によって被移動部品
６の円滑なる直進移動に少なからぬ支障をもたらしてい
る。
【０００５】本発明は前期した従来の直進移動機構が有
していた問題点を解決すること、即ち、直進移動機構を
低背化せしめることによるその直進移動機構に前後する
装置や機構への接続を容易ならしめるとともに安定性の
向上を図り、さらに連結部材５を単一部材とすることに
よって連結部材５の加振体３及びトラフ７への取付け、
固定を容易ならしめ、また曲げ剛性の差異に起因して生
じるトラフ７へのひねり振動を消失させることによって
被移動部品６の移動を円滑に行うことを課題とするもの
である。
していた問題点を解決すること、即ち、直進移動機構を
低背化せしめることによるその直進移動機構に前後する
装置や機構への接続を容易ならしめるとともに安定性の
向上を図り、さらに連結部材５を単一部材とすることに
よって連結部材５の加振体３及びトラフ７への取付け、
固定を容易ならしめ、また曲げ剛性の差異に起因して生
じるトラフ７へのひねり振動を消失させることによって
被移動部品６の移動を円滑に行うことを課題とするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電素子貼着
基板１の表裏両面に圧電素子２を貼着してなる加振体３
の一端を基台４に傾斜立設させて固定し、他端を連結部
材５の一端に固定し、その連結部材５の他端を被移動部
品６を載置するトラフ７にトラフ取付けテーブル８を介
して固定してなる直進移動機構において、前記圧電素子
貼着基板１を導電性と高弾性を具有する板状物で構成
し、その板状物の長手方向の左右両端部の四所側方に開
孔を有する突出部１１を設け、それら突出部１１に形成
された上部一対の開孔間及び下部一対の開孔間まで圧電
素子２を伸長させることを可能にし、前記連結部材５を
弾性を具有する板状物で構成し、その板状物の先端部に
開孔を有し、平行に延伸する二の細長帯状部５１と、そ
の細長帯状部５１の長手方向の中間部分から前記長手方
向に直交して延伸し、二の細長帯状部５１をつなぐ接合
部５２との単一部材で前記連結部材５を構成してなる直
進移動機構である。
基板１の表裏両面に圧電素子２を貼着してなる加振体３
の一端を基台４に傾斜立設させて固定し、他端を連結部
材５の一端に固定し、その連結部材５の他端を被移動部
品６を載置するトラフ７にトラフ取付けテーブル８を介
して固定してなる直進移動機構において、前記圧電素子
貼着基板１を導電性と高弾性を具有する板状物で構成
し、その板状物の長手方向の左右両端部の四所側方に開
孔を有する突出部１１を設け、それら突出部１１に形成
された上部一対の開孔間及び下部一対の開孔間まで圧電
素子２を伸長させることを可能にし、前記連結部材５を
弾性を具有する板状物で構成し、その板状物の先端部に
開孔を有し、平行に延伸する二の細長帯状部５１と、そ
の細長帯状部５１の長手方向の中間部分から前記長手方
向に直交して延伸し、二の細長帯状部５１をつなぐ接合
部５２との単一部材で前記連結部材５を構成してなる直
進移動機構である。
【０００７】
【作用】以下、図１及び図２により本発明を説明する。
加振体３を構成する圧電素子２はチタン酸ジルコン酸鉛
等の三成分系複合ペロブスカイト酸化物Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔ
ｉ）Ｏ３、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタ
ル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等の単結晶圧電材の板状
物でならしめ、当該圧電素子を貼着する圧電素子貼着基
板１は不銹鋼、ばね鋼、工具鋼等の導電性と高弾性を具
有する板状物でならしめる。ここで圧電素子２の圧電素
子貼着基板１への貼着はエポキシ樹脂等の接着剤、接着
性を有する高分子フィルムを介しての加温加圧を付加し
ての接着等の適宜の手段によって行われる。
加振体３を構成する圧電素子２はチタン酸ジルコン酸鉛
等の三成分系複合ペロブスカイト酸化物Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔ
ｉ）Ｏ３、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタ
ル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等の単結晶圧電材の板状
物でならしめ、当該圧電素子を貼着する圧電素子貼着基
板１は不銹鋼、ばね鋼、工具鋼等の導電性と高弾性を具
有する板状物でならしめる。ここで圧電素子２の圧電素
子貼着基板１への貼着はエポキシ樹脂等の接着剤、接着
性を有する高分子フィルムを介しての加温加圧を付加し
ての接着等の適宜の手段によって行われる。
【０００８】圧電素子貼着基板１に貼着される圧電素子
２の長さは、直進移動機構の低背化を図り、かつ加振体
３のたわみ変位量を極大ならしめる見地から圧電素子貼
着基板１の長さと同等に近いものとする。これは前記加
振体３のたわみ変位量は圧電素子の長さの二乗に比例す
るからである。本発明において、圧電素子２の長さと圧
電素子貼着基板１の長さとを前記の如き関係とし得たの
は圧電素子貼着基板１の形状にある。即ち、加振体３の
基台４及び連結部材５への取付け、固定は加振体３を構
成する圧電素子貼着基板１の上下縦方向へ突出させるの
でなく、左右の側方へ突出する突出部１１と基台４及び
連結部材５との間でそれぞれ行わしめるからである。か
くして、圧電素子貼着基板１の側方へ突出する突出部１
１に形成された上部一対の開孔間、及び下部一対の開孔
間まで圧電素子２を伸長させることが可能になり、圧電
素子２の長さを圧電素子貼着基板１の長さと同等に近い
ものとすることができる。ここで、加振体３の基台４及
び連結部材５への取付け、固定は開孔を通してねじ止め
によって行う。前記取付け、固定はこの手段に限定され
るものではなく、開孔を設けない場合にあっては銀ろう
付け、スポット溶接等より行ってもよい。
２の長さは、直進移動機構の低背化を図り、かつ加振体
３のたわみ変位量を極大ならしめる見地から圧電素子貼
着基板１の長さと同等に近いものとする。これは前記加
振体３のたわみ変位量は圧電素子の長さの二乗に比例す
るからである。本発明において、圧電素子２の長さと圧
電素子貼着基板１の長さとを前記の如き関係とし得たの
は圧電素子貼着基板１の形状にある。即ち、加振体３の
基台４及び連結部材５への取付け、固定は加振体３を構
成する圧電素子貼着基板１の上下縦方向へ突出させるの
でなく、左右の側方へ突出する突出部１１と基台４及び
連結部材５との間でそれぞれ行わしめるからである。か
くして、圧電素子貼着基板１の側方へ突出する突出部１
１に形成された上部一対の開孔間、及び下部一対の開孔
間まで圧電素子２を伸長させることが可能になり、圧電
素子２の長さを圧電素子貼着基板１の長さと同等に近い
ものとすることができる。ここで、加振体３の基台４及
び連結部材５への取付け、固定は開孔を通してねじ止め
によって行う。前記取付け、固定はこの手段に限定され
るものではなく、開孔を設けない場合にあっては銀ろう
付け、スポット溶接等より行ってもよい。
【０００９】前記構成でなる加振体３は別個に配設して
なる従前の連結部材５との組合わせでも直進移動機構と
して機能し得ることは勿論であるが、より望ましくは本
発明の連結部材５との組合わせを採りいれた直進移動機
構とすることである。
なる従前の連結部材５との組合わせでも直進移動機構と
して機能し得ることは勿論であるが、より望ましくは本
発明の連結部材５との組合わせを採りいれた直進移動機
構とすることである。
【００１０】連結部材５は不銹鋼、ばね鋼、工具鋼等の
弾性を有する板状物でならしめ、平行に延伸する二の細
長帯状部５１の長手方向と加振体３の長手方向を一致さ
せて加振体３と固定する。連結部材５と加振体３との固
定を前記の固定形態とすることにより連結部材５におい
て平行に延伸する二の細長帯状部５１をつなぐ接合部５
２の長手方向は加振体３の長手方向と直交関係になる。
弾性を有する板状物でならしめ、平行に延伸する二の細
長帯状部５１の長手方向と加振体３の長手方向を一致さ
せて加振体３と固定する。連結部材５と加振体３との固
定を前記の固定形態とすることにより連結部材５におい
て平行に延伸する二の細長帯状部５１をつなぐ接合部５
２の長手方向は加振体３の長手方向と直交関係になる。
【００１１】加振体３と連結部材５との取付け、固定を
前記の如き固定形態とすること，即ち連結部材５を構成
する平行に延伸する二の細長帯状部５１はその先端部に
設けられた開孔を通してねじ止めにより加振体３とトラ
フ７又はトラフ取付けテーブル８に取付け、固定される
ため，同一機能を発揮させるにおいても連結部材の長さ
は従前より短くなり，直進移動機構の低背化に寄与する
ことになる。連結部材５のトラフ７又はトラフ取付けテ
ーブル８への取付け、固定において重要なることは被移
動部品６の移動を高い移動速度の下，円滑に行わしめる
ためには被移動部品の移動方向前方に配設する連結部材
５の厚さを移動方向後方に配設するそれよりも厚いもの
を配設することである。連結部材５の厚さを移動方向前
方と後方を同一厚さのものとしても被移動部品の移動は
可能ではある。しかし移動速度は十分なものが得られな
いため連結部材５は前記したように厚さの異なるものを
用いる構成とすることはきわめて有効である。
前記の如き固定形態とすること，即ち連結部材５を構成
する平行に延伸する二の細長帯状部５１はその先端部に
設けられた開孔を通してねじ止めにより加振体３とトラ
フ７又はトラフ取付けテーブル８に取付け、固定される
ため，同一機能を発揮させるにおいても連結部材の長さ
は従前より短くなり，直進移動機構の低背化に寄与する
ことになる。連結部材５のトラフ７又はトラフ取付けテ
ーブル８への取付け、固定において重要なることは被移
動部品６の移動を高い移動速度の下，円滑に行わしめる
ためには被移動部品の移動方向前方に配設する連結部材
５の厚さを移動方向後方に配設するそれよりも厚いもの
を配設することである。連結部材５の厚さを移動方向前
方と後方を同一厚さのものとしても被移動部品の移動は
可能ではある。しかし移動速度は十分なものが得られな
いため連結部材５は前記したように厚さの異なるものを
用いる構成とすることはきわめて有効である。
【００１２】
【実施例】本発明に係る直進移動機構の一実施例として
以下の構成になるものは、発明の効果において本発明の
目的がいかんなく発揮されている。即ち圧電素子２は圧
電材料・チタン酸ジルコン酸鉛を用い，これを長さ３５
ｍｍ，幅１８ｍｍ，厚さ０．６ｍｍの長方形薄板状に成
形し，その表裏面に電極を形成し分極処理を施したもの
を用いる。前記圧電素子２は長さ４０ｍｍ，突出部１１
先端間の幅４０ｍｍ，それ以外の部分の幅２２ｍｍ，厚
さ３．８ｍｍの圧電素子貼着基板１に接着剤・エポキシ
樹脂を用いて貼着する。貼着後は加振体３の電気的絶縁
及び防湿を図るため，加振体３の外面は柔軟性を有する
難燃性ブチルテープにより被覆される。
以下の構成になるものは、発明の効果において本発明の
目的がいかんなく発揮されている。即ち圧電素子２は圧
電材料・チタン酸ジルコン酸鉛を用い，これを長さ３５
ｍｍ，幅１８ｍｍ，厚さ０．６ｍｍの長方形薄板状に成
形し，その表裏面に電極を形成し分極処理を施したもの
を用いる。前記圧電素子２は長さ４０ｍｍ，突出部１１
先端間の幅４０ｍｍ，それ以外の部分の幅２２ｍｍ，厚
さ３．８ｍｍの圧電素子貼着基板１に接着剤・エポキシ
樹脂を用いて貼着する。貼着後は加振体３の電気的絶縁
及び防湿を図るため，加振体３の外面は柔軟性を有する
難燃性ブチルテープにより被覆される。
【００１３】連結部材５は１．５ｍｍ，２．０ｍｍと厚
さの異なる二の部材で構成し，その形状、寸法は共に平
行に延伸する細長帯状部５１の長さ２４ｍｍ，幅９ｍ
ｍ，その先端間の幅４０ｍｍ，二の細長帯状部５１をつ
なぐ接合部５２の長さ２２ｍｍ，幅４ｍｍとしている。
次に前記実施例に係る加振体３と連結部材５との組合わ
せになる直進移動機構において圧電素子２に交番電圧２
０Ｖを印加したときの共振周波数はトラフ７上に載置さ
れる被移動部品６の大きさ及び重量によつて変動するが
２００〜３００Ｈｚと従来の共振周波数より高い値を示
している。これは加振体３の長さが短くなったことに起
因して振動周波数が高くなったことによるものである。
さの異なる二の部材で構成し，その形状、寸法は共に平
行に延伸する細長帯状部５１の長さ２４ｍｍ，幅９ｍ
ｍ，その先端間の幅４０ｍｍ，二の細長帯状部５１をつ
なぐ接合部５２の長さ２２ｍｍ，幅４ｍｍとしている。
次に前記実施例に係る加振体３と連結部材５との組合わ
せになる直進移動機構において圧電素子２に交番電圧２
０Ｖを印加したときの共振周波数はトラフ７上に載置さ
れる被移動部品６の大きさ及び重量によつて変動するが
２００〜３００Ｈｚと従来の共振周波数より高い値を示
している。これは加振体３の長さが短くなったことに起
因して振動周波数が高くなったことによるものである。
【００１４】
【発明の効果】本発明のもたらす第一の効果は加振体３
の長さ及び連結部材５の長さを短くし得る構成を可能な
らしめた結果，直進移動構成の低背化を実現し得たこと
である。この低背化の効果は直進移動機構に前後して接
続される他の装置，機構との接続を容易にすると同時に
直進移動機構自体の安定性を高め得たことである。
の長さ及び連結部材５の長さを短くし得る構成を可能な
らしめた結果，直進移動構成の低背化を実現し得たこと
である。この低背化の効果は直進移動機構に前後して接
続される他の装置，機構との接続を容易にすると同時に
直進移動機構自体の安定性を高め得たことである。
【００１５】本発明の第二の効果は加振体３の長さ及び
連結部材５の長さを短くし得たことにより，直進移動機
構の共振周波数が高くなったことを受けて被移動部品６
の移動速度は従前の同型の機構に比し１．４倍も高くな
り、加えて被移動部品６の跳ね上りも殆んど消失させ得
たことである。更に第三の効果として連結部材５の幅は
従来と同一の曲げ剛性であっても広くし得ることが可能
になつたため，トラフ７を幅広とすることができ，その
ため外径の大なる部品の移動をも可能ならしめたことで
ある。
連結部材５の長さを短くし得たことにより，直進移動機
構の共振周波数が高くなったことを受けて被移動部品６
の移動速度は従前の同型の機構に比し１．４倍も高くな
り、加えて被移動部品６の跳ね上りも殆んど消失させ得
たことである。更に第三の効果として連結部材５の幅は
従来と同一の曲げ剛性であっても広くし得ることが可能
になつたため，トラフ７を幅広とすることができ，その
ため外径の大なる部品の移動をも可能ならしめたことで
ある。
【００１６】本発明の第四の効果は連結部材５を長さの
短い単一部材とし得たことにより，直進移動機構の組立
を容易ならしめたことである。
短い単一部材とし得たことにより，直進移動機構の組立
を容易ならしめたことである。
【図１】は本発明の直進移動機構の正面図である。
【図２】は本発明の直進移動機構の側面図である。
【図３】は従来の直進移動機構の正面図である。
１．圧電素子貼着基板 ２．圧電素子 ３．加振体 ４．基台 ５．連結部材 ６．被移動部品 ７．トラフ ８．トラフ取付けテーブル １１．突出部 ５１．細長帯状部 ５２．接合部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 27/00 - 27/34
Claims (1)
- 【請求項１】圧電素子貼着基板１の表裏両面に圧電素子
２を貼着してなる加振体３の一端を基台４に傾斜立設さ
せて固定し、他端を連結部材５の一端に固定し、その連
結部材５の他端を被移動部品６を載置するトラフ７にト
ラフ取付けテーブル８を介して固定してなる直進移動機
構において、前記圧電素子貼着基板１を導電性と高弾性
を具有する板状物で構成し、その板状物の長手方向の左
右両端部の四ケ所側方に開孔を有する突出部１１を設
け、それら突出部１１に形成された上部一対の開孔間及
び下部一対の開孔間まで圧電素子２を伸長させることを
可能にし、前記連結部材５を弾性を具有する板状物で構
成し、その板状物の先端部に開孔を有し、平行に延伸す
る二の細長帯状部５１と、その細長帯状部５１の長手方
向の中間部分から前記長手方向に直交して延伸し、二の
細長帯状部５１をつなぐ接合部５２との単一部材で前記
連結部材５を構成してなる直進移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08058158A JP3103965B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 直進移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08058158A JP3103965B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 直進移動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09219544A JPH09219544A (ja) | 1997-08-19 |
| JP3103965B2 true JP3103965B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=13076193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08058158A Expired - Fee Related JP3103965B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 直進移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3103965B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105000331A (zh) * | 2015-07-30 | 2015-10-28 | 中国重型机械研究院股份公司 | 一种规模化输送小颗粒物料的往复装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3436727B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2003-08-18 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪デバイス及びその製造方法 |
| EP1833102A3 (en) * | 1999-10-01 | 2009-04-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device |
| EP2338972B1 (en) * | 2009-12-23 | 2018-05-16 | Eppendorf Ag | Apparatus and method for generating a tool motion |
-
1996
- 1996-02-09 JP JP08058158A patent/JP3103965B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105000331A (zh) * | 2015-07-30 | 2015-10-28 | 中国重型机械研究院股份公司 | 一种规模化输送小颗粒物料的往复装置 |
| CN105000331B (zh) * | 2015-07-30 | 2017-03-01 | 中国重型机械研究院股份公司 | 一种规模化输送小颗粒物料的往复装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09219544A (ja) | 1997-08-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2886588B2 (ja) | 圧電／電歪アクチュエータ | |
| JPH06106028B2 (ja) | 圧電共振モ−タ | |
| JP3103965B2 (ja) | 直進移動機構 | |
| CN112445334B (zh) | 振动面板和电子设备 | |
| JPS6074982A (ja) | 強力音叉を用いたリニアモ−タ | |
| JPS63316675A (ja) | 圧電リニアモ−タ | |
| JPS61133011A (ja) | 変換ヘツド位置決め枠 | |
| JPH05344765A (ja) | 圧電モータおよびその駆動方法 | |
| JP2505464B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2934723B2 (ja) | 加振体及びこれを用いた着信装置 | |
| JPS59175777A (ja) | バイモルフ振動子の駆動方法 | |
| JPS6067815A (ja) | 角速度センサ | |
| JPH0447556B2 (ja) | ||
| JPH0240017Y2 (ja) | ||
| JPH0447557B2 (ja) | ||
| JPS6020453Y2 (ja) | 加振器 | |
| JPH10242540A (ja) | 圧電トランス | |
| JP3853957B2 (ja) | バイモルフ圧電素子 | |
| JP3189109B2 (ja) | 圧電トランスの電極接続構造 | |
| JPH10341580A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JPS6122374U (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0514857Y2 (ja) | ||
| JPS58118024A (ja) | トラツキング装置 | |
| JPH09304081A (ja) | 圧電振動角速度計用振動子 | |
| JPH0584194U (ja) | 圧電素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |