JP7405042B2 - 振動デバイス - Google Patents
振動デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP7405042B2 JP7405042B2 JP2020144951A JP2020144951A JP7405042B2 JP 7405042 B2 JP7405042 B2 JP 7405042B2 JP 2020144951 A JP2020144951 A JP 2020144951A JP 2020144951 A JP2020144951 A JP 2020144951A JP 7405042 B2 JP7405042 B2 JP 7405042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- piezoelectric element
- layer
- pair
- recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 107
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 42
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 80
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 5
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
Claims (6)
- 屈曲振動する振動デバイスであって、
圧電素子と、
前記圧電素子が配置されている振動板と、を備え、
前記振動板には、凹部が設けられており、
前記圧電素子は、前記凹部内に配置されており、
前記振動板は、積層された第一振動層及び第二振動層を有し、
前記第一振動層は、前記圧電素子が配置されている配置領域を有し、
前記第二振動層には、前記配置領域を露出させている開口が設けられている、
振動デバイス。 - 前記圧電素子と前記凹部の内面との間に配置された密着層を更に備える、
請求項1に記載の振動デバイス。 - 前記圧電素子は、圧電素体を有し、
前記圧電素体は、主面と、前記主面と隣り合うと共に、互いに対向している一対の第一側面と、を有し、
前記主面及び前記一対の第一側面は、前記密着層と接している、
請求項2に記載の振動デバイス。 - 前記主面は矩形状を呈しており、
前記圧電素体は、前記主面と隣り合うと共に、互いに対向している一対の第二側面を更に有し、
前記一対の第二側面も、前記密着層と接している、
請求項3に記載の振動デバイス。 - 前記第二振動層は、前記第一振動層よりも硬い、
請求項1~4のいずれか一項に記載の振動デバイス。 - 前記第一振動層及び前記第二振動層は、それぞれ金属からなると共に、拡散接合により互いに接合されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の振動デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020144951A JP7405042B2 (ja) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 振動デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020144951A JP7405042B2 (ja) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 振動デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022039770A JP2022039770A (ja) | 2022-03-10 |
JP7405042B2 true JP7405042B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=80498686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020144951A Active JP7405042B2 (ja) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 振動デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7405042B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005096346A (ja) | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
JP2010030267A (ja) | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Samsung Electro Mechanics Co Ltd | インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法 |
WO2020110654A1 (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 京セラ株式会社 | アクチュエータ及び触感呈示装置 |
-
2020
- 2020-08-28 JP JP2020144951A patent/JP7405042B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005096346A (ja) | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
JP2010030267A (ja) | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Samsung Electro Mechanics Co Ltd | インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法 |
WO2020110654A1 (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 京セラ株式会社 | アクチュエータ及び触感呈示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022039770A (ja) | 2022-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5234008B2 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電ポンプ | |
JP6933054B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP6822380B2 (ja) | 振動デバイス | |
WO2020153289A1 (ja) | 圧電素子 | |
JP7405042B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP2021090068A (ja) | 振動デバイス | |
JP7259278B2 (ja) | 振動デバイス及び電子機器 | |
JP7163592B2 (ja) | 振動デバイス | |
WO2019130773A1 (ja) | 振動デバイス | |
JP6780630B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP7425964B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP7367494B2 (ja) | 固定具及び振動デバイス | |
JP7234594B2 (ja) | 振動デバイス及び電子機器 | |
JP7003741B2 (ja) | 振動デバイス及び圧電素子 | |
JP6733641B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP7294006B2 (ja) | 振動デバイス | |
JP7136318B2 (ja) | 振動装置及びその製造方法 | |
JP7087942B2 (ja) | 振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの駆動方法 | |
JP7276019B2 (ja) | 振動デバイス | |
US20230232161A1 (en) | Vibration device | |
JP2022115339A (ja) | 振動デバイス | |
JP2022184499A (ja) | 音響デバイス | |
JP2022181587A (ja) | 振動デバイス | |
JP2022186216A (ja) | 音響デバイス | |
JP2020161682A (ja) | 圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7405042 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |