JP2017017970A - 圧電駆動装置及びロボット - Google Patents
圧電駆動装置及びロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017017970A JP2017017970A JP2015135776A JP2015135776A JP2017017970A JP 2017017970 A JP2017017970 A JP 2017017970A JP 2015135776 A JP2015135776 A JP 2015135776A JP 2015135776 A JP2015135776 A JP 2015135776A JP 2017017970 A JP2017017970 A JP 2017017970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- resonance frequency
- vibration
- driving device
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 42
- 230000008859 change Effects 0.000 description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 12
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- NOESYZHRGYRDHS-UHFFFAOYSA-N insulin Chemical compound N1C(=O)C(NC(=O)C(CCC(N)=O)NC(=O)C(CCC(O)=O)NC(=O)C(C(C)C)NC(=O)C(NC(=O)CN)C(C)CC)CSSCC(C(NC(CO)C(=O)NC(CC(C)C)C(=O)NC(CC=2C=CC(O)=CC=2)C(=O)NC(CCC(N)=O)C(=O)NC(CC(C)C)C(=O)NC(CCC(O)=O)C(=O)NC(CC(N)=O)C(=O)NC(CC=2C=CC(O)=CC=2)C(=O)NC(CSSCC(NC(=O)C(C(C)C)NC(=O)C(CC(C)C)NC(=O)C(CC=2C=CC(O)=CC=2)NC(=O)C(CC(C)C)NC(=O)C(C)NC(=O)C(CCC(O)=O)NC(=O)C(C(C)C)NC(=O)C(CC(C)C)NC(=O)C(CC=2NC=NC=2)NC(=O)C(CO)NC(=O)CNC2=O)C(=O)NCC(=O)NC(CCC(O)=O)C(=O)NC(CCCNC(N)=N)C(=O)NCC(=O)NC(CC=3C=CC=CC=3)C(=O)NC(CC=3C=CC=CC=3)C(=O)NC(CC=3C=CC(O)=CC=3)C(=O)NC(C(C)O)C(=O)N3C(CCC3)C(=O)NC(CCCCN)C(=O)NC(C)C(O)=O)C(=O)NC(CC(N)=O)C(O)=O)=O)NC(=O)C(C(C)CC)NC(=O)C(CO)NC(=O)C(C(C)O)NC(=O)C1CSSCC2NC(=O)C(CC(C)C)NC(=O)C(NC(=O)C(CCC(N)=O)NC(=O)C(CC(N)=O)NC(=O)C(NC(=O)C(N)CC=1C=CC=CC=1)C(C)C)CC1=CN=CN1 NOESYZHRGYRDHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 210000003857 wrist joint Anatomy 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000004877 Insulin Human genes 0.000 description 1
- 108090001061 Insulin Proteins 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Bi] Chemical compound [Sr].[Bi] VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSXCBNDGHHHVKT-UHFFFAOYSA-N [Ti].[Sr].[Ba] Chemical compound [Ti].[Sr].[Ba] NSXCBNDGHHHVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940125396 insulin Drugs 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
Abstract
Description
この形態によれば、複数の圧電駆動のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が平均共振周波数の0.001%以上5%以下の範囲内である複数の圧電振動部で被駆動部材を駆動する。この場合、複数の圧電振動部のそれぞれの周波数特性、例えば、インピーダンス特性が重なり合うことによって、被駆動部材を駆動する圧電駆動装置全体でのインピーダンス特性において、周波数変化に対するインピーダンス変化(変化率)を低く抑えることができ、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
この形態においても、複数数の圧電駆動のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が平均共振周波数の0.003%以上5%以下の範囲内である複数の圧電振動部で被駆動部を駆動することにより、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
この形態においても、複数数の圧電駆動のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が平均共振周波数の0.1%以上5%以下の範囲内である複数の圧電振動部で被駆動部を駆動することにより、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
この形態においても、複数数の圧電駆動のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が平均共振周波数の1%を超え5%以下の範囲内である複数の圧電振動部で被駆動部を駆動することにより、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
この形態によれば、1つの圧電振動ユニットを構成する複数の圧電振動部が一体形成されることによって、それぞれの周波数特性、例えば、インピーダンス特性が重なり合って合成される効果が高められる。このため、圧電駆動装置全体でのインピーダンス特性において、周波数変化に対するインピーダンス変化(変化率)をより効果的に低く抑えることができ、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動をより効果的に抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
この形態によれば、複数の圧電振動部が一体形成された圧電駆動ユニットでの周波数特性、例えば、インピーダンス特性において、周波数変化に対するインピーダンス変化(変化率)をより効果的に低く抑えることができ、圧電振動ユニットが被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を効果的に抑制することができる。また、複数の圧電振動ユニットのそれぞれのインピーダンス特性が重なり合うことによって、圧電駆動装置全体でのインピーダンス特性において、周波数変化に対するインピーダンス変化(変化率)を低く抑えることができ、圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制することができ、駆動効率を向上させることができる。
図1(A)は第1実施形態における圧電駆動装置10の概略平面図であり、図1(B)はそのB−B断面図である。圧電駆動装置10は、複数の圧電振動部100を備えるものであり、図1は、2つの圧電振動部100a,100bを備えた構成を例に示している。圧電振動部100a,100bは、それぞれ、基板200と、基板200上に形成された圧電素子110とを備えた同じ構成を有しており、圧電駆動装置10は、圧電振動部100a,100bのそれぞれの基板200同士を向かい合せて不図示の接着剤により接合させて一体形成したユニット(「圧電振動ユニット」とも呼ぶ)で構成されている。以下では、圧電振動部100a,100bを区別して説明する場合を除いて、単に「圧電振動部100」として説明する。
frv=(krv/l)・(E/ρ)1/2 …(1)
frh=(krh・w/l2)・(E/ρ)1/2 …(2)
ここで、lは圧電振動部の長さ、wは圧電振動部の幅、Eは圧電振動部を構成する部材のヤング率、ρは圧電振動部を構成する部材の密度である。また、krv,krhは圧電振動部を構成する部材から求められる定数であり、本例では、krv=1/2、krh=2.83である。
L/W=l/w=krh/krv …(3)
図10は、第2実施形態における圧電駆動装置10dの概略構成図である。第1実施形態では、2つの圧電振動部100a,100bが一体形成された1つの圧電振動ユニットを備える圧電駆動装置10及びその変形例について説明したが、これに限定されるものではない。図10に示すように、複数(図の例では4つ)の圧電振動ユニット180を備えた構成の圧電駆動装置10dとしてもよい。なお、圧電振動ユニット180は、2つの圧電振動部100a,100bが一体形成されたものであり、第1実施形態の圧電駆動装置10に相当する。但し、複数の圧電振動ユニット180は、それぞれに含まれる圧電振動部100の共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が、平均共振周波数の0.001%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の0.003%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の0.1%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の1%を超え5%以下の範囲内である圧電振動部で構成されていればよい。
図11は、第3実施形態における圧電駆動装置10eの概略構成図である。第2実施形態では、複数の圧電振動ユニット180を備える構成の圧電駆動装置10dを例に示したが、図11に示すように、複数の圧電振動部100を備えた構成の圧電駆動装置10eとしてもよい。但し、複数の圧電振動部100としては、上述したように、それぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差が、平均共振周波数の0.001%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の0.003%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の0.1%以上5%以下の範囲内、または、平均共振周波数の1%を超え5%以下の範囲内である複数の圧電振動部が用いられる。
図12(A)は、他の実施形態としての圧電振動部100eの平面図であり、上記実施形態の図1(A)に対応する図である。図12(A)〜(C)では、図示の便宜上、振動体210のみを図示し、固定部220や接続部230は、図示が省略されている。図12(A)の圧電振動部100eでは、一対の圧電素子110b,110cが省略されている。この圧電振動部100eを用いた圧電駆動装置も、図5に示すような1つの方向zに被駆動部材(ローター)50を回転させることが可能である。なお、図12(A)の3つの圧電素子110a,110e,110dの第2電極150a,150e,150dには同じ電圧が印加されるので、これらの3つの第2電極150a,150e,150dを、連続する1つの電極層として形成してもよい。
図13は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置10j,10kの断面図であり、図1(B)に対応する図である。第1実施形態の圧電駆動装置10では、基板200を成膜プロセスの基板として機能させるとともに、基板200の振動体210を振動板として機能させる構成を例に説明した。しかしながら、これに限定されるものではなく、以下で説明するように、成膜プロセスの基板と、振動板とを独立して備える構成としてもよい。
上述した圧電駆動装置は、共振を利用することで被駆動部材に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置は、例えば、ロボット、電子部品搬送装置(ICハンドラー)、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置(例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。)等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
12…チューブ
20…接触部
30…駆動回路
50…被駆動部材(ローター)
51…被駆動部材の中心
100,100a,100b,100c,100d,100e,100f,100g…圧電振動部
110a,110b,110c,110d,110e…圧電素子
110j,110k…圧電素子
120…基板
125…絶縁層
130…第1電極
140…圧電体
150,150a,150b,150c,150d,150e…第2電極
151,152…配線
180…圧電振動ユニット
200…基板(振動板)
205…隙間
210…振動体
211…第1辺
212…第2辺
213…第3辺
214…第4辺
215…第1面
216…第2面
220…固定部
230…接続部
231…第1接続部
232…第2接続部
310,312,314,320…配線
2000…ロボットハンド
2003…把持部
2010…アーム
2012…リンク部
2020…関節部
2022…手首回動部
2050…ロボット
2200…送液ポンプ
2202…カム
2202A…突起部
2211…リザーバー
2212…チューブ
2213…フィンガー
2222…ローター
2223…減速伝達機構
2230…ケース
Claims (9)
- 被駆動部材を駆動する複数の圧電振動部を備え、
前記複数の圧電振動部のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差は、前記複数の圧電駆動部の平均共振周波数の0.001%以上5%以下の範囲内である、圧電駆動装置。 - 請求項1に記載の圧電駆動装置であって、
前記最大の共振周波数と前記最小の共振周波数との差は、前記平均共振周波数の0.003%以上5%以下の範囲内である、圧電駆動装置。 - 請求項2に記載の圧電駆動装置であって、
前記最大の共振周波数と前記最小の共振周波数との差は、前記平均共振周波数の0.1%以上5%以下の範囲内である、圧電駆動装置。 - 請求項3に記載の圧電駆動装置であって、
前記最大の共振周波数と前記最小の共振周波数との差は、前記平均共振周波数の1%を超え5%以下の範囲内である、圧電駆動装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記複数の圧電振動部は、1つの圧電振動ユニットとして一体形成されている、圧電駆動装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記被駆動部材を駆動する複数の圧電振動ユニットを備え、
前記複数の圧電振動ユニットは、それぞれ、前記複数の圧電振動部のうちの少なくとも2以上の圧電振動部が一体形成されている、圧電駆動装置。 - 請求項1〜6のいずれ一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電振動部は、
振動板と、
第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に位置する圧電体と、を有し、前記振動板に設けられた圧電素子と、
前記振動板と前記圧電素子の少なくとも一方に設けられ、前記被駆動部材と接触可能な接触部と、
を備える、圧電駆動装置。 - 請求項7に記載の圧電駆動装置であって、
前記圧電体の厚さは、50nm以上20μm以下である、圧電駆動装置。 - 複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記圧電振動部を用いて前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015135776A JP6592993B2 (ja) | 2015-07-07 | 2015-07-07 | 圧電駆動装置及びロボット |
CN201610412956.1A CN106411173B (zh) | 2015-07-07 | 2016-06-13 | 压电驱动装置以及机器人 |
US15/196,424 US10493619B2 (en) | 2015-07-07 | 2016-06-29 | Piezoelectric drive device and robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015135776A JP6592993B2 (ja) | 2015-07-07 | 2015-07-07 | 圧電駆動装置及びロボット |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017017970A true JP2017017970A (ja) | 2017-01-19 |
JP2017017970A5 JP2017017970A5 (ja) | 2018-07-05 |
JP6592993B2 JP6592993B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=57731437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015135776A Active JP6592993B2 (ja) | 2015-07-07 | 2015-07-07 | 圧電駆動装置及びロボット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10493619B2 (ja) |
JP (1) | JP6592993B2 (ja) |
CN (1) | CN106411173B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019030091A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター |
JP2022121928A (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーターの制御方法およびロボット |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007336678A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Sharp Corp | 超音波振動子の振動特性の調整方法およびそれに用いられる超音波振動子 |
JP2012257424A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100367649C (zh) * | 1998-12-21 | 2008-02-06 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置和钟表 |
JP3926523B2 (ja) | 1999-10-07 | 2007-06-06 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータの駆動周波数制御方法 |
JP4103799B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2008-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | リニアアクチュエータ |
WO2003077410A1 (fr) * | 2002-03-11 | 2003-09-18 | Seiko Epson Corporation | Verin a transformation de rotation/mouvement |
JP4125041B2 (ja) | 2002-05-15 | 2008-07-23 | キヤノン株式会社 | 積層振動型アクチュエータの駆動装置 |
JP2004266943A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ、稼働装置、光学系切換機構および電気機器 |
JP2004320979A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
JP2004320980A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
JP4026632B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2007-12-26 | セイコーエプソン株式会社 | 小型飛行体 |
JP4506704B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータ |
US7564173B2 (en) * | 2006-08-23 | 2009-07-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric actuator device for ultrasonic motor |
WO2008120456A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-09 | Panasonic Corporation | 超音波アクチュエータ装置 |
JP4507006B2 (ja) * | 2007-11-15 | 2010-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動カッターの駆動方法 |
JP5262360B2 (ja) | 2008-07-03 | 2013-08-14 | 株式会社豊田自動織機 | 超音波モータの駆動方法及び駆動装置 |
JP5722231B2 (ja) | 2008-12-18 | 2015-05-20 | ディスカバリー テクノロジー インターナショナル,インク. | 組み合わせた共振器を備えて音響定在波に基づく圧電疑似共振モータ |
JP2010213537A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Nec Tokin Corp | アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置 |
WO2011163058A2 (en) * | 2010-06-21 | 2011-12-29 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Cell mass measurement and apparatus |
JP5257434B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2013-08-07 | 株式会社ニコン | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP5942403B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット |
JP5857843B2 (ja) | 2012-03-29 | 2016-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンドおよびロボット |
JP2013255959A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 |
JP2013258824A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | 移動機構、ロボットハンド、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、投影装置、搬送装置 |
JP5627655B2 (ja) | 2012-10-09 | 2014-11-19 | キヤノン株式会社 | 多自由度駆動装置 |
JP2014184524A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド、およびロボット |
JP2015211604A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター |
-
2015
- 2015-07-07 JP JP2015135776A patent/JP6592993B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-13 CN CN201610412956.1A patent/CN106411173B/zh active Active
- 2016-06-29 US US15/196,424 patent/US10493619B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007336678A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Sharp Corp | 超音波振動子の振動特性の調整方法およびそれに用いられる超音波振動子 |
JP2012257424A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6592993B2 (ja) | 2019-10-23 |
US20170012605A1 (en) | 2017-01-12 |
CN106411173A (zh) | 2017-02-15 |
US10493619B2 (en) | 2019-12-03 |
CN106411173B (zh) | 2019-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6405785B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
JP6398454B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
JP2017017916A (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 | |
JP6543951B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
CN107800324B (zh) | 振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置 | |
US20160226401A1 (en) | Piezoelectric drive device, robot, and drive method of robot | |
JP6592993B2 (ja) | 圧電駆動装置及びロボット | |
JP6442913B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
US9712087B2 (en) | Piezoelectric element drive circuit and robot | |
JP2016082834A (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP6766328B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び圧電駆動装置の駆動方法 | |
JP6543896B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
JP2016040984A (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP6432204B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 | |
JP6601174B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、積層アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド及び送液ポンプ | |
JP6641910B2 (ja) | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ | |
JP6662007B2 (ja) | 圧電駆動装置、モーター、ロボット、およびポンプ | |
JP6413461B2 (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP6432369B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 | |
JP2018074011A (ja) | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよび圧電駆動装置の製造方法 | |
JP2017135935A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよび送液ポンプ | |
JP6455017B2 (ja) | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 | |
JP2016158380A (ja) | 圧電素子駆動回路、及び、ロボット | |
JP2016144269A (ja) | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 | |
JP2017017895A (ja) | 圧電駆動装置、モーターおよびロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6592993 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |