JPWO2022130670A5

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Publication number: JPWO2022130670A5
Application number: JP2022569697A
Authority: JP
Filing date: 2021-07-19
Publication date: 2023-06-01
Anticipated expiration: 2041-07-19

Claims

主面を有する圧電片と、前記圧電片の前記主面に形成された励振電極と、前記圧電片の前記主面の平面視における第１方向及び当該第１方向に交差する第２方向のうち、前記第１方向の端部側に位置する周縁部に設けられ、前記励振電極に電気的に接続された接続電極とを有する、圧電振動素子と、
基板と、
前記圧電振動素子の前記接続電極と前記基板との間に設けられ、前記基板上に前記圧電振動素子を保持する導電性保持部材と、を備え、
前記第１方向の前記周縁部と前記励振電極との間の前記圧電片の領域には、前記圧電片を貫通する貫通穴が設けられ、
前記導電性保持部材は、前記第１方向に沿って前記周縁部を跨るように設けられており、前記周縁部の前記第１方向の両側面である、前記周縁部の第１側面及び前記貫通穴の第１壁面のそれぞれに形成されたフィレットを有し、
前記圧電片の厚み方向において、前記導電性保持部材の前記フィレットの高さは、前記圧電片の厚みの１／３以上である、
圧電振動子。
前記導電性保持部材は、第１導電性保持部材と、第２導電性保持部材とを含み、
前記第１導電性保持部材及び前記第２導電性保持部材は、前記第２方向に沿って、互いに離間するように前記周縁部に設けられている、
請求項１に記載の圧電振動子。
前記貫通穴は、前記第２方向の一方側にある第２壁面と、前記第２方向の他方側にある第３壁面と、を有し、
前記第１導電性保持部材は、前記第２壁面に形成されたフィレットをさらに有し、
前記第２導電性保持部材は、前記第３壁面に形成されたフィレットをさらに有する、
請求項２に記載の圧電振動子。
前記周縁部は、前記第２方向の一方側にある第２側面と、前記第２方向の他方側にある第３側面と、を有し、
前記第１導電性保持部材は、前記第２側面に形成されたフィレットをさらに有し、
前記第２導電性保持部材は、前記第３側面に形成されたフィレットをさらに有する、
請求項２又は３に記載の圧電振動子。
前記第１導電性保持部材及び前記第２導電性保持部材のうち、少なくとも前記第１導電性保持部材は、前記貫通穴の前記第２方向の一方側にある第２壁面に形成されたフィレットと、前記周縁部の前記第２方向の前記一方側にある第２側面に形成されたフィレットと、をさらに有する、請求項２に記載の圧電振動子。
前記圧電片の前記主面を平面視するとき、前記圧電振動素子及び前記貫通穴はそれぞれ矩形状をなしており、
前記圧電振動素子の長手方向は前記第１方向に沿って延在しており、
前記貫通穴の長手方向は前記第２方向に沿って延在している、
請求項１乃至５の何れか一項に記載の圧電振動子。
前記圧電片の材料は、水晶である、請求項１乃至６の何れか一項に記載の圧電振動子。
主面を有する圧電片と、前記圧電片の前記主面に形成された励振電極と、前記圧電片の前記主面の平面視における第１方向及び当該第1方向に交差する第２方向のうち、前記第１方向の端部側に位置する周縁部に設けられ、前記励振電極に電気的に接続された接続電極とを有し、かつ前記第１方向の前記周縁部と前記励振電極との間の前記圧電片の領域には、前記圧電片を貫通する貫通穴が設けられている、圧電振動素子を準備する準備工程と、
前記圧電振動素子の前記接続電極と基板との間に導電性接着剤を設ける工程と、
前記導電性接着剤を硬化させて得られる導電性保持部材によって、前記圧電振動素子を前記基板に接合する接合工程と、を含み、
前記接合工程は、前記導電性保持部材のフィレットを、前記周縁部の前記第１方向の両側面である、前記周縁部の第１側面及び前記貫通穴の第１壁面のそれぞれに形成することを含み、
前記接合工程は、前記圧電片の厚み方向において、前記導電性保持部材の前記フィレットの高さを、前記圧電片の厚みの１／３以上に形成することを含む、
圧電振動子の製造方法。
前記接合工程は、
前記圧電振動素子の前記接続電極と前記基板との間に、前記第１方向と交差する第２方向に沿って、第１導電性保持部材と、前記第１導電性保持部材と離間する第２導電性保持部材とを形成することを含む、
請求項８に記載の圧電振動子の製造方法。
前記接合工程は、
前記貫通穴の前記第２方向の一方側にある第２壁面に、前記第１導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、
前記貫通穴の前記第２方向の他方側にある第３壁面に、前記第２導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、を含む、
請求項９に記載の圧電振動子の製造方法。
前記接合工程は、
前記周縁部の前記第２方向の一方側にある第２側面に、前記第１導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、
前記周縁部の前記第２方向の他方側にある第３側面に、前記第２導電性保持部材のフィレットをさらに形成することと、を含む、
請求項９又は１０に記載の圧電振動子の製造方法。
前記接合工程は、
少なくとも、前記貫通穴の前記第２方向の一方側にある第２壁面、及び前記周縁部の前記第２方向の前記一方側にある第２側面に、前記第１導電性保持部材のフィレットをさらに形成させることを含む、
請求項９に記載の圧電振動子の製造方法。