JP5664821B2 - 圧電ファン - Google Patents
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Description
本発明は、圧電素子を駆動源として羽板を振動させることで送風する圧電ファンに関するものである。
従来、特許文献1に示すように、平板状の羽板に圧電素子を配設し、当該圧電素子を駆動することで羽板を振動させて送風を行う圧電ファンが考案されている。
図7(A)は特許文献1に示す従来の圧電ファン10Pの外観斜視図であり、図7(B)は圧電ファン10Pの平面図であり、図7(C)は圧電ファン10Pの側面図である。
圧電ファン10Pは、振動板11、圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133P、支持体141,142を備える。なお、図7では、圧電素子131P,132Pを図示していない。
振動板11は、3枚の羽板111,112,113とベース部110とからなる。3枚の羽板111,112,113とベース部110とは一体形成されている。羽板111,112,113は、ベース部110の長手方向に沿って、羽板112、羽板111、羽板113の順で配置されている。
羽板111の一方の平板面には圧電素子121Pが設置されており、羽板111の他方の平板面には圧電素子131Pが設置されている。羽板112の一方の平板面には圧電素子122Pが設置されており、羽板112の他方の平板面には圧電素子132Pが設置されている。羽板113の一方の平板面には圧電素子123Pが設置されており、羽板113の他方の平板面には圧電素子133Pが設置されている。
このような構成からなる振動板11は、ベース部110の両平板面から支持体141,142で挟み込むことによって支持されている。この際、支持体141,142は、圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133Pの端面と支持体141,142の端面が当接するように設置される。
このような圧電ファン10Pに対して、配列方向の中央の羽板111と配列方向の両端の羽板112,113とが逆位相で振動するように、圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133Pの分極方向や印加電圧の向きが設定されている。このような設定を行うことで、中央の羽板111の振動と配列方向の両端の羽板112,113の振動とが打ち消し合い、支持体141,142での振動を抑制している。
しかしながら、特許文献1に示す構成の圧電ファン10Pでは、次に示す問題が生じる。図8は、特許文献1に示す構成の圧電ファン10Pの問題点を説明するための平面拡大図である。
特許文献1に示す圧電ファン10Pは、上述のように、圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133Pの端面を支持体141,142の端面に当接するように設置している。しかしながら、実際には、圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133Pの端面と支持体141,142の端面との間には、振動板11に対する各圧電素子121P,122P,123P,131P,132P,133Pや支持体141,142の取り付け誤差等によって、それぞれギャップが生じてしまうことがある。
例えば、図8に示すように、圧電素子121Pと支持体141との間にギャップGap1が生じ、圧電素子122Pと支持体141との間にギャップGap2が生じ、圧電素子123Pと支持体141との間にギャップGap3が生じることがある。この際、ギャップGap1,Gap2,Gap3が一致しないと、各羽板111,112,113の共振周波数が異なってしまう。
表1は、ギャップGap1,Gap2,Gap3が異なる場合の羽板111,112,113の共振周波数の例を示している。表1は、従来の圧電ファン10Pにおける各羽板111,112,113が最大振幅を得られる共振周波数を示している。
表1に示すように、ギャップGap1,Gap2,Gap3が異なり、羽板111,112,113の共振周波数が一致しないと、羽板111,112,113に同じ周波数の駆動信号を印加した場合に、羽板111,112,113の振幅量が異なってしまう。
表2は、ギャップGap1,Gap2,Gap3が異なる場合であって、羽板111,112,113に同じ周波数の駆動信号を印加した場合の羽板111,112,113の振幅量の例を示している。印加電圧の周波数は、羽板111,112,113の共振周波数の平均値である。なお、表2における振動残存率は、具体的な算出方法は後述するが、羽板111,112,113の平均振幅に対する相殺されずに残る振動の割合を示す指標である。
このように、羽板111,112,113毎の振幅量が異なると、羽板111,112,113の振動を相殺することができず、支持体141,142に伝搬される振動を抑制することができなくなってしまう。
なお、この現象は、3枚の羽板の構造に限るものではなく、複数の羽板を用いる場合にも生じてしまう。
したがって、本発明の目的は、複数の羽板の振動を確実に相殺することができる圧電ファンを提供することにある。
この発明の圧電ファンは、次の特徴を有する。圧電ファンは、複数枚の羽板を備える振動板、圧電素子、支持体を備える。複数枚の羽板は、一方端を自由端とする平板からなる。圧電素子は、振動板の少なくとも一方の平板面における複数枚の羽板のそれぞれに取り付けられている。支持体は、振動板の少なくとも一方の平板面における他方端側に取り付けられている。さらに、支持体は、複数枚の羽板にそれぞれ取り付けられた圧電素子が支持体と振動板とによって挟持されるように、取り付けられている。
この構成では、各羽板に取り付けられた圧電素子が支持体と振動板との間に挟持されるので、従来構成のような支持体の端面と圧電素子の端面と間にギャップが生じない。これにより、各羽板の共振周波数が一致する。したがって、各羽板に同じ周波数の駆動信号を加えて各羽板の振動を相殺するように圧電素子を駆動した場合にも、振動が確実に相殺される。
また、この発明の圧電ファンでは、次の構成であることが好ましい。羽板は3枚である。支持体は直交する一方方向を長手方向とし他方方向を短手方向とする長尺状の平板である。3枚の羽板は支持体の長手方向に沿って配列されている。圧電ファンは、3枚の羽板における配列方向の中央の羽板と、配列方向の両端の羽板とを逆位相に振動させる単一の周波数の駆動信号を圧電素子に印加する駆動手段を備える。
この構成では、羽板が3枚の場合における具体的な各羽板の配列および駆動機構を示している。このような構成とすれば、3枚の羽板からなる圧電ファンにおいて、支持体に伝搬される各羽板からの振動が確実に相殺され、支持体(固定位置)の振動を確実に抑制することができる。
また、この発明の圧電ファンでは、次の構成であることが好ましい。中央の羽板に取り付けられている圧電素子と、両端の羽板に取り付けられている圧電素子とは、羽板に取り付けられている側から見た分極方向が逆である。
この構成では、各圧電素子に与える駆動信号を統一することができ、圧電素子に駆動信号を与える回路構成、配線パターンを簡易にすることができる。
また、この発明の圧電ファンは、次の構成であることが好ましい。3枚の羽板の配列方向に直交する方向の長さは同じである。中央の羽板の配列方向に沿った長さは、両端の羽板の配列方向に沿った長さの2倍である。
この構成では、3枚の羽板のより具体的な構造を示すものであり、中央の羽板の配列方向に沿った長さ(幅)が、両端の羽板の配列方向に沿った長さ(幅)の2倍であることで、相殺効果を向上させることができる。これにより、支持体(固定位置)の振動をより確実に抑制することができる。
また、この発明の圧電ファンは、支持体と圧電素子との間に弾性体が取り付けられていることが好ましい。
この構成では、圧電素子間で厚みのばらつきがあっても、支持体と羽板とで確実に圧電素子を挟持することができる。これにより、支持体(固定位置)の振動をより確実に抑制することができる。また、支持体による圧電素子の傷つきを抑制することができる。
また、この発明の圧電ファンは、圧電素子が振動板の両平板面に取り付けられていることが好ましい。
この構成では、振動板を構成する各羽板がバイモルフ型の圧電アクチュエータとなる。したがって、ユニモルフ型の場合と比較して、同じ振幅の駆動信号で、羽板をより大きく振動させることができる。
また、この発明の圧電ファンは、支持体が振動板の両平板面に取り付けられていることが好ましい。
この構成では、振動板がより強固に固定される。特に、両面に圧電素子を取り付ける場合には、羽板の両面の圧電素子を挟持できることで、大きな振幅を得ながら、支持体(固定位置)の振動をより確実に抑制することができる。
この発明によれば、圧電ファンを構成する複数の羽板の振動を確実に相殺することができる。
本発明の第1の実施形態に係る圧電ファンについて、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の外観斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の分解斜視図である。図3(A)は、本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の平面図(第1平板面側から見た図)である。図3(B)は、本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の側面図(羽板111,112,113の配列方向に平行な方向から見た図)である。図3(C)は、本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の正面図(振動板11の自由端側から見た図)である。
圧電ファン10は、振動板11、圧電素子121,122,123,131,132,133、支持体141,142を備える。
振動板11は、所定の剛体を有する平板からなる。例えば、振動板11は、厚み0.1mmからなるステンレススチールの平板によって形成されている。
振動板11は、3枚の羽板111,112,113およびベース部110が一体形成されてなる。羽板111,112,113およびベース部110は、それぞれ長尺状からなる。羽板111,112,113は、ベース部110の長手方向に沿って所定の間隔で、ベース部110に接続されている。この際、ベース部110の長手方向に沿って、羽板112、羽板111、羽板113の順で並ぶように接続されている。
羽板111,112,113は、それぞれの長手方向がベース部110の長手方向すなわち羽板111,112,113の配列方向に対して直交するように、ベース部110に接続している。これにより、羽板111,112,113のベース部110に接続する側が各羽板111,112,113の固定端となる。一方、羽板111,112,113の長手方向に沿った当該固定端と反対側の端部が自由端となる。
羽板111,112,113は、長手方向に沿った所定位置で幅(配列方向に沿った長さ)が変わる形状からなる。具体的には、羽板111,112,113の固定端側の所定長さの領域の幅は、羽板111,112,113の自由端側の所定長さの領域の幅よりも短く(狭く)なっている。
両端の羽板112,113の形状は同じである。配列方向に沿った中央の羽板111の幅は、配列方向に沿った両端の羽板112,113の幅の略2倍である。
羽板111の第1平板面には、圧電素子121が取り付けられている。圧電素子121は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子121は、自身の平板面が羽板111の第1平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子121は、羽板111の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子121は、羽板111の長手方向と同じ方向に長く(以下、この方向を圧電素子121の長さ方向とする)、羽板111の幅方向に短い(以下、この方向を圧電素子121の幅方向とする。)形状からなる。圧電素子121における羽板111の第1平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
羽板111の第2平板面(第1平板面に対向する面)には、圧電素子131が取り付けられている。圧電素子131は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子131は、自身の平板面が中央の羽板111の第2平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子131は、中央の羽板111の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子121と圧電素子131は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子131における羽板111の第2平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
羽板112の第1平板面には、圧電素子122が取り付けられている。圧電素子122は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子122は、自身の平板面が羽板112の第1平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子122は、羽板112の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子122の長さ(羽板112の長手方向と同じ方向の長さ)は、圧電素子121の長さと同じである。圧電素子122の幅は、圧電素子121の幅の半分である。圧電素子122における羽板112の第1平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
羽板112の第2平板面(第1平板面に対向する面)には、圧電素子132が取り付けられている。圧電素子132は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子132は、自身の平板面が中央の羽板112の第2平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子132は、中央の羽板112の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子122と圧電素子132は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子132における羽板112の第2平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
羽板113の第1平板面には、圧電素子123が取り付けられている。圧電素子123は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子123は、自身の平板面が羽板113の第1平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子123は、羽板113の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子123は圧電素子122と同じ形状で形成されている。圧電素子123における羽板113の第1平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
羽板113の第2平板面(第1平板面に対向する面)には、圧電素子133が取り付けられている。圧電素子133は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子133は、自身の平板面が中央の羽板113の第2平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子133は、中央の羽板113の固定端側の領域からベース部110に亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子123と圧電素子133は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子133における羽板113の第2平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている(図示せず)。
圧電素子121,122,123,131,132,133は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている圧電体の両主面に、それぞれ電極が形成されてなる。なお、振動板11を導電体とすることで、振動板11側の電極は省略することができる。
このように、圧電素子121,122,123,131,132,133が取り付けられた振動板11に対して、支持体141,142を取り付ける。
支持体141,142は、振動板11のベース部110と略同じ長尺形状の平板からなる。支持体141,142は、例えば、ガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料によって形成されている。
支持体141は、振動板11のベース部110における圧電素子121,122,123が取り付けられた面に取り付けられている。この際、支持体141は、ベース部110と支持体141との間に圧電素子121,122,123が挟持され、羽板111,112,113の配列方向と支持体141の長手方向が略一致するように、複数枚の羽板に跨って取り付けられる。
支持体142は、振動板11のベース部110における圧電素子131,132,133が取り付けられた面に取り付けられている。この際、支持体142は、ベース部110と支持体142との間に圧電素子131,132,133が挟持されるように取り付けられる。
このような構造からなる圧電ファン10の各圧電素子121,122,123,131,132,133に次に示すような条件で駆動電圧を印加することで、各羽板111,112,113が平板面に直交する方向に振動する。図4は本発明の第1の実施形態に係る圧電ファン10の駆動概念を示す図であり、図4(A)は第1の駆動手段を示し、図4(B)は第2の駆動手段を示す。
具体的には、図4(A)に示すように、第1の駆動手段として、振動板11を正面視した状態での圧電素子121の分極方向と、圧電素子122,123の分極方向とを逆にする。同じように、振動板11を正面視した状態での圧電素子131の分極方向と、圧電素子132,133の分極方向とを逆にする。さらに、振動板11を正面視した状態での圧電素子121の分極方向と圧電素子131の分極方向とを同じにする。その上で、図4(A)に示すように、圧電素子121,122,123,131,132,133に印加する交流電圧を全て同位相にする。この第1の駆動手段を用いることで、振動板11に取り付ける全ての圧電素子に同じ駆動信号を印加できるので、駆動信号の印加回路や接続構成を簡易化することができる。
また、図4(B)に示すように、第2の駆動手段として、振動板11を正面視した状態での全ての圧電素子121,122,123,131,132,133の分極方向を同じにする。その上で、図4(B)に示すように、振動板11を基準電圧Voにして、圧電素子121,131に印加する交流電圧と、圧電素子122,123,132,133に印加する交流電圧を逆位相にする。
このような駆動手段を設けることで、羽板111の振動と羽板112,113の振動とが逆位相になる。ここで、羽板111の幅が羽板112,113の幅の2倍であるので、羽板111で生じる振動と、羽板112,113で生じる振動の加算振動とは、大きさが同じで逆位相の振動となる。したがって、羽板111で生じる振動と、羽板112,113で生じる振動の加算振動とは、ベース部110および支持体141,142の位置において相殺される。
ここで、本実施形態の構成では、上述のように、圧電素子121,122,123の端面と支持体141の端面との間にギャップが生じない。また、圧電素子131,132,133の端面と支持体142の端面との間にギャップが生じない。したがって、羽板111,112,113の共振周波数が一致する。
表3は、本実施形態の構成からなる圧電ファン10の羽板111,112,113の共振周波数の例を示している。表3は、従来の圧電ファン10における各羽板111,112,113が最大振幅を得られる共振周波数を示している。なお、表3には、上述の表1に示した従来の圧電ファン10Pの結果も記載している。
表3に示すように、本実施形態の構成を用いることで、羽板111の共振周波数が70.6[Hz]、羽板112の共振周波数が70.4[Hz]、羽板113の共振周波数が70.7[Hz]となり、略一致する。一方、従来の構成では、羽板111の共振周波数が68.5[Hz]、羽板112の共振周波数が65.5[Hz]、羽板113の共振周波数が67.5[Hz]となり、ばらつきを有する。
表4は、羽板111,112,113に同じ周波数の駆動信号を印加した場合の羽板111,112,113の振幅量の例を示している。印加電圧の周波数は、羽板111,112,113の共振周波数の平均値である。なお、表4には、上述の表2に示した従来の圧電ファン10Pの結果も記載している。
また、表4における振動残存率は、羽板111,112,113の平均振幅に対する相殺されずに残る振動の割合を示す指標である。具体的には、振動残存率は、羽板111の振幅の2倍値から羽板112,113の振幅を減算し、この演算値を、羽板111,112,113の振幅の平均値の4倍値で除算して得られる値である。
式で表すと次のようになる。
(2×(羽板111の振幅)−(羽板112の振幅)−(羽板113の振幅))/(4×(羽板111,112,113の振幅の平均値))
したがって、この指標値が小さいほど振動の抑制効果が高い。
したがって、この指標値が小さいほど振動の抑制効果が高い。
表4に示すように、本実施形態の構成を用いることで、羽板111の振幅が6.1[mm]、羽板112の振幅が5.9[mm]、羽板113の振幅が6.0[mm]となり、略一致する。一方、従来の構成では、羽板111の振幅が5.2[mm]、羽板112の振幅が5.3[mm]、羽板113の振幅が5.9[mm]となり、ばらつきを有する。
また、本実施形態の構成を用いることで、振動残存率は1.2[%]となる。一方、従来の構成では、振動残存率は3.7[%]となる。この結果からも分かるように、本実施形態の構成を用いることで、振動の抑制効果を向上させることができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る圧電ファンについて、図を参照して説明する。図5(A)は、本発明の第2の実施形態に係る圧電ファン10Aの平面図である。図5(B)は、本発明の第2の実施形態に係る圧電ファン10Aの側面図である。図5(C)は、本発明の第2の実施形態に係る圧電ファン10Aの裏面図(振動板11の固定端側から見た図)である。
本実施形態の圧電ファン10Aは、第1の実施形態に示した圧電ファン10に対して、弾性体151,152を追加したものであり、他の構成は同じである。したがって、異なる箇所のみを説明する。
弾性体151,152は、平膜状からなり、例えばゴム等の絶縁性を有する材質からなる。
弾性体151は、圧電素子121,122,123が取り付けられたベース部110と支持体141との間に挟持されている。
弾性体152は、圧電素子131,132,133が取り付けられたベース部110と支持体142との間に挟持されている。
このような構成とすることで、圧電素子121,122,123の間に厚みのばらつきがあっても、支持体141で振動板11を確実に保持することができる。また、圧電素子131,132,133の間に厚みのばらつきがあっても、支持体142で振動板11を確実に保持することができる。さらに、圧電素子121,122,123、131,132,133の間に厚みのばらつきがあっても、支持体141,142によって振動板11を確実且つ強固に、挟持して保持することができる。これにより、上述の振動の相殺抑制効果を向上させることができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る圧電ファンについて、図を参照して説明する。図6(A)は、本発明の第3の実施形態に係る圧電ファン10Bの平面図である。図6(B)は、本発明の第3の実施形態に係る圧電ファン10Bの側面図である。図6(C)は、本発明の第3の実施形態に係る圧電ファン10Bの裏面図(振動板11Bの固定端側から見た図)である。
本実施形態の圧電ファン10Bは、第2の実施形態に係る圧電ファン10Aに対して、振動板11Bの形状が異なるものであり、他の構成は同じである。したがって、異なる箇所のみを説明する。
振動板11Bは、それぞれ個別化された羽板111B,112B,113Bによって構成されている。羽板111Bは、第1の実施形態に示した羽板111と、当該羽板111から長手方向に延びるベース部110の一部とを一体化した形状からなる。羽板112Bは、第1の実施形態に示した羽板112と、当該羽板112から長手方向に延びるベース部110の一部とを一体化した形状からなる。羽板113Bは、第1の実施形態に示した羽板113と、当該羽板113から長手方向に延びるベース部110の一部とを一体化した形状からなる。
このような構成であっても、第2の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。なお、第3の実施形態の構成を、第1の実施形態の構成、すなわち弾性体151,152を省略した形状に適用することもできる。
また、上述の各実施形態では、振動板を構成する羽板の枚数は3枚としたが、印加する駆動信号によって、固定端側の振動が相殺されるような構造であれば、羽板の枚数はこれに限るものではない。
また、上述の各実施形態では、振動板の両方の平板面に圧電素子を取り付けるバイモルフ型を例に示したが、振動板の片方の平板面に圧電素子を取り付けるユニモルフ型にも適用することができる。なお、ユニモルフ型にする場合には、必ずしも圧電素子を取り付けない側の振動板の平板面に支持体を取り付けなくてもよい。ただし、バイモルフ型の方が、ユニモルフ型と比較して、羽板を大きく振動させることができる。そして、このような大きな振動が得られる場合でも、本実施形態の構成を用いることで、支持体へ伝搬される振動の抑圧効果が得られるので、より好適である。
また、上述の各実施形態では、圧電素子は例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成しているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。
また、上述の説明では、特に詳細に記載していないが、全ての圧電素子が支持体と振動板に挟持される構造であれば、上述の作用効果を得ることができる。
10,10A,10B,10P:圧電ファン、
11,11B:振動板、
111,112,113:羽板、
121,122,123,131,132,133,121P,122P,123P,131P,132P,133P:圧電素子、
141,142:支持体、
151,152:弾性体
11,11B:振動板、
111,112,113:羽板、
121,122,123,131,132,133,121P,122P,123P,131P,132P,133P:圧電素子、
141,142:支持体、
151,152:弾性体
Claims (7)
- 一方端を互いに分割された自由端とする平板からなる複数枚の羽板を備える振動板と、
前記振動板の少なくとも一方の平板面における前記複数枚の羽板のそれぞれに取り付けられた圧電素子と、
前記振動板の前記少なくとも一方の平板面における他方端側に取り付けられた支持体と、を備える圧電ファンであって、
前記支持体は、前記複数枚の羽板にそれぞれ取り付けられた前記圧電素子が前記支持体と前記振動板とによって挟持されるように、取り付けられており、
前記複数枚の羽根板のうちの少なくとも1枚の羽根板の振動は、他の前記羽根板の振動と逆位相である、圧電ファン。 - 前記羽板は3枚であり、
前記支持体は直交する一方方向を長手方向とし他方方向を短手方向とする長尺状の平板であり、
該3枚の羽板は、前記支持体の前記長手方向に沿って配列されており、
前記3枚の羽板における配列方向の中央の羽板を、前記配列方向の両端の羽板と逆位相に振動させる単一の周波数の駆動信号を前記圧電素子に印加する駆動手段を、備えた、請求項1に記載の圧電ファン。 - 前記中央の羽板に取り付けられている圧電素子と、前記両端の羽板に取り付けられている圧電素子とは、前記羽板に取り付けられている側から見た分極方向が逆である、請求項2に記載の圧電ファン。
- 前記3枚の羽板の配列方向に直交する方向の長さは同じであり、
前記中央の羽板の配列方向に沿った長さは、前記両端の羽板の前記配列方向に沿った長さの2倍である、請求項2または請求項3に記載の圧電ファン。 - 前記支持体と前記圧電素子との間には、弾性体が取り付けられている、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の圧電ファン。
- 前記圧電素子は、前記振動板の両平板面に取り付けられている、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の圧電ファン。
- 前記支持体は、前記振動板の両平板面に取り付けられている、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の圧電ファン。
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