JP6828342B2 - 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法に関するものである。

従来から、圧電アクチュエーターとして、例えば、特許文献１に記載の構成が知られている。特許文献１の圧電アクチュエーターは、振動部と、振動部に配置され、ローター（被駆動部）に駆動力を伝達する伝達部と、を備えている振動子と、振動子をローターに向けて付勢している付勢部と、を有している。さらに、付勢部は、振動子に固定されている基部と、基部に接続されている一対のバネ部と、を有している。

特開２０１５−１８６３２９号公報

しかしながら、特許文献１の圧電アクチュエーターでは、付勢部において、基部と一対のバネ部とが別体で形成されており、一対のバネ部がネジ止めによって基部に固定されている。このように、基部と一対のバネ部とが別体で形成されていると、小型化を図ることが困難となる。

本発明の目的は、小型化を図ることのできる圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法を提供することにある。

上記目的は、下記の本発明により達成される。

本発明の圧電アクチュエーターは、圧電素子を有している振動部と、前記振動部に配置されており、被駆動部に駆動力を伝達する伝達部と、を備えている振動子と、
前記振動子を前記被駆動部に向けて付勢することができる付勢部と、を有し、
前記付勢部は、前記振動子に接続されている基部と、前記基部と一体である一対のバネ部と、を備えていることを特徴とする。
このように、付勢部において、基部と一対のバネ部とを一体とすることで、従来のように基部と一対のバネ部とが別体でこれらがネジ等の固定部材を用いて固定されている構成と比較して、圧電アクチュエーターの小型化を図ることができる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記付勢部は、シリコンを含んでいることが好ましい。
これにより、例えば、エッチングによるパターニングを高精度に行うことができるため、付勢部の製造が容易となる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記付勢部は、エッチング面を有していることが好ましい。
これにより、付勢部を高精度に形成することができる。また、例えば、基部とバネ部との接続部が滑らかとなり、当該部分を起点としたクラックが生じ難くなる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動子は、前記基部と接続して前記振動部を支持している支持部を有していることが好ましい。
これにより、振動子と付勢部との接続が容易となる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動子は、複数の前記付勢部の間に配置されていることが好ましい。
これにより、バランスよく、振動子を被駆動部に向けて付勢することができる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記付勢部は、前記振動子と前記付勢部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動部と重なる領域を有し、前記重なる領域において前記付勢部と前記振動部との間には空隙が設けられていることが好ましい。
これにより、付勢部と振動部との接触を抑制することができ、振動部を効率的に振動させることができる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、前記付勢部は、一対のバネ部を介して前記基部と接続されている接続部を有し、
前記接続部は、前記振動子の付勢方向と交差する方向に前記基部と並んで配置されていることが好ましい。
これにより、例えば、接続部において、圧電アクチュエーターを別部材に固定することができる。また、接続部をこのような配置とすることで、より効果的に圧電アクチュエーターを小型化することができる。

本発明の圧電アクチュエーターでは、複数の前記振動子を有し、
複数の前記振動子は、積層されていることが好ましい。
これにより、より大きい駆動力を発生させることができる。

本発明の圧電モーターは、本発明の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする。
これにより、前述した圧電アクチュエーターの効果を享受することができ、信頼性の高い圧電モーターが得られる。

本発明のロボットは、本発明の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする。
これにより、前述した圧電アクチュエーターの効果を享受することができ、信頼性の高いロボットが得られる。

本発明の電子部品搬送装置は、本発明の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする。
これにより、前述した圧電アクチュエーターの効果を享受することができ、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。

本発明のプリンターは、本発明の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする。
これにより、前述した圧電アクチュエーターの効果を享受することができ、信頼性の高いプリンターが得られる。

本発明の圧電アクチュエーターの製造方法は、圧電素子を有している振動部を備えている振動子を複数有している振動子基板と、前記振動子に接続される基部と、前記基部と一体である一対のバネ部と、を備えている付勢部を複数有している付勢部基板と、を準備する工程と、
前記振動子基板と前記付勢部基板とを接合して、複数の圧電アクチュエーターを有している圧電アクチュエーター基板を得る工程と、
前記圧電アクチュエーター基板に含まれる複数の前記圧電アクチュエーターを個片化する工程と、を含んでいることを特徴とする。
これにより、小型な圧電アクチュエーターを容易に製造することができる。

本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す平面図である。 図１に示す圧電モーターが有する圧電アクチュエーターを示す斜視図である。 図２に示す圧電アクチュエーターの平面図である。 図３中のＡ−Ａ線断面図である。 図３中のＢ−Ｂ線断面図である。 図３中のＣ−Ｃ線断面図である。 図２に示す圧電アクチュエーターの基端部を示す斜視図である。 図２中のＤ−Ｄ線断面図である。 図２中のＥ−Ｅ線断面図である。 図１に示す圧電モーターの駆動を説明する概略図である。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示すフローチャートである。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。 図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す平面図である。 本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す平面図である。 本発明の第５実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。 図２１に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。 本発明の第７実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。

以下、本発明の圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る圧電モーターについて説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す平面図である。図２は、図１に示す圧電モーターが有する圧電アクチュエーターを示す斜視図である。図３は、図２に示す圧電アクチュエーターの平面図である。図４は、図３中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図３中のＢ−Ｂ線断面図である。図６は、図３中のＣ−Ｃ線断面図である。図７は、図２に示す圧電アクチュエーターの基端部を示す斜視図である。図８は、図２中のＤ−Ｄ線断面図である。図９は、図２中のＥ−Ｅ線断面図である。図１０は、図１に示す圧電モーターの駆動を説明する概略図である。図１１は、図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示すフローチャートである。図１２ないし図１６は、それぞれ、図２に示す圧電アクチュエーターの製造方法を示す側面図（先端側から見た側面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」とも言い、図１中の紙面奥側を「下」とも言う。また、圧電アクチュエーターのローター側を「先端側」とも言い、ローターと反対側を「基端側」とも言う。

図１に示す圧電モーター１００（超音波モーター）は、回動軸Ｏまわりに回転可能な被駆動部（従動部）としてのローター１１０と、ローター１１０の外周面１１１に当接する圧電アクチュエーター１と、を有している。このような圧電モーター１００では、圧電アクチュエーター１を駆動（振動）させることで、ローター１１０を回動軸Ｏまわりに回転させることができる。なお、圧電モーター１００の構成としては図１の構成に限定されない。例えば、本実施形態では、被駆動部として回転移動するローター１１０を用いているが、被駆動部として直線移動するものを用いてもよい。

また、図１に示すように、圧電アクチュエーター１は、圧電素子５を有している振動部２１と、振動部２１に配置されており、被駆動部としてのローター１１０に駆動力を伝達する伝達部２３と、を備えている振動子２と、振動子２をローター１１０に向けて付勢することができる（付勢する機能を有する）付勢部７と、を有している。また、付勢部７は、振動子２に接続（固定）されている基部７１と、基部７１と一体である一対のバネ部７２、７３と、を備えている。このように、付勢部７において、基部７１と一対のバネ部７２、７３とを一体化することで、従来のように基部７１と一対のバネ部７２、７３とが別体でこれらがネジ等の固定部材を用いて固定されている構成と比較して、圧電アクチュエーター１の小型化、構造の簡素化（部品点数の削減等）を図ることができる。また、例えば、従来のような構成では、ネジの締め付け具合や経時的な締め付けの緩み等によって、付勢力が個体間でバラついたり、付勢力が経時的に変化したりするが、本実施形態によれば、このような問題が生じないため、設計通りで、より安定した付勢力を得ることができる。以下、このような圧電アクチュエーター１について詳細に説明する。

図２に示すように、圧電アクチュエーター１は、振動子２と、振動子２をローター１１０に向けて付勢する付勢部７と、を有している。また、振動子２は、対向配置された第１基板３および第２基板４と、これら第１、第２基板３、４の間に位置し、接着剤を介して接合された圧電素子５および第１層間部６と、を有している。

また、図３に示すように、第１基板３は、振動板３１と、振動板３１を支持する支持板３２と、振動板３１および支持板３２を接続（連結）する一対の接続部３３と、を有している。同様に、第２基板４は、振動板４１と、振動板４１を支持する支持板４２と、振動板４１および支持板４２を接続（連結）する一対の接続部４３と、を有している。第１基板３および第２基板４は、実質的に同じ形状および大きさを有しており、圧電素子５を介して振動板３１、４１が対向配置され、第１層間部６を介して支持板３２、４２が対向配置され、空隙を介して接続部３３、４３が対向配置されている。そして、このような振動子２では、振動板３１、圧電素子５および振動板４１の積層体で振動部２１が形成され、支持板３２、第１層間部６および支持板４２の積層体で支持部２２が形成されている。すなわち、振動子２は、振動部２１と、振動部２１を支持している支持部２２と、を有している。

第１基板３および第２基板４としては特に限定されないが、例えば、シリコン基板を用いることができる。第１基板３および第２基板４としてシリコン基板を用いることで、優れた加工精度（パターニング精度）を発揮することができる。また、振動子２の製造にシリコンウエハプロセス（ＭＥＭＳプロセス）を用いることができ、振動子２を効率的に製造することができる。なお、図示しないが、第１基板３および第２基板４の表面には絶縁層が設けられている。例えば、第１基板３および第２基板４としてシリコン基板を用いる場合、絶縁層は、シリコン基板の表面を熱酸化して形成した酸化シリコンで構成することができる。

次に、振動部２１について説明する。振動部２１は、振動子２の厚さ方向（振動板３１、圧電素子５および振動板４１の積層方向）から見た平面視（以下、単に「平面視」とも言う）で、略長方形状（長手形状）をなしている。また、振動部２１の長手方向の先端部であって、幅方向の中央部には凸状の伝達部２３が設けられている。伝達部２３は、振動部２１の振動をローター１１０に伝達する部位であり、振動部２１から先端側へ突出していると共に、その先端面がローター１１０の外周面１１１に接触している。そのため、振動部２１が振動すると、その振動が伝達部２３を介してローター１１０に伝わり、ローター１１０が回動軸Ｏまわりに回転する。

なお、振動部２１および伝達部２３の形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。

図４ないし図６に示すように、圧電素子５は、振動板３１と振動板４１との間に位置しており、振動板３１との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ１を介して振動板３１と接合され、振動板４１との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ１を介して振動板４１と接合されている。なお、接着剤Ｘ１としては、特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂系、ウレタン樹脂系、ユリア樹脂系、メラミン樹脂系、フェノール樹脂系、エステル樹脂系等の各種熱硬化性樹脂系の接着剤、酢酸ビニル樹脂系、ポリビニルアルコール系、エチレン酢酸ビニル樹脂系、塩化ビニル樹脂系、アクリル樹脂系、ポリアミド系、セルロース系、ポリビニルピロリドン系、ポリスチレン系等の各種熱可塑性樹脂系の接着剤等を用いることができる。

また、圧電素子５は、５つの圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅを含んでいる。圧電素子５ｅは、振動部２１の幅方向の中央部において、振動部２１の長手方向に沿って配置されている。この圧電素子５ｅに対して振動部２１の幅方向の一方側には圧電素子５ａ、５ｂが振動部２１の長手方向に沿って配置され、他方側には圧電素子５ｃ、５ｄが振動部２１の長手方向に沿って配置されている。

また、５つの圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅは、それぞれ、圧電体５２と、圧電体５２の上面（振動板３１側の主面）に設けられた第１電極５１と、圧電体５２の下面（振動板４１側の主面）に設けられた第２電極５３と、を有している。

第１電極５１は、圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅに共通して設けられた共通電極である。一方、第２電極５３は、圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体５２は、圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体５２は、圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅごとに個別に設けられていてもよい。また、本実施形態とは逆に、第１電極５１が圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅごとに個別に設けられ、第２電極５３が圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅに共通して設けられていてもよい。

圧電体５２は、振動部２１の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることで振動部２１の長手方向に沿った方向に伸縮する。このような圧電体５２の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体５２は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよいが、バルク材料から形成することが好ましい。これにより、振動子２の製造が容易となる。なお、圧電体５２の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。

本実施形態では、圧電体５２は、バルク材料から形成されている。この場合、圧電体５２の厚さとしては、特に限定されないが、例えば、１００μｍ以上、６００μｍ以下とすることが好ましい。

また、第１電極５１および第２電極５３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料が用いられる。また、第１電極５１および第２電極５３は、それぞれ、蒸着、スパッタリング等により形成することができる。

次に、支持部２２について説明する。支持部２２は、平面視で、振動部２１の基端側を囲むＵ字形状となっている。

また、図７に示すように、第１層間部６は、支持板３２と支持板４２との間に位置しており、支持板３２との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ１を介して支持板３２と接合され、支持板４２との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ１を介して支持板４２と接合されている。また、第１層間部６は、平面視で、支持板３２、４２と実質的に同じ形状および大きさを有している。また、第１層間部６は、絶縁性を有している。

このような第１層間部６としては特に限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種金属材料、シリコン、各種樹脂材料等を用いることができる。これらの中でも、各種セラミックス、各種金属材料、シリコンを用いることが好ましく、これにより、硬質な第１層間部６が得られる。ただし、金属材料を用いる場合には、第１層間部６に絶縁性を付与するために、例えば、その表面に絶縁処理を施す等の加工が必要となる。また、シリコンを用いることで、シリコンウエハプロセスを用いて第１層間部６を配置することができるため、振動子２を効率的に製造することができる。

なお、支持部２２の形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。例えば、支持部２２は、振動部２１の幅方向の一方側（一方の接続部３３、４３と接続されている側）と他方側（他方の接続部３３、４３と接続されている側）とで２つに分割されていてもよい。また、本実施形態の第１層間部６は、一層で構成されているが、第１層間部６は、複数の層が積層された構成となっていてもよい。また、本実施形態では、第１層間部６が１つのブロックから形成されているが、第１層間部６は、複数のブロックに分割されていてもよい。

ここで、第１層間部６の厚さは、圧電素子５の厚さとほぼ等しいことが好ましい。より具体的には、第１層間部６の厚さは、圧電素子５の厚さと等しいか、または、若干薄いことが好ましく、若干薄いことがより好ましい。このような関係を満足することで、振動子２の製造が容易となり、歩留まりが向上する。後述する製造方法でも説明するが、振動子２は、第１基板３と第２基板４とをこれらの間に接着剤Ｘ１、圧電素子５および第１層間部６を挟み込み、押圧して接合することで製造される。そのため、第１層間部６を圧電素子５よりも薄くすることで、第１、第２基板３、４と圧電素子５が、第１、第２基板３、４と第１層間部６よりも優先的に接合され、第１、第２基板３、４と圧電素子５との接合強度を十分に高めることができ、第１、第２基板３、４と圧電素子５とをより確実に貼り合せることができる。その結果、振動部２１の駆動不良や故障の可能性が低くなる。

以上、振動子２について説明した。なお、第１基板３の内面（圧電素子５側の面）には圧電素子５の第１電極５１と電気的に接続された配線９１が設けられており（図４参照）、第２基板４の内面（圧電素子５側の面）には圧電素子５の各第２電極５３と電気的に接続された配線９２、９３、９４、９５、９６が設けられている（図４ないし図６参照）。そして、図７に示すように、これら配線９１、９２、９３、９４、９５、９６は、支持部２２の基端側の側面２２１に端子部９０として露出している。そのため、端子部９０を介して圧電素子５を外部と電気的に接続することができる。

次に、付勢部７について説明する。付勢部７は、上述した振動子２をローター１１０へ向けて付勢する機能を有している。図２に示すように、このような付勢部７は、振動子２を挟んで一対設けられている。すなわち、振動子２は、２つ（複数）の付勢部７の間に配置されている。具体的には、付勢部７は、振動子２の厚さ方向の一方側に位置する付勢部７Ａと、他方側に位置する付勢部７Ｂと、を含んでおり、これらで振動子２を挟持するように配置されている。このように、振動子２を挟むようにして付勢部７を一対設けることで、振動子２をバランスよく、具体的には厚さ方向への傾きを抑制しながらローター１１０に向けて付勢することができる。ただし、付勢部７は、少なくとも１つ設けられていればよく、付勢部７Ａ、７Ｂのいずれか一方を省略してもよい。

図２に示すように、付勢部７（７Ａ、７Ｂ）は、板状をなしており、基部７１と、基部７１に接続（連結）されている一対のバネ部７２、７３と、一対のバネ部７２、７３を介して基部７１と接続（連結）されている接続部７４と、を有している。そして、図８に示すように、基部７１と振動子２の支持部２２とが接続（接合）されている。このように、基部７１と支持部２２とを接続することで、振動子２と付勢部７との接続（接合）が容易となる。なお、基部７１と支持部２２との接合方法としては、特に限定されず、活性化接合等を用いて基部７１と支持部２２とを直接接合してもよいし、接着剤を用いて基部７１と支持部２２とを接合してもよい。なお、本実施形態では、絶縁性の接着剤Ｘ２を用いて基部７１と支持部２２とが接合されている。接着剤Ｘ２としては、特に限定されず、例えば、前述した接着剤Ｘ１と同様のものを用いることができる。

また、付勢部７Ａ、７Ｂの少なくとも一部は、平面視（振動部２１と付勢部７Ａ、７Ｂとが重なる方向から見た平面視）で、振動部２１と重なる領域を有し、当該重なる領域において付勢部７と振動部２１との間には空隙Ｓが設けられている。より具体的には、図８に示すように、基部７１は、平面視で、振動部２１と重なる領域を有しており、当該領域には内面（振動子２側の面）に開放する凹部７１１が形成されている。これにより、基部７１と振動部２１との間に空隙Ｓが形成されている。また、図９に示すように、バネ部７２も、平面視で、振動部２１と重なる領域を有している。バネ部７２は、基部７１の支持部２２と接合されている部分（言い換えると、凹部７１１が形成されていない部分）よりも薄く構成されており、かつ、付勢部７の外面（振動子２と反対側の面）側に偏在して設けられている。これにより、バネ部７２と振動部２１との間に空隙Ｓが形成されている。このように、付勢部７Ａ、７Ｂと振動部２１との間に空隙Ｓを形成することで、付勢部７Ａ、７Ｂと振動部２１との接触を抑制することができ、振動部２１を効率的にかつ所望の軌跡で振動させることができる。

なお、本実施形態では、凹部７１１の底面７１１ａと、バネ部７２の内面７２ａ（振動子２側の主面）は、同一平面上に位置している。このように、凹部７１１の底面７１１ａとバネ部７２の内面７２ａとを同一平面上に位置させることで、凹部７１１およびバネ部７２を同一のエッチングプロセスによって一括で形成することができる。そのため、付勢部７Ａ、７Ｂの製造プロセスが短くなる。

バネ部７２、７３は、平面視で、振動子２の付勢方向（図１中の上下方向：振動部２１の長手方向）に対して交差する方向、特に本実施形態では付勢方向に直交する方向（図１中の横方向：振動部２１の幅方向）に延在している。そして、図１に示すように、バネ部７２、７３が弾性変形した状態で圧電アクチュエーター１がステージ１２０に固定されることで、振動子２に対して図１中上方向への付勢力が発生し、振動子２の伝達部２３がローター１１０の外周面１１１に押し付けられる。このようなバネ部７２、７３は、付勢方向に沿って並んで配置されており、バネ部７２が基部７１の先端部と接続されており、バネ部７３が基部７１の基端部と接続されている。バネ部７２、７３をこのように配置することで、振動子２をより安定した状態でローター１１０に向けて付勢することができる。

接続部７４は、バネ部７２、７３を介して基部７１と接続されている。このような接続部７４は、圧電アクチュエーター１をステージ１２０に固定するための固定部としても機能し、本実施形態では、ネジによって圧電アクチュエーター１がステージ１２０に固定されている。ただし、圧電アクチュエーター１のステージ１２０への固定方法は、特に限定されない。

図１に示すように、このような接続部７４は、振動子２の付勢方向（図１中の上下方向）と交差する方向、特に本実施形態では直交する方向（図１中の横方向：振動部２１の幅方向）に基部７１と並んで配置されている。これにより、圧電アクチュエーター１の長さ（付勢方向の長さ）が抑えられるため、圧電アクチュエーター１の小型化を図ることができる。また、基部７１と接続部７４を振動部２１の幅方向に並べて配置することで、これらを連結するバネ部７２、７３を振動部２１の幅方向に延びる直線形状とすることができる。そのため、付勢力を効率的に発生させることのできるバネ部７２、７３をより小さいスペースに配置することができ、圧電アクチュエーター１の小型化に寄与する。また、このような配置とすることで、支持部２２の基端側の側面２２１の周囲に十分な空間を確保することができ、端子部９０と外部との電気的な接続を容易に行うこともできる。

なお、接続部７４の厚さは、基部７１の厚さ（凹部７１１が形成されていない部分の厚さ）とほぼ等しい。

付勢部７Ａ、７Ｂの構成材料としては、特に限定されないが、シリコンを含んでいることが好ましい。そのため、付勢部７Ａ、７Ｂとしては、例えば、シリコン基板を用いることができる。付勢部７Ａ、７Ｂとしてシリコン基板を用いることで、優れた加工精度（パターニング精度）を発揮することができる。また、圧電アクチュエーター１の製造にシリコンウエハプロセス（ＭＥＭＳプロセス）を用いることができ、圧電アクチュエーター１を効率的に製造することができる。

また、付勢部７Ａ、７Ｂは、それぞれ、シリコン基板をエッチングでパターニングすることで形成されている。そのため、付勢部７Ａ、７Ｂは、エッチング面を有している。具体的には、付勢部７Ａ、７Ｂの側面がエッチング面となっている。このように、シリコン基板をエッチングして付勢部７Ａ、７Ｂを形成することで、付勢部７Ａ、７Ｂ（特に、バネ部７２、７３の基部７１と対向する側面）を高い寸法精度で形成することができる。そのため、例えば、バネ部７２、７３の幅や長さを設計通りに形成し易くなり、設計通りの付勢力が得られる。特に、基体７１とバネ部７２、７３が一体化されていることで、エッチングによりパターニングすることの効果をより強力に発揮することができる。

また、特に、エッチングとして、シリコンディープエッチング（所謂「ボッシュ法」）を用いることで、高いアスペクト比にも対応することができ、付勢部７Ａ、７Ｂの厚みが大きく、基部７１とバネ部７２、７３との隙間が小さい場合であっても、付勢部７Ａ、７Ｂを精度よく形成することができる。また、エッチングでパターニングすると、特に、基部７１とバネ部７２、７３との接続部や、バネ部７２、７３と接続部７４との接続部が滑らかとなり、当該部分を起点としたクラックが生じ難くなる。そのため、機械的強度の高い圧電アクチュエーター１となる。ただし、付勢部７Ａ、７Ｂの形成方法としては、エッチングに限定されず、例えば、打ち抜き等で形成してもよい。

ここで、図８および図９に示すように、付勢部７Ａの接続部７４と付勢部７Ｂの接続部７４との間には第２層間部７５が設けられている。第２層間部７５は、付勢部７Ａの接続部７４と付勢部７Ｂの接続部７４との間の隙間を埋めると共に、付勢部７Ａの接続部７４と付勢部７Ｂの接続部７４とを接続するための部材である。これにより、接続部７４の機械的強度が高まり、圧電アクチュエーター１をステージ１２０に対してより強固に固定することができる。

このような第２層間部７５は、一方の接続部７４との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ２を介してこの接続部７４と接合され、他方の接続部７４との間に配置された絶縁性の接着剤Ｘ２を介してこの接続部７４と接合されている。また、第２層間部７５は、平面視で、接続部７４と実質的に同じ形状および大きさを有している。

また、第２層間部７５の厚さは、振動子２の厚さとほぼ等しい。これにより、付勢部７Ａ、７Ｂの厚さ方向への撓みを抑制することができ、より確実に、振動子２を所望の方向へ付勢することができる。

また、第２層間部７５は、第１層７５１、第２層７５２および第３層７５３が接着剤Ｘ１を介して付勢部７Ａ側から順に積層した積層体で構成されている。そして、第１層７５１は、第１基板３と同じ基板から形成され、第２層７５２は、第１層間部６と同じ基板から形成され、第３層７５３は、第２基板４と同じ基板から形成されている。すなわち、第２層間部７５は、振動子２の支持部２２と同じ構成となっている。第２層間部７５をこのような構成とすることで、例えば、後述する製造方法によって、振動子２と厚みがほぼ等しい第２層間部７５を容易に形成することができる。

なお、前述したように、第１層７５１は、第１基板３と同じ基板から形成され、第２層７５２は、第１層間部６と同じ基板から形成され、第３層７５３は、第２基板４と同じ基板から形成されているため、第１層７５１、第２層７５２および第３層７５３の構成材料は、第１基板３、第１層間部６および第２基板４の構成材料と同じである。

以上、圧電モーター１００の構成について説明した。次に、圧電モーター１００の作動の一例を説明する。ただし、圧電モーター１００の作動方法は、以下の方法に限定されない。所定の周波数の駆動信号（交番電圧）を、圧電素子５ａ、５ｄと圧電素子５ｂ、５ｃとの位相差が１８０°となり、圧電素子５ａ、５ｄと圧電素子５ｅとの位相差が３０°となるように各圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅに印加すると、図１０に示すように、各圧電素子５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅがそれぞれ伸縮し、振動部２１がＳ字形状に屈曲変形（長手方向へ伸縮変形すると共に幅方向へ屈曲変形）し、これにより、伝達部２３の先端が楕円運動する。その結果、ローター１１０は、回動軸Ｏまわりに矢印方向に回転する。なお、圧電素子５ａ、５ｄとの位相差が２１０°となるように圧電素子５ｅに駆動信号を印加すれば、ローター１１０を逆回転させることができる。

以上、圧電アクチュエーター１およびこの圧電アクチュエーター１を備えた圧電モーター１００について詳細に説明した。圧電モーター１００は、圧電アクチュエーター１を備えている。そのため、上述した圧電アクチュエーター１の効果を享受することができるため、優れた信頼性を発揮することができる。

次に、圧電アクチュエーター１の製造方法について説明する。圧電アクチュエーター１の製造方法は、図１１に示すように、圧電素子５を有している振動部２１を備えている振動子２を複数有している振動子基板２０と、振動子２に接続（固定）される基部７１と、基部７１と一体である一対のバネ部７２、７３と、を備えている付勢部７を複数有している付勢部基板７０と、を準備する準備工程と、振動子基板２０と付勢部基板７０とを接合して、複数の圧電アクチュエーター１を有している圧電アクチュエーター基板１０を得る接合工程と、圧電アクチュエーター基板１０に含まれる複数の圧電アクチュエーター１を個片化する個片化工程と、を含んでいる。以下、このような製造方法について具体的に説明する。

［準備工程］
まず、図１２に示すように、振動子２に含まれる第１基板３と第２層間部７５に含まれる第１層７５１とが複数並んで配置されている第１シリコン基板３０と、振動子２に含まれる第２基板４と第２層間部７５に含まれる第３層７５３とが複数並んで配置されている第２シリコン基板４０と、振動子２に含まれる第１層間部６と第２層間部７５に含まれる第２層７５２とが複数並んで配置されている第３シリコン基板６０と、圧電素子５と、を準備する。そして、図１３に示すように、第１シリコン基板３０と第２シリコン基板４０とで第３シリコン基板６０および圧電素子５を挟み込むようにして、これらを接着剤Ｘ１を介して接合する。これにより、振動子２が複数並んで配置されている振動子基板２０が得られる。なお、第１シリコン基板３０、第２シリコン基板４０および第３シリコン基板６０は、それぞれ、シリコン基板をエッチング（特に、シリコンディープエッチング）によりパターニングすることで形成されている。これにより、優れた加工精度を有する第１シリコン基板３０、第２シリコン基板４０および第３シリコン基板６０が得られる。

また、振動子基板２０とは別に、図１４に示すように、付勢部７Ａが複数並んで配置されている付勢部基板７０Ａと、付勢部７Ｂが複数並んで配置されている付勢部基板７０Ｂと、を準備する。なお、付勢部基板７０Ａ、７０Ｂは、それぞれ、シリコン基板をエッチング（特に、シリコンディープエッチング）によりパターニングすることで形成されている。これにより、優れた加工精度を有する付勢部基板７０Ａ、７０Ｂが得られる。

［接合工程］
次に、図１５に示すように、２つの付勢部基板７０Ａ、７０Ｂで振動子基板２０を挟み込むようにして、これらを接着剤Ｘ２を介して接合する。これにより、圧電アクチュエーター１（ただし、伝達部２３が設けられていない状態の圧電アクチュエーター１）が複数並んで配置されている圧電アクチュエーター基板１０が得られる。

［個片化工程］
次に、各振動部２１に伝達部２３を例えば接着剤を介して接合する。その後、図１６に示すように、ダイシングブレード等を用いて、不要な部分を切り離すことで、圧電アクチュエーター基板１０に含まれている複数の圧電アクチュエーター１を個片化する。これにより、複数の圧電アクチュエーター１が得られる。

このような圧電アクチュエーター１の製造方法によれば、小型な圧電アクチュエーターを容易に製造することができる。なお、本実施形態では、個片化工程に先立って伝達部２３を各振動部２１に接合しているが、伝達部２３を接合するタイミングとしては、特に限定されず、例えば、個片化工程の後であってもよい。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図１７は、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す斜視図である。

本実施形態は、複数の振動子が積層されている以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１７に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター１は、複数の振動子２を有し、複数の振動子２は、圧電アクチュエーター１の厚さ方向に積層されている。また、各振動子２は、上側が第１基板３、下側が第２基板４となって同じ向きで積層されている。また、重なり合う２つの振動子２は、例えば、図示しない接着剤で接合されている。そして、複数の振動子２が重なり合って構成された積層体２００を間に挟み込むようにして、付勢部７Ａ、７Ｂが設けられている。また、これに対応して、付勢部７Ａの接続部７４と付勢部７Ｂの接続部との間には、振動子２の数と同等の数の第２層間部７５が積層している。このような構成とすることで、例えば、前述した第１実施形態と比較して、圧電アクチュエーター１の駆動力を高めることができる。

なお、積層される振動子２の数としては、特に限定されず、圧電アクチュエーター１の配置スペース、圧電アクチュエーター１に求められる駆動力等によって適宜設定することができる。また、本実施形態では、重なり合う２つの振動子２において、一方の振動子２の第１基板３と他方の振動子２の第２基板４とが重なり合うように配置されているが、例えば、一方の振動子２の第１基板３と他方の振動子２の第２基板４とを１つの基板で構成してもよい。すなわち、一方の振動子２の第１基板３が他方の振動子２の第２基板４を兼ねていてもよい。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図１８は、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す平面図である。

本実施形態は、付勢部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１８において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１８に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター１の付勢部７では、一対の接続部７４が振動部２１の幅方向において基部７１を間に挟むようにして配置されている。また、バネ部７２、７３は、それぞれ、基部７１と各接続部７４とを接続するように一対設けられている。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図１９は、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す平面図である。

本実施形態は、付勢部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。

なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１９において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図１９に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター１の付勢部７では、接続部７４がＬ字状をなしており、振動子２の基端側において、ステージ１２０にネジ止めされている。このような接続部７４は、振動子２の横側に位置し、一対のバネ部７２、７３と接続されている本体部７４１と、本体部７４１から延出し、振動子２の基端側に位置する延在部７４２と、を有し、延在部７４２において、ステージ１２０にネジ止めされている。

このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係るロボットについて説明する。
図２０は、本発明の第５実施形態に係るロボットを示す斜視図である。

図２０に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御するロボット制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電モーター１００（圧電アクチュエーター１）が搭載されており、この圧電モーター１００の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電モーター１００の駆動は、ロボット制御部１０８０によって制御される。

このようなロボット１０００は、圧電モーター１００（圧電アクチュエーター１）を備えている。そのため、上述した圧電アクチュエーター１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。

図２１は、本発明の第６実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。図２２は、図２１に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。

図２１に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。

また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。また、図２２に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための圧電アクチュエーター１（１θ）と、が内蔵されている。

このような電子部品搬送装置２０００は、圧電アクチュエーター１を備えている。そのため、上述した圧電アクチュエーター１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係るプリンターについて説明する。
図２３は、本発明の第７実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。

図２３に示すプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。

装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。

印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。

ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。

往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ａと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ａ上で移動させるタイミングベルト３０２３ｂと、を有している。

給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電モーター１００と、を有している。

制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。

このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。

このようなプリンター３０００は、圧電モーター１００（圧電アクチュエーター１）を備えている。そのため、上述した圧電アクチュエーター１の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。なお、本実施系形態では、圧電モーター１００が給紙用の駆動ローラー３０３２を駆動しているが、この他にも、例えば、キャリッジ３０２１ｃを駆動してもよい。

以上、本発明の圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、圧電アクチュエーターをロボット、電子部品搬送装置およびプリンターに適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスに適用することができ、例えばプロジェクターに適用することができる。

１、１ｘ、１ｙ、１θ…圧電アクチュエーター、１０…圧電アクチュエーター基板、２…振動子、２０…振動子基板、２００…積層体、２１…振動部、２２…支持部、２２１…側面、２３…伝達部、３…第１基板、３０…第１シリコン基板、３１…振動板、３２…支持板、３３…接続部、４…第２基板、４０…第２シリコン基板、４１…振動板、４２…支持板、４３…接続部、５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ…圧電素子、５１…第１電極、５２…圧電体、５３…第２電極、６…第１層間部、６０…第３シリコン基板、７、７Ａ、７Ｂ…付勢部、７０、７０Ａ、７０Ｂ…付勢部基板、７１…基部、７１１…凹部、７１１ａ…底面、７２…バネ部、７２ａ…内面、７３…バネ部、７４…接続部、７４１…本体部、７４２…延在部、７５…第２層間部、７５１…第１層、７５２…第２層、７５３…第３層、９０…端子部、９１、９２、９３、９４、９５、９６…配線、１００…圧電モーター、１１０…ローター、１１１…外周面、１２０…ステージ、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０…アーム、１０８０…ロボット制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…キャリッジガイド軸、３０２３ｂ…タイミングベルト、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、Ｏ…回動軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、Ｓ…空隙、Ｘ１…接着剤、Ｘ２…接着剤

Claims (13)

1. 圧電素子を有している振動部と、前記振動部に配置されており、被駆動部に駆動力を伝達する伝達部と、を備えている振動子と、
   前記振動子を前記被駆動部に向けて付勢する付勢部と、を有し、
   前記付勢部は、前記振動子に接続されている基部と、前記基部と一体である一対のバネ部と、を備え、
   前記基部は、前記振動子側の面に開放する凹部を備えていることを特徴とする圧電アクチュエーター。
2. 前記付勢部は、シリコンを含んでいる請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
3. 前記付勢部は、エッチング面を有している請求項１または２に記載の圧電アクチュエーター。
4. 前記振動子は、前記基部と接続して前記振動部を支持している支持部を有している請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
5. 前記振動子は、複数の前記付勢部の間に配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
6. 前記付勢部は、前記振動子と前記付勢部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動部と重なる領域を有し、前記重なる領域において前記付勢部と前記振動部との間には空隙が設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
7. 前記付勢部は、一対のバネ部を介して前記基部と接続されている接続部を有し、
   前記接続部は、前記振動子の付勢方向と交差する方向に前記基部と並んで配置されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
8. 複数の前記振動子を有し、
   複数の前記振動子は、積層されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする圧電モーター。
10. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とするロボット。
11. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とする電子部品搬送装置。
12. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えていることを特徴とするプリンター。
13. 基板をエッチングして、凹部を有する基部と、前記基部と一体化されている一対のバネ部を備える複数の付勢部を有する付勢部基板を形成する工程と、
    複数の振動子を有している振動子基板と、前記凹部が前記振動子側の面に開放するように前記付勢部基板とを接合する工程と、
    前記接合する工程で得られた接合基板を個片化する工程と、を含むことを特徴とする圧電アクチュエーターの製造方法。

Images