JP2017112650A5 - 振動体、積層振動体、圧電アクチュエーターおよびロボット - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
本発明の振動体は、第１の面と、前記第１の面と交わる第２の面と、前記第１の面上に配置されている電極と、前記第２の面上に配置されていて、前記第１の面を含む平面に沿う振動の周波数を調整する周波数調整部と、を備え、前記第１の面の垂線と前記第２の面の垂線が直交することを特徴とする振動体である。
この形態の振動体によれば、電極によって発生される振動は、第１の面を含む平面に沿っており、言い換えれば面内振動である。この面内振動の方向と直交している面すなわち第２の面上に周波数調整部が配置されるので、不要な面外方向の振動が発生することを低減することができる。よって、振動体を有する圧電デバイスの振動特性が悪化すること低減して、振動体の面内振動の周波数を調整することができる。
その他、本発明は、以下の形態としても実現することが可能である。

Claims (13)

1. 第１の面と、
   前記第１の面と交わる第２の面と、
   前記第１の面上に配置されている電極と、
   前記第２の面上に配置されていて、前記第１の面を含む平面に沿う振動の周波数を調整する周波数調整部と、を備え、
   前記第１の面の垂線と前記第２の面の垂線が直交することを特徴とする振動体。
2. 前記第１の面と前記第２の面とを有する基板と、
   前記基板上に配置されていて前記電極を有する圧電体と、
   を備える、請求項１に記載の振動体。
3. 基板と、
   前記基板の第１の面上に配置されていて、電極を有して前記第１の面を含む平面に沿う方向に振動する圧電体と、
   前記第１の面と互いの垂線が直交する前記基板の第２の面上に配置されていて前記振動の周波数を調整する周波数調整部と、
   を備える、振動体。
4. 前記振動は、第１の振動モードと第２の振動モードと、を含み、
   前記第１の振動モードが前記第１の面を含む平面に沿う方向に伸縮する縦振動のモードであり、
   前記第２の振動モードが前記第１の面を含む平面に沿う方向において前記伸縮する方向と交わる方向に屈曲する屈曲振動のモードである、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動体。
5. 前記電極は、
   前記縦振動を発生させる縦振動電極と、
   前記屈曲振動を発生させる屈曲振動電極と、
   を有する、請求項４に記載の振動体。
6. 前記第２の面を含む平面は、前記縦振動の方向と交差する、請求項５に記載の振動体。
7. 前記第１の面に垂直な方向に沿った平面視において、前記縦振動電極と前記屈曲振動電極とは前記第１の面上に配置されていて、前記周波数調整部は、前記屈曲振動電極に対して前記縦振動する方向に配置されている、請求項５または６に記載の振動体。
8. 前記第２の面の垂直な方向からの平面視において、前記周波数調整部は、前記第２の面における前記第１の面に沿った幅方向の中央部に対して両側に配置されている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動体。
9. 前記第１の面の垂直な方向に請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動体が複数配置されている、積層振動体。
10. 前記周波数調整部は、複数の前記振動体が配置される方向に沿って複数の前記振動体の全体に配置されている、請求項９に記載の積層振動体。
11. 前記周波数調整部は、複数の前記振動体のうちの一部の振動体に配置されている、請求項９に記載の積層振動体。
12. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動体、または、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の積層振動体と、
    前記周波数調整部が配置されている前記第２の面に配置されていて、被駆動体を駆動するための突起部と、
    を備える、圧電アクチュエーター。
13. 第１の面と、
    前記第１の面と互いの垂線が直交する第２の面と、
    前記第１の面上に配置されている電極と、
    前記第２の面上に配置されていて、前記第１の面を含む平面に沿う振動の周波数を調整する周波数調整部と、を備える振動体と、
    前記周波数調整部が配置されている前記第２の面に配置されていて、被駆動体を駆動するための突起部と、
    を備えるロボット。