JP2017103953A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 長手方向と、前記長手方向と直交する短手方向と、を有する基板と、
   前記基板上に設けられ、前記基板の面内方向に振動する圧電素子と、
   前記基板の前記長手方向の先端部に配置され、かつ被駆動体に接触する接触部と、
   を備え、
   前記基板の前記長手方向は、前記基板の面内においてヤング率が最小となる方向と、概ね一致している、モーター用圧電駆動装置。
2. 長手方向と、前記長手方向と直交する短手方向と、を有する基板と、
   前記基板上に設けられ、前記基板の面内方向に振動する圧電素子と、
   前記基板の前記長手方向の先端部に配置され、かつ被駆動体に接触する接触部と、
   を備え、
   前記基板の前記短手方向のずれ弾性係数をＧｘｙ、前記基板の前記長手方向のヤング率をＥｘ、前記基板の前記短手方向のヤング率をＥｙとしたとき、前記基板の前記長手方向は、前記基板の面内においてＥｙ／Ｅｘ／Ｇｘｙの値が最大となる方向と、概ね一致している、モーター用圧電駆動装置。
3. 請求項１または２において、
   前記基板は、シリコン単結晶基板である、モーター用圧電駆動装置。
4. 請求項３において、
   前記基板は、｛１１０｝基板であり、
   前記基板の前記長手方向は、＜１００＞方向と概ね一致している、モーター用圧電駆動装置。
5. 請求項３において、
   前記基板は、｛１００｝基板であり、
   前記基板の前記長手方向は、＜１００＞方向と概ね一致している、モーター用圧電駆動装置。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
   前記基板および前記圧電素子は、チップを構成し、
   前記チップは、複数設けられ、
   複数の前記チップは、前記基板の厚さ方向に配列されている、モーター用圧電駆動装置。
7. ウェハー上に、前記ウェハーの面内方向に振動する圧電素子を複数形成する工程と、
   前記ウェハーに、長手方向と前記長手方向と直交する短手方向とを有するチップ領域を、複数の圧電素子に対応して複数形成する工程と、
   前記ウェハーから前記チップ領域を取り出して、チップを取得する工程と、
   前記チップの前記長手方向の先端部に、被駆動体に接触するための接触部を取り付ける工程と、
   を含み、
   前記チップ領域は、前記チップ領域の前記長手方向が、前記チップ領域の面内においてヤング率が最小となる方向と、概ね一致するように形成される、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
8. ウェハー上に、前記ウェハーの面内方向に振動する圧電素子を複数形成する工程と、
   前記ウェハーに、長手方向と前記長手方向と直交する短手方向とを有するチップ領域を、複数の圧電素子に対応して複数形成する工程と、
   前記ウェハーから前記チップ領域を取り出して、チップを取得する工程と、
   前記チップの前記長手方向の先端部に、被駆動体に接触するための接触部を取り付ける工程と、
   を含み、
   前記チップ領域の前記短手方向のずれ弾性係数をＧｘｙ、前記チップ領域の前記長手方向のヤング率をＥｘ、前記チップ領域の前記短手方向のヤング率をＥｙとしたとき、
   前記チップ領域は、前記チップ領域の前記長手方向が、前記チップ領域の面内においてＥｙ／Ｅｘ／Ｇｘｙの値が最大となる方向と、概ね一致するように形成される、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
9. 請求項７または８において、
   前記ウェハーは、シリコン単結晶ウェハーである、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
10. 請求項９において、
    前記ウェハーは、｛１１０｝ウェハーであり、
    前記チップ領域は、前記チップ領域の前記長手方向が＜１００＞方向と概ね一致するように形成される、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
11. 請求項９において、
    前記ウェハーは、｛１００｝ウェハーであり、
    前記チップ領域は、前記チップ領域の前記長手方向が＜１００＞方向と概ね一致するように形成される、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
12. 請求項７ないし１１のいずれか１項において、
    複数の前記チップを、前記チップ領域の厚さ方向に配列させる工程を含む、モーター用圧電駆動装置の製造方法。
13. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載のモーター用圧電駆動装置と、
    前記モーター用圧電駆動装置によって回転されるローターと、
    を備える、モーター。
14. 複数のリンク部と、
    複数の前記リンク部を接続する関節部と、
    複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる請求項１ないし６のいずれか１項に記載のモーター用圧電駆動装置と、
    を備える、ロボット。
15. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載のモーター用圧電駆動装置と、
    液体を輸送するチューブと、
    前記モーター用圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉塞する複数のフィンガー
    と、
    を備える、ポンプ。