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前記課題を解決するための塵埃除去装置は、少なくとも板状の圧電材料と前記圧電材料の板面に配置された一対の対向する電極により構成される板状の圧電素子と、振動板とからなる、基体に設置する塵埃除去装置であって、前記圧電素子の第１の電極面が前記振動板の板面に固着され、前記圧電材料は前記第１の電極面に対し１０°以内の方向に分極され、前記圧電素子の第２の電極面を介して基体に固定されていることを特徴とする。
前記課題を解決するための塵埃除去方法は、少なくとも板状の圧電材料と前記圧電材料の板面に配置された一対の対向する電極により構成される板状の圧電素子を介して基体に設置された振動板に付着した塵埃を除去する方法であって、前記圧電素子の第１の電極面を前記振動板の板面に固着し、前記圧電素子の第２の電極面を基体に固定し、前記圧電材料を前記第１の電極面に対し１０°以内の方向に分極した後、前記圧電素子を駆動して振動させる工程、前記圧電素子の振動により振動板に振動を発生させ、振動板の表面に付着した塵埃を除去する工程を有することを特徴とする。

Claims (12)

  1. 板状の圧電材料と前記圧電材料の板面に配置された一対の対向する電極により構成される板状の圧電素子と、振動板とを備えた、基体に設置する塵埃除去装置であって、前記圧電素子の第１の電極面が前記振動板の板面に固着され、前記圧電材料は前記第１の電極面に対し１０°以内の方向に分極され、前記圧電素子の第２の電極面を介して基体に固定されていることを特徴とする塵埃除去装置。
  2. 前記圧電素子が前記第２の電極面を基準面とする厚み滑り振動をすることを特徴とする請求項１に記載の塵埃除去装置。
  3. 前記圧電素子と前記振動板の接する面の面積が、前記振動板の面積の１／２より小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の塵埃除去装置。
  4. 前記圧電素子が直方体であり、前記圧電材料の分極軸方向が直方体のいずれかの辺と平行であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  5. 前記圧電素子が前記振動板の板面の端部に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  6. 前記圧電素子が複数からなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  7. 少なくとも一対の圧電素子が前記振動板の中央部を挟んで互いに配置され、かつ圧電材料の分極軸方向が前記一対の圧電素子の対向方向と平行であることを特徴とする請求項６に記載の塵埃除去装置。
  8. 前記圧電材料のＰｂ含有量が１０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  9. 前記圧電材料がチタン酸バリウムを主成分とする圧電セラミックスであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  10. 前記振動板が光学材料であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかの項に記載の塵埃除去装置。
  11. 少なくとも板状の圧電材料と前記圧電材料の板面に配置された一対の対向する電極により構成される板状の圧電素子を介して基体に設置された振動板に付着した塵埃を除去する方法であって、前記圧電素子の第１の電極面を前記振動板の板面に固着し、前記圧電素子の第２の電極面を基体に固定し、前記圧電材料を前記第１の電極面に対し１０°以内の方向に分極した後、前記圧電素子を駆動して振動させる工程、前記圧電素子の振動により振動板に振動を発生させ、振動板の表面に付着した塵埃を除去する工程を有することを特徴とする塵埃除去方法。
  12. 前記圧電素子が前記第２の電極面を基準面とする厚み滑り振動をすることを特徴とする請求項１１に記載の塵埃除去方法。
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