JP2018019540A - 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 - Google Patents
圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018019540A JP2018019540A JP2016149425A JP2016149425A JP2018019540A JP 2018019540 A JP2018019540 A JP 2018019540A JP 2016149425 A JP2016149425 A JP 2016149425A JP 2016149425 A JP2016149425 A JP 2016149425A JP 2018019540 A JP2018019540 A JP 2018019540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric actuator
- piezoelectric
- vibration
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】振動板の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーターを提供すること、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】圧電アクチュエーターは、振動板と、前記振動板の一方の主面側に配置され、圧電体を含む振動部と、を有し、前記振動板と前記振動部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動板の前記振動部と重ならない部分に前記振動部と重なる部分よりも厚さが小さい薄肉部が配置されていることを特徴とする。また、前記薄肉部は、前記振動板の厚さ方向から見た平面視で、前記振動板の外縁部の少なくとも一部に沿って配置されている。【選択図】図1
Description
本発明は、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置に関するものである。
従来から、圧電素子を備える圧電アクチュエーターが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の圧電アクチュエーター(共振振動子)は、振動板と、振動板の一方の面に配置された圧電体と、を有し、圧電体が伸縮することで振動板が振動するように構成されている。
しかしながら、引用文献1の圧電アクチュエーターでは、振動板をその厚さ方向から見た平面視で、圧電体が振動板よりも一回り小さく、振動板の外縁部を除くように配置されている。そのため、振動板の外縁部が圧電体の伸縮による振動板の振動を阻害してしまい、振動板の変位量が低下するという問題がある。
本発明の目的は、振動板の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーターを提供すること、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を提供することにある。
上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の圧電アクチュエーターは、振動板と、
前記振動板上に配置され、圧電体を含む振動部と、を有し、
前記振動板と前記振動部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動板の前記振動部と重ならない部分に前記振動部と重なる部分よりも厚さが小さい薄肉部が配置されていることを特徴とする。
このように、振動板の振動部と重ならない部分の厚さを小さくすることで、振動部と重ならない部分が振動部の伸縮による振動板の振動を阻害してしまうことを低減することができる。そのため、振動板の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーターを提供することができる。
前記振動板上に配置され、圧電体を含む振動部と、を有し、
前記振動板と前記振動部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動板の前記振動部と重ならない部分に前記振動部と重なる部分よりも厚さが小さい薄肉部が配置されていることを特徴とする。
このように、振動板の振動部と重ならない部分の厚さを小さくすることで、振動部と重ならない部分が振動部の伸縮による振動板の振動を阻害してしまうことを低減することができる。そのため、振動板の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーターを提供することができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記薄肉部は、前記振動板の厚さ方向から見た平面視で、前記振動板の外縁部の少なくとも一部に沿って配置されていることが好ましい。
このような外縁部は、振動部を配置し難い場所であるため、振動部の配置を阻害することなく薄肉部を配置することができる。
このような外縁部は、振動部を配置し難い場所であるため、振動部の配置を阻害することなく薄肉部を配置することができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動板に接続され、圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部と接触する部位である凸部を有することが好ましい。
これにより、被駆動部に振動板の振動を効率的に伝達することができる。
これにより、被駆動部に振動板の振動を効率的に伝達することができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動板に接続されている接続部を有し、
前記接続部の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きいことが好ましい。
これにより、接続部の機械的強度を高めることができる。
前記接続部の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きいことが好ましい。
これにより、接続部の機械的強度を高めることができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記薄肉部は、前記振動板の厚さ方向から見た平面視で、前記重なる部分の全周を囲っていることが好ましい。
これにより、振動板の変形量の低下をより効果的に低減することができる。
これにより、振動板の変形量の低下をより効果的に低減することができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動板の外縁部であって前記凸部と接続されている部分の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きいことが好ましい。
これにより、振動板の凸部と接続されている部分の機械的強度を高めることができ、例えば、振動板の破損や凸部の意図しない変位(撓み)等の可能性を低減することができる。
これにより、振動板の凸部と接続されている部分の機械的強度を高めることができ、例えば、振動板の破損や凸部の意図しない変位(撓み)等の可能性を低減することができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動板の外縁部であって前記接続部と接続されている部分の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きいことが好ましい。
これにより、振動板の接続部と接続されている部分の機械的強度を高めることができる。
これにより、振動板の接続部と接続されている部分の機械的強度を高めることができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記重なる部分には、前記振動板の前記振動部が配置されている側の裏面に開口する凹部が配置されていることが好ましい。
これにより、振動板の振動部と重なる部分をより変形させ易くすることができる。そのため、振動部の伸縮によって振動板をより大きく変形させることができる。
これにより、振動板の振動部と重なる部分をより変形させ易くすることができる。そのため、振動部の伸縮によって振動板をより大きく変形させることができる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記重なる部分と前記薄肉部との境界部には段差が配置され、
前記段差は、前記振動板の前記振動部が配置されている側の裏面に位置していることが好ましい。
これにより、例えば、振動板の裏面側からのエッチング等によって薄肉部を形成することができる。そのため、薄肉部を形成する際に振動部が邪魔にならず、薄肉部を容易に形成することができる。また、薄肉部を形成する際に振動部が損傷する可能性を低減することもできる。
前記段差は、前記振動板の前記振動部が配置されている側の裏面に位置していることが好ましい。
これにより、例えば、振動板の裏面側からのエッチング等によって薄肉部を形成することができる。そのため、薄肉部を形成する際に振動部が邪魔にならず、薄肉部を容易に形成することができる。また、薄肉部を形成する際に振動部が損傷する可能性を低減することもできる。
本発明の圧電アクチュエーターでは、前記振動板は、シリコンを含んでいることが好ましい。
これにより、振動板の構成が簡単となる。
これにより、振動板の構成が簡単となる。
本発明の圧電モーターは、本発明の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い圧電モーターが得られる。
これにより、信頼性の高い圧電モーターが得られる。
本発明のロボットは、本発明の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。
本発明の電子部品搬送装置は、本発明の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
これにより、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
以下、本発明の圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明の第1実施形態に係る圧電モーターについて説明する。
まず、本発明の第1実施形態に係る圧電モーターについて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す概略図である。図2は、図1に示す圧電モーターが備える圧電アクチュエーターの断面図(図1中のA−A線断面図)である。図3は、図1に示す圧電モーターの駆動を説明する概略図である。図4は、図2に示す圧電アクチュエーターを図1とは反対の主面側から見た平面図である。なお、「主面側」とは振動部が配置されている側の振動板の面側である。
図1に示す圧電モーター100(超音波モーター)は、回動軸Oまわりに回転可能な被駆動部(従動部)としてのローター6と、ローター6の外周面61に当接する圧電アクチュエーター1と、を有している。このような圧電モーター100では、圧電アクチュエーター1を駆動(振動)させることで、ローター6を回動軸Oまわりに回転させることができる。なお、圧電モーター100の構成としては図1の構成に限定されない。例えば、本実施形態では、圧電アクチュエーター1により駆動される被駆動部として、回転移動するローター6を用いているが、これに限定されず、例えば、被駆動部として直線移動するものを用いてもよい。
図1に示すように、圧電アクチュエーター1は、振動板21と、振動板21上(振動板の上面。一方の主面)に配置され、圧電体32を含む振動部320と、を有し、振動板21と振動部320とが重なる方向(振動板21の厚さ方向)から見た平面視(以下、単に「平面視」ともいう)で、振動板21の振動部320と重ならない部分に振動部320と重なる部分よりも厚さが小さい(薄い)薄肉部212が配置されている。このような構成によれば、薄肉部212によって振動板21の振動部320と重ならない部分を柔らかくすることができ、振動部320と重ならない部分が振動部320の伸縮による振動板21の振動(変形)を阻害してしまうことを低減することができる。そのため、振動板21の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーター1、言い換えると、振動板21に大きな変位を発生させることのできる圧電アクチュエーター1を提供することができる。以下、このような圧電アクチュエーター1について、詳細に説明する。
図1に示すように、圧電アクチュエーター1は、基板2と、圧電素子3と、を有している。基板2は、振動板21と、固定部22と、振動板21と固定部22とを接続する1対の接続部231、232と、振動板21に接続され、圧電アクチュエーター1により駆動されるローター6(被駆動部)に接触する部位である凸部24(接触部)と、を有している。このような構成では、図示していないが、固定部22において、圧電アクチュエーター1が対象物に固定される。なお、以下では、説明の便宜上、振動板21の凸部24が設けられている側を先端側とし、反対側を基端側とする。
振動板21は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、略長方形状をなしている。また、固定部22は、振動板21の基端側を囲むようにU字形状となっている。また、接続部231、232は、振動板21の幅方向両側に位置し、振動板21を両持ち支持するようにして振動板21と固定部22とを接続している。また、接続部231、232は、振動板21が変形する際の節となる部分に配置されている(図3参照)。また、凸部24は、振動板21の先端部に接続されており、振動板21から先端側へ突出していると共に、その先端面がローター6の外周面61に接触している。このような凸部24を有することで、ローター6に振動板21の振動を効率的に伝達することができる。また、振動板21とローター6の接触を防止でき、振動板21の破損の可能性を低減することができる。なお、振動板21、固定部22、接続部231、232および凸部24の形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
このような基板2は、シリコン基板(半導体基板)から形成されている。すなわち、振動板21は、シリコンを含んでいる。このような構成とすることで、基板2(振動板21)の構成が簡単となる。また、例えば、半導体プロセスを用いて振動板21上に圧電素子3を形成することができるため、圧電アクチュエーター1の製造が容易となる。なお、図示しないが、振動板21の表面には絶縁層が設けられている。例えば、振動板21としてシリコン基板を用いる場合、絶縁層は、シリコン基板の表面を熱酸化して形成した酸化シリコンで構成することができる。
複数の圧電素子3は、5つの駆動用の圧電素子3a、3b、3c、3d、3eを含んでいる。圧電素子3eは、振動板21の幅方向の中央部において、振動板21の長手方向に沿って配置されている。この圧電素子3eに対して振動板21の幅方向の一方側には圧電素子3a、3bが振動板21の長手方向に沿って配置され、他方側には圧電素子3c、3dが振動板21の長手方向に沿って配置されている。
このように配置された5つの圧電素子3a、3b、3c、3d、3eは、図1および図2に示すように、それぞれ、振動板21上に設けられた第1電極31と、第1電極31上に設けられた圧電体32と、圧電体32上に設けられた第2電極33と、を有している。
第1電極31は、圧電素子3a、3b、3c、3d、3eに共通して設けられた共通電極である。一方、第2電極33は、圧電素子3a、3b、3c、3d、3eごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体32は、圧電素子3a、3b、3c、3d、3eに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体32は、圧電素子3a、3b、3c、3d、3eごとに個別に設けられていてもよい。また、本実施形態とは逆に、第1電極31が圧電素子3a、3b、3c、3d、3eごとに個別に設けられ、第2電極33が圧電素子3a、3b、3c、3d、3eに共通して設けられていてもよい。
第1電極31および第2電極33の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、金(Au)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、銅(Cu)等の金属材料が用いられる。また、第1電極31および第2電極33は、それぞれ、蒸着、スパッタリング等により形成することができる。
圧電体32は、振動板21の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることにより振動板21の長手方向を含む振動板21の面内方向に伸縮する。圧電体32の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム(BST)、タンタル酸ストロンチウムビスマス(SBT)、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体32は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。なお、圧電体32の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
ここで、圧電体32では、第1電極31と第2電極33とで挟まれた領域が通電により伸縮する振動部320となる。すなわち、圧電体32は、振動部320として、第1電極31と圧電素子3aの第2電極33とで挟まれた第1振動部320aと、第1電極31と圧電素子3bの第2電極33とで挟まれた第2振動部320bと、第1電極31と圧電素子3cの第2電極33とで挟まれた第3振動部320cと、第1電極31と圧電素子3dの第2電極33とで挟まれた第4振動部320dと、第1電極31と圧電素子3eの第2電極33とで挟まれた第5振動部320eと、を有している。
以上のような圧電アクチュエーター1の作動の一例を説明する。ただし、圧電アクチュエーター1の作動方法は、以下の方法に限定されない。所定の周波数の駆動信号(交番電圧)を、圧電素子3a、3dと圧電素子3b、3cとの位相差が180°となり、圧電素子3a、3dと圧電素子3eとの位相差が30°となるように各圧電素子3a、3b、3c、3d、3eに印加すると、図3に示すように、各振動部320a、320b、320c、320d、320eがそれぞれ伸縮して振動板21がその面内方向でS字形状に屈曲変形(長手方向へ伸縮変形すると共に幅方向へ屈曲変形)し、凸部24の先端が楕円運動する。その結果、ローター6は、その回動軸Oまわりに矢印方向に回転する。なお、圧電素子3a、3dとの位相差が210°となるように圧電素子3eに駆動信号を印加すれば、ローター6を逆回転させることができる。
次に、前述した基板2の構成についてさらに詳細に説明する。前述したように、振動板21は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、振動板21の振動部320と重ならない部分に振動部320と重なる部分よりも厚さが小さい(薄い)薄肉部212が配置されている。より具体的には、図4に示すように、振動板21は、振動部320と重なる部分に設けられた厚肉部211と、振動部320と重ならない部分に設けられ、厚肉部211よりも厚さが小さい(薄い)薄肉部212と、を有している。
また、図4に示すように、薄肉部212は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、振動板21の外縁部の少なくとも一部に沿って配置されている。振動板21の外縁部は、圧電アクチュエーター1の製造上(例えば、基板2とバルクの圧電体32との貼り合せ精度上)、圧電素子3を配置し難い領域である。また、仮に、振動板21の外縁部に圧電素子3を配置した場合、圧電素子3が接触等によって破損し易くなり、例えば、圧電体32が欠けてしまうことで第1電極31と第2電極33とがショートして振動特性が悪化するおそれもある。この問題は、特に、ゾル−ゲル法やスパッタリングを用いて形成された薄膜の圧電体32の場合に顕著である。そのため、振動板21の振動部320の外周部(振動板21の外縁部)には、振動板21の余白部分残しておくのが良いが、本実施形態のように、振動板21の外縁部の少なくとも一部に沿って薄肉部212を配置することで、前記問題を解決することができると共に、振動板21のスペースを有効活用することができる。言い換えると、圧電素子3の配置を阻害することなく、薄肉部212を配置することができる。
さらに本実施形態では、薄肉部212は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、厚肉部211を囲むように、振動板21の外縁部の一部を除いてほぼ全周にわたって形成されている。振動板21の外縁部のうち、薄肉部212が形成されていない領域は、凸部24との接続部と接続部231、232との接続部であり、薄肉部212は、振動板21の外周部に沿って4分割されて配置されている。
振動板21の外縁部であって凸部24と接続されている部分214の厚さは、薄肉部212の厚さよりも厚くなっている(大きくなっている)。これにより、振動板21の凸部24と接続されている部分214の機械的強度を高めることができ、例えば、振動板21の破損や凸部24の意図しない変位(撓み)等の可能性を低減することができる。なお、凸部24と接続されている部分214は、凸部24と厚肉部211とを接続しており、凸部24および厚肉部211と同じ厚さとなっている。これにより、部分214を厚肉部211と異なる厚さとする場合と比較して、部分214の厚さを調整する工程が不要となる分、部分214の形成が容易となる。なお、以下では、部分214を厚肉部211の一部ともみなす。
また、振動板21の外縁部であって接続部231、232と接続されている部分215の厚さは、薄肉部212の厚さよりも厚くなっている(大きくなっている)。これにより、振動板21の接続部231、232と接続されている部分215の機械的強度を高めることができ、例えば、当該部分215の破損の可能性を低減することができる。なお、接続部231、232と接続されている部分215は、接続部231、232と厚肉部211とを接続しており、接続部231、232および厚肉部211と同じ厚さとなっている。これにより、部分215を厚肉部211と異なる厚さとする場合と比較して、部分215の厚さを調整する工程が不要となる分、部分215の形成が容易となる。なお、以下では、部分215を厚肉部211の一部ともみなす。
また、図2に示すように、本実施形態では、厚肉部211(振動部320と重なる部分)と薄肉部212との境界部に段差213が配置されており、段差部213は、振動板21の圧電素子3が配置されている側の裏面(他方の主面)に位置している。言い換えると、薄肉部212は、振動板21の一方の主面側に偏在している。また、厚肉部211および薄肉部212は、振動板21の圧電素子3が配置されている側の主面において面一となっている。これにより、例えば、振動板21の圧電素子3が配置されている主面とは反対の主面側をエッチング(特に、反応性イオンエッチング等のドライエッチング(シリコンディープエッチング))等によって除去することで薄肉部212を形成することができる。薄肉部212は、例えば、振動板21に圧電素子3を配置した後に形成するため、このような構成によれば、薄肉部212を形成する際に圧電素子3が邪魔にならず、薄肉部212を容易に形成することができる。また、薄肉部212を形成する際にエッチングにより圧電素子3が損傷する可能性を低減することもできる。
なお、本実施形態では、薄肉部212は、振動板21の他方の主面側に偏在していてもよいし、振動板21の厚さ方向の中央部に位置していてもよい。
また、本実施形態では、厚肉部211は、振動板21の幅方向の中央部において、振動板21の長手方向の全域にわたって直線的に延在する第1延在部211aと、振動板21の長手方向の中央部において、振動板21の幅方向の全域にわたって直線的に延在する第2延在部211bと、を有している。第1延在部211aの先端部は、凸部24と接続されており、第2延在部211bの両端部は、接続部231、232に接続されている。このような第1、第2延在部211a、211bを有することで、振動板21の機械的強度を効果的に高めることができ、振動板21が破損し難くなる。
ここで、薄肉部212の厚さとしては、振動板21の大きさ(平面サイズ)によっても異なるが、例えば、厚肉部211の厚さの1/5以上、1/2以下とすることが好ましい。このような条件を満足することで、薄肉部212の機械的強度を維持しつつ、薄肉部212を十分に薄くすることができる。また、振動板21の具体的なサイズの一例としては、例えば、振動板21の長さを3.5mm程度とし、厚肉部211の厚さを100μm程度とし、薄肉部212の厚さを25μm程度とし、薄肉部212の幅を60μm程度とすることができる。なお、薄肉部212の厚さは、薄肉部212全域にわたって同一でもよいし、異なる部分があってもよい。
以上のような振動板21に接続されている接続部231、232の厚さは、薄肉部212の厚さよりも厚くなっている(大きくなっている)。これにより、接続部231、232の機械的強度を高めることができる。なお、接続部231、232は、厚肉部211と同じ厚さとなっている。これにより、接続部231、232の機械的強度を十分に確保することができると共に、基板2から接続部231、232を容易に形成することができる。
以上のような圧電アクチュエーター1によれば、振動板21の振動部320と重ならない部分に薄肉部212を有しているため、振動板21の振動部320と重ならない部分を柔らかくすることができ、振動部320と重ならない部分が振動部320の伸縮による振動板21の振動(変形)を阻害してしまうことを低減することができる。そのため、振動板21の変形量の低下を低減することのできる圧電アクチュエーター1、言い換えると、振動板21に大きな変位を発生させることのできる圧電アクチュエーター1となる。また、このような圧電アクチュエーター1を備える圧電モーター100は、上述した圧電アクチュエーター1の効果を享受することができるため、優れた信頼性を発揮することができる。
なお、本実施形態の圧電アクチュエーター1では振動板21に5つの圧電素子3a、3b、3c、3d、3eが配置された構成について説明したが、振動板21に配置する圧電素子3の数としては、振動板21を振動させることができれば特に限定されず、1つ以上、4つ以下であってもよいし、6つ以上であってもよい。また、圧電素子3の配置としても特に限定されない。
また、本実施形態では、基板2をシリコン基板で構成しているが、例えば、基板2をSOI基板(2つのシリコン層の間に酸化シリコン層が介在している基板)で構成してもよい。SOI基板によれば、薄肉部212を形成するために一方のシリコン層側からエッチングする際に、酸化シリコン層がエッチングストップ層として機能するため、薄肉部212をより精度よく形成することができる。
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図5は、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエーターの平面図である。図6は、図5中のB−B線断面図である。
本実施形態は、振動板の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図5において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
図5および図6に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター1では、薄肉部212は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、振動部320と重なる部分(厚肉部211)の全周を囲っている。言い換えると、薄肉部212は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、振動板21の外縁部に沿って、外縁部の全周にわたって枠状(環状)に配置されている。そのため、凸部24と厚肉部211との間には薄肉部212が形成され、薄肉部212によってこれらが分断されている。同様に、接続部231、232と厚肉部211との間にも薄肉部212が形成され、薄肉部212によってこれらが分断されている。このような構成とすることで、例えば、前述した第1実施形態と比較して、振動板21の振動部320と重ならない部分における薄肉部212の占有率を高めることができ、振動板21の振動部320と重ならない部分をより柔らかくすることができる。よって、振動板21の振動部320と重ならない部分が振動部320の伸縮による振動板21の振動(変形)を阻害してしまうことをより効果的に低減することができる。そのため、振動板21の変形量の低下をより効果的に低減することのできる圧電アクチュエーター1、言い換えると、振動板21により大きな変位を発生させることのできる圧電アクチュエーター1となる。
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図7は、本発明の第3実施形態に係る圧電アクチュエーターの平面図である。
本実施形態は、振動板の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態と同様である。
本実施形態は、振動板の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図7において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
図7に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター1では、薄肉部212は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、振動部320と重ならない部分に加えて、振動部320と重なる部分の一部にも設けられている。すなわち、振動板21の振動部320と重なる部分には、厚肉部211と薄肉部212とが共に配置されている。特に、本実施形態では、薄肉部212は、振動板21の振動部320a、320b、320c、320dと重なる部分に配置されており、厚肉部211は、振動板21の振動部320eと重なる部分に配置されている。また、厚肉部211は、第1延在部211aと第2延在部211bとからなる十字形状をなしている。
このような構成によれば、例えば、前述した第1実施形態と比較して、振動板21に対する薄肉部212の占有率を高めることができるため、振動板21により大きな変位を発生させることのできる圧電アクチュエーター1となる。特に、本実施形態では、前述したように、薄肉部212が振動部320a、320b、320c、320dと重なる部分に配置されている。これら振動部320a、320b、320c、320dは、振動板21を主に横方向(斜め方向)に屈曲変形させるのに用いられる圧電素子であるため、各振動部320a、320b、320c、320dと重なる部分に薄肉部212を設けることで、振動板21の振動バランス(変形バランス)が崩れてしまうことを抑制することができる。また、このような構成によれば、前述したように、厚肉部211が第1延在部211aおよび第2延在部211bを有する構成とし易く、振動板21の機械的強度の過度な低下も抑制することができる。
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る圧電アクチュエーターについて説明する。
図8は、本発明の第4実施形態に係る圧電アクチュエーターの平面図である。図9は、図8中のC−C線断面図である。
本実施形態は、振動板の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態と同様である。
なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図8において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
図8および図9に示すように、本実施形態の圧電アクチュエーター1では、振動板21の振動部320と重なる部分には、振動板21の圧電素子3が配置されている側の裏面(他方の主面)に開口する凹部219が配置されている。なお、この凹部219の底部は、薄肉部212と同様の薄肉部であるとも言える。このような凹部219を配置することで、例えば、前述した第1実施形態と比較して、振動板21の振動部320と重なる部分をより変形させ易くすることができる。そのため、振動部320の伸縮によって振動板21をより大きく変形させることができる。特に、凹部219を振動板21の圧電素子3が配置されている主面とは反対の主面に開口させることで、凹部219をエッチング等により容易に形成することができる。なお、凹部219の深さとしては、特に限定されないが、例えば、段差213の深さと等しいことが好ましい。これにより、凹部219と薄肉部212とを同一エッチング工程で一括して形成することができる。そのため、圧電アクチュエーター1の製造工程をより少なくすることができる。
なお、凹部219の形状、配置、数としては特に限定されないが、本実施形態では複数の219が振動板21の長手方向および幅方向に行列状に並ぶと共に、振動板21の中心に対して対称となるように複数配置されている。より具体的には、凹部219は、振動板21の厚さ方向から見た平面視で、第1振動部320aに内包されて重なるように配置された複数の第1凹部219aと、第2振動部320bに内包されて重なるように配置された複数の第2凹部219bと、第3振動部320cに内包されて重なるように配置された複数の第3凹部219cと、第4振動部320dに内包されて重なるように配置された複数の第4凹部219dと、第5振動部320eに内包されて重なるように配置された複数の第5凹部219eと、を有している。このように、各振動部320a、320b、320c、320d、320eの配置に対応して複数の凹部219を配置することで、振動板21の振動バランスを保つことができる。
このような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第5実施形態>
次に、本発明の第5実施形態に係るロボットについて説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係るロボットについて説明する。
図10は、本発明の第5実施形態に係るロボットの斜視図である。
図10に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の駆動を制御する制御部1080と、を有している。また、アーム1070にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電モーター100(圧電アクチュエーター1)が搭載されており、この圧電モーター100の駆動によって各アーム1020、1030、1040、1050、1060、1070が回動する。なお、各圧電モーター100の駆動は、制御部1080によって制御される。
図10に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の駆動を制御する制御部1080と、を有している。また、アーム1070にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電モーター100(圧電アクチュエーター1)が搭載されており、この圧電モーター100の駆動によって各アーム1020、1030、1040、1050、1060、1070が回動する。なお、各圧電モーター100の駆動は、制御部1080によって制御される。
このようなロボット1000は、圧電モーター100(圧電アクチュエーター1)を備えているため、上述した圧電アクチュエーター1の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。
<第6実施形態>
次に、本発明の第6実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
次に、本発明の第6実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
図11は、本発明の第6実施形態に係る電子部品搬送装置の斜視図である。図12は、図9に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部の斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。
図11に示す電子部品搬送装置2000は、電子部品検査装置に適用されており、基台2100と、基台2100の側方に配置された支持台2200と、を有している。また、基台2100には、検査対象の電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される上流側ステージ2110と、検査済みの電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される下流側ステージ2120と、上流側ステージ2110と下流側ステージ2120との間に位置し、電子部品Qの電気的特性を検査する検査台2130と、が設けられている。なお、電子部品Qの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、CLDやOLED等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイス等などが挙げられる。
また、支持台2200には、支持台2200に対してY軸方向に移動可能なYステージ2210が設けられており、Yステージ2210には、Yステージ2210に対してX軸方向に移動可能なXステージ2220が設けられており、Xステージ2220には、Xステージ2220に対してZ軸方向に移動可能な電子部品保持部2230が設けられている。また、図12に示すように、電子部品保持部2230は、X軸方向およびY軸方向に移動可能な微調整プレート2231と、微調整プレート2231に対してZ軸まわりに回動可能な回動部2232と、回動部2232に設けられ、電子部品Qを保持する保持部2233と、を有している。また、電子部品保持部2230には、微調整プレート2231をX軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター1(1x)と、微調整プレート2231をY軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター1(1y)と、回動部2232をZ軸まわりに回動させるための圧電アクチュエーター1(1θ)と、が内蔵されている。
このような電子部品搬送装置2000は、圧電アクチュエーター1を備えているため、上述した圧電アクチュエーター1の効果を享受することができ、優れた信頼性を発揮することができる。
以上、本発明の圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態では、圧電アクチュエーターをロボットや電子部品搬送装置に適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスに適用することができる。より具体的には、例えば、圧電アクチュエーターは、プリンターの紙送りローラーの駆動源、プリンターのインクジェットヘッドの駆動源等に適用することができる。
1、1x、1y、1θ…圧電アクチュエーター、2…基板、21…振動板、211…厚肉部、211a…第1延在部、211b…第2延在部、212…薄肉部、213…段差、214…部分、215…部分、219…凹部、219a…第1凹部、219b…第2凹部、219c…第3凹部、219d…第4凹部、219e…第5凹部、22…固定部、231、232…接続部、24…凸部、3、3a、3b、3c、3d、3e…圧電素子、31…第1電極、32…圧電体、320…振動部、320a…第1振動部、320b…第2振動部、320c…第3振動部、320d…第4振動部、320e…第5振動部、33…第2電極、6…ローター、61…外周面、100…圧電モーター、1000…ロボット、1010…ベース、1020、1030、1040、1050、1060、1070…アーム、1080…制御部、1090…エンドエフェクター、2000…電子部品搬送装置、2100…基台、2110…上流側ステージ、2120…下流側ステージ、2130…検査台、2200…支持台、2210…Yステージ、2220…Xステージ、2230…電子部品保持部、2231…微調整プレート、2232…回動部、2233…保持部、O…回動軸、Q…電子部品
Claims (13)
- 振動板と、
前記振動板上に配置され、圧電体を含む振動部と、を有し、
前記振動板と前記振動部とが重なる方向から見た平面視で、前記振動板の前記振動部と重ならない部分に前記振動部と重なる部分よりも厚さが小さい薄肉部が配置されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 前記薄肉部は、前記振動板の厚さ方向から見た平面視で、前記振動板の外縁部の少なくとも一部に沿って配置されている請求項1に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記振動板に接続され、圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部と接触する部位である凸部を有する請求項1または2に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記振動板に接続されている接続部を有し、
前記接続部の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きい請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記薄肉部は、前記振動板の厚さ方向から見た平面視で、前記重なる部分の全周を囲っている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記振動板の外縁部であって前記凸部と接続されている部分の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きい請求項3に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記振動板の外縁部であって前記接続部と接続されている部分の厚さは、前記薄肉部の厚さよりも大きい請求項4に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記重なる部分には、前記振動板の前記振動部が配置されている側の裏面に開口する凹部が配置されている請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記重なる部分と前記薄肉部との境界部には段差が配置され、
前記段差は、前記振動板の前記振動部が配置されている側の裏面に位置している請求項1ないし8のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記振動板は、シリコンを含んでいる請求項1ないし9のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーター。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする圧電モーター。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするロボット。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016149425A JP2018019540A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016149425A JP2018019540A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018019540A true JP2018019540A (ja) | 2018-02-01 |
Family
ID=61082122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016149425A Pending JP2018019540A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018019540A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112636630A (zh) * | 2019-09-24 | 2021-04-09 | 精工爱普生株式会社 | 压电致动器、压电电机及机器人 |
-
2016
- 2016-07-29 JP JP2016149425A patent/JP2018019540A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112636630A (zh) * | 2019-09-24 | 2021-04-09 | 精工爱普生株式会社 | 压电致动器、压电电机及机器人 |
CN112636630B (zh) * | 2019-09-24 | 2023-05-23 | 精工爱普生株式会社 | 压电致动器、压电电机及机器人 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6405785B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
US10179405B2 (en) | Piezoelectric drive device, robot, and drive method thereof | |
US9827672B2 (en) | Piezoelectric drive device, driving method thereof, robot, and driving method thereof | |
US11581477B2 (en) | Vibrator, piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, electronic component conveyance apparatus, and manufacturing method of vibrator | |
JP6439466B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 | |
JP2017017916A (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 | |
JP2018050435A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電アクチュエーターの製造方法 | |
JP2018019529A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 | |
US20170008167A1 (en) | Piezoelectric drive device, robot, and method for driving piezoelectric drive device | |
JP2007326204A (ja) | アクチュエータ | |
JP2016082834A (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP2018019540A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 | |
JP6459291B2 (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP2017034784A (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び圧電駆動装置の駆動方法 | |
JP2016082835A (ja) | 圧電駆動装置、指アシスト装置及びロボット | |
JP6601174B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、積層アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド及び送液ポンプ | |
JP2016178737A (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 | |
JP6361365B2 (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP2018037829A (ja) | 振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置および振動子の製造方法 | |
JP2017017970A (ja) | 圧電駆動装置及びロボット | |
JP6413618B2 (ja) | 指関節駆動装置 | |
JP7517020B2 (ja) | 圧電駆動装置及びロボット | |
JP2018074011A (ja) | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電駆動装置の製造方法 | |
JP2017135935A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよび送液ポンプ | |
JP2017112650A (ja) | 振動体、積層振動体、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよび送液ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180907 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181120 |